JPH06278123A - グリーンシートの穿孔方法およびその穿孔機構 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】グリーンシートに対してビアホールを穿孔する
際に発生するバリがビアホールに付着することを防止す
る。 【構成】ポンチ９９を所定位置まで退動させると、ポン
チ９９の直径の小なる部分９９ａとグリーンシート７４
に穿設された貫通孔との間に間隙が生じ、ガイドプレー
ト７７の孔部７５に連通する通路７９を介して圧力流体
が導入される。前記圧力流体は、前記孔部７５に導入さ
れ、グリーンシート２５の穿孔された孔部に付着してい
るバリが除去される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、グリーンシート穿孔方
法およびその穿孔機構に関し、一層詳細には、上型と下
型とでグリーンシートを保持し、ポンチを介して前記グ
リーンシートにビアホールを穿孔するためのグリーンシ
ートの穿孔方法およびその穿孔機構に関する。

【０００２】

【従来の技術】一般に、配線セラミックス基板を製造す
る過程において、セラミックス材料から長尺に帯状のグ
リーンシートを形成し、これにパンチング加工を施すこ
とにより枠抜きした略方形状のグリーンシートを得る。
このグリーンシートの周縁部にはガイド孔が穿設され、
さらに、グリーンシートに対するビアホールの穿設、ビ
アホールの穴埋め印刷、および配線パターンの印刷等の
作業が行われる。

【０００３】ところで、前記グリーンシートに対してビ
アホールを穿設する作業では、上型と下型との間に保持
されたグリーンシートを、上型に設けられた複数のポン
チで穿孔してビアホールを画成する。この場合、前記ポ
ンチでグリーンシートを穿孔した際、前記グリーンシー
トの穿孔された孔部の下方側に突出するバリが発生す
る。そして、前記ポンチをグリーンシートから引き抜く
時に前記バリが該ポンチの先端部に粘着し、前記粘着し
たバリが穿孔した孔部に付着して、該孔部を導体ペース
トで穴埋めしてもグリーンシート積層体の上下階層間の
導通を図ることができなくなるという問題がある。

【０００４】すなわち、次の工程として、例えば、穿設
されたビアホールに対してメタル等の導電性の材料で穴
埋め印刷が行われるが、前記バリで目詰まりして閉塞さ
れた孔部にはメタルが穴埋めされなくなる。この結果、
さらに、グリーンシートに対して配線パターンをスクリ
ーン印刷して、複数のグリーンシートを積層してグリー
ンシート積層体を形成した場合、前記メタルで穴埋めさ
れることなくバリで閉塞された孔部によってグリーンシ
ート積層体の隣接する各上下層間の導通を図ることがで
きなくなる。

【０００５】このため、前記のバリが発生しないよう
に、上型と下型との位置の微調整を行う。すなわち、グ
リーンシートに代替して、例えば、シート状のアルミ箔
に試験的にビアホールを穿孔し、前記アルミ箔に発生す
るバリの発生方向を検出することにより、前記上型と下
型との位置を微調整することによってバリの発生を防止
する方法である。

【０００６】また、顕微鏡を用いて、穿孔されたビアホ
ールの孔部を検査することにより、バリによって該ビア
ホールが閉塞されているかどうかを検査し、ビアホール
が閉塞されているグリーンシートを取り除く方法も採用
されるに至っている。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記従
来技術において前者の方法は、工作物に少数の孔部を穿
孔する場合にはバリの発生を防止することができるが、
多数（例えば、約５００個）のビアホールを穿孔する場
合には、上型および下型の加工精度上、ビアホールを構
成する全ての孔部に対してバリが発生することを防止す
ることは困難である。また、後者の方法に関し、一枚の
グリーンシートに穿孔される孔部の数は、膨大な数にの
ぼるため（約１万個）、そのすべてを顕微鏡によって検
査することは、多大な労力および時間を要することか
ら、生産性を著しく低下させるという問題がある。

