JPH0632818A - ポリ(p−ヒドロキシスチレン)の製造方法 - Google Patents

ポリ(p−ヒドロキシスチレン)の製造方法

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JPH0632818A
JPH0632818A JP20966192A JP20966192A JPH0632818A JP H0632818 A JPH0632818 A JP H0632818A JP 20966192 A JP20966192 A JP 20966192A JP 20966192 A JP20966192 A JP 20966192A JP H0632818 A JPH0632818 A JP H0632818A
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JP
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poly
methoxymethoxystyrene
molecular weight
hydroxystyrene
polymer
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JP20966192A
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Osamu Watanabe
修 渡辺
Motoyuki Yamada
素行 山田
Fujio Yagihashi
不二夫 八木橋
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Shin Etsu Chemical Co Ltd
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Shin Etsu Chemical Co Ltd
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    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C08ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
    • C08FMACROMOLECULAR COMPOUNDS OBTAINED BY REACTIONS ONLY INVOLVING CARBON-TO-CARBON UNSATURATED BONDS
    • C08F8/00Chemical modification by after-treatment
    • C08F8/12Hydrolysis

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  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
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  • Medicinal Chemistry (AREA)
  • Polymers & Plastics (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Addition Polymer Or Copolymer, Post-Treatments, Or Chemical Modifications (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 高解像度及び高現像度のレジスト材料用ポリ
マーとして優れると共にポリマーブレンド剤等に好適
な、任意の分子量に制御することができる単分散性のポ
リ(p─ヒドロキシスチレン)の新規な製造方法を提供
すること。 【構成】 下記化1で表されるp−メトキシメトキシス
チレンをリビングアニオン重合した後、メトキシメトキ
シ基を脱離させることを特徴とするポリ(p─ヒドロキ
シスチレン)の製造方法。 【化1】

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、ポリスチレン誘導体の
製造方法に関し、特に機能性高分子として有用な単分散
性のポリ(p─ヒドロキシスチレン)の製造方法に関す
