JPH0626976Y2 - 光デイスク検査装置校正用基準板 - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本考案は、レーザ光の反射率や透過率、あるいは板厚な
ど、光ディスクの物理的な諸特性を測定する光ディスク
検査装置において、これらの測定系の校正に使用される
基準板の改良に関するものである。

〔従来の技術〕

一般に、光ディスク検査装置においては、光ディスクの
諸特性を測定する前に、その測定系の校正が行なわれ
る。また、この校正には種々の方法があるが、値のわか
っている標準試料を使用して校正を行なうのが、検出器
や電気回路などを含めた測定系全体を一度に校正するこ
とができ、便利である。

〔考案が解決しようとする問題点〕

しかしながら、このような校正方法では、数点の測定点
から補間して校正曲線を求めるために、数種類の標準試
料を用意して、これらの標準試料を順次光学ヘッドの上
部（レーザ光の照射位置）に正確にセットしなければな
らず、標準試料の交換操作が容易ではない。また、標準
試料として測定済みの光ディスクを利用する方法も考え
られるが、静止した光ディスクにレーザ光を照射する
と、レーザ光の熱で金属膜が溶けたり、酸化して反射率
や透過率が変化してしてまう。このため、光ディスクを
回転させることになるが、反射率などが全面に渡って均
一な光ディスクは少なく、正確な基準値を得ることは難
しい。さらに、反射率の基準となる標準試料と、透過率
の基準となる標準試料とは、それぞれ別の工程による作
られるのが一般的であり、これらを兼用として使用する
ことはできない。特にクロム(Cr)系の蒸着膜を使用した
標準試料では、50％以上の反射率を得ることが難しく、
広い範囲の基準値を得ることができないとともに、透過
率を60％以上とした場合には、蒸着膜が無反射コートの
ような働きをしてしまい、充分な反射光量が得られず、
フォーカスサーボがかからなくなってしまう。

本考案は、上記のような従来装置の欠点をなくし、複数
の標準試料を順次光学ヘッドの上部に正確にセットする
ことができるとともに、レーザ光の射照による温度上昇
に対しても反射率等が変化してしまうことがなく、しか
も反射率および透過率の校正時に兼用に使用することの
できる光ディスク検査装置校正用基準板を簡単な構成に
より実現することを目的としたものである。

〔問題点を解決するための手段〕

本考案の光ディスク検査装置校正用基準板は、通常の光
ディスクと等しい板厚を有するガラス基板の一方の面に
それぞれ所定の反射率および透過率を得るように誘電体
多層膜が形成された複数の標準試料片と、光ディスクの
クランプ機構により共通にクランプされるクランプ部を
有し前記複数の標準試料片を同一円周上に配置するとと
もにこれら複数の標準試料片をその誘電体多層膜面の位
置およびクランプ面からの高さが前記クランプ機構にク
ランプされる通常の光ディスクの記録膜面と一致するよ
うに保持する基板部とを具備するようにしたものであ
る。

〔作用〕

このように複数の標準試料片を基板部の同一円周上に配
置するとともに、この基板部に光ディスクと同様のクラ
ンプ部を設けるようにすると、複数の標準試料片を特別
の治具などを使用することなく光ディスクと共通のクラ
ンプ機構によりクランプすることができるとともに、基
板部を回転させるだけで、任意の標準試料片を光学ヘッ
ドの上部にセットすることができる。しかも、各標準試
料片の面積は小さいので、均一性に優れている。また、
複数の標準試料片をその誘電体多層膜面の位置およびク
ランプ面からの高さが前記クランプ機構にクランプされ
る通常の光ディスクの記録膜面と一致するように保持す
ると、各標準試料片が常に光ディスクと同じ高さに保持
されるようになり、実際の測定状態により近い条件で校
正を行なうことができる。さらに、誘電体多層膜は膜自
体におけるレーザ光の吸収が少なく、反射率と透過率の
和がほぼ一定となる特性を有しているので、このような
誘電体多層膜により標準試料片を形成すると、熱に強
く、レーザ光を照射しても反射率等が変化してしまうこ
とがないとともに、反射率および透過率の校正時に兼用
に使用することのできる標準試料片を実現することがで
きる。