【０００８】本発明は、前記問題点を解消するためにな
されたものであって、グリーンシートに対してビアホー
ルを穿孔する際に発生するバリによって、ビアホールを
構成する孔部が閉塞されることを防止することが可能
な、しかも生産性を向上させることが可能なグリーンシ
ートの穿孔方法およびその穿孔機構を提供することを目
的とする。

【０００９】

【課題を解決するための手段】前記の目的を達成するた
めに、本発明は、上型を下型に対して相対的に下降させ
る工程と、前記上型のグリーンシート押さえ部によって
下型に位置決めされているグリーンシートを押さえて保
持する工程と、前記上型に設けられているポンチホルダ
を下型に対して相対的に下降させ、該ポンチホルダに植
設されているポンチにより前記グリーンシートの所定位
置にビアホールを穿孔する工程と、前記上型を下型から
相対的に移動させて前記ポンチの先端部がグリーンシー
トから抜かれた後、前記グリーンシート押さえ部に設け
られた室に連通するポンチ挿通用孔部を介して導入され
た圧縮空気により、該グリーンシートに穿孔されたビア
ホールに付着するバリを吹き飛ばす工程と、前記上型を
下型から相対的に移動させて原位置に復帰させる工程
と、からなることを特徴とする。この場合、圧縮空気
は、前記ポンチの先端部がグリーンシートから抜かれる
前から連続して該グリーンシートに穿孔されたビアホー
ルにポンチ挿通用孔部を介して導入してもよい。

【００１０】また、本発明は、圧縮空気がポンチの直径
の小さな先端部がグリーンシートの孔部に臨んでいる状
態で前記孔部に導入されて該圧縮空気がさらに絞られる
ことによりバリを除去することを特徴とする。

【００１１】さらに、本発明は、上型と下型とでグリー
ンシートを保持し、ポンチを介して前記グリーンシート
にビアホールを穿孔するためのグリーンシートの穿孔機
構であって、前記上型と下型との間に配設されたポンチ
ホルダと、前記ポンチホルダに配設されたポンチと、前
記ポンチホルダに変位自在に設けられたグリーンシート
押さえ部と、を備え、前記グリーンシート押さえ部は、
ストリッパプレートと前記ストリッパプレートに固着さ
れたガイドプレートとを有し、前記ストリッパプレート
とガイドプレートとの間に圧力流体供給源に連通する室
を設けるとともに、前記グリーンシート押さえ部の下側
に配設されたガイドプレートには前記室と連通するポン
チ挿通用孔部が画成されていることを特徴とする。

【００１２】さらにまた、本発明は、前記ポンチは先端
部が小径で根本部が大径な異径のロッドからなり、前記
ポンチ挿通用孔部は前記ポンチの根本部を挿通可能に設
けられていることを特徴とする。

【００１３】またさらに、本発明は、前記グリーンシー
ト押さえ部の上部に配設されたストリッパプレートには
ポンチ挿通用孔部が画成され、前記ポンチ挿通用孔部
は、ポンチの根本部と略同一の直径を有することを特徴
とする。

【００１４】

【作用】本発明に係るグリーンシートの穿孔方法および
その穿孔機構では、グリーンシート押さえ部でグリーン
シートを押さえてポンチを下降させ、該グリーンシート
を穿孔してビアホールを画成する。この場合、グリーン
シートの押さえ部に設けられた室に連通するポンチ挿通
用孔部を介して導入された圧縮空気により、グリーンシ
ートのビアホールに付着するバリを吹き飛ばすことがで
きる。

【００１５】また、ポンチの先端部が小径で根本部が大
径の二段に形成した場合、ポンチを所定位置まで退動さ
せると、ポンチの直径の小径の部分とグリーンシートに
穿設された貫通孔との間に間隙が生じ、前記室に連通す
る通路を介して圧力流体が導入される。前記圧力流体
は、前記間隙に絞られて流入し、ビアホールの孔部から
該圧縮空気を勢いよく噴出させることにより、グリーン
シートの穿孔された孔部に付着しているバリが除去され
る。

