JPH06300605A - 感熱式マイクロブリッジ型流速計及びフルイディック流量計 - Google Patents
感熱式マイクロブリッジ型流速計及びフルイディック流量計Info
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- JPH06300605A JPH06300605A JP8970293A JP8970293A JPH06300605A JP H06300605 A JPH06300605 A JP H06300605A JP 8970293 A JP8970293 A JP 8970293A JP 8970293 A JP8970293 A JP 8970293A JP H06300605 A JPH06300605 A JP H06300605A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 低流量域及び微少流量域を含む全流量域にお
いて正確な流速計測が行える感熱式マイクロブリッジ型
流速計及びフルイディック流量計を提供する。 【構成】 主梁３上に発熱抵抗体５及び主測温抵抗体６
を形成し、この主梁３の下流側の副梁４上に副測温抵抗
体７を形成し、主梁３の上流の基板１上に流体Ａの温度
を計測する流体測温抵抗体８を形成し、発熱抵抗体５と
流体測温抵抗体８との温度差を一定にするために主測温
抵抗体６と副測温抵抗体７と流体測温抵抗体８とが接続
された第１電気ブリッジ回路を設け、流体Ａの微少流速
を検出するために副測温抵抗体７と流体測温抵抗体８と
が接続された第２電気ブリッジ回路を設け、第１及び第
２電気ブリッジ回路の出力を記憶保持し演算処理する記
憶保持演算処理手段を設けて感熱式マイクロブリッジ型
流速計を構成し、また、この感熱式マイクロブリッジ型
流速計を備えたフルイディック流量計を設けた。
いて正確な流速計測が行える感熱式マイクロブリッジ型
流速計及びフルイディック流量計を提供する。 【構成】 主梁３上に発熱抵抗体５及び主測温抵抗体６
を形成し、この主梁３の下流側の副梁４上に副測温抵抗
体７を形成し、主梁３の上流の基板１上に流体Ａの温度
を計測する流体測温抵抗体８を形成し、発熱抵抗体５と
流体測温抵抗体８との温度差を一定にするために主測温
抵抗体６と副測温抵抗体７と流体測温抵抗体８とが接続
された第１電気ブリッジ回路を設け、流体Ａの微少流速
を検出するために副測温抵抗体７と流体測温抵抗体８と
が接続された第２電気ブリッジ回路を設け、第１及び第
２電気ブリッジ回路の出力を記憶保持し演算処理する記
憶保持演算処理手段を設けて感熱式マイクロブリッジ型
流速計を構成し、また、この感熱式マイクロブリッジ型
流速計を備えたフルイディック流量計を設けた。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、気体の流速を測定する
感熱式マイクロブリッジ型流速計及びフルイディック流
量計に関する。
感熱式マイクロブリッジ型流速計及びフルイディック流
量計に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来における流速計としては、特開昭６
０−１４２２６８号公報に「流速センサ」なる名称で、
特開昭６１−２３５７２６号公報に「マスフローメータ
及び流量制御装置」なる名称で開示されているものがあ
り、また、フルイディック流量計としては、特開昭５９
−６８６２４号公報に「フルイデイク流量計における噴
出流体の切り替え方法及びその装置」なる名称で開示さ
れているものがある。このような従来の流量計における
代表的な構成例としては、基板上に異方性エッチングに
より堀を形成し、この堀の上空に梁を渡し、この梁上に
電気抵抗体からなる発熱体とこの発熱体を感熱する感熱
部を形成してなるものであり、これにより感熱部の熱容
量を低減せしめ、基板と梁への熱損を小さくし、発熱や
測温に要する投入電力の低減を図っている。このような
従来の構成においては、２本の梁を用いて流速を計測す
る第一の構成例と、１本の梁を用いて流速を計測する第
二の構成例とに分けられる。前者の第一の構成例では、
流体と梁の温度差を一定にし、２本の梁を跨いで配線さ
れた発熱体を同一電力で熱して、流体への放熱の不均衡
差から生じる梁の上流側と下流側との温度差を検出する
ことによって流速の計測を行っている。このような計測
方法では、流れがない場合には温度差がないため、流量
ゼロの点では出力がゼロになる。一方、後者の第二の構
成例では、１本の梁のみを熱し梁と流体との温度差を一
定にするために投入された発熱体の投入電力を出力とし
て検出することによって流速の計測を行っている。
０−１４２２６８号公報に「流速センサ」なる名称で、
特開昭６１−２３５７２６号公報に「マスフローメータ
及び流量制御装置」なる名称で開示されているものがあ
り、また、フルイディック流量計としては、特開昭５９
−６８６２４号公報に「フルイデイク流量計における噴
出流体の切り替え方法及びその装置」なる名称で開示さ
れているものがある。このような従来の流量計における
代表的な構成例としては、基板上に異方性エッチングに
より堀を形成し、この堀の上空に梁を渡し、この梁上に
電気抵抗体からなる発熱体とこの発熱体を感熱する感熱
部を形成してなるものであり、これにより感熱部の熱容
量を低減せしめ、基板と梁への熱損を小さくし、発熱や
測温に要する投入電力の低減を図っている。このような
従来の構成においては、２本の梁を用いて流速を計測す
る第一の構成例と、１本の梁を用いて流速を計測する第
二の構成例とに分けられる。前者の第一の構成例では、
流体と梁の温度差を一定にし、２本の梁を跨いで配線さ
れた発熱体を同一電力で熱して、流体への放熱の不均衡
差から生じる梁の上流側と下流側との温度差を検出する
ことによって流速の計測を行っている。このような計測
方法では、流れがない場合には温度差がないため、流量
ゼロの点では出力がゼロになる。一方、後者の第二の構
成例では、１本の梁のみを熱し梁と流体との温度差を一
定にするために投入された発熱体の投入電力を出力とし
て検出することによって流速の計測を行っている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】第一の構成例の場合、