〔実施例〕

以下、図面を用いて、本考案の光ディスク検査装置校正
用基準板を説明する。

第１図は本考案の光ディスク検査装置校正用基準板の一
実施例を示す平面図、第２図はその断面図である。図に
おいて、S0〜S11はそれぞれ所定の基準値に値付けされ
た標準試料片、１は標準試料片S0〜S11を同一円周上に
保持する基板部、２は基板部１の中心に設けられたクラ
ンプ部、21はクランプ部２において光ディスクを回転さ
せるターンテーブルに当接するクランプ面である。ま
た、標準試料片S0〜S11は通常の光ディスクと等しい板
厚ｔを有するガラス基板31と、その一方の面に設けられ
た誘電体多層膜32とから形成されている。基板部１は標
準試料片S0〜S11をその誘電体多層膜32が形成された側
を上にした状態で、しかもその膜面のクランプ面21から
の高さが通常の光ディスクにおけるクランプ時の記録膜
面の高さと一致するように保持している。例えば、光デ
ィスクがその基板部分を直接クランプされる形式のもの
であれば、記録膜面の高さはその板厚と等しくなるの
で、標準試料片S0〜S11は図に示す如く、その底面がク
ランプ面21と一致するように保持される。また、光ディ
スクがクランプ用のハブを有するものであれば、標準試
料片S0〜S11の高さも、そのハブの厚みを考慮して決定
される。

第３図は標準試料片S0〜S11の形成例を示す断面図であ
る。図に示されるように、誘電体多層膜32はガラス基板
31の一方の面に形成されており、その層数に応じて反射
率および透過率が制御され、所定の値付けが行なわれて
いる。ここで、誘電体多層膜32はレーザ光の吸収率が約
0.5％程度と小さく、膜面により反射される光以外はほ
とんど、膜面を透過する光となるので、反射率と透過率
との和がほぼ100％に近い値となる。したがって、例え
ば反射率を基準にして０〜100％の標準試料片S0〜S11を
形成すれば、これらの標準試料片S0〜S11はその反射率
に対応したほぼ100〜０％の透過率を有することにな
り、基準板としての兼用化が可能となる。このため、基
板部１には、１つの標準試料片に対して、反射率と透過
率を表わす２つの数字が表示されている。また、前記し
たように、誘電体多層膜32では膜自体でのレーザ光の吸
収が少ないので、透過率を大きくした場合にも反射率が
極端に小さくなってしまうことがなく、反射率が約４％
以上となる範囲であれば、フォーカスサーボをかけるの
に充分な反射光量を得るこができる。

誘電体多層膜32の材質としては、例えば、酸化チタン
（TiO₂）および酸化ケイ素（SIO₂）が使用されている。
なお、基板部１において、反射率が０％（透過率が100
％）の位置には試料片を設けず、素通しにしている。

このように構成された基準板においては、基板部１をク
ランプ部２を利用して光ディスク検査装置のクランプ機
構に装着するだけで、特別の治具などを使用することな
く、任意の標準試料片S0〜S11を光学ヘッドの上部にセ
ットすることができる。また、各標準試料片S0〜S11の
面積は小さいので、均一性に優れている。さらに、誘電
体多層膜32は熱に強いので、レーザ光の照射により膜の
温度が上昇しても、溶けてしまったり、反射率等が変化
してしまうことがない。ガラス基板31もまた高温に対し
て安定である。

第４図は本考案の基準板を光ディスク検査装置に装着し
た状態を示す構成図である。図は光ディスクの反射率測
定における校正動作時を例示したものである。図におい
て、前記第１図および第２図と同様のものは同一符号を
付して示す。４は光ディスク検査装置における光ディス
クのクランプ機構、41はそのターンテーブル、５は光学
ヘッドである。光学ヘッド５は、一定光量のレーザ光を
出射するレーザ光源51、光アイソレータ52、レーザ光源
51から出射されたレーザ光を収束させ、標準試料片S0〜
S11の誘電体多層膜面上に焦点を結ばせる対物レンズ5
3、標準試料片S0〜S11からの反射光を光アイソレータ52
を介して検出するフォトセンサ54、フォトセンサ54の出
力を増幅するアンプ55などにより構成されている。