【００１６】さらに、グリーンシート押さえ部のポンチ
が挿通するストリッパプレートのポンチ挿通用孔部をポ
ンチの大径部分と略同一の直径とすることにより、前記
上側のストリッパプレートのポンチ挿通用孔部が閉塞さ
れることから、前記室に連通する通路を介して導入され
た圧力流体は、間隙が画成された下側のガイドプレート
のポンチ挿通用孔部から圧縮空気を勢いよく噴出させる
ことができ、なお一層確実にバリを吹き飛ばすことがで
きる。

【００１７】

【実施例】本発明に係るグリーンシートの穿孔方法につ
いてそれを実施する装置との関係で好適な実施例を挙
げ、添付の図面を参照しながら以下詳細に説明する。

【００１８】図１は本実施例に係るグリーンシートの穿
孔機構を組み入れた穿孔装置の斜視図、図２は図１に示
す穿孔装置の正面図、図３は図１に示す穿孔装置の平面
図である。

【００１９】この穿孔装置１０は、基本的には、第１の
基台部１２と、開口部１４を有し前記第１基台部１２に
固定された支柱１６と、前記支柱１６に支持された長尺
な横架部材１８とを有する。前記横架部材１８には穿孔
手段２０が搭載され、さらに、該横架部材１８の長手方
向に沿って長尺なアーム２２が連結され、その上面にケ
ーブル１９が配設されている。さらに、モータ２３の駆
動作用下に前記アーム２２に沿って矢印Ｘ₁ またはＸ₂
方向に移動自在な第１と第２の吸着手段２４、２６が設
けられている（図１並びに図２参照）。前記第１基台部
１２のアーム２２側に隣接して第２の基台部２８が連設
されている。前記第２基台部２８の上部には、第１と第
２の収納部３２、３４が並設されている。

【００２０】なお、前記第１吸着手段２４は、ワークと
してのグリーンシート２５が収容されたパレット２７を
吸着するパレット吸着部３１と、グリーンシート２５を
吸着するグリーンシート吸着部３３とから構成され、こ
の第１吸着手段２４はパレット２７およびグリーンシー
ト２５を一体的に吸着して前記第１収納部３２から前記
穿孔手段２０まで搬送する。一方、第２吸着手段２６
は、前記穿孔手段２０によってビアホールが穿設された
グリーンシート２５を吸着して第２収納部３４に搬送す
る。

【００２１】詳細に説明すると、前記第１基台部１２の
上面には、図３に示すように、レール４０が設けられ、
前記レール４０にモータ３６の駆動作用下に矢印Ｘ方向
に移動するテーブル４１が設けられている。このテーブ
ル４１はレール４２を含み、前記レール４２上に移動部
材４４が設けられている。前記移動部材４４は、モータ
３８により矢印Ｙ方向に移動自在である。前記移動部材
４４に連結部材４６を介してホルダ４８が固着されてい
る。従って、モータ３６、３８を駆動すれば、ホルダ４
８は、図３において、矢印Ｘ、Ｙ方向に変位自在であ
る。前記ホルダ４８には、矩形状の開口部４９が画成さ
れ、その周縁部にグリーンシート２５のガイド孔に挿通
して該グリーンシート２５を位置決めするための位置決
めピン（図示せず）が所定間隔離間して設けられてい
る。

【００２２】穿孔手段２０は、横架部材１８の上部に搭
載された駆動部５０と、横架部材１８の下部側に設けら
れ前記駆動部５０と駆動軸を介して連結された穿孔部６
４とを含む。