発熱体の２本の梁上における配線方法としては、発熱体
はそれらの２本の梁を隔てる切れ目を介して２本の梁に
跨り、上流縁と下流縁とが互いに離れるように配線され
ている。このため、無風時には発熱体の温度に比べて上
流側と下流側との測温体温度は一段と低くなり、風があ
る時には発熱体の温度に比べて上流側の測温体の温度は
一段と低く、下流側の測温体の温度は一段と高くなり、
これにより、このような流れ方向では梁の断面の温度格
差が著しく、実効的な放熱領域は非常に小さくなってし
まう。
発熱体の２本の梁上における配線方法としては、発熱体
はそれらの２本の梁を隔てる切れ目を介して２本の梁に
跨り、上流縁と下流縁とが互いに離れるように配線され
ている。このため、無風時には発熱体の温度に比べて上
流側と下流側との測温体温度は一段と低くなり、風があ
る時には発熱体の温度に比べて上流側の測温体の温度は
一段と低く、下流側の測温体の温度は一段と高くなり、
これにより、このような流れ方向では梁の断面の温度格
差が著しく、実効的な放熱領域は非常に小さくなってし
まう。
【０００４】第二の構成例の場合、発熱体を用いて１本
の梁の全体を熱するため、放熱領域が大きくなる。この
放熱効率は流速感度に大きく係わる特性であり、梁温度
が一様に高く、特に上流側における温度が高いことが好
ましい条件である。このようなことから、同一放熱面積
をもつ第一及び第二の構成を比べると、単位投入電力当
たりの放熱効率は第二の構成の方がよく、第一の構成は
第二の構成よりも流速検出感度が一桁程度悪い。また、
第二の構成では、自然対流変化等で流量がゼロ近傍の場
合、出力にある幅をもった変動が生じ、微少流量の計測
が不正確になってしまうという欠点がある。
の梁の全体を熱するため、放熱領域が大きくなる。この
放熱効率は流速感度に大きく係わる特性であり、梁温度
が一様に高く、特に上流側における温度が高いことが好
ましい条件である。このようなことから、同一放熱面積
をもつ第一及び第二の構成を比べると、単位投入電力当
たりの放熱効率は第二の構成の方がよく、第一の構成は
第二の構成よりも流速検出感度が一桁程度悪い。また、
第二の構成では、自然対流変化等で流量がゼロ近傍の場
合、出力にある幅をもった変動が生じ、微少流量の計測
が不正確になってしまうという欠点がある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】請求項１記載の発明で
は、基板を異方性エッチングすることにより形成された
堀と、この堀の上空を跨ぐように形成された主梁と、こ
の主梁上に形成された発熱抵抗体と、この発熱抵抗体の
温度を計測する前記主梁上に形成された主測温抵抗体
と、前記主梁の下流側に形成された副梁と、この副梁上
に形成された副測温抵抗体と、前記主梁の上流の基板上
に形成された流体の温度を計測する流体測温抵抗体と、
前記発熱抵抗体と前記流体測温抵抗体との温度差を一定
にするために前記主測温抵抗体と前記副測温抵抗体と前
記流体測温抵抗体とが接続された第１電気ブリッジ回路
と、流体の微少流速を検出するために前記副測温抵抗体
と前記流体測温抵抗体とが接続された第２電気ブリッジ
回路と、前記第１及び第２電気ブリッジ回路の出力を記
憶保持し演算処理する記憶保持演算処理手段とより感熱
式マイクロブリッジ型流速計を構成した。
は、基板を異方性エッチングすることにより形成された
堀と、この堀の上空を跨ぐように形成された主梁と、こ
の主梁上に形成された発熱抵抗体と、この発熱抵抗体の
温度を計測する前記主梁上に形成された主測温抵抗体
と、前記主梁の下流側に形成された副梁と、この副梁上
に形成された副測温抵抗体と、前記主梁の上流の基板上
に形成された流体の温度を計測する流体測温抵抗体と、
前記発熱抵抗体と前記流体測温抵抗体との温度差を一定
にするために前記主測温抵抗体と前記副測温抵抗体と前
記流体測温抵抗体とが接続された第１電気ブリッジ回路
と、流体の微少流速を検出するために前記副測温抵抗体
と前記流体測温抵抗体とが接続された第２電気ブリッジ
回路と、前記第１及び第２電気ブリッジ回路の出力を記
憶保持し演算処理する記憶保持演算処理手段とより感熱
式マイクロブリッジ型流速計を構成した。
【０００６】請求項２記載の発明では、請求項１記載の
発明において、主梁の下流に位置する副梁を複数本設
け、これら各々の副梁上に副測温抵抗体を形成し、これ
ら副測温抵抗体を基板上の一対の電極に接続して第２電
気ブリッジ回路に組込んだ。
発明において、主梁の下流に位置する副梁を複数本設
け、これら各々の副梁上に副測温抵抗体を形成し、これ
ら副測温抵抗体を基板上の一対の電極に接続して第２電
気ブリッジ回路に組込んだ。
【０００７】請求項３記載の発明では、請求項１記載の
発明において、主梁の下流に位置する副梁をＮ本設け、
これら各々の副梁上に副測温抵抗体を形成し、これら副
測温抵抗体を基板上のＮ対の電極にそれぞれ別個に接続
してＮ個の第２電気ブリッジ回路に別個に組込んだ。
発明において、主梁の下流に位置する副梁をＮ本設け、
これら各々の副梁上に副測温抵抗体を形成し、これら副
測温抵抗体を基板上のＮ対の電極にそれぞれ別個に接続
してＮ個の第２電気ブリッジ回路に別個に組込んだ。
【０００８】請求項４記載の発明では、基板を異方性エ
ッチングすることにより形成された堀と、この堀の上空
を跨ぐように形成された主梁と、この主梁上に形成され
た発熱抵抗体と、この発熱抵抗体の温度を計測する前記
主梁上に形成された主測温抵抗体と、前記主梁の下流側
に形成された副梁と、この副梁上に形成された副測温抵
抗体と、前記主梁の上流の基板上に形成された流体の温
度を計測する流体測温抵抗体と、前記発熱抵抗体と前記
流体測温抵抗体との温度差を一定にするために前記主測
温抵抗体と前記副測温抵抗体と前記流体測温抵抗体とが
接続された第１電気ブリッジ回路と、流体の微少流速を
検出するために前記副測温抵抗体と前記流体測温抵抗体
とが接続された第２電気ブリッジ回路と、前記第１及び
第２電気ブリッジ回路の出力を記憶保持し演算処理する
記憶保持演算処理手段とを備えた感熱式マイクロブリッ
ジ型流速計を、ノズルの中央部若しくはノズルの内壁下
