JPH06259771A - 光記録方法および装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 光源を変更することなくピット幅を狭くす
る。 【構成】 基板上に成膜された記録膜に光によって任意
のパターンを形成するとき、分配された、または独立し
た二系統の光源を用い、記録膜面に対して一方では記録
データパターンにしたがって光を変調させたビームスポ
ットを照射し、もう一方では変調ビームの照射部分の任
意の部分と重なるようにビームスポットを連続照射す
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は光記録方法および装置に
関し、特に高密度パターンの形成方法および装置に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】従来の光記録媒体では図３に示すように
記録膜に対して一系統の光源によって記録膜面にピット
と呼ばれる性質の異なる部分を形成し、再生時にこの部
分の位置や長さなどをレーザの集光光（以下、ビームス
ポットと称す）で検出して再生信号を得る。この時再生
ビームスポット径の制約上隣接トラックに存在するピッ
トとの間隔が充分でないと、目的トラックの検出中に隣
接トラックのピットのデータも同時に検出（以下、クロ
ストークと称す）されてしまい、正確な再生信号を得る
ことが難しくなる。例として現在実用化されている再生
レーザ波長７８０ｎｍ，対物レンズのＮＡ０．５程度の
コンパクトディスクでは、トラック間隔を１．６μｍに
している。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】例えば基板上に感光材
料（以下、フォトレジスト；ＰＲと称す）を塗布した光
ディスク原盤（以下、マスターディスクと称す）に、一
系統のレーザ（光源）によってデータのピットパターン
を形成（以下、露光と称す）する場合、ピット幅はビー
ムスポットの径に依存するため、ビームスポット径を変
化させないでピット幅を変更する為にはレーザパワーを
変化させたり単位面上への照射時間を変えるしかない。

【０００４】同一面積上でのデータの高密度化をする場
合、ピット長さや間隔、トラック間隔が短くなる為、従
来通りのピット幅では再生時にクロストークが大きくな
り再生特性上問題となる。したがってピット幅を狭める
必要が出てくる。

【０００５】前述のように、ビームスポット径を変えな
いでピット幅を狭くする為には、レーザのパワーを下げ
たり単位面上への露光時間を短くする必要があるが、こ
の方法では露光不足の為、ピット深さも同時に浅くなっ
てしまうことがあり、良好なピットパターンを形成する
ことが困難になる。

【０００６】ビームスポット径を小さくする手法として
はレーザを短波長のものに置き換えること等が考えられ
るが、それには露光装置の大幅な改造（例えばサーボ
系）とレーザの波長にあったＰＲが必要になりコスト的
に不利になってしまう。

【０００７】そこで本発明は光源を変更することなく、
また露光不足にすることなくピット幅を狭くすることを
目的としている。

【０００８】

【課題を解決するための手段】従って、上述の目的を達
成するために第１の本発明は、基板上に成膜された記録
膜に光によって任意のパターンを形成する光記録方法に
おいて、 分配されるか又は独立した二系統の光源を用
い、この一方の光源からの光（以下、メインビームと称
す）を記録データパターンに従って変調して記録膜面に
照射し、他方の光源からのサブビームをメインビームの
照射部分の任意の部分と重なるように連続照射するもの
である。

【０００９】第２の本発明は、基板上に成膜された記録
膜を有する記録媒体と、レーザ光を出力するレーザ発振
器と、このレーザ光をメインビームとサブビームとに分
配するレーザ分配器と、このメインビームを記録データ
信号に基づいて変調するレーザパルス発生器と、この変
調されたメインビームをサブビームと混合するレーザ混
合器と、この混合されたレーザビームを記録媒体上の記
録膜に照射する光ヘッドとを備えたものである。

【００１０】第３の本発明は、基板上に成膜された記録
膜を有する記録媒体と、レーザ光を出力するレーザ発振
器と、このレーザ光をメインビームとサブビームとに分
配するレーザ分配器と、このメインビームを記録データ
信号に基づいて変調するレーザパルス発生器と、この変
調されたメインビームを記録媒体上の記録膜に照射する
第１の光ヘッドと、このメインビームの後方からサブビ
ームをメインビームの照射部分の任意の部分と重なるよ
うに照射する第２の光ヘッドとを備えたものである。

【００１１】第４の本発明は、基板上に成膜された記録
膜を有する記録媒体と、メインビームを出力する第１の
レーザ発振器と、このメインビームを記録データ信号に
基づいて変調するレーザパルス発生器と、この変調され
たメインビームを記録媒体上の記録膜に照射する第１の
光ヘッドと、サブビームを出力する第２のレーザ発振器
と、このサブビームをメインビームの後方からメインビ
ームの照射部分の任意の部分と重なるように照射する第
２の光ヘッドとを備えたものである。

【００１２】

【実施例】図２は本発明の光ディスク露光装置の光学系
を示した平面図であり、レーザ光の光路を示している。
レーザ発振器１で発振されたレーザをパワー制御器２に
よって必要なレーザパワーに落とす。ここを通過したレ
ーザ光をミラー３でレーザ分配器４に導き、一方はメイ
ンビーム系へ、もう一方はサブビーム系へと、ここでは
等パワーで振り分ける。メインビーム系へ振り分けられ
たレーザ光（以下、メインビームと称す）はミラー５に
よってレーザパルス発生器６へと導く。メインビーム
は、ここでデータ信号に従って変調され明滅信号（以
下、パルス信号と称す）となる。パルス信号となったメ
インビームは、ミラー７によってレーザ混合器８に導か
れ、再びサブビームと同一の光路軸に乗る。混合された
ビームは光ヘッド９へと導かれ露光するディスク媒体面
へ集光されビームスポットを形成する。ここで混合器へ
のメインビームの入射位置または角度をずらすことによ
ってディスク媒体面にビームスポットを形成したとき
に、図１の下に示すようにディスク媒体の半径方向に、
メインビームとサブビームのスポットの中心が０．４μ
ｍずれるように設定する。ここではメインビームとサブ
ビームのスポット径は、それぞれ０．６μｍとしてい
る。この状態で一回転のトラックピッチを０．８μｍと
してＰＲを塗布した光ディスク基板にスパイラル状にメ
インとサブのビームスポットを照射していくと、ディス
ク媒体面に図１のようなピットパターンが形成される。