【００２３】前記駆動部５０には、横架部材１８の上部
に固着されたプレート４７が設けられ、前記プレート４
７に一組のシャフト５９ａ、５９ｂおよび側板６１が立
設されている。前記一組のシャフト５９ａ、５９ｂおよ
び側板６１の上部には支持板６３を介してシリンダ６０
が設けられている（図１参照）。前記横架部材１８の下
方には、シリンダ６０のピストンロッド６２の先端部に
連結された穿孔部６４が設けられている。

【００２４】この穿孔部６４は、開口部１４の底面部に
固設された基台６７と、前記基台６７上にダイブロック
５１を介して固定された下型５２と、シリンダ６０の駆
動作用下に略鉛直上下方向（矢印Ｚ方向）に変位して前
記下型５２に当接する上型５３とを有する。

【００２５】前記下型５２は、図４に示すように、平坦
に形成されたダイブロック５１上に固定され、略矩形状
に形成された第１型部材５４と、前記第１型部材５４の
上部に固着された略平板状の第２型部材５５と、前記第
２型部材５５の略中心部に画成された凹部にねじ部材５
６（図５参照）を介して固定されたカバー部材５７とか
ら構成されている。前記カバー部材５７の略中心部に
は、後述するポンチが挿通される複数の微細な孔部５８
が画成されるとともに、さらにその下部には前記孔部５
８に連通する開口部５９が画成されている。

【００２６】前記ダイブロック５１には孔部６５が画成
され、前記孔部６５は第１型部材５４に画成された孔部
６８と連通している。第１型部材５４および第２型部材
５５には、上型５３並びに下型５２の組立時において上
型５３に設けられたガイドピン８９を挿入して前記上型
５３と下型５２の位置を確認するためのガイド孔７１が
画成されている。従って、型組立が済めば、前記ガイド
ピン８９は上型５３から取り外すことができる。

【００２７】一方、横架部材１８の下部には、前記シリ
ンダ６０のピストンロッド６２に連結されて略鉛直上下
方向（矢印Ｚ方向）に変位する上型５３が設けられてい
る。この上型５３は、プレート８５を介して横架部材１
８の下部に摺動自在に設けられた固定部材８７と、前記
固定部材８７に対して略鉛直上下方向（矢印Ｚ方向）に
変位自在に設けられたストリッパプレート９３とを有す
る。前記ストリッパプレート９３には、後述するポンチ
が挿通される孔部９３ａが画成されている。さらに、上
型５３は、前記ストリッパプレート９３に固着されて該
ストリッパプレート９３に画成された凹部７３を閉塞す
るとともに、ビアホールを穿孔する際にポンチが挿通す
る微細な孔部７５が画成されたガイドプレート７７を含
む。前記ガイドプレート７７は、前記ストリッパプレー
ト９３とともにグリーンシート押さえ部を構成する。前
記ガイドプレート７７とストリッパプレート９３とによ
って画成された凹部７３に連通する通路７９が画成さ
れ、前記通路７９はストリッパプレート９３の側面部に
画成されたポート８１に連通し、該ポート８１から圧縮
空気が導入される（図４並びに図５参照）。前記固定部
材８７には、ベアリング８３に保持され、ばね部材９５
の弾性力によって矢印Ｚ方向に摺動するシャフト９７が
設けられ、前記シャフト９７の先端部にはストリッパプ
レート９３が固着されている。従って、前記ストリッパ
プレート９３は、前記シャフト９７が摺動することによ
り略鉛直上下方向（矢印Ｚ方向）に変位する。

