JPH063416A - Lsiテスタ - Google Patents

Lsiテスタ

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JPH063416A
JPH063416A JP4157976A JP15797692A JPH063416A JP H063416 A JPH063416 A JP H063416A JP 4157976 A JP4157976 A JP 4157976A JP 15797692 A JP15797692 A JP 15797692A JP H063416 A JPH063416 A JP H063416A
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Hideo Doi
英夫 土井
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 記憶容量の小さなメモリで各種の検査波形を
任意に得ることができる。 【構成】 アナログ回路とデジタル回路が混在する被測
定対象物を検査するLSIテスタにおいて、デジタルフ
ァンクションモジュールのアドレス発生シーケンサの出
力するアドレスに基づき、ミックスドシグナルユニット
の信号発生側と同期を取るコード信号をミックスドシグ
ナルユニットのシーケンス発生回路に出力するコードメ
モリと、コード信号に基づいてシーケンス発生回路がア
ドレスカウンタに出力したアドレスのカウント制御を行
うと共に、アドレスカウンタの指定するアドレスに基づ
いてパターンメモリが出力するデータの制御を行うステ
ータス信号を出力するステートメモリとを設け、コード
信号によって各モジュール間の同期を取ると共に、ステ
ータス信号によってデジタルファンクションモジュール
とミックスドシグナルユニットをテストレート毎に関係
づけて制御するようにしている。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、アナログ回路とデジタ
ル回路の混載したLSI(被測定対象物:以下、DUT
という)を測定するLSIテスタに関し、更に詳しく
は、デジタルパターンを出力するモジュールと同期して
デジタル信号及びアナログ信号を出力する各モジュール
のパターンメモリの有効利用を図ったLSIテスタに関
する。
【0002】
【従来の技術】アナログ回路とデジタル回路の混載した
DUTのテストは、そのDUTの実動作状態、即ち、ア
ナログ部とデジタル部とを統合して、全体をシステムと
して取り扱った状態でのテストが必要である。このため
には、DUTにデジタルパターンを出力するデジタルフ
ァンクションモジュール(以下、DFCモジュールと省
略)とデジタル信号及びアナログ信号を出力するミック
スドシグナルユニット(以下、MSユニットと省略)と
を同期した状態で制御する必要がある。一般のLSIテ
スタは、DUTのテストを高速に行えるよう、異なった
コントローラによって各モジュールを分散制御している
ため、DFCモジュールとMSユニットとはコード信号
に基づいて同期するようになっている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】このような従来のLS
Iテスタは、同期して動作する各モジュールをテストレ
ート毎に関係づけて制御することができないため、例え
ば、デジタルパターンとアナログ信号を交互に出力する
ような場合でも、各モジュールのパターンメモリは常に
使用された状態になっていて、パターンメモリに大きな
記憶容量のものが必要となり、メモリの有効利用が図ら
れていなかった。
【0004】本発明は、このような点に鑑みてなされた
もので、コード信号によって同期の取られた各モジュー
ルをテストレート毎に関係付けて制御できるようにした
もので、パターンメモリの消費の低減を図り、記憶容量
の小さなメモリで各種の検査波形を任意に得ることがで
きるLSIテスタを提供することを目的としている。
【0005】
【課題を解決するための手段】このような目的を達成す
るために、本発明は、被測定対象物に出力するアナログ
信号とデジタル信号の発生をモジュール毎に行い、被測
定対象物から入力するアナログ信号とデジタル信号の解
析をモジュール毎に行うミックスドシグナルユニットを
備えると共に、被測定対象物との間でデジタルパターン
信号を授受するデジタルファンックションモジュールと
を備え、アナログ回路とデジタル回路が混在する被測定
対象物を検査するLSIテスタにおいて、前記デジタル
ファンクションモジュールのアドレス発生シーケンサの
出力するアドレスに基づき、前記ミックスドシグナルユ