る。
【0002】
【従来技術】従来から、高解像度のリソグラフィー用と
して、或いはLSI用として使用するレジスト材料用ベ
ースポリマーとして機能性高分子が多用されており、特
に近年のLSIにおける高密度化の進展に伴い、レジス
ト材料について益々高解像度及び高現像性が要求される
ようになっている。かかる要求に答えるために、従来、
ノボラック樹脂が使用されているが、最近においては、
これに代わるものとして化学増幅タイプのレジスト材料
が種々検討されている。
【0003】上記化学増幅タイプのレジスト材料におい
ては、特に作業性の観点から酸によって容易に脱離する
官能基を有すると共にその官能基の脱離前後で溶解性の
異なるものが賞用されている。かかるレジスト材料とし
ては、耐プラズマ性に優れているポリスチレン誘導体が
特に好適なものとして知られている。
【0004】これらのポリマーをレジスト用ベースポリ
マーとして使用する場合には、その分子量や分子量分布
がレジストの現像特性及び解像度に大きな影響を与える
ために、分子量分布の狭い(単分散性という)ポリマー
が望まれる。しかしながら、これらのポリマーは通常の
ラジカル重合法や縮重合法により得られる多分散ポリマ
ーであって、はじめから分子量や分子量分布を制御する
ということが配慮されていないので、レジストの解像度
及び現像性を高めるために、分別という手法を用いて分
子量の制御を行っている(特開昭62−121754号
公報)。
【0005】しかしながら、分別という手法は操作が複
雑であるのみならず時間がかかるという欠点がある上、
厳しくなる要求性能に対して十分に追随することが困難
であるので、本質的な問題解決手段が望まれている。一
方、他のポリマーとの相溶性に優れたポリマーブレンド
剤やミクロ相分離構造を形成する共重合体の前駆体を製
造する場合にも、ポリマーを任意の分子量に制御するこ
とが望まれる。このようなニーズに対応することのでき
るものとして、現像性や耐プラズマ性に優れる上、任意
の分子量に制御することが容易なポリマーとして、ポリ
(p─ヒドロキシスチレン)が注目されている。
【0006】しかしながら、ポリ(p─ヒドロキシスチ
レン)のラジカル重合法による合成については、ジャー
ナル オブ ポリマーサイエンス(パート1)、第7
巻、1969年、2175頁〜2184頁に、狭分散性
のポリ(p─ヒドロキシスチレン)については、特開昭
59─199705号公報に記載されているものの、上
記ニーズに十分応えることができるポリ(p─ヒドロキ
シスチレン)の製造方法は未だ知られておらず、また工
業化もされるに至っていない。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】そこで、本発明者等は
ポリ(p─ヒドロキシスチレン)の製造方法について鋭
意研究した結果、p−メトキシメトキシスチレンのリビ
ングアニオン重合を利用することにより、任意の分子量
に制御することができる上単分散性のポリ(p─ヒドロ
キシスチレン)を容易に製造することができるというこ
とを見出し本発明に到達した。
【0008】従って、本発明の目的は、高解像度及び高
現像度のレジスト材料用ポリマーとして優れると共にポ
リマーブレンド剤等にも好適な、任意の分子量に制御す
ることができる単分散性のポリ(p─ヒドロキシスチレ
ン)の新規な製造方法を提供することにある。
【0009】
【課題を解決するための手段】本発明の上記の目的は、
下記化2で表されるp−メトキシメトキシスチレンをリ
ビングアニオン重合した後、メトキシメトキシ基を脱離
させることを特徴とするポリ(p─ヒドロキシスチレ
ン)の製造方法によって達成された。
【化2】
【0010】本発明において、単分散性とは分子量分布
がMw/Mn=1.01〜1.50であることを意味す
る。ここで、Mwは高分子の重量平均分子量、Mnは数
平均分子量である。重量平均分子量は、リビング重合さ
せる場合にあってはモノマーの重量と開始剤のモル数か
ら計算することにより、又は光散乱法を用いて容易に求
められる。また、数平均分子量は膜浸透圧計を用いて、
容易に測定される。
【0011】分子量分布の評価は、ゲルパーミェーショ
ンクロマトグラフィー(GPC)によって行うことがで
き、分子構造は赤外線吸収(IR)スペクトル又は1
─NMRスペクトルによって容易に確認することができ
る。上記リビングアニオン重合に際しては、重合開始剤
