JPH06295951A - Ｌｓｉチップの座標ズレ修正方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 ＬＳＩ検査装置において、基準チップＴの誤
認により生じた各ＬＳＩチップの座標ズレを、正しい座
標値に修正する。 【構成】 移動プログラムにより、検査プローブが検査
始点に対応した位置に停止した時点における、移動プロ
グラムが示す正しい座標値と、移動機構が示す実際の座
標値とを比較し、両座標値が相違したとき、出力部に位
置決めエラーを表示する確認プログラムをマイクロプロ
セッサに設け、この表示を測定者が見て、基準チップＴ
を再確認し、これに検査プローブを設定替えする。 【効果】 各ＬＳＩチップの測定データに対して正しい
座標値が付加され、良品と不良品の取り違えなどの品質
管理上の混乱が排除される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は、ＬＳＩ検査装置にお
いて、各ＬＳＩチップの座標ズレを修正する方法に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】ウエハに形成された各ＬＳＩチップは、
形成された段階で検査装置により性能が検査される。図
２において、ウエハ１にはオリエンティション・フラッ
ト（ＯＦ）をＹ軸とするＸＹ座標が設定され、多数のＬ
ＳＩチップがＸＹ方向に、マトリックス状に形成されて
いる。検査のために各ＬＳＩチップにはＸＹ座標値が与
えられ、また、２箇所のＬＳＩチップが位置決めに対す
る基準チップＴと、検査始点に対するスタートチップＲ
に指定される。図の場合は、各ＬＳＩチップのＸ座標は
(1) 〜(9) 、Ｙ座標は(1) 〜(10)の範囲であり、基準チ
ップＴはＯＦの下端に接近した位置に、スタートチップ
Ｒはそのほぼ対称的な位置にそれぞれ指定されており、
基準座標値は(9,3) であり、始点座標値は(4,10)であ
る。なお、ウエハ１のサイズと、ＬＳＩチップの寸法に
は各種があり、例えば、５インチウエハの場合、ＬＳＩ
チップの寸法を３ｍｍ角とすると、その総数は１０００
個を越える。また、サイズと寸法の組み合わせ種類はか
なり多数である。

【０００３】図３は、ＬＳＩ検査装置１０の概略の構成
を示す。検査装置１０は、ウエハ移動部２と移動制御部
３および測定部４よりなる。ウエハ移動部２は、被検査
のウエハ１を載置する載置テーブル21と、これをＸまた
はＹ方向に移動するＸＹ移動機構22を有し、移動制御部
３は、マイクロプロセッサ（ＭＰＵ）31と、メモリ32、
操作盤33、および制御回路34よりなり、図示のように接
続される。メモリ32にはＸＹ移動機構22に対する移動制
御プログラムが格納され、また各ＬＳＩチップのＸＹ座
標値などが記憶されている。測定部４は、プローブピン
411 を有する検査プローブ41と、データ処理部42、およ
び出力部43とにより構成される。

【０００４】図２と図３により、各ＬＳＩチップの検査
手順を説明する。まず基準チップＴを目視により確認し
ながら、操作盤33の移動ボタンを操作してステップ移動
信号をＭＰＵ31に入力し、制御回路34によりＸＹ移動機
構22が動作してウエハ１を移動し、基準チップＴを検査
プローブ41に対応する位置に位置決めして停止する。設
定ボタンを操作すると基準座標値がＭＰＵ31に設定され
る。ついで検査開始ボタンを操作すると、検査開始信号
がＭＰＵ31に入力し、メモリ32より移動プログラムを読
出してＸＹ移動機構22を動作させ、ウエハ１を基準チッ
プＴから所定の座標順序でＸまたはＹ方向にステップ移
動し、検査始点が検査プローブ41に対応した位置となる
と停止する。ここでスタートチップＲにプローブピン41
1 を接触させて回路が測定され、測定信号はデータ処理
部42に入力して処理され、測定データにスタートチップ
Ｒの座標値(4,10)を付加して出力部43に出力される。つ
いで、ウエハ１は所定の順序でステップ移動して各ＬＳ
Ｉチップの測定が逐次に行われ、それぞれの測定データ
にその座標値が付加されて出力される。検査済みのＬＳ
Ｉチップは、測定データと付加された座標値により良品
と不良品が区別され、不良品は救済装置により手直しさ
れて良品とされる。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】上記においては、最初
に行われる目視確認において、基準チップＴとして隣り
や付近のチップが誤認されることがあり、特にＬＳＩチ
ップが微小な場合にこの誤認が発生し易い。例えば、図
２にＳで示すチップが基準チップＴと誤認されると、チ
ップＴとＳの座標差(1,1) が、すべてのＬＳＩチップの
処理データの座標値に付加される。これを詳しく説明す
ると、設定ボタンの操作により、誤認の有無に無関係に
基準チップＴに対して検査プローブ41が正しく位置決め
されたものとし、これを基準として移動プログラムが所
定の順序でウエハ１をステップ移動する。しかし、検査
プローブ41には座標値の検出能力がないため、各チップ
は座標値が不明のまま測定される。このように測定され
た各チップの測定データに対して、誤認により座標ズレ
した座標値が付加されるので、データの取り違いが生
じ、良品が不良品とされて無用な救済処理がなされ、反
対に不良品が見逃されるなどの混乱が生じて、検査の信
頼性が低下している。この発明は上記に鑑みてなされた
もので、基準チップＴの誤認により生じた各ＬＳＩチッ
プの座標スレを、正しい座標値に修正する方法を提供す
ることを目的とする。