ニットの信号発生側と同期を取るコード信号を前記ミッ
クスドシグナルユニットのシーケンス発生回路に出力す
るコードメモリと、前記コード信号に基づいて前記シー
ケンス発生回路がアドレスカウンタに出力したアドレス
のカウント制御を行うと共に、このアドレスカウンタの
指定するアドレスに基づいてパターンメモリが出力する
データの制御を行うステータス信号を出力するステート
メモリと、を設け、前記コード信号によって各モジュー
ル間の同期を取ると共に、前記ステータス信号によって
前記デジタルファンクションモジュールと前記ミックス
ドシグナルユニットをテストレート毎に関係づけて制御
することを特徴としている。
【0006】
【作用】本発明の各構成要素は次に示すような作用をす
る。コードメモリは、DFCモジュールのアドレス発生
シーケンサが指定するアドレスに基づき、同期の為のコ
ードをMSユニットのシーケンス発生回路に出力する。
ステートメモリは、MSユニットのシーケンス発生回路
がアドレスカウンタに出力したアドレスのカウント制御
を行うと共に、アドレスカウンタの指定するアドレスに
基づいてパターンメモリが出力するデータの制御を行
う。
【0007】
【実施例】以下、図面を用いて本発明の一実施例を詳細
に説明する。図1は、本発明の一実施例を示すLSIテ
スタの構成ブロック図である。尚、MSユニットにおい
てアナログ信号を出力するモジュールは、デジタル信号
を出力するデジタルシグナルソース・モジュール(以
下、DSSモジュールと省略)にDA変換器が付加され
るだけの構成なので、以下の説明ではDSSモジュール
を代表して説明することにする。図中、1はシステム全
体の制御を司るテストシステムコントローラ、2はデジ
タルファンクションモジュール20(以下DFCモジュ
ール20)を制御するモジュールコントローラ、3はD
SSモジュール30を制御するモジュールコントローラ
である。
【0008】テストシステムコントローラ1は、テスト
プログラムをコンパイルしたオブジェクトファイルをモ
ジュールコントローラ2、3にロードした後、ロードし
たオブジェクトファイルをシーケンスナンバーに従って
指定し、モジュールコントローラ2、3を介してDFC
モジュール20とDSSモジュール30を制御する。
【0009】DFCモジュール20において、21はマ
イクロコードメモリで、例えば、ノーオペレーション
(以下、NOP)、ジャンプ(以下、JUMP)等の動
作プロセスの命令であるマイクロコードが記憶されてい
る。22はデジタルパターンメモリで、DUT40を試
験するデジタルパターンが記憶されていて、アドレス発
生シーケンサ23が指定したアドレスに基づいてデジタ
ルパターンDi(i=1〜n)をDUT40に出力す
る。
【0010】24はコードメモリで、アドレス発生シー
ケンサ23の出力したアドレスに基づき、DFCモジュ
ール20と同期を取るコード信号S1をDSSモジュー
ル30に出力する。25はステートメモリで、アドレス
発生シーケンサ23の出力したアドレスに基づき、DF
Cモジュール20のテストレート毎の動作を制御するス
テータス信号S2をDSSモジュール30に出力する。
【0011】DSSモジュール30において、31はシ
ーケンス発生回路で、コードメモリ24の出力するコー
ド信号S1に基づいてスタートアドレスをアドレス発生
カウンタ32に出力する。アドレス発生カウンタ32
は、シーケンス発生回路31から入力したスタートアド
レスをANDゲート321から入力されるクロックCK2
に基づいてカウントアップし、パターンメモリ33に出
力する。
【0012】ANDゲート321は、一方の入力端子に
クロックCK1が入力され、他方の入力端子にステート
メモリからステータスST0が入力されていて、ステー
タスST0がハイレベルになるとゲートが開かれる。
【0013】パターンメモリ33は、アドレス発生カウ
ンタ32によって指定されるアドレスに基づき、記憶し
ているデジタルデータDAi(i=1〜n)をD型フリ
ップフロップ34に出力する。D型フリップフロップ3
4は、D端子に入力されるデジタルデータDAiをクロ
ック端子に入力されるクロック信号CK3に基づいて保
持し、Q端子よりデジタル信号DAiとしてDUT40
に出力する。
【0014】341はANDゲートで、一方の入力端子
にクロックCK3が入力され、他方の入力端子にステー
トメモリ25からステータスST1が入力されていて、
ステータスST1がハイレベルになるとゲートが開かれ
る。ANDゲート341からのリセット信号S3が入力さ
れると、Dフリップフロップ34は、リセットされ、D
型フリップフロップ34のデータは、DUT40に出力
