JPH0628291B2 - 冗長回路付半導体装置 - Google Patents

冗長回路付半導体装置

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JPH0628291B2
JPH0628291B2 JP59183072A JP18307284A JPH0628291B2 JP H0628291 B2 JPH0628291 B2 JP H0628291B2 JP 59183072 A JP59183072 A JP 59183072A JP 18307284 A JP18307284 A JP 18307284A JP H0628291 B2 JPH0628291 B2 JP H0628291B2
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Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の技術分野〕 この発明は冗長回路付半導体装置に係り、特に冗長回路
を使用しても不良が解消不能であることを識別するため
の回路を備えた冗長回路付半導体装置に関するものであ
る。
〔従来技術〕 従来のこの種の装置を第1図に示す。第1図において、
1は冗長回路を有する半導体装置、2,3は半導体装置
1の外部入力端子、4,5は入力保護回路部、4a,4
bは入力保護回路部4を構成するMOSゲート、4c,
4dは入力保護回路部4を構成する抵抗、6は冗長回路
の使用/未使用を区別するために組み込まれた冗長回路
使用/未使用判別回路、6aは冗長回路使用/未使用判
別回路6を構成するヒューズ、6bは冗長回路使用/未
使用判別回路6を構成するMOSゲート、7は半導体装
置1のGNDラインである。
次にこのように構成された装置の冗長回路およびその使
用/未使用の判別について説明する。半導体装置1にお
いては、ウェハプロセスにおいてごみとかウェハの結晶
欠陥等によって生じる部分的な正規回路の不良は対応す
る冗長回路によって置換される。この技術は冗長回路技
術として半導体装置の集積化に伴って半導体装置のウェ
ハ製造プロセスに広く受け入れられてきている。上記冗
長回路を半導体装置内で使用したかどうかの情報は、半
導体装置を評価解析するときに必要であるため、容易に
外部入力端子2から識別されるようになっている。冗長
回路を使用した半導体装置においては、冗長回路置換工
程で冗長回路の置換を実行する装置によって、ヒューズ
6aが切断されている。通例としてこの切断は、レーザ
ビームあるいは過大電流等を利用してヒューズを焼き切
ることによって行なわれる。ヒューズの切断の有無は外
部入力端子2を次の手順で測定することによって容易に
識別できる。外部入力端子2に負の電位を印加すること
によってMOSゲート4b,6bがオンし、GNDライ
ン7からMOSゲート4b,抵抗4cを経由して外部入
力端子2に電流が流出してくる。
ヒューズ6aが焼き切られていない場合、GNDライン
7からMOSゲート6b,ヒューズ6a,抵抗4c経由
からも外部入力端子2へ電流が流出してくる。すなわ
ち、ヒューズ6aの切断の有無によって外部入力端子2
の流出電流の値が変化し、切断ありの場合は切断なしの
場合の1/2程度となる。この値を半導体装置の検査装
置で測定することによって容易に冗長回路使用の有無を
判別することができる。上記測定はピンコンタクトテス
トと一般に呼ばれ、半導体装置検査項目の基本的なもの
であり、測定時間は数ミリ秒の短時間である。
ウェハプロセス終了後ウェハの各半導体装置はウェハテ
ストされる。ウェハテストでは、半導体装置にとって冗
長回路置換可能性判定時に適用される検査項目より厳し
い項目によって再度検査される。冗長回路置換工程で適
用される機能試験項目はウェハテスト項目でも通常適用
される。すなわち、ウェハ状態にある半導体装置には類
似の機能試験項目が良品/不良品にかかわらず2度実施
されることになる。
従来の冗長回路付半導体装置は上記のように構成されて
いるので、冗長回路の使用/未使用は直ちに検出するこ
とは可能であるが、半導体装置の不良品/良品の判別は
再度機能試験を実施する必要があり、次の検査工程であ
るウェハテストにおいて再度不良品のテストを実施する
時間を要するという問題点があった。その要する時間
は、1メガビットのRAMでは、1ビット500nse
cでテストするとして全ビットで約5秒である。
〔発明の概要〕
本発明はこのような点に鑑みてなされたものであり、そ
の目的とするところは、ウェハテストにおける不良品の
テスト時間を短かくする冗長回路付半導体装置を提供す
ることにある。
このような目的を達成するために本発明は、冗長回路置
換工程で検出したウェハ上の各半導体装置の良品/不良
品を識別する識別用回路を付加するようにしたものであ
る。
〔発明の実施例〕
本発明を実施例に基づき詳細に説明する。第2図に本発
明に係わる冗長回路付半導体装置の一実施例を示す。第
2図において、21は冗長回路を有する半導体装置、2
2は半導体装置の冗長回路置換工程時に良品/不良品を
区別するために新たに付加されたヒューズであり、ヒュ
ーズ22と外部入力端子3は識別用回路を構成する。第
2図において第1図と同一部分又は相当部分には同一符
号が付してあり、入力保護回路5や、ヒューズ22から
出ている矢印の先に接続されている回路などの内部回路
がヒューズ22に接続されている。
次にこのように構成された装置の良品/不良品の判別に
ついて説明する。冗長性を有する半導体装置21は、ウ
ェハプロセス中の冗長回路置換工程において、所望の機
能が実現できているかどうか検査される。その検査の結
果、正規回路の不良個所が半導体装置21の有している
冗長回路によって代替できるならば置換を実行する。置
換実行後半導体装置21は再度機能検査される。その検
査の結果不良である場合、また、初めの冗長回路置換可
能かどうかの判定において置換不可能の場合、つまり、
冗長回路への置換を行っても不良解消不能である場合、
半導体装置は不良であると判定され、ヒューズ22が切
断される。この切断は通常の冗長回路置換工程の対応ヒ
ューズの切断と同様である。ウェハプロセス終了後ウェ
ハ上に、良品になる可能性のある半導体装置と、明らか
に不良である,すなわち,ヒューズ22が切断された半
導体装置とが形成されている。ウェハテストにおいて最
初に、ヒューズ22を有する外部入力端子3のピンコン
タクトテストを実施することにより、冗長回路置換工程
ですでに不良と判定され、ヒューズ22が切断された半
導体装置では、外部入力端子3に所定の電圧を印加して
も電流は流れないので、この電流が流れないことを検知
して数ミリ秒の時間で不良と判定でき、その不良半導体
装置にインキング等の印が付けられる。
なお上記実施例では、半導体装置の冗長回路の使用/未
使用識別用外部入力端子2以外の外部入力端子に冗長回
路置換工程における良品/不良品識別用ヒューズを付加
したが、外部出力端子,電源端子あるいはGND端子に
設けてもよい。また説明にはMOSゲートを例とした
が、この発明はMOSゲートに限らず冗長性回路を有す
るいずれの半導体装置に適用してもよい。
〔発明の効果〕
以上のようにこの発明は、冗長回路への置換を行っても
不良解消不能であると切断するためのヒューズ素子を外
部端子と内部回路との間に設けたので、冗長回路置換工
程で冗長回路への置換を行っても不良解消不能であると
判定されたものは、このヒューズ素子を切断すること
で、ウェハテストで短時間で不良と判定でき、ウェハテ
ストの不良品テスト時間を短縮できるという効果があ
る。
【図面の簡単な説明】
第1図は従来の冗長回路付半導体装置を示す回路図、第
2図は本発明に係わる冗長回路付半導体装置の一実施例
を示す回路図である。 2,3……外部入力端子、4,5……入力保護回路部、
4a,4b,6b……MOSゲート、4c,4d……抵
抗、6……冗長回路使用/未使用判別回路、6a,22
……ヒューズ、7……GNDライン、21……半導体装
置。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】正規回路に不良が存在したときに、その不
    良部分と置換するための冗長回路、 外部と接続するための外部端子と、この外部端子と内部
    回路に接続される接続用ノードとの間に接続され、上記
    冗長回路への置換を行っても不良解消不能であると切断
    するためのヒューズ素子とを有した識別用回路を備える
    冗長回路付半導体装置。
JP59183072A 1984-08-31 1984-08-31 冗長回路付半導体装置 Expired - Fee Related JPH0628291B2 (ja)