【０００６】

【課題を解決するための手段】この発明は、ＬＳＩチッ
プの座標ズレの修正方法であって、前記のＬＳＩ検査装
置において、移動プログラムにより、検査プローブが検
査始点に対応した位置に停止した時点における、移動プ
ログラムが示す正しい座標値と、移動機構が示すウエハ
の移動距離に対応する座標値とを比較する。両座標値が
相違して座標ズレがあるとき、位置決めエラーを出力部
に表示する確認プログラムをマイクロプロセッサに設
け、表示された位置決めエラーにより基準チップを再確
認し、再確認された基準チップの位置に検査プローブを
設定替えして、基準チップの誤認により生じた各ＬＳＩ
チップの座標ズレを修正するものである。

【０００７】

【作用】上記の座標ズレ修正方法においては、確認プロ
グラムにより、検査プローブが検査始点に停止した時点
における、移動プログラムが示す正しい座標値と、移動
きこが示すウエハの移動距離に対応する座標値とが比較
され、両座標値が相違したときは、位置決めエラーが出
力部に表示されるので、これを見取って、基準チップを
再確認し、この位置に検査プローブを設定替えすると、
各ＬＳＩチップの座標ズレが修正され、正しい座標値が
測定データに付加されるものである。

【０００８】

【実施例】図１はこの発明の一実施例における、座標ズ
レの修正手順を説明するフローチャートを示し、ステッ
プ〜は従来と同様で、一点鎖線内のステップおよ
びが確認プログラムＫに相当し、は手作業に対する
ステップである。なお、この場合のＬＳＩ検査装置は図
３とほぼ同一構成とするが、ただしＭＰＵ31には上記の
確認プログラムＫを設け、さらに、逐次にウエハをステ
ップ移動する移動機構の移動距離をカウントして、実際
の座標値を算出する機能を有するものとする。

【０００９】以下、図１と図３により座標ズレの修正方
法を説明する。従来と同様に、基準チップＴを目視によ
り確認し、ウエハ１を移動して基準チップＴを検査プ
ローブ41に対応する位置に位置決めして設定する。つ
いで、検査開始ボタンを操作して移動プログラムを起動
すると、ウエハ１が移動してその検査始点が検査プロー
ブ41に対応する位置に停止する。ここで確認プログラ
ムＫを起動して、検査始点に対する移動プログラムが示
す正しい座標値と、移動機構による実際の座標値とが比
較され、両者が一致しない（ＮＯ）のときは、出力部
43に位置決めエラーが表示される。測定者はこの表示
を見て座標ズレがあることを知り、基準チップＴを再確
認する。ステップはに戻って上記と同様に、基準チ
ップＴに対する検査プローブ41の位置決め設定（再設
定）がなされ、以下を経ての一致判定がなされる。
ここで両座標値が一致（ＹＥＳ）すれば、座標ズレが修
正された筈であるから、ステップに移行して各ＬＳＩ
チップに対する測定が順序に行われる。以上の座標ズレ
の修正により、各ＬＳＩチップの測定データに対して、
正しい座標値がそれぞれ付加され、品質管理上の混乱が
排除される。

【００１０】

【発明の効果】以上の説明のとおり、この発明による座
標ズレ修正方法においては、マイクロプロセッサに設け
た確認プログラムにより、検査始点の正しい座標値と、
移動機構が示す実際の座標値とが比較され、両座標値が
相違したとき出力部に表示される位置決めエラーを見取
って基準チップを再確認し、これに検査プローブを設定
替えして各ＬＳＩチップの座標ズレを修正し、測定デー
タに正しい座標を付加するもので、従来発生したＬＳＩ
チップの良品と不良品の取り違えなどの品質管理上の混
乱が排除され、ＬＳＩ検査の信頼性の向上に寄与するも
のである。

【図面の簡単な説明】

【図１】 この発明の一実施例における、座標ズレの修
正手順に対するフローチャートを示す。

【図２】 ウエハに形成されたＬＳＩチップと、そのＸ
Ｙ座標の説明図である。

【図３】 ＬＳＩ検査装置の概略の構成図である。

【符号の説明】

１…ウエハ、２…ウエハ移動部、21…載置テーブル、22
…ＸＹ移動機構、３…移動制御部、31…ＭＰＵ、32…メ
モリ、33…操作盤、34…制御回路、４…測定部、41…検
査プローブ、411 …プローブピン、42…データ処理部、
43…出力部、１０…ＬＳＩ検査装置、〜…フローチ
ャートのステップ番号。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ウエハの適当な２箇所のＬＳＩチップ
   を、それぞれ基準チップと、スタートチップに指定し、
   該基準チップを目視により確認し、検査プローブを該基
   準チップの位置に位置決めして設定し、マイクロプロセ
   ッサの移動プログラムにより移動機構を動作して前記ウ
   エハを所定の座標順序で移動し、前記スタートチップを
   検査始点として前記検査プローブにより、各ＬＳＩチッ
   プを逐次に検査するＬＳＩ検査装置において、前記移動
   プログラムにより、前記検査プローブが前記検査始点に
   対応した位置に停止した時点における、該移動プログラ
   ムが示す正しい座標値と、前記移動機構が示す前記ウエ
   ハの移動距離に対応する座標値とを比較し、該両座標値
   が相違して座標ズレがあるとき、位置決めエラーを出力
   部に表示する確認プログラムを前記マイクロプロセッサ
   に設け、該表示された位置決めエラーにより前記基準チ
   ップを再確認し、該再確認された基準チップの位置に前
   記検査プローブを設定替えして、前記基準チップの誤認
   により生じた各ＬＳＩチップの座標ズレを修正すること
   を特徴とする、ＬＳＩチップの座標ズレ修正方法。