されなくなる。
【0015】尚、クロック信号CK1、3は、クロック信
号CK0を遅延して得た信号で、マイクロコードの出力
からアドレス発生カウンタ32及びD型フリップフロッ
プが動作するまでの時間を考慮して設定される。
【0016】図2は、本発明のLSIテスタの動作を説
明するタイムチャートで、(A)はマイクロコードメモ
リの出力するマイクロコード、(B)はアドレス発生シ
ーケンサが出力するアドレス、(C)はコードメモリが
出力するコード信号S1、(D)はステートメモリが出
力するステータスST0、(E)はステートメモリが出
力するステータスST1、(F)はデジタルパターンメ
モリが出力するデジタルパターンDi、(G)はDFC
モジュールの同期を取るクロックCK0、(H)はAN
Dゲートに入力されるクロックCK1、(I)はアドレ
ス発生カウンタに入力されるクロックCK2、(J)は
アドレスカウンタが出力するアドレス、(K)はDSS
のパターンメモリの出力するデジタルデータDAi
(L)はクロックCK3、(M)はD型フリップフロッ
プに入力されるリセット信号S3、(N)はD型フリッ
プフロップより出力されるデジタル信号DAiである。
【0017】(1)マイクロコードメモリ21は、クロッ
ク信号CK0の最初の立ち上がりでNOP命令をアドレ
ス発生シーケンサ23に出力する。 (2)アドレス発生シーケンサ23は、マイクロコードメ
モリ21のNOP命令に基づいて、アドレス“1”をデ
ジタルパターンメモリ22に出力すると共に、コードメ
モリ24とステートメモリ25に出力する。 (3)デジタルパターンメモリ22は、アドレス発生シー
ケンサ23によって指定されたアドレス“1”に基づ
き、デジタルパターンD1をDUT40に出力する。一
方、コードメモリ24は、アドレス“1”では同期信号
であるコード信号S 1をDSSモジュールに出力しない
ため、DSSモジュール20は同期しない状態にある。
【0018】(4)マイクロコードメモリ21は、クロッ
ク信号CK0の2回目の立ち上がりで、再びNOP命令
をアドレス発生シーケンサ23に出力する。 (5)アドレス発生シーケンサ23は、マイクロコードメ
モリ21のNOP命令に基づいて、アドレス“2”をデ
ジタルパターンメモリ22に出力すると共に、コードメ
モリ24とステートメモリ25に出力する。 (6)デジタルパターンメモリ22は、アドレス発生シー
ケンサ23の指定したアドレス“2”に基づいたデジタ
ルパターンD2をDUT40に出力し、コードメモリ2
4は、アドレス発生シーケンサ23の指定したアドレス
に基づいたコード#1をDSSモジュール30のシーケ
ンス発生回路31に出力する。そして、ステートメモリ
25は、アドレス発生シーケンサ23の指定したアドレ
スに基づいたステータス信号S2を出力する。この場合
は、ステータスST0“1”がANDゲート321に出力
され、ステータスST1“0”がANDゲート341に出
力される。
【0019】(7)ステータスST0“1”がANDゲート
321に出力されると、ANDゲート321は、ゲートが
開かれ、アドレス発生カウンタ32のクロック端子にク
ロックCK2を出力する。 (8)アドレス発生カウンタ32は、ANDゲート321
ら入力したクロックCK 2により、シーケンサ発生回路
31がコード#1に基づいて出力したスタートアドレス
をパターンメモリ33に出力する。この場合は、スター
トアドレス“10”が出力される。 (9)パターンメモリ33は、アドレス発生カウンタ32
によってアドレス“10”が指定されとデジタルデータ
DA1をD型フリップフロップ34に出力する。 (10)D型フリップフロップ34は、続いてクロック端子
に入力されるクロックCK3に基づき、デジタル信号D
1をDUT40に出力する。
【0020】(11)次に、マイクロコード21は、クロッ
クCK0の3回目の立ち上がりでNOP命令をアドレス
発生シーケンサ23に出力し、次のサイクルを開始す
る。 (12)アドレス発生シーケンサ23は、マイクロコードメ
モリ21のNOP命令に基づいて、アドレス“3”をデ
ジタルパターンメモリ22に出力し、デジタルパターン
メモリ22はデジタルパターンD3をDUT40に出力
する。 (13)一方、アドレス発生カウンタ32は、ANDゲート
321のクロックによってカウントアップしたアドレス
“11”をパターンメモリ33に出力する。
【0021】(14)パターンメモリ33は、アドレス発生
カウンタ32によって指定されたアドレス“11”のデ
ジタルデータDA2をD型フリップフロップ34に出力
する。 (15)D型フリップフロップ34は、パターンメモリ33