【００１３】図１は露光されたディスク媒体面の拡大図
である。図１に示すようにメインビーム，サブビームお
よびメインビームとサブビームの両方で露光された部分
と未露光部分ができる。ビーム径が０．６μｍなので露
光される幅も０．６μｍであるとすると、サブビームで
露光された部分の隙間に０．２μｍの未露光部分が形成
される。この隙間部分は、パルス信号になったメインビ
ームによって寸断され残った未露光部分がデータを持っ
た幅０．２μｍのピットとなる。従ってメインビームの
変調がピットとして形成させたい部分が滅になるように
データを設定する。

【００１４】ピット幅をさらに狭くする場合にはサブビ
ームのパワーを上げてサブビームのビーム系を大きくす
る。

【００１５】基板面に凹のピットパターンを形成したマ
スターディスクを作製する場合には、ＰＲとしてネガレ
ジストを使用し、基板面に凸のピットパターンを形成し
たマスターディスクを作製する場合には、ＰＲとしてポ
ジレジストを使用する。

【００１６】次に光磁気記録への応用であるが、この場
合は上述の実施例のようにメインビームとサブビームの
ディスク基板上でのビームスポットを重ねるのではな
く、メインビームとサブビームをそれぞれ独立した二つ
のヘッド（光ヘッドと磁気ヘッド）へ導き、または二つ
の独立した光源を持つ独立したヘッドを使用して、メイ
ンビームで先行してピット記録を行い、数トラック後か
らサブビームで図１と同様にメインビームで記録した部
分の間を連続記録（正確には消去）する。

【００１７】光磁気記録媒体のようにディスク基板上に
スパイラル状の溝がある場合は、例えばメインビームを
グルーブにサブビームをランドに、それぞれトラッキン
グサーボをかけてやれば前記記録方法は容易に実現され
る。

【００１８】これによって図１に示すように初めメイン
ビームによって記録された０．６μｍ幅のピットはサブ
ビームによってサイドを消去され０．２μｍ幅のピット
となる。

【００１９】

【発明の効果】記録または露光装置の光源を変更するこ
となく、また露光量不足を生じることなく幅狭ピットの
露光または記録が可能となり、クロストークの少ない高
密度記録に適した媒体作製が可能となる。

【００２０】また、ピットの幅方向を削る形となるた
め、パルス信号の長短によって生じる可能性のある、ピ
ット幅の変動も抑えることが可能となる。

【００２１】本発明の記録方法を使用して露光または記
録したピット形状は、角が鋭利な独特の形状となるた
め、製品からの判別も可能である。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係わるピットパターンを形成した光デ
ィスク面の拡大図である。

【図２】本発明に係わる光ディスク露光装置のレーザ光
の光路の平面図である。

【図３】従来のピットパターンを形成した光ディスク面
の拡大図である。

【符号の説明】 １ レーザ発振器 ２ レーザパワー制御器 ３，５，７ ミラー ４ レーザ分配器 ６ レーザパルス発生器 ８ レーザ混合器 ９ 光学ヘッド

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 基板上に成膜された記録膜に光によって
   任意のパターンを形成する光記録方法において、 分配されるか又は独立した二系統の光源を用い、この一
   方の光源からの光（以下、メインビームと称す）を記録
   データパターンに従って変調して記録膜面に照射し、他
   方の光源からのサブビームをメインビームの照射部分の
   任意の部分と重なるように連続照射することを特徴とす
   る光記録方法。
2. 【請求項２】 基板上に成膜された記録膜を有する記録
   媒体と、レーザ光を出力するレーザ発振器と、このレー
   ザ光をメインビームとサブビームとに分配するレーザ分
   配器と、このメインビームを記録データ信号に基づいて
   変調するレーザパルス発生器と、この変調されたメイン
   ビームをサブビームと混合するレーザ混合器と、この混
   合されたレーザビームを記録媒体上の記録膜に照射する
   光ヘッドとを備えたことを特徴とする光記録装置。
3. 【請求項３】 基板上に成膜された記録膜を有する記録
   媒体と、レーザ光を出力するレーザ発振器と、このレー
   ザ光をメインビームとサブビームとに分配するレーザ分
   配器と、このメインビームを記録データ信号に基づいて
   変調するレーザパルス発生器と、この変調されたメイン
   ビームを記録媒体上の記録膜に照射する第１の光ヘッド
   と、このメインビームの後方からサブビームをメインビ
   ームの照射部分の任意の部分と重なるように照射する第
   ２の光ヘッドとを備えたことを特徴とする光記録装置。
4. 【請求項４】 基板上に成膜された記録膜を有する記録
   媒体と、メインビームを出力する第１のレーザ発振器
   と、このメインビームを記録データ信号に基づいて変調
   するレーザパルス発生器と、この変調されたメインビー
   ムを記録媒体上の記録膜に照射する第１の光ヘッドと、
   サブビームを出力する第２のレーザ発振器と、このサブ
   ビームをメインビームの後方からメインビームの照射部
   分の任意の部分と重なるように照射する第２の光ヘッド
   とを備えたことを特徴とする光記録装置。