【００２８】さらに、前記固定部材８７には複数のポン
チ９９を押さえるためのポンチストッパ１０１が内嵌さ
れている。前記固定部材８７の下部には固定板１０３が
固定され、前記固定板１０３に複数のポンチ９９を支持
する支持プレート１０５が固着されている。前記ポンチ
９９の先端部は、図６および図７に示すように、その直
径の極めて小なる部分９９ａと、前記部分９９ａよりは
若干大なる部分９９ｂとから構成されている。ポンチ９
９の先端部が挿通するストリッパプレート９３の孔部９
３ａおよびガイドプレート７７の孔部７５は、前記ポン
チ先端の若干大なる部分９９ｂと略同一の直径で画成さ
れており、前記ポンチ９９の若干大なる部分９９ｂが前
記孔部７５、９３ａに挿入されることにより、グリーン
シート７４に対するポンチ９９の位置決めが行われる。
なお、前記ポンチ先端の大なる部分９３ｂが、ストリッ
パプレート９３の孔部９３ａに挿通することにより該ポ
ンチ９９が位置決めされることが好ましい。

【００２９】本実施例に係る穿孔装置１０は、基本的に
は以上のように構成されるものであり、次にその動作に
ついて説明する。

【００３０】先ず、第１収納部３２に複数個積層された
パレット２７の最上位に位置するパレット２７を第１吸
着手段２４のパレット吸着部３１を介して吸着し、且つ
前記パレット２７内に固定されたグリーンシート２５を
グリーンシート吸着部３３を介して同時に吸着する。前
記第１吸着手段２４によってグリーンシート２５並びに
パレット２７が吸着された状態を保持しながら、モータ
２３を駆動して前記第１吸着手段２４を矢印Ｘ₁ 方向に
変位させる（図２参照）。この場合、第１吸着手段２４
が矢印Ｘ₁ 方向に変位の途中において、パレット吸着部
３１の吸着状態を解除してパレット２７を第２収納部３
４上に静置させる。

【００３１】さらに、第１吸着手段２４を矢印Ｘ₁ 方向
に向かって変位させ、結局、グリーンシート吸着部３３
によって保持されたグリーンシート２５は、穿孔手段２
０を構成するホルダ４８上に正確に位置決めされた後、
モータ３６、３８の駆動作用下に移動部材４４を介して
Ｘ方向およびＹ方向へと変位させ、ホルダ４８を上型５
３と下型５２の間に位置決めされる。

【００３２】続いて、穿孔手段２０を構成するシリンダ
６０を駆動させ、ピストンロッド６２を介して連結され
た上型５３を略鉛直下方向（矢印Ｚ₂ 方向）に変位さ
せ、上型５３を構成するストリッパプレート９３がグリ
ーンシート２５に当接して、該グリーンシート２５を下
型５２のカバー部材５７とで固定する。さらに、シリン
ダ６０の駆動作用下に上型５３を略鉛直下方向（矢印Ｚ
₂ 方向）を変位させることにより、前記ストリッパプレ
ート９３は下型５２を押圧した状態を保持しながら、固
定部材８７が略鉛直下方向（矢印Ｚ₂ 方向）に変位す
る。

【００３３】この場合、固定部材８７は、先端部がスト
リッパプレート９３に固定されたシャフト９７に案内さ
れ、ばね部材９５の弾性力に対抗して略鉛直下方向（矢
印Ｚ ₂ 方向）に変位する。その際、前記固定部材８７に
内嵌されたポンチストッパ１０１で押さえられたポンチ
９９が前記固定部材８７に伴って略鉛直下方向（矢印Ｚ
₂ 方向）に変位することにより、前記ポンチ９９の先端
の部分９９ａはグリーンシート２５にビアホールを穿孔
し、さらに、カバー部材５７に画成された孔部５８を貫
通して該カバー部材５７から突出した状態となる（図６
参照）。この場合、前記ポンチ９９の位置決めは、該ポ
ンチ９９の先端の部分９９ｂと略同一の直径を有するス
トリッパプレート９３の孔部９３ａおよびガイドプレー
ト７７の孔部７５に、ポンチ９９の先端の部分９９ｂが
挿入されることにより行われるが、好ましくは、ストリ
ッパプレート９３の孔部９３ａで行うとよい。