部若しくはノズルの天井部に配設した。
ッチングすることにより形成された堀と、この堀の上空
を跨ぐように形成された主梁と、この主梁上に形成され
た発熱抵抗体と、この発熱抵抗体の温度を計測する前記
主梁上に形成された主測温抵抗体と、前記主梁の下流側
に形成された副梁と、この副梁上に形成された副測温抵
抗体と、前記主梁の上流の基板上に形成された流体の温
度を計測する流体測温抵抗体と、前記発熱抵抗体と前記
流体測温抵抗体との温度差を一定にするために前記主測
温抵抗体と前記副測温抵抗体と前記流体測温抵抗体とが
接続された第１電気ブリッジ回路と、流体の微少流速を
検出するために前記副測温抵抗体と前記流体測温抵抗体
とが接続された第２電気ブリッジ回路と、前記第１及び
第２電気ブリッジ回路の出力を記憶保持し演算処理する
記憶保持演算処理手段とを備えた感熱式マイクロブリッ
ジ型流速計を、ノズルの中央部若しくはノズルの内壁下
部若しくはノズルの天井部に配設した。
【０００９】請求項５記載の発明では、請求項４記載の
発明において、感熱式マイクロブリッジ型流速計は、主
梁の下流に副梁を複数本設け、これら各々の副梁上に副
測温抵抗体を形成し、これら副測温抵抗体を基板上の一
対の電極に接続して第２電気ブリッジ回路に組込んだ。
発明において、感熱式マイクロブリッジ型流速計は、主
梁の下流に副梁を複数本設け、これら各々の副梁上に副
測温抵抗体を形成し、これら副測温抵抗体を基板上の一
対の電極に接続して第２電気ブリッジ回路に組込んだ。
【００１０】請求項６記載の発明では、請求項４記載の
発明において、感熱式マイクロブリッジ型流速計は、主
梁の下流に副梁をＮ本設け、これら各々の副梁上に副測
温抵抗体を形成し、これら副測温抵抗体を基板上のＮ対
の電極にそれぞれ別個に接続してＮ個の第２電気ブリッ
ジ回路に別個に組込んだ。
発明において、感熱式マイクロブリッジ型流速計は、主
梁の下流に副梁をＮ本設け、これら各々の副梁上に副測
温抵抗体を形成し、これら副測温抵抗体を基板上のＮ対
の電極にそれぞれ別個に接続してＮ個の第２電気ブリッ
ジ回路に別個に組込んだ。
【００１１】
【作用】請求項１記載の発明においては、第２電気ブリ
ッジ回路を用いて計測することにより、発熱抵抗体の電
圧降下による出力では従来不正確であった微少流量域の
流速検出が可能となる。
ッジ回路を用いて計測することにより、発熱抵抗体の電
圧降下による出力では従来不正確であった微少流量域の
流速検出が可能となる。
【００１２】請求項２記載の発明においては、複数本の
副梁上に設けられた副測温抵抗体を同一の一対の電極に
接続して流体の微少流速を検出することにより、流速の
範囲や多種類の流体等の各種の使用状況に対応でき、全
流量域において正確な流速計測が可能となる。
副梁上に設けられた副測温抵抗体を同一の一対の電極に
接続して流体の微少流速を検出することにより、流速の
範囲や多種類の流体等の各種の使用状況に対応でき、全
流量域において正確な流速計測が可能となる。
【００１３】請求項３記載の発明においては、複数本の
副梁上に設けられた副測温抵抗体を各々別個の電極に接
続して流体の微少流速を検出することにより、微少流量
域における流速検出精度を向上させることが可能とな
る。
副梁上に設けられた副測温抵抗体を各々別個の電極に接
続して流体の微少流速を検出することにより、微少流量
域における流速検出精度を向上させることが可能とな
る。
【００１４】請求項４記載の発明においては、フルイデ
ィック流量計のノズル中に放熱効率を向上させた感熱式
マイクロブリッジ型流速計を設けたことにより、低流量
域の計測を低電力で正確に行うことが可能となる。
ィック流量計のノズル中に放熱効率を向上させた感熱式
マイクロブリッジ型流速計を設けたことにより、低流量
域の計測を低電力で正確に行うことが可能となる。
【００１５】請求項５記載の発明においては、全流量域
において正確な流速計測が可能となる。
において正確な流速計測が可能となる。
【００１６】請求項６記載の発明においては、微少流量
域における流速検出精度を向上させることが可能とな
る。
域における流速検出精度を向上させることが可能とな
る。
【００１７】
【実施例】請求項１記載の発明の一実施例を図１に基づ
いて説明する。基板１はＳｉからなっており、この基板
１面上に酸化処理法、スパッター真空成膜法を用いて熱
絶縁層である図示しないＳｉＯ2 膜を形成する。この熱
絶縁層としては、Ｓｉ3Ｎ4や、金属酸化物であるＴａ2
Ｏ5、Ａｌ2Ｏ3、さらには、ＳｉＯ2 膜とＳｉ3Ｎ4膜と
を組み合わせた多層膜でもよい。この場合の膜厚として
は、０．５〜２μｍとする。次に、このような基板１の
表面をＫＯＨによる異方性エッチングを行うことによ
り、堀２を形成する。この堀２の深さとしては、測定す
る最少流速でできる熱境界層以上にする必要があり、こ
こでは毎時３リットルの流量に対応すべく（フルイディ
ック流量計を考慮したもの）、１５０μｍ以上とした。
また、そのような異方性エッチングを行うことにより堀
２の上空を跨ぐように、主梁３と、この主梁３の下流側
に副梁４を形成する。これら主梁３と副梁４との面上に
は、この上部に形成される膜との密着性を向上させるた
めに、密着強度補強層としてのＴａ2Ｏ5膜を形成する。
なお、この密着強度補強層としては、Ｔｉ、Ｃｒ、Ｔ
ａ、ＮｉＣｒ、ＴｉＮを用いてもよい。次に、その主梁
３上に発熱抵抗体（Ｒｈ）５と、この発熱抵抗体５の温
度を計測する主測温抵抗体（Ｒｓ）６とを設ける。これ
ら発熱抵抗体５と主測温抵抗体６の材料としては、比抵
抗の高い金属であるＰｔを用いるが、この他にＮｉ、
Ｗ、Ｔａを用いてもよい。なお、これらの材料に限定さ
れるものではなく、比抵抗特性に温度依存性をもつもの
であればよい。また、下流の副梁４上に副測温抵抗体
（Ｒｄ）７を設ける。この副測温抵抗体７の材料も、Ｐ
ｔ等の抵抗温度係数の高いものを用いる。さらに、主梁
３と堀２の上流側に位置する基板１上に、流体Ａの温度
を計測する流体測温抵抗体（Ｒｆ）８を設ける。この流
体測温抵抗体８は、発熱抵抗体５から熱的に隔離された
基板１面上に設置されており、抵抗温度係数の高いＰｔ
等を用いる。このＰｔ層は臨界電流密度を十分に下回る