このような校正動作時においては、基板部１を回転させ
るだけで、任意の標準試料片S0〜S11を光学ヘッド５の
上部にセットすることができる。したがって、この時の
標準試料片S0〜S11の値と測定出力Soとの関係をプロッ
トし、この測定点間を補間すれば、対物レンズ53などの
光学系やフォトセンサ54、アンプ55などの電気回路系を
含めた測定系全体の校正曲線を一度に得ることができ
る。また、各標準試料片S0〜S11における誘電体多層膜
面の高さが通常の光ディスクにおける記録膜面の高さと
等しく形成されているので、光学ヘッド５と誘電体多層
膜32との距離が光ディスクの測定時と等しくなり、フォ
ーカスサーボの状態など、実際の測定時に近い条件で校
正動作を行なうことができる。

なお、上記の説明においては、光ディスクの反射率測定
時の校正動作を例示したが、測定項目が変更された場合
にも、基準板の装着方法は変らず、所望の標準試料片S0
〜S11を容易にセットすることができる。例えば、透過
率測定時の校正動作においては、フォトセンサ54が基準
板を介して対物レンズ53と対向する位置に配置され、標
準試料片S0〜S11を透過したレーザ光を検出する。ま
た、光学ヘッド５としては、光ディスクの下側からレー
ザ光を照射する形式のものを例示したが、反対に、光デ
ィスクの上側からレーザ光を照射するものも存在する。
このような場合には、光ディスクの記録膜面の位置はデ
ィスクの下側となるので、基準板における反射膜面また
は透過膜面の位置および高さもこれに応じて変更され
る。

〔考案の効果〕

以上説明したように、本考案の光ディスク検査装置校正
用基準板では、通常の光ディスクと等しい板厚を有する
ガラス基板の一方の面にそれぞれ所定の反射率および透
過率を得るように誘電体多層膜が形成された複数の標準
試料片と、光ディスクのクランプ機構により共通にクラ
ンプされるクランプ部を有し前記複数の標準試料片を同
一円周上に配置するとともにこれら複数の標準試料片を
その誘電体多層膜面の位置およびクランプ面からの高さ
が前記クランプ機構にクランプされる通常の光ディスク
の記録膜面と一致するように保持する基板部とを具備す
るようにしているので、複数の標準試料片を特別の治具
などを使用することなく光ディスクと共通のクランプ機
構によりクランプすることができ、基板部を回転させる
だけで、任意の標準試料片を順次光学ヘッドの上部に正
確にセットすることができるとともに、レーザ光の射照
による温度上昇に対しても反射率等が変化してしまうこ
とがなく、しかも反射率および透過率の校正時に兼用に
使用することのできる光ディスク検査装置校正用基準板
を簡単な構成により実現することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図および第２図は本考案の光ディスク検査装置校正
用基準板の一実施例を示す構成図および断面図、第３図
は標準試料片S0〜S11の形成例を示す断面図、第４図は
本考案の光ディスク検査装置校正用基準板を光ディスク
検査装置に装着した状態の一例を示す構成図である。 S0〜S11……標準試料片、１……基板部、２……クラン
プ部、31……ガラス基板、32……誘電体多層膜、４……
クランプ機構、５……光学ヘッド。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】通常の光ディスクと等しい板厚を有するガ
   ラス基板の一方の面にそれぞれ所定の反射率および透過
   率を得るように誘電体多層膜が形成された複数の標準試
   料片と、光ディスクのクランプ機構により共通にクラン
   プされるクランプ部を有し前記複数の標準試料片を同一
   円周上に配置するとともにこれら複数の標準試料片をそ
   の誘電体多層膜面の位置およびクランプ面からの高さが
   前記クランプ機構にクランプされる通常の光ディスクの
   記録膜面と一致するように保持する基板部とを具備して
   なる光ディスク検査装置校正用基準板。