【００３４】続いて、シリンダ６０の駆動作用下に上型
５３を略鉛直上方向（矢印Ｚ₁ 方向）に変位させること
により、グリーンシート２５からポンチ９９の先端の部
分９９ａが引き抜かれ、図７に示す状態となる。この場
合、予め、図示しない圧縮空気供給源に接続されたポー
トから圧縮空気を導入しておく。勿論、図７の状態で圧
縮空気供給源から圧縮空気を導入してもよい。そこで、
前記圧縮空気は、ポート８１に連通する通路７９を介し
てガイドプレート７７によって閉塞されたストリッパプ
レート９３の凹部７３に導入される。この場合、前記凹
部７３に連通するストリッパプレート９３の孔部９３ａ
は略同一の直径からなるポンチ先端の部分９９ｂで閉塞
されている。一方、ガイドプレート７７の孔部７５の直
径は、ポンチ先端の部分９９ａの直径より大きく画成さ
れているために、前記凹部７３に連通する孔部７５の間
隙からポンチ９９の先端部９９ａがあたかもニードル弁
の如き絞り作用下に圧縮空気が矢印Ｚ₂ 方向に流出し、
グリーンシート２５に穿孔されたビアホールを通過して
下型５２から勢いよく外部に排出される。その際、グリ
ーンシート２５は、上型５３と下型５２とで固定された
状態にあり、前記ガイドプレート７７とグリーンシート
２５との接触面は、気密に保持されている。

【００３５】従って、ビアホールの穿孔によってグリー
ンシート２５の裏面に突出するバリが発生し、前記バリ
がポンチ９９の引き抜かれる時に該ポンチ９９の先端部
に粘着してビアホールを構成する孔部に付着した場合で
あっても、前記ビアホールを構成する孔部に圧縮空気を
流入して、バリを吹き飛ばすことができる。この結果、
ビアホールの孔部にバリが付着することを防止すること
ができる。続いて、シリンダ６０の駆動作用下に上型５
３を略鉛直上方向（矢印Ｚ₁ 方向）に変位させることに
より、上型５３はグリーンシート２５から離間して原位
置に復帰する。

【００３６】前記ビアホールの穿孔作業が終了した後、
グリーンシート２５を保持するホルダ４８は、再び、モ
ータ３６、３８の駆動作用下に原位置に復帰する。そし
て、モータ２３を駆動させ、待機状態にあった第２吸着
手段２６を介して加工済のグリーンシート２５を吸着
し、モータ２３の駆動作用下にアーム２２に沿って矢印
Ｘ₂ 方向に変位させる。前記グリーンシート２５を吸着
した第２吸着手段２６が矢印Ｘ₂ 方向に変位している途
中において、グリーンシート２５が第２収納部３４の真
上に変位した際、第２吸着手段２６の変位を停止して、
前記加工済のグリーンシート２５を第２収納部３４上に
置かれたパレット２７内に固定する。

【００３７】以上の作業を繰り返して連続して行うこと
により、グリーンシート２５に対するビアホールの穿設
を効率的に行うことができ、ビアホールが穿設されパレ
ット２７内に固定されたグリーンシート２５は、次の作
業工程に搬送される。

【００３８】

【発明の効果】本発明に係るグリーンシートの穿孔方法
およびその穿孔機構によれば、以下の効果が得られる。

【００３９】すなわち、グリーンシートにビアホールを
穿孔することにより発生するバリがポンチに粘着して、
該ビアホールの孔部に付着したバリを吹き飛ばすことに
より、前記ビアホールに導体ペーストを穴埋めして各層
間に印刷された配線パターンの導通を図ることができ
る。また、従来のように顕微鏡で穿孔されたビアホール
を検査する必要がなく、多大な労力および時間を省くこ
とができ、生産性を向上させることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施例に係るグリーンシートの穿孔機
構が組み込まれた穿孔装置を示す斜視図である。

