JPH06318400A - 半導体メモリの試験回路 - Google Patents

半導体メモリの試験回路

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JPH06318400A
JPH06318400A JP5223679A JP22367993A JPH06318400A JP H06318400 A JPH06318400 A JP H06318400A JP 5223679 A JP5223679 A JP 5223679A JP 22367993 A JP22367993 A JP 22367993A JP H06318400 A JPH06318400 A JP H06318400A
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Lee-Lean Shu
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Kurt Knorpp
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Katsunori Senoo
克徳 妹尾
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    • G11C29/04Detection or location of defective memory elements, e.g. cell constructio details, timing of test signals
    • G11C29/08Functional testing, e.g. testing during refresh, power-on self testing [POST] or distributed testing
    • G11C29/12Built-in arrangements for testing, e.g. built-in self testing [BIST] or interconnection details
    • G11C29/38Response verification devices

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  • Static Random-Access Memory (AREA)
  • For Increasing The Reliability Of Semiconductor Memories (AREA)
  • Tests Of Electronic Circuits (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 センス増幅器を付加させることなくメモリア
レイの列(コラム)の全部を同時に試験することのでき
る試験回路を提供すること。 【構成】 1つのワードラインに沿ったすべての列を試
験する試験回路を設けるとともに、2個の電流検出差動
増幅器を設け、ワードラインに沿った多数のメモリセル
の内容を検出し、該増幅器の出力を比較することによっ
て可否を示す信号を発生させる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、スタティックランダム
アクセス半導体メモリ(SRAM)の試験を容易に行う
ための試験回路に関する。
【従来の技術】大規模半導体メモリの製造コストを縮小
するために、メモリを試験するのに要する試験時間を短
縮することが望ましい。外部回路のみを用いてメモリの
試験を行うのは大変時間がかかるので、チップの中にメ
モリの一部として内部回路を設け、メモリの機能を試験
することが提案されている。一般的にこれらの試験回路
は電圧モードにて動作し、メモリセルのアナログ電圧レ
ベルを試験パスのいずれかの段階にてCMOS論理レベ
ルに変換することが要求されている。この変換では、マ
トリクスの列(コラム)に直接接続された付加回路を用
いるか、又は試験される列の数をデータパス内のセンス
増幅器の数に対応させることが求められる。チップに余
分な構造が必要になると、メモリセルのマトリクスのた
めに使用できるスペースが減ってしまう。さらに、試験
される列の数が数個のセンス増幅器に限定される場合
は、センス増幅器の数が少ないために、試験にかなり多
くの時間がかかる。
【0002】
【発明が解決しようとする課題】そこで本発明の課題
は、センス増幅器を付加することなくメモリアレイの列
の全部を同時にできる試験回路を提供することである。
【0003】
【課題を解決するための手段】本発明によれば、1つの
ワードラインに沿ったすべての列を試験する試験回路を
設け、列読み出し回路を新たに付加することはない。こ
の技法では2個の電流検出差動増幅器を用いて、上記の
ワードラインに沿った多数のメモリセルの内容を検出
し、これらの増幅器の出力を比較することによって可否
を示す信号を発生させる。
【0004】
【作用】この試験回路では固定費が比較的小さくて済
み、メモリセルアレイが使用できるスペースは殆ど減ら
ない。更に、すべての列を同時に試験できるので試験を
迅速に行うことができる。
【0005】
【実施例】図1は、単一の半導体チップに設けられた本
発明による試験回路を、メモリセルアレイ24と共に示
すものである。メモリセルアレイ24は、従来の方法に
従ってコラムパスゲート23を介して相補的又は差動的
な1対の局部データラインLD及びLDBに接続されて
いる。2個の差動電流増幅器10及び12が設けられ、
それぞれの電圧出力は比較器14、すなわち排他的論理
和ゲートの個別の入力端に接続される。2個の電流源1
6及び18が設けられ、それぞれが各増幅器10、12
の反転入力端に接続されている。増幅器の非反転入力端
は、相補的な試験ラインTL及びTLBに接続されてい
る。各電流源16、18は、メモリセル電流icell の1
/2に等しい電流を発生する。
【0006】試験制御論理ユニット20を設け、試験動
作中に制御信号を供給する。論理ユニット20からの1
つの出力22は、コラムパスゲート23すべての入力端
に接続されており、すべてのコラムパスゲートがメモリ
セルアレイ24の試験区域を同時にイネーブル(付勢)
する。試験制御論理ユニット20からのもう1つの出力
26は、まとまって1つの並直列変換器を構成する複数
のスイッチ28に接続され、これらのスイッチは、数個
の局部データラインLD,LDBからの信号を並直列変
換して試験ラインTL,TLBに供給する。試験制御論
理ユニット20からメモリセルアレイが設けられている
チップの出力ピンに対して2系統の接続がなされてお
り、これらがTCバー(試験制御)及びCEバー(チッ
プイネーブル)によって識別される端子29及び30に
導かれる。この試験制御論理ユニットは、チップイネー
ブルラインCEバーがロー(低)のとき動作し、ローの
信号が端子TCバーに同時に発生する。
【0007】図2はメモリの一部をより詳しく示すと共
に、欠陥のあるメモリセルが1つもない場合の本発明回
路の動作を示す。試験中のメモリアレイのワードライン
に沿ったすべてのメモリセルには、例えば論理1のよう
な同一のデータが書き込まれる。試験制御信号が供給さ
れると、メモリセルの行全体が、コラムパスゲート及び
試験並直列変換器を介して試験ラインに接続される。そ
して、メモリセルの内容が試験増幅器によって読まれ
る。すべてのセルが論理1を正しく記憶しているとき
は、試験ラインTLには電流が流れず、単一のメモリセ
ルによって引き出された電流とアクセスされたメモリセ
ルの数との積に等しい電流が相補的試験ラインTLBに
流れる。試験ラインTLに電流が存在しないと、第1の
差動増幅器10の出力がローとなり、また相補的試験ラ
インTLBに電流が存在すると、第2の差動増幅器12
の出力がハイ(高)になる。比較器14は、試験増幅器
の論理値の2個の反対の論理状態を検出して、メモリセ
ルに適切なデータが記憶されていることを示す論理1の
値を出力する。このことは、ワードラインに沿ったメモ
リセル全体に対する試験結果が良好であったことを示
す。
【0008】図3は1つ以上のメモリセルに論理1が正
しく記憶されておらず、従って反対のデータ状態である
論理0に反転する場合を示す。この場合、試験ラインT
L及び相補的試験ラインTLBの両方に電流が流れ、こ
のため差動増幅器10と12の両方に電流が検出され、
これらの出力が論理1となって比較器14の出力が0と
なり、1つ以上のメモリセルにデータが正しく記憶され
ていないことが指示される。この技法は、書込まれたデ
ータと反対のデータがどれかのメモリセルに記憶されて
いると、電流が検出されるはずのない試験ラインの1つ
に電流が存在する結果となることに基づいている。この
技法によって、メモリセルの内容を検出するのにコラム
回路を付加する必要がなく、列のすべての試験を同時に
行うことができる。
【0009】なお、本発明の要旨を逸脱しないように本
発明の実施例に変形変更を加えることが可能であること
は、明らかである。
【0010】
【発明の効果】本発明によれば、1つのワードラインに
沿ったすべての列を試験する試験回路を設けるととも
に、2個の電流検出差動増幅器を設け、ワードラインに
沿った多数のメモリセルの内容を検出し、増幅器の出力
を比較することによって可否を示す信号を発生させてい
るので、コラム読み出し回路を特に付加する必要がな
く、メモリセルアレイ内でわずかの空間しか必要としな
い。従って、メモリセルアレイ列の単位大きさ当たりの
記憶容量を増加させることが可能である。更に、すべて
の列を同時に試験できるので試験を迅速に行うことがで
き、製造コストも軽減される。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に基づく試験回路を組み込んだメモリセ
ルアレイの概略を示す図である。
【図2】メモリにエラーがない場合の試験動作の概略を
示す図である。
【図3】メモリにエラーがある場合の試験動作の概略を
示す図である。
【符号の説明】
10、12 差動電流増幅器 14 比較器 16、18 電流源 20 試験制御論理ユニット 23 コラムパスゲート 24 メモリセルアレイ TL,TLB 試験ライン LD,LDB 局部データライン
フロントページの続き (72)発明者 カート ノープ アメリカ合衆国 95134 カリフォルニア 州 サン ノゼ パークウェイ,リバー オークス 6118,ソニー マイクロエレク トロニクス デザイン センター内 (72)発明者 妹尾 克徳 東京都品川区北品川6丁目7番35号 ソニ ー株式会社内