として、有機金属化合物を用いることが好ましい。
【0012】好ましい有機金属化合物としては、例えば
n−ブチルリチウム、sec−ブチルリチウム、ter
t−ブチルリチウム、ナトリウムナフタレン、アントラ
センナトリウム、α−メチルスチレンテトラマ−ジナト
リウム、クミルカリウム、クミルセシウム等の有機アル
カリ金属化合物等が挙げられる。
【0013】リビングアニオン重合は、有機溶媒中で行
われることが好ましい。この場合に用いられる有機溶媒
は芳香族炭化水素、環状エーテル、脂肪族炭化水素等の
溶媒であり、これらの具体例としては、例えばベンゼ
ン、トルエン、テトラヒドロフラン、ジオキサン、テト
ラヒドロピラン、ジメトキシエタン、n−ヘキサン、シ
クロヘキサン等が挙げられる。
【0014】これらの有機溶媒は単独で使用しても混合
して使用しても良いが、特にテトラヒドロフランを使用
することが好ましい。重合に際するモノマーの濃度は1
〜40重量%が適切であり、反応は高真空下又はアルゴ
ン、窒素等の不活性ガス雰囲気下で攪拌して行うことが
好ましい。
【0015】反応温度は−78℃乃至使用した有機溶媒
の沸点温度までの範囲で任意に選択することができる
が、特にテトラヒドロフラン溶媒を使用した場合には−
78℃〜0℃、ベンゼン溶媒を使用した場合には室温で
反応させることが好ましい。上記の如き条件で約10分
〜5時間反応を行うことによりビニル基のみが選択的に
反応して重合して下記化3で表されるポリ(p─メトキ
シメトキシスチレン)を得ることができる。
【0016】
【化3】 所望の重合度に達した時点で、例えばメタノール、水、
メチルブロマイド等の重合反応停止剤を反応系に添加し
て該反応を停止させることにより、所望の分子量を有す
るポリ(p−メトキシメトキシスチレン)を得ることが
できる。
【0017】更に、得られた反応混合物を適当な溶剤、
例えばメタノールを用いて沈澱せしめ、洗浄・乾燥する
ことによりポリ(p−メトキシメトキシスチレン)を精
製・単離することができる。重合反応においては、モノ
マーが100%反応するので生成するポリ(p−メトキ
シメトキシスチレン)の収量は略100%である。従っ
て、モノマーの使用量と反応開始剤のモル数を調整する
ことにより、得られるポリ(p−メトキシメトキシスチ
レン)の分子量を適宜調整することができる。
【0018】このようにして得られたポリ(p−メトキ
シメトキシスチレン)の分子量分布は単分散性(Mw/
Mn=1.05〜1.50)である。本発明において
は、更に、得られたポリ(p─メトキシメトキシスチレ
ン)のメトキシメトキシ基を脱離することによって、下
記化4で表されるポリ(p─ヒドロキシスチレン)を製
造する。
【化4】
【0019】上記の脱離反応は、ポリ(p─メトキシメ
トキシスチレン)をジオキサン、アセトン、アセトニト
リル、ベンゼン等の溶媒又はこれらの混合溶媒に溶解し
た後、塩酸、臭化水素酸等の酸を滴下することによって
容易に行うことができる。上記反応においては、ポリ
(メトキシメトキシスチレン)の高分子の主鎖が切断さ
れたり、分子間に架橋反応が生じることがないので、得
られるポリ(p─ヒドロキシスチレン)は単分散性であ
る。
【0020】
【発明の効果】本発明の製造方法によると、ポリ(p─
ヒドロキシスチレン)の分子量を任意に制御することが
できると共に、高解像度のレジスト材料用のポリマーや
ポリマーブレンド剤等に好適な、単分散性のポリ(p─
ヒドロキシスチレン)を極めて容易に製造することがで
きる。
【0021】
【実施例】以下、本発明を実施例に従って更に詳述する
が、本発明はこれによって限定されるものではない。
【0022】実施例1.p─メトキシメトキシスチレン(モノマー)の合成 (1)p─メトキシメトキシブロモベンゼンの合成 p─ブロモフェノール259.2g(1.5モル)を溶
解したトルエン溶液1リットルに、加熱還流しながらナ
トリウムメチラート(CH3 ONa)93.18g
(1.725モル)を含んだトルエン懸濁液500ml
を1時間かけて滴下し、反応開始と共に生成するメタノ
ール(CH3 OH)をサイドカットして留去した。
【0023】上記還流・留去を2時間行わせ、メターノ
ールが留出しなくなったことを確認した後、氷冷して反
応系を0〜10℃とした。次に、クロロメチルメチルエ
ーテル120.8g(1.5モル)を滴下して2時間攪