ようにする条件と、抵抗値設定の条件とから、５００〜
５０００Åがよい。次に、このようにして形成された発
熱抵抗体５と主測温抵抗体６と副測温抵抗体７と体測温
抵抗体８とを含む全面に渡ってその上部にＴａ2Ｏ5層を
介して保護層（ともに図示しない）とを積層する。な
お、Ｔａ2Ｏ5層が保護層を兼ねてもよい。
いて説明する。基板１はＳｉからなっており、この基板
１面上に酸化処理法、スパッター真空成膜法を用いて熱
絶縁層である図示しないＳｉＯ2 膜を形成する。この熱
絶縁層としては、Ｓｉ3Ｎ4や、金属酸化物であるＴａ2
Ｏ5、Ａｌ2Ｏ3、さらには、ＳｉＯ2 膜とＳｉ3Ｎ4膜と
を組み合わせた多層膜でもよい。この場合の膜厚として
は、０．５〜２μｍとする。次に、このような基板１の
表面をＫＯＨによる異方性エッチングを行うことによ
り、堀２を形成する。この堀２の深さとしては、測定す
る最少流速でできる熱境界層以上にする必要があり、こ
こでは毎時３リットルの流量に対応すべく（フルイディ
ック流量計を考慮したもの）、１５０μｍ以上とした。
また、そのような異方性エッチングを行うことにより堀
２の上空を跨ぐように、主梁３と、この主梁３の下流側
に副梁４を形成する。これら主梁３と副梁４との面上に
は、この上部に形成される膜との密着性を向上させるた
めに、密着強度補強層としてのＴａ2Ｏ5膜を形成する。
なお、この密着強度補強層としては、Ｔｉ、Ｃｒ、Ｔ
ａ、ＮｉＣｒ、ＴｉＮを用いてもよい。次に、その主梁
３上に発熱抵抗体（Ｒｈ）５と、この発熱抵抗体５の温
度を計測する主測温抵抗体（Ｒｓ）６とを設ける。これ
ら発熱抵抗体５と主測温抵抗体６の材料としては、比抵
抗の高い金属であるＰｔを用いるが、この他にＮｉ、
Ｗ、Ｔａを用いてもよい。なお、これらの材料に限定さ
れるものではなく、比抵抗特性に温度依存性をもつもの
であればよい。また、下流の副梁４上に副測温抵抗体
（Ｒｄ）７を設ける。この副測温抵抗体７の材料も、Ｐ
ｔ等の抵抗温度係数の高いものを用いる。さらに、主梁
３と堀２の上流側に位置する基板１上に、流体Ａの温度
を計測する流体測温抵抗体（Ｒｆ）８を設ける。この流
体測温抵抗体８は、発熱抵抗体５から熱的に隔離された
基板１面上に設置されており、抵抗温度係数の高いＰｔ
等を用いる。このＰｔ層は臨界電流密度を十分に下回る
ようにする条件と、抵抗値設定の条件とから、５００〜
５０００Åがよい。次に、このようにして形成された発
熱抵抗体５と主測温抵抗体６と副測温抵抗体７と体測温
抵抗体８とを含む全面に渡ってその上部にＴａ2Ｏ5層を
介して保護層（ともに図示しない）とを積層する。な
お、Ｔａ2Ｏ5層が保護層を兼ねてもよい。
【００１８】なお、上述したような構成において、密着
強度補強層であるＴａ2Ｏ5層は薄いほどよいが、ＳｉＯ
2 （Ｓｉ3Ｎ4でもよい）からなる保護層を形成する場合
は、Ｐｔとの整合性を確保するために１００〜７００Å
程度がよい。また、保護層は、測温抵抗体感度の向上の
ためには熱容量を減少させるという目的と、量産性を向
上させるという目的から薄い方がよいが、保護膜として
は厚い方が好ましく、このため８００〜５０００Åの範
囲に膜厚を抑えるようにするとよい。さらに、密着強度
補強層と各抵抗体層とは、蒸着法、ＥＢ蒸着法、スパッ
ター法等の真空成膜法により形成することができる。ま
た、形状切り出しは、リフトオフ法、Ａｒスパッターエ
ッチング法等により行うことができる。
強度補強層であるＴａ2Ｏ5層は薄いほどよいが、ＳｉＯ
2 （Ｓｉ3Ｎ4でもよい）からなる保護層を形成する場合
は、Ｐｔとの整合性を確保するために１００〜７００Å
程度がよい。また、保護層は、測温抵抗体感度の向上の
ためには熱容量を減少させるという目的と、量産性を向
上させるという目的から薄い方がよいが、保護膜として
は厚い方が好ましく、このため８００〜５０００Åの範
囲に膜厚を抑えるようにするとよい。さらに、密着強度
補強層と各抵抗体層とは、蒸着法、ＥＢ蒸着法、スパッ
ター法等の真空成膜法により形成することができる。ま
た、形状切り出しは、リフトオフ法、Ａｒスパッターエ
ッチング法等により行うことができる。
【００１９】また、上述したような基板構造とされた本
感熱式マイクロブリッジ型流速計は、以下のような測定
回路を備えている。すなわち、発熱抵抗体５と流体測温
抵抗体８との温度差を一定にするために主測温抵抗体６
と副測温抵抗体７と流体測温抵抗体８とバランス調整用
抵抗体とが接続された第１電気ブリッジ回路と、流体Ａ
の微少流速を検出するために副測温抵抗体７と流体測温
抵抗体８とバランス調整用抵抗体とが接続された第２電
気ブリッジ回路と、これら第１及び第２電気ブリッジ回
路の出力を記憶保持すると共に演算処理する記憶保持演
算処理手段とを備えている（いずれも図示しない）。
感熱式マイクロブリッジ型流速計は、以下のような測定
回路を備えている。すなわち、発熱抵抗体５と流体測温
抵抗体８との温度差を一定にするために主測温抵抗体６
と副測温抵抗体７と流体測温抵抗体８とバランス調整用
抵抗体とが接続された第１電気ブリッジ回路と、流体Ａ
の微少流速を検出するために副測温抵抗体７と流体測温
抵抗体８とバランス調整用抵抗体とが接続された第２電
気ブリッジ回路と、これら第１及び第２電気ブリッジ回
路の出力を記憶保持すると共に演算処理する記憶保持演
算処理手段とを備えている（いずれも図示しない）。
【００２０】このような構成において、第１電気ブリッ
ジ回路と、第２電気ブリッジ回路と、記憶保持演算処理
手段とを用いて本流量計の動作について述べる。第１電
気ブリッジ回路を用いて、発熱抵抗体５を流体Ａに対し
一定の温度差を保つように、その発熱抵抗体５の投入電
力を可変し、その電圧降下値をもとにして中流量域の速
度と高流量域の速度を判定することができる。また、第
２電気ブリッジ回路を用いて、副測温抵抗体７と流体測
温抵抗体８との温度差を検出し、この出力から微少流量
域の速度の判定を行うことができる。この場合、第１及
び第２電気ブリッジ回路からの出力は、記憶保持演算処
理手段によりデジタルメモリにメモリ保持され、演算回
路を用いて演算処理がなされる。
ジ回路と、第２電気ブリッジ回路と、記憶保持演算処理
手段とを用いて本流量計の動作について述べる。第１電