から入力したデジタルデータDA2をクロック端子に入
力されるクロックCK3に基づきDUT40に出力す
る。 (16)アドレス発生シーケンサ23の出力するアドレスが
“4”になり、ステータスST0が“0”となると、ア
ドレス発生カウンタ32はカウントアップを停止し、パ
ターンメモリ34は、アドレス“11”のままで、イン
クリメントされなくなる。
【0022】(17)アドレス発生シーケンサ23の出力す
るアドレスが“5”になり、ステータスがST1
“1”となると、D型フリップフロップ34は、AND
ゲート341のリセット信号S3によってリセットされ、
DUT40にデータは出力されなくなる。 (18)このように、DSSモジュール30は、ステートメ
モリ25のステータス信号Sによってテストレート毎に
DFCモジュール20と関係をもって制御され、D型フ
リップフロップ34からデジタル信号をDUT40に出
力する。図3は、図2で説明した動作を行う場合のパタ
ーンメモリ33の内容を示した図である。従来のLSI
テスタでは、テストレート毎にデータが必要で、図4に
示すようなアドレスの順番にデジタルデータをパターン
メモリに書き込む必要がある。
【0023】
【発明の効果】以上詳細に説明したように本発明のLS
Iテスタは、コード信号で同期の取られたDSSモジュ
ールをステータス信号によってテストレート毎に制御す
るようにしたため、パターンメモリの消費の低減を図る
ことができ、記憶容量の小さなメモリで各種の検査波形
を任意に得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例を示すLSIテスタの構成ブ
ロック図である。
【図2】本発明のLSIテスタの動作を説明するタイム
チャートである。
【図3】図2で説明した動作を行う場合のパターンメモ
リの内容を示した図である。
【図4】従来のLSIテスタのパターンメモリの内容を
示した図である。
【符号の説明】
20 DFCモジュール 24 コードメモリ 25 ステートメモリ 321、341 ANDゲート

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 被測定対象物に出力するアナログ信号と
    デジタル信号の発生をモジュール毎に行い、被測定対象
    物から入力するアナログ信号とデジタル信号の解析をモ
    ジュール毎に行うミックスドシグナルユニットを備える
    と共に、被測定対象物との間でデジタルパターン信号を
    授受するデジタルファンックションモジュールとを備
    え、アナログ回路とデジタル回路が混在する被測定対象
    物を検査するLSIテスタにおいて、 前記デジタルファンクションモジュールのアドレス発生
    シーケンサの出力するアドレスに基づき、前記ミックス
    ドシグナルユニットの信号発生側と同期を取るコード信
    号を前記ミックスドシグナルユニットのシーケンス発生
    回路に出力するコードメモリと、 前記コード信号に基づいて前記シーケンス発生回路がア
    ドレスカウンタに出力したアドレスのカウント制御を行
    うと共に、このアドレスカウンタの指定するアドレスに
    基づいてパターンメモリが出力するデータの制御を行う
    ステータス信号を出力するステートメモリと、 を設け、前記コード信号によって各モジュール間の同期
    を取ると共に、前記ステータス信号によって前記デジタ
    ルファンクションモジュールと前記ミックスドシグナル
    ユニットをテストレート毎に関係づけて制御することを
    特徴としたLSIテスタ。
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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH08510037A (ja) * 1994-03-04 1996-10-22 ヴァレオ 特に自動車用の流体力学的結合装置
JP2002243809A (ja) * 2001-02-09 2002-08-28 Advantest Corp アナログ・デジタル混成ic用テストシステム
JP2004056131A (ja) * 2003-07-03 2004-02-19 Miyazaki Oki Electric Co Ltd レジスト塗布装置
JP2008122212A (ja) * 2006-11-13 2008-05-29 Yokogawa Electric Corp デバイステスタ

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