拌を続けた後、冷却浴を外して反応系の温度を室温まで
昇温させた。得られた反応混合溶液を冷却した水酸化ナ
トリウム溶液で洗浄し、硫酸マグネシウム(MgS
4 )で水分を除去した後減圧濃縮して濃縮液を得た。
得られた濃縮液を更に減圧下で蒸留して、p─メトキシ
メトキシブロモベンゼン131.72gを得た。尚、得
られたp─メトキシメトキシブロモベンゼンの収率は4
0.5%であり、14トルの圧力下における沸点は12
2〜125℃であった。
【0024】(2)p─メトキシメトキシスチレンの合
成 ビニルブロマイド40ml(0.56モル)を、冷却し
たテトラヒドロフラン150mlに添加して溶解し、次
いでニッケルクロライド(NiCl2 )を添加した後反
応系を0〜10℃に冷却した。
【0025】得られた混合液に、既に合成したp─メト
キシメトキシブロモベンゼン69.3g(純度94%:
0.3モル)及びマグネシウム(Mg)10.0g
(0.411グラム原子)を用いて、テトラヒドロフラ
ン150ml中で調製したグリニヤール試薬を、15℃
以下の温度で2時間かけて滴下し、次いで0〜10℃の
温度で2時間攪拌した後、反応系を室温まで徐々に昇温
させた。
【0026】得られた反応混合液に少量のハイドロキノ
ンを添加した後、塩化アンモニウム(NH4 Cl)水溶
液、炭酸水素ナトリウム(NaHCO3 )水溶液及び塩
化ナトリウム(NaCl)水溶液を用いて順次洗浄し
た。次いで、硫酸マグネシウム(MgSO4 )を用いて
水分を除去した後、減圧濃縮して濃縮液を得た。
【0027】得られた濃縮液を更に減圧下で精留してp
─メトキシメトキシスチレン18.94gを得た。尚、
得られたp─メトキシメトキシブロモベンゼンの収率は
38.4%であり、14トルの圧力下における沸点は9
3〜94℃であった。また、実施例におけるポリ(p─
メトキシメトキシスチレン)の合成には、上記のように
して得たp─メトキシメトキシスチレン(モノマー)
を、更にCaH2 の存在下で蒸留した後、ベンゾフェノ
ンナトリウムを用いて精製し、水分等の不純物を除去し
たモノマーを使用した。
【0028】ポリ(p─メトキシメトキシスチレン)の
合成 2リットルのフラスコに、溶媒としてテトラヒドロフラ
ンを1,500ml、及び重合開始剤としてn−ブチル
リチウムを8.5×10-3モル仕込み、−78℃に冷却
した後、既に合成したp─メトキシメトキシスチレンモ
ノマー80g(100mlのテトラヒドロフランに溶解
して−78℃に冷却したもの)を添加し、リビング重合
反応を2時間行わせたところ溶液は赤色を呈した。
【0029】反応の停止は、反応溶液にメタノールを添
加してリビング重合反応を終了させることによって行っ
た。次に、得られた反応混合物をメタノール中に注いで
重合体を沈澱させ、分離・乾燥して白色の重合体80.
0gを得た。得られた重合体の1 H−NMR及びIRを
測定したところ、該重合体は、メトキシメトキシ基に活
性末端が反応せずに残っている、ポリ(p─メトキシメ
トキシスチレン)であり、またGPC溶出曲線(図1)
の結果から、単分散性(Mw/Mn=1.07)が極め
て高いものであることが確認された。
【0030】尚、膜浸透圧測定法によって測定した数平
均分子量は8,600g/モルであり、前記1 H−NM
Rの結果は下記の通りである。 1.2〜2.2ppm:(ブロード,3H,−C2
−) 3.5〜4.0ppm:(ブロード,3H,−OC
3 ) 5.0〜5.5ppm:(ブロード,2H,−OC2
O−) 6.0〜7.0ppm:(ブロード,4H,−C
6 4
【0031】ポリ(p─ヒドロキシスチレン)の合成 合成したポリ(p─メトキシメトキシスチレン)100
gをアセトン1,500mlに溶解し、少量の塩酸を6
0℃で添加し、8時間攪拌した後、該溶液を水中に注い
で重合体を沈澱させ、分離・乾燥してポリマー70gを
得た。得られたポリマーのGPC溶出曲線(図2)か
ら、該ポリマーの単分散性が極めて高いことが確認され
た。
【0032】得られたポリマーの1 H─NMRスペクト
ルにおいては、メトキシメトキシ基に由来するピークが
消失し、又IRスペクトルにおいては、ポリ(p─ヒド
ロキシスチレン)に相当する特性吸収バンドが現れた。
これらの結果から、得られたポリマーは、単分散性のポ
リ(p─ヒドロキシスチレン)であることが確認され
た。尚、得られたポリマーの膜浸透圧測定法による数平
均分子量は5,000g/モルであった。