気ブリッジ回路を用いて、発熱抵抗体５を流体Ａに対し
一定の温度差を保つように、その発熱抵抗体５の投入電
力を可変し、その電圧降下値をもとにして中流量域の速
度と高流量域の速度を判定することができる。また、第
２電気ブリッジ回路を用いて、副測温抵抗体７と流体測
温抵抗体８との温度差を検出し、この出力から微少流量
域の速度の判定を行うことができる。この場合、第１及
び第２電気ブリッジ回路からの出力は、記憶保持演算処
理手段によりデジタルメモリにメモリ保持され、演算回
路を用いて演算処理がなされる。
【００２１】また、流体Ａに対する直角方向の長さが平
行方向の長さに比べて大きく、しかも、大きな面積をも
つ発熱抵抗体５と主測温抵抗体６とを主梁３上に設けて
いるため、高い単位投入電力当たりの放熱効率を保つこ
とができる。さらに、その発熱部の下流に距離を隔てて
熱容量を抑えるべく副梁４を細く形成し、この副梁４上
に副測温抵抗体７を設けたことにより、その上流の発熱
部の主梁３から微少流量域の流れにより輸送される熱を
その副測温抵抗体７の抵抗値の変化から検知でき、しか
も、この副梁４上には発熱部がないため流れがない場合
はその抵抗値が変化するようなことがない。
行方向の長さに比べて大きく、しかも、大きな面積をも
つ発熱抵抗体５と主測温抵抗体６とを主梁３上に設けて
いるため、高い単位投入電力当たりの放熱効率を保つこ
とができる。さらに、その発熱部の下流に距離を隔てて
熱容量を抑えるべく副梁４を細く形成し、この副梁４上
に副測温抵抗体７を設けたことにより、その上流の発熱
部の主梁３から微少流量域の流れにより輸送される熱を
その副測温抵抗体７の抵抗値の変化から検知でき、しか
も、この副梁４上には発熱部がないため流れがない場合
はその抵抗値が変化するようなことがない。
【００２２】従って、主出力となる発熱抵抗体５の電圧
降下出力では不正確である微少流量域の流速検出を第２
電気ブリッジ回路を用いて行うことができ、これによ
り、高い単位投入電力当たりの放熱効率を保ちつつ、全
流量域において正確な流速の計測を行うことができる。
降下出力では不正確である微少流量域の流速検出を第２
電気ブリッジ回路を用いて行うことができ、これによ
り、高い単位投入電力当たりの放熱効率を保ちつつ、全
流量域において正確な流速の計測を行うことができる。
【００２３】次に、請求項２記載の発明の一実施例を図
２に基づいて説明する。なお、請求項１記載の発明（図
１参照）と同一部分についての説明は省略し、その同一
部分については同一符号を用いる。
２に基づいて説明する。なお、請求項１記載の発明（図
１参照）と同一部分についての説明は省略し、その同一
部分については同一符号を用いる。
【００２４】ここでは、図２に示すように、主梁３の下
流に位置する副梁４を予備的に複数本（図中、５本）設
け、これら各々の副梁４上に副測温抵抗体（Ｒｄ）７を
形成し、それら各々の副測温抵抗体７を基板１上に設け
られた一対の電極９間に接続することにより、第２電気
ブリッジ回路（図示せず）に組込んだことに特徴があ
る。この場合、予備的に設けられた複数本の副測温抵抗
体７を一対の電極９間に接続する際、それら複数本の副
測温抵抗体７のうちの有効なＮ番目の副測温抵抗体７の
みを生かすように、レーザトリミング法等を用いて他の
副測温抵抗体７を予め切っておくようにする。
流に位置する副梁４を予備的に複数本（図中、５本）設
け、これら各々の副梁４上に副測温抵抗体（Ｒｄ）７を
形成し、それら各々の副測温抵抗体７を基板１上に設け
られた一対の電極９間に接続することにより、第２電気
ブリッジ回路（図示せず）に組込んだことに特徴があ
る。この場合、予備的に設けられた複数本の副測温抵抗
体７を一対の電極９間に接続する際、それら複数本の副
測温抵抗体７のうちの有効なＮ番目の副測温抵抗体７の
みを生かすように、レーザトリミング法等を用いて他の
副測温抵抗体７を予め切っておくようにする。
【００２５】このように複数本の予備的な副梁４を発熱
抵抗体５の下流に距離を隔てて熱容量を抑えるべく細く
形成し、それら副梁４上に副測温抵抗体７を設けたこと
により、流速の範囲、流体Ａの種類、室温に応じて、上
流の発熱抵抗体５からの流れにより輸送されてくる熱を
Ｎ番目の副測温抵抗体７の抵抗値の変化から検知するこ
とができる。しかも、副梁４には発熱部がないため、流
れがない場合は、それら副測温抵抗体７の抵抗値が変化
することはない。
抵抗体５の下流に距離を隔てて熱容量を抑えるべく細く
形成し、それら副梁４上に副測温抵抗体７を設けたこと
により、流速の範囲、流体Ａの種類、室温に応じて、上
流の発熱抵抗体５からの流れにより輸送されてくる熱を
Ｎ番目の副測温抵抗体７の抵抗値の変化から検知するこ
とができる。しかも、副梁４には発熱部がないため、流
れがない場合は、それら副測温抵抗体７の抵抗値が変化
することはない。
【００２６】従って、このように副測温抵抗体７の形成
された副梁４を予備的に複数本設けることにより、流速
の範囲や多種類の流体などの各種の使用状況に対応する
ことができ、しかも、全流量域において正確な流速計測
を行うことができ、これにより、計測精度の高い流量計
を生産性良く提供することができる。
された副梁４を予備的に複数本設けることにより、流速
の範囲や多種類の流体などの各種の使用状況に対応する
ことができ、しかも、全流量域において正確な流速計測
を行うことができ、これにより、計測精度の高い流量計
を生産性良く提供することができる。
【００２７】次に、請求項３記載の発明の一実施例を図
３に基づいて説明する。なお、請求項１，２記載の発明
（図１，２参照）と同一部分についての説明は省略し、
その同一部分については同一符号を用いる。
３に基づいて説明する。なお、請求項１，２記載の発明
（図１，２参照）と同一部分についての説明は省略し、
その同一部分については同一符号を用いる。
【００２８】図３において、主梁３の下流に位置する副
梁４をＮ本（図中、５本）設け、これら各々の副梁４上
に副測温抵抗体７を形成するまでは、前述した請求項２
記載の発明と同様である。しかし、ここでは、それらＮ
本の副測温抵抗体７を基板１上に設けられたＮ対の電極
９にそれぞれ別個に接続することにより、Ｎ個の第２電