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 行と列にわたって配列され、行のワード
    ライン及び列のビットラインによって読み出しと書き込
    みのアクセスが可能なメモリセルのアレイと、上記メモ
    リセルアレイのビットラインを複数の局部データライン
    に接続するコラムパスゲートとから成る単一チップ半導
    体メモリに設けられた試験回路であって、 上記局部データラインを第1及び第2の相補的試験ライ
    ンに選択的に接続するための並直列変換手段と、上記メ
    モリセルの列を読み出しながら上記試験ライン上の信号
    を比較するための比較手段とを具え、該比較手段は、上
    記メモリセルを読み出しているときに上記試験ラインの
    両方に電流が流れているか否かに応じて可否を表す信号
    を発生することを特徴とする半導体メモリの試験回路。
  2. 【請求項2】 上記第1及び第2の試験ラインは相補的
    であり、上記比較手段は排他的論理和ゲートより成る請
    求項1の試験回路。
  3. 【請求項3】 上記並直列変換手段に接続され、複数の
    上記局部データラインを上記第1及び第2の試験ライン
    に選択的に接続するための試験制御論理回路を含んだ請
    求項1の試験回路。
  4. 【請求項4】 上記試験ラインと上記比較器との間に接
    続され、各々の第1入力端が上記第1及び第2の試験ラ
    インにそれぞれ接続される第1及び第2の差動電流増幅
    器と、該差動電流増幅器の各々の第2入力端にそれぞれ
    接続され、読み出しアクセスのときにメモリセルに流れ
    る公称電流の1/2に等しい電流を供給する1対の電流
    源とを含み、読み出しアクセスのとき1つ以上の接続さ
    れたメモリセルから電流が流れたときは、上記差動電流
    増幅器各出力が或る状態を取り、上記読み出しアクセス
    のとき接続されたメモリセルから電流が流れないとき
    は、上記出力が異なる状態を取る請求項1の試験回路。
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