【0033】実施例2.ポリ(p─メトキシメトキシスチレン)の合成 2リットルのフラスコに、溶媒としてテトラヒドロフラ
ンを1,000ml、及び重合開始剤としてナフタレン
カリウム5×10-4モルを仕込み、−78℃に冷却した
後、実施例1で合成したp─メトキシメトキシスチレン
モノマー40g(100mlのテトラヒドロフランに溶
解して−78℃に冷却したもの)を添加し、リビング重
合反応を1時間行わせた他は実施例1と全く同様にし
て、白色の重合体40gを得た。
【0034】得られた重合体の1 H−NMRを測定した
ところ、実施例1で得られた重合体と同様な特性吸収で
あることから、得られた重合体は、メトキシメトキシ基
に活性末端が反応せずに残っている、ポリ(p─メトキ
シメトキシスチレン)であり、またGPC溶出曲線(図
3)の結果から、単分散性が極めて高いもの(Mw/M
n=1.14)であることが確認された。尚、膜浸透圧
測定法によって測定した数平均分子量は70,000g
/モルであった。
【0035】ポリ(p─ヒドロキシスチレン)の合成 上記のように合成したポリ(p─メトキシメトキシスチ
レン)50gをアセトン800mlに溶解し、少量の塩
酸を60℃で添加して8時間攪拌した後、該溶液を水中
に注いで重合体を沈澱させ、分離・乾燥してポリマー3
4gを得た。得られたポリマーのGPC溶出曲線(図
4)から、該ポリマーの単分散性が極めて高いことが確
認された。
【0036】得られたポリマーの1 H─NMRスペクト
ルにおいては、メトキシメトキシ基に由来するピークが
消失し、又IRスペクトルにおいては、ポリ(p─ヒド
ロキシスチレン)に相当する特性吸収バンドが現れた。
これらの結果から、得られたポリマーは、単分散性のポ
リ(p─ヒドロキシスチレン)であることが確認され
た。尚、得られたポリマーの膜浸透圧測定法による数平
均分子量は5×104 g/モルであった。
【図面の簡単な説明】
【図1】実施例1で合成したポリ(p─メトキシメトキ
シスチレン)(数平均分子量8,600g/モル)のG
PC溶出曲線である。
【図2】実施例1で合成したポリ(p─ヒドロキシスチ
レン)(数平均分子量5,000g/モル)のGPC溶
出曲線である。
【図3】実施例2で合成したポリ(p─メトキシメトキ
シスチレン)(数平均分子量70,000g/モル)の
GPC溶出曲線である。
【図4】実施例2で合成したポリ(p─ヒドロキシスチ
レン)(数平均分子量50,000g/モル)のGPC
溶出曲線である。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 八木橋 不二夫 神奈川県川崎市高津区坂戸3丁目2番1号 信越化学工業株式会社コーポレートリサ ーチセンター内

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】下記化1で表されるp−メトキシメトキシ
    スチレンをリビングアニオン重合した後、メトキシメト
    キシ基を脱離させることを特徴とするポリ(p−ヒドロ
    キシスチレン)の製造方法。 【化1】
JP20966192A 1992-07-14 1992-07-14 ポリ(p−ヒドロキシスチレン)の製造方法 Pending JPH0632818A (ja)

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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US11292859B2 (en) 2016-10-28 2022-04-05 Fraunhofer-Gesellschaft Zurförderung Der Angewandten Forschung E.V. Method for producing a polymer by nitroxyl-controlled polymerisation, and polymer
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WO2024066848A1 (zh) * 2022-09-30 2024-04-04 上海八亿时空先进材料有限公司 一种高分子量且窄分布phs树脂及其制备方法与应用

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