気ブリッジ回路（図示せず）に別個に組込んだことに特
徴がある。
梁４をＮ本（図中、５本）設け、これら各々の副梁４上
に副測温抵抗体７を形成するまでは、前述した請求項２
記載の発明と同様である。しかし、ここでは、それらＮ
本の副測温抵抗体７を基板１上に設けられたＮ対の電極
９にそれぞれ別個に接続することにより、Ｎ個の第２電
気ブリッジ回路（図示せず）に別個に組込んだことに特
徴がある。
【００２９】このようにＮ本の副測温抵抗体７をＮ対の
電極９にそれぞれ別個に接続し、Ｎ個の第２電気ブリッ
ジ回路に別個に組込むことにより、微少な流速域でもそ
の流速に応じて上流の発熱部からの流れにより輸送され
てくる熱を複数の抵抗値変化として検知することができ
る。これにより、複数の出力信号の処理から正確な微少
流速を計測することができるため、微少流量域における
流速検出精度を向上させることができる。
電極９にそれぞれ別個に接続し、Ｎ個の第２電気ブリッ
ジ回路に別個に組込むことにより、微少な流速域でもそ
の流速に応じて上流の発熱部からの流れにより輸送され
てくる熱を複数の抵抗値変化として検知することができ
る。これにより、複数の出力信号の処理から正確な微少
流速を計測することができるため、微少流量域における
流速検出精度を向上させることができる。
【００３０】次に、請求項４，５，６記載の発明の一実
施例を図４に基づいて説明する。なお、請求項１〜３記
載の発明（図１〜図３参照）と同一部分についての説明
は省略し、その同一部分については同一符号を用いる。
施例を図４に基づいて説明する。なお、請求項１〜３記
載の発明（図１〜図３参照）と同一部分についての説明
は省略し、その同一部分については同一符号を用いる。
【００３１】ここでは、図４に示すようなフルイディッ
ク流量計１０内のノズル１１の中央部に、前述した請求
項１〜３記載の発明で述べたような感熱式マイクロブリ
ッジ型流速計１２を配設したことに特徴がある。この場
合、流速計１２は、図示しない支持体により支持されて
おり、その配設位置としては、ノズル１１の中央部に限
るものではなく、ノズル１１の内壁下部やノズル１１の
天井部に配設してもよい。
ク流量計１０内のノズル１１の中央部に、前述した請求
項１〜３記載の発明で述べたような感熱式マイクロブリ
ッジ型流速計１２を配設したことに特徴がある。この場
合、流速計１２は、図示しない支持体により支持されて
おり、その配設位置としては、ノズル１１の中央部に限
るものではなく、ノズル１１の内壁下部やノズル１１の
天井部に配設してもよい。
【００３２】フルイディック流量計１０を家庭用ガスメ
ータに使用する場合、毎時３〜３０００リットルの流量
を計測する必要がある。しかし、毎時３〜３００リット
ルの低流量域ではフルイディック振動は起こらず検出す
ることができない。そこで、感熱式マイクロブリッジ型
流速計１２をノズル１１中に配置することにより、低流
量の計測を低電力で正確に行うことができ、これによ
り、例えば、家庭用ガスメータ流量の全範囲を測量する
ことができるようになる。
ータに使用する場合、毎時３〜３０００リットルの流量
を計測する必要がある。しかし、毎時３〜３００リット
ルの低流量域ではフルイディック振動は起こらず検出す
ることができない。そこで、感熱式マイクロブリッジ型
流速計１２をノズル１１中に配置することにより、低流
量の計測を低電力で正確に行うことができ、これによ
り、例えば、家庭用ガスメータ流量の全範囲を測量する
ことができるようになる。
【００３３】
【発明の効果】請求項１記載の発明は、基板を異方性エ
ッチングすることにより形成された堀と、この堀の上空
を跨ぐように形成された主梁と、この主梁上に形成され
た発熱抵抗体と、この発熱抵抗体の温度を計測する前記
主梁上に形成された主測温抵抗体と、前記主梁の下流側
に形成された副梁と、この副梁上に形成された副測温抵
抗体と、前記主梁の上流の基板上に形成された流体の温
度を計測する流体測温抵抗体と、前記発熱抵抗体と前記
流体測温抵抗体との温度差を一定にするために前記主測
温抵抗体と前記副測温抵抗体と前記流体測温抵抗体とが
接続された第１電気ブリッジ回路と、流体の微少流速を
検出するために前記副測温抵抗体と前記流体測温抵抗体
とが接続された第２電気ブリッジ回路と、前記第１及び
第２電気ブリッジ回路の出力を記憶保持し演算処理する
記憶保持演算処理手段とより感熱式マイクロブリッジ型
流速計を構成したので、発熱抵抗体の電圧降下による出
力では従来不正確であった微少流量域の流速検出が可能
となり、これにより、単位投入電力当たりの高い放熱効
率を保ちながら、しかも、全流量域において正確な流速
計測を行うことができるものである。
ッチングすることにより形成された堀と、この堀の上空
を跨ぐように形成された主梁と、この主梁上に形成され
た発熱抵抗体と、この発熱抵抗体の温度を計測する前記
主梁上に形成された主測温抵抗体と、前記主梁の下流側
に形成された副梁と、この副梁上に形成された副測温抵
抗体と、前記主梁の上流の基板上に形成された流体の温
度を計測する流体測温抵抗体と、前記発熱抵抗体と前記
流体測温抵抗体との温度差を一定にするために前記主測
温抵抗体と前記副測温抵抗体と前記流体測温抵抗体とが
接続された第１電気ブリッジ回路と、流体の微少流速を
検出するために前記副測温抵抗体と前記流体測温抵抗体
とが接続された第２電気ブリッジ回路と、前記第１及び
第２電気ブリッジ回路の出力を記憶保持し演算処理する
記憶保持演算処理手段とより感熱式マイクロブリッジ型
流速計を構成したので、発熱抵抗体の電圧降下による出
力では従来不正確であった微少流量域の流速検出が可能
となり、これにより、単位投入電力当たりの高い放熱効
率を保ちながら、しかも、全流量域において正確な流速
計測を行うことができるものである。
【００３４】請求項２記載の発明は、請求項１記載の発
明において、主梁の下流に位置する副梁を複数本設け、
これら各々の副梁上に副測温抵抗体を形成し、これら副
測温抵抗体を基板上の一対の電極に接続して第２電気ブ
リッジ回路に組込んだので、流速の範囲や多種類の流体
等の各種の使用条件に対応でき、全流量域において正確
な流速計測を行うことができ、これにより、計測精度が
非常に良くしかも生産性の高い流量計を提供することが