【図２】図１に示す穿孔装置の正面図である。

【図３】図１に示す穿孔装置の平面図である。

【図４】図１に示す穿孔装置の穿孔部を構成する上型と
下型とを示す部分縦断面図である。

【図５】図１に示す穿孔装置の上型を構成するスリッパ
プレートとガイドプレートとを示す説明図である。

【図６】図１に示す穿孔装置において、上型と下型とで
固定されたグリーンシートをポンチによりビアホールを
穿孔した状態を示す部分断面図である。

【図７】図６に示す状態からポンチを引き抜いた状態を
示す部分断面図である。

【符号の説明】

１０…穿孔装置 １２、２８…基台部 １６…支柱 １８…横架部材 ２０…穿孔手段 ２２…アーム ２３、３６、３８…モータ ２４、２６…吸着手段 ２５…グリーンシート ３２、３４…収納部 ４８…ホルダ ５０…駆動部 ５２…下型 ５３…上型 ５４、５５…型部材 ６４…穿孔部 ７３…凹部 ７５、９３ａ…孔部 ７７…ガイドプレート ７９…通路 ８１…ポート ９３…ストリッパプレート ９９、９９ａ、９９ｂ…ポンチ

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】上型を下型に対して相対的に下降させる工
   程と、 前記上型のグリーンシート押さえ部によって下型に位置
   決めされているグリーンシートを押さえて保持する工程
   と、 前記上型に設けられているポンチホルダを下型に対して
   相対的に下降させ、該ポンチホルダに植設されているポ
   ンチにより前記グリーンシートの所定位置にビアホール
   を穿孔する工程と、 前記上型を下型から相対的に移動させて前記ポンチの先
   端部がグリーンシートから抜かれた後、前記グリーンシ
   ート押さえ部に設けられた室に連通するポンチ挿通用孔
   部を介して導入された圧縮空気により、該グリーンシー
   トに穿孔されたビアホールに付着するバリを吹き飛ばす
   工程と、 前記上型を下型から相対的に移動させて原位置に復帰さ
   せる工程と、 からなることを特徴とするグリーンシートの穿孔方法。
2. 【請求項２】請求項１記載の方法において、圧縮空気は
   ポンチの直径の小さな先端部がグリーンシートの孔部に
   臨んでいる状態で前記孔部に導入されて該圧縮空気がさ
   らに絞られることによりバリを除去することを特徴とす
   るグリーンシートの穿孔方法。
3. 【請求項３】上型と下型とでグリーンシートを保持し、
   ポンチを介して前記グリーンシートにビアホールを穿孔
   するためのグリーンシートの穿孔機構であって、 前記上型と下型との間に配設されたポンチホルダと、 前記ポンチホルダに配設されたポンチと、 前記ポンチホルダに変位自在に設けられたグリーンシー
   ト押さえ部と、 を備え、前記グリーンシート押さえ部は、ストリッパプ
   レートと前記ストリッパプレートに固着されたガイドプ
   レートとを有し、前記ストリッパプレートとガイドプレ
   ートとの間に圧力流体供給源に連通する室を設けるとと
   もに、前記グリーンシート押さえ部の下側に配設された
   ガイドプレートには前記室と連通するポンチ挿通用孔部
   が画成されていることを特徴とするグリーンシートの穿
   孔機構。
4. 【請求項４】請求項３記載の機構において、前記ポンチ
   は先端部が小径で根本部が大径な異径のロッドからな
   り、前記ポンチ挿通用孔部は前記ポンチの根本部を挿通
   可能に設けられていることを特徴とするグリーンシート
   の穿孔機構。
5. 【請求項５】請求項３または４記載の機構において、前
   記グリーンシート押さえ部の上部に配設されたストリッ
   パプレートにはポンチ挿通用孔部が画成され、前記ポン
   チ挿通用孔部は、ポンチの根本部と略同一の直径を有す
   ることを特徴とするグリーンシートの穿孔機構。