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US06/770,571 US4719410A (en) 1984-08-31 1985-08-29 Redundancy-secured semiconductor device

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JP59183072A JPH0628291B2 (ja) 1984-08-31 1984-08-31 冗長回路付半導体装置

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JPS6161440A JPS6161440A (ja) 1986-03-29
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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS63169741A (ja) * 1987-01-08 1988-07-13 Mitsubishi Electric Corp レ−ザトリミング方法
US5321510A (en) * 1989-11-13 1994-06-14 Texas Instruments Incorporated Serial video processor
WO1994008356A1 (en) * 1992-10-02 1994-04-14 Seiko Epson Corporation Semiconductor memory device
US5563821A (en) * 1992-10-02 1996-10-08 Seiko Epson Corporation Semiconductor memory device having a program circuit for selecting device type
RU2647412C2 (ru) * 2016-07-12 2018-03-15 Открытое акционерное общество "Научно-производственный комплекс "ЭЛАРА" им. Г.А. Ильенко" (ОАО "ЭЛАРА") Способ резервирования электронного блока и устройство для его осуществления

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2386199A1 (fr) * 1977-04-01 1978-10-27 Bailey Controle Procede d'autosignalisation des defaillances d'un module d'automatisme statique de securite et module mettant en oeuvre ledit procede

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US4719410A (en) 1988-01-12

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