できるものである。
明において、主梁の下流に位置する副梁を複数本設け、
これら各々の副梁上に副測温抵抗体を形成し、これら副
測温抵抗体を基板上の一対の電極に接続して第２電気ブ
リッジ回路に組込んだので、流速の範囲や多種類の流体
等の各種の使用条件に対応でき、全流量域において正確
な流速計測を行うことができ、これにより、計測精度が
非常に良くしかも生産性の高い流量計を提供することが
できるものである。
【００３５】請求項３記載の発明は、請求項１記載の発
明において、主梁の下流に位置する副梁をＮ本設け、こ
れら各々の副梁上に副測温抵抗体を形成し、これら副測
温抵抗体を基板上のＮ対の電極にそれぞれ別個に接続し
てＮ個の第２電気ブリッジ回路に別個に組込んだので、
微少流量域における流速検出精度を一段と向上させるこ
とができるものである。
明において、主梁の下流に位置する副梁をＮ本設け、こ
れら各々の副梁上に副測温抵抗体を形成し、これら副測
温抵抗体を基板上のＮ対の電極にそれぞれ別個に接続し
てＮ個の第２電気ブリッジ回路に別個に組込んだので、
微少流量域における流速検出精度を一段と向上させるこ
とができるものである。
【００３６】請求項４記載の発明は、基板を異方性エッ
チングすることにより形成された堀と、この堀の上空を
跨ぐように形成された主梁と、この主梁上に形成された
発熱抵抗体と、この発熱抵抗体の温度を計測する前記主
梁上に形成された主測温抵抗体と、前記主梁の下流側に
形成された副梁と、この副梁上に形成された副測温抵抗
体と、前記主梁の上流の基板上に形成された流体の温度
を計測する流体測温抵抗体と、前記発熱抵抗体と前記流
体測温抵抗体との温度差を一定にするために前記主測温
抵抗体と前記副測温抵抗体と前記流体測温抵抗体とが接
続された第１電気ブリッジ回路と、流体の微少流速を検
出するために前記副測温抵抗体と前記流体測温抵抗体と
が接続された第２電気ブリッジ回路と、前記第１及び第
２電気ブリッジ回路の出力を記憶保持し演算処理する記
憶保持演算処理手段とを備えた感熱式マイクロブリッジ
型流速計を、ノズルの中央部若しくはノズルの内壁下部
若しくはノズルの天井部に配設したので、低流量域の計
測を低電力で正確に行うことができるフルイディック流
量計を提供することができ、これにより、例えば、家庭
用ガスメータ流量の全範囲を測量することができるもの
である。
チングすることにより形成された堀と、この堀の上空を
跨ぐように形成された主梁と、この主梁上に形成された
発熱抵抗体と、この発熱抵抗体の温度を計測する前記主
梁上に形成された主測温抵抗体と、前記主梁の下流側に
形成された副梁と、この副梁上に形成された副測温抵抗
体と、前記主梁の上流の基板上に形成された流体の温度
を計測する流体測温抵抗体と、前記発熱抵抗体と前記流
体測温抵抗体との温度差を一定にするために前記主測温
抵抗体と前記副測温抵抗体と前記流体測温抵抗体とが接
続された第１電気ブリッジ回路と、流体の微少流速を検
出するために前記副測温抵抗体と前記流体測温抵抗体と
が接続された第２電気ブリッジ回路と、前記第１及び第
２電気ブリッジ回路の出力を記憶保持し演算処理する記
憶保持演算処理手段とを備えた感熱式マイクロブリッジ
型流速計を、ノズルの中央部若しくはノズルの内壁下部
若しくはノズルの天井部に配設したので、低流量域の計
測を低電力で正確に行うことができるフルイディック流
量計を提供することができ、これにより、例えば、家庭
用ガスメータ流量の全範囲を測量することができるもの
である。
【００３７】請求項５記載の発明は、請求項４記載の発
明において、感熱式マイクロブリッジ型流速計は、主梁
の下流に副梁を複数本設け、これら各々の副梁上に副測
温抵抗体を形成し、これら副測温抵抗体を基板上の一対
の電極に接続して第２電気ブリッジ回路に組込んだの
で、全流量域において正確な流速計測が行えるフルイデ
ィック流量計を提供することができるものである。
明において、感熱式マイクロブリッジ型流速計は、主梁
の下流に副梁を複数本設け、これら各々の副梁上に副測
温抵抗体を形成し、これら副測温抵抗体を基板上の一対
の電極に接続して第２電気ブリッジ回路に組込んだの
で、全流量域において正確な流速計測が行えるフルイデ
ィック流量計を提供することができるものである。
【００３８】請求項６記載の発明は、請求項４記載の発
明において、感熱式マイクロブリッジ型流速計は、主梁
の下流に副梁をＮ本設け、これら各々の副梁上に副測温
抵抗体を形成し、これら副測温抵抗体を基板上のＮ対の
電極にそれぞれ別個に接続してＮ個の第２電気ブリッジ
回路に別個に組込んだので、微少流量域における流速検
出精度が向上したフルイディック流量計を提供すること
ができるものである。
明において、感熱式マイクロブリッジ型流速計は、主梁
の下流に副梁をＮ本設け、これら各々の副梁上に副測温
抵抗体を形成し、これら副測温抵抗体を基板上のＮ対の
電極にそれぞれ別個に接続してＮ個の第２電気ブリッジ
回路に別個に組込んだので、微少流量域における流速検
出精度が向上したフルイディック流量計を提供すること
ができるものである。
【図１】請求項１記載の発明である感熱式マイクロブリ
ッジ型流速計の構成を示す平面図である。
ッジ型流速計の構成を示す平面図である。
【図２】請求項２記載の発明である感熱式マイクロブリ
ッジ型流速計の構成を示す平面図である。
ッジ型流速計の構成を示す平面図である。
【図３】請求項３記載の発明である感熱式マイクロブリ
ッジ型流速計の構成を示す平面図である。
ッジ型流速計の構成を示す平面図である。
【図４】請求項４〜６記載の発明である感熱式マイクロ
ブリッジ型流速計を備えたフルイディック流量計の構成
を示す断面図である。
ブリッジ型流速計を備えたフルイディック流量計の構成
を示す断面図である。
１ 基板 ２ 堀 ３ 主梁 ４ 副梁 ５ 発熱抵抗体 ６ 主測温抵抗体 ７ 副測温抵抗体 ８ 流体測温抵抗体 ９ 電極 １０ フルイディック流量計 １１ ノズル １２ 感熱式マイクロブリッジ型流速計 Ａ 流体
Claims (6)
- 【請求項１】 基板を異方性エッチングすることにより
形成された堀と、この堀の上空を跨ぐように形成された
主梁と、この主梁上に形成された発熱抵抗体と、この発
熱抵抗体の温度を計測する前記主梁上に形成された主測
温抵抗体と、前記主梁の下流側に形成された副梁と、こ
の副梁上に形成された副測温抵抗体と、前記主梁の上流
の基板上に形成された流体の温度を計測する流体測温抵
抗体と、前記発熱抵抗体と前記流体測温抵抗体との温度
差を一定にするために前記主測温抵抗体と前記副測温抵
抗体と前記流体測温抵抗体とが接続された第１電気ブリ
ッジ回路と、流体の微少流速を検出するために前記副測
温抵抗体と前記流体測温抵抗体とが接続された第２電気
ブリッジ回路と、前記第１及び第２電気ブリッジ回路の
出力を記憶保持し演算処理する記憶保持演算処理手段と
よりなることを特徴とする感熱式マイクロブリッジ型流
速計。 - 【請求項２】 主梁の下流に位置する副梁を複数本設
け、これら各々の副梁上に副測温抵抗体を形成し、これ
ら副測温抵抗体を基板上の一対の電極に接続して第２電
気ブリッジ回路に組込んだことを特徴とする請求項１記
載の感熱式マイクロブリッジ型流速計。 - 【請求項３】 主梁の下流に位置する副梁をＮ本設け、
これら各々の副梁上に副測温抵抗体を形成し、これら副
測温抵抗体を基板上のＮ対の電極にそれぞれ別個に接続
してＮ個の第２電気ブリッジ回路に別個に組込んだこと
を特徴とする請求項１記載の感熱式マイクロブリッジ型
流速計。 - 【請求項４】 基板を異方性エッチングすることにより
形成された堀と、この堀の上空を跨ぐように形成された
主梁と、この主梁上に形成された発熱抵抗体と、この発
熱抵抗体の温度を計測する前記主梁上に形成された主測
温抵抗体と、前記主梁の下流側に形成された副梁と、こ
の副梁上に形成された副測温抵抗体と、前記主梁の上流
の基板上に形成された流体の温度を計測する流体測温抵
抗体と、前記発熱抵抗体と前記流体測温抵抗体との温度
差を一定にするために前記主測温抵抗体と前記副測温抵
抗体と前記流体測温抵抗体とが接続された第１電気ブリ
ッジ回路と、流体の微少流速を検出するために前記副測
温抵抗体と前記流体測温抵抗体とが接続された第２電気
ブリッジ回路と、前記第１及び第２電気ブリッジ回路の
出力を記憶保持し演算処理する記憶保持演算処理手段と
を備えた感熱式マイクロブリッジ型流速計を、ノズルの
中央部若しくはノズルの内壁下部若しくはノズルの天井
部に配設したことを特徴とするフルイディック流量計。 - 【請求項５】 感熱式マイクロブリッジ型流速計は、主
梁の下流に副梁を複数本設け、これら各々の副梁上に副
測温抵抗体を形成し、これら副測温抵抗体を基板上の一
対の電極に接続して第２電気ブリッジ回路に組込んだこ
とを特徴とする請求項４記載のフルイディック流量計。 - 【請求項６】 感熱式マイクロブリッジ型流速計は、主
梁の下流に副梁をＮ本設け、これら各々の副梁上に副測
温抵抗体を形成し、これら副測温抵抗体を基板上のＮ対
の電極にそれぞれ別個に接続してＮ個の第２電気ブリッ
ジ回路に別個に組込んだことを特徴とする請求項４記載
のフルイディック流量計。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8970293A JPH06300605A (ja) | 1993-04-16 | 1993-04-16 | 感熱式マイクロブリッジ型流速計及びフルイディック流量計 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8970293A JPH06300605A (ja) | 1993-04-16 | 1993-04-16 | 感熱式マイクロブリッジ型流速計及びフルイディック流量計 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06300605A true JPH06300605A (ja) | 1994-10-28 |
Family
ID=13978116
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8970293A Pending JPH06300605A (ja) | 1993-04-16 | 1993-04-16 | 感熱式マイクロブリッジ型流速計及びフルイディック流量計 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06300605A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1762851A2 (en) | 2005-09-07 | 2007-03-14 | Hitachi, Ltd. | Flow sensor with metal film resistor |
-
1993
- 1993-04-16 JP JP8970293A patent/JPH06300605A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1762851A2 (en) | 2005-09-07 | 2007-03-14 | Hitachi, Ltd. | Flow sensor with metal film resistor |
| US7404320B2 (en) | 2005-09-07 | 2008-07-29 | Hitachi, Ltd. | Flow sensor using a heat element and a resistance temperature detector formed of a metal film |
| EP2293084A1 (en) | 2005-09-07 | 2011-03-09 | Hitachi, Ltd. | Flow sensor with metal film resistor |
| USRE43660E1 (en) | 2005-09-07 | 2012-09-18 | Hitachi, Ltd. | Flow sensor using a heat element and a resistance temperature detector formed of a metal film |
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