JPH06258073A - プローブ顕微鏡装置 - Google Patents
プローブ顕微鏡装置Info
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- JPH06258073A JPH06258073A JP5075787A JP7578793A JPH06258073A JP H06258073 A JPH06258073 A JP H06258073A JP 5075787 A JP5075787 A JP 5075787A JP 7578793 A JP7578793 A JP 7578793A JP H06258073 A JPH06258073 A JP H06258073A
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- Japan
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- probe
- stage
- distance
- microscope
- predetermined point
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01Q—SCANNING-PROBE TECHNIQUES OR APPARATUS; APPLICATIONS OF SCANNING-PROBE TECHNIQUES, e.g. SCANNING PROBE MICROSCOPY [SPM]
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- Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Nuclear Medicine, Radiotherapy & Molecular Imaging (AREA)
- Radiology & Medical Imaging (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
- Microscoopes, Condenser (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 短時間で容易にプローブ顕微鏡の探針と光学
顕微鏡の光軸間の距離を測定できるプローブ顕微鏡装置
の提供。 【構成】 試料テーブル１の所定個所に蒸着膜２が蒸着
され、１つの角部（所定点）Ｏと、それから直交方向に
延びる蒸着膜２の２つのエッジ（段差部）が形成され
る。探針の両方向の１ライン走査により両段差部を検出
し得る位置ＯP が決定され、所定点Ｏとの距離ＸP 、Ｙ
P が演算される。次に、所定点Ｏが光学顕微鏡の視野５
内に捕捉され、そのときの移動量Ｘ0 、Ｙ0 と、視野５
内の所定点Ｏと光軸ＯR の距離Ｘm 、Ｙm が演算され
る。これらによりプローブ顕微鏡の探針と光学顕微鏡の
光軸間の距離が演算される。
顕微鏡の光軸間の距離を測定できるプローブ顕微鏡装置
の提供。 【構成】 試料テーブル１の所定個所に蒸着膜２が蒸着
され、１つの角部（所定点）Ｏと、それから直交方向に
延びる蒸着膜２の２つのエッジ（段差部）が形成され
る。探針の両方向の１ライン走査により両段差部を検出
し得る位置ＯP が決定され、所定点Ｏとの距離ＸP 、Ｙ
P が演算される。次に、所定点Ｏが光学顕微鏡の視野５
内に捕捉され、そのときの移動量Ｘ0 、Ｙ0 と、視野５
内の所定点Ｏと光軸ＯR の距離Ｘm 、Ｙm が演算され
る。これらによりプローブ顕微鏡の探針と光学顕微鏡の
光軸間の距離が演算される。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、光学顕微鏡が併用され
るトンネル顕微鏡や原子間力顕微鏡等のプローブ顕微鏡
装置に係り、特にその探針と光学顕微鏡との距離を得る
のに好適なプローブ顕微鏡装置に関する。
るトンネル顕微鏡や原子間力顕微鏡等のプローブ顕微鏡
装置に係り、特にその探針と光学顕微鏡との距離を得る
のに好適なプローブ顕微鏡装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】プローブ顕微鏡は、先端の尖った探針
を、試料に対してナノメートル（ｎｍ）オーダまで接近
させ、そのとき探針と試料との間に生じるトンネル電流
や原子間力を測定することにより、試料表面の形状を原
子寸法レベルで計測する装置である。このようなプロー
ブ顕微鏡の測定範囲は最大でも数１０μｍである。この
ため、例えば光ディスク等の大きな試料における１つの
アドレスビットの細部の異常をチェックするような場
合、そのような微小な部分に探針の先端を目視で合わせ
ることは不可能である。したがって、プローブ顕微鏡
は、試料を移動させるＸＹステージとともに、プローブ
顕微鏡の測定範囲より大きな視野をもつ測定機器、例え
ば光学顕微鏡を備えているのが通常である。
を、試料に対してナノメートル（ｎｍ）オーダまで接近
させ、そのとき探針と試料との間に生じるトンネル電流
や原子間力を測定することにより、試料表面の形状を原
子寸法レベルで計測する装置である。このようなプロー
ブ顕微鏡の測定範囲は最大でも数１０μｍである。この
ため、例えば光ディスク等の大きな試料における１つの
アドレスビットの細部の異常をチェックするような場
合、そのような微小な部分に探針の先端を目視で合わせ
ることは不可能である。したがって、プローブ顕微鏡
は、試料を移動させるＸＹステージとともに、プローブ
顕微鏡の測定範囲より大きな視野をもつ測定機器、例え
ば光学顕微鏡を備えているのが通常である。
【０００３】プローブ顕微鏡の実際の測定においては、
最初にＸＹステージで試料を移動させて測定対象部分を
光学顕微鏡の視野内に捉え、次いで、再びＸＹステージ
により当該測定対象部分をプローブ顕微鏡の探針と対向
する位置に移動させて測定を行う。この場合、光学顕微
鏡の光軸と探針との距離は予め判っているので、ＸＹス
テージは当該距離だけ移動せしめられる。
最初にＸＹステージで試料を移動させて測定対象部分を
光学顕微鏡の視野内に捉え、次いで、再びＸＹステージ
により当該測定対象部分をプローブ顕微鏡の探針と対向
する位置に移動させて測定を行う。この場合、光学顕微
鏡の光軸と探針との距離は予め判っているので、ＸＹス
テージは当該距離だけ移動せしめられる。
【０００４】ところで、プローブ顕微鏡の探針は、使用
している間に先端の尖鋭度が劣化して丸くなり、又は、
試料等と接触して先端に曲がりを生じることもあって、
しばしば新しい探針との交換を必要とする。このように
探針を交換した場合には必然的に取付け誤差を生じ、上
記光軸と探針間の距離も変化する。したがって、探針交
換毎に両者間の距離を測定しなければならない。
している間に先端の尖鋭度が劣化して丸くなり、又は、
試料等と接触して先端に曲がりを生じることもあって、
しばしば新しい探針との交換を必要とする。このように
探針を交換した場合には必然的に取付け誤差を生じ、上
記光軸と探針間の距離も変化する。したがって、探針交
換毎に両者間の距離を測定しなければならない。
【０００５】従来、この測定手段として、位置合わせ用
の標準試料を光学顕微鏡で観察してその像を得、次い
で、想定される光軸と探針との距離（例えば、設計上の
値や探針交換前の距離）に従ってＸＹステージを移動
し、この位置で探針を走査することによりプローブ顕微
鏡像を得、このプローブ顕微鏡像と上記光学顕微鏡像と
を比較して光軸と新しい探針との正確な距離を測定して
いた。
の標準試料を光学顕微鏡で観察してその像を得、次い
で、想定される光軸と探針との距離（例えば、設計上の
値や探針交換前の距離）に従ってＸＹステージを移動
し、この位置で探針を走査することによりプローブ顕微
鏡像を得、このプローブ顕微鏡像と上記光学顕微鏡像と
を比較して光軸と新しい探針との正確な距離を測定して
いた。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】上記従来の手段では、
探針を交換した場合、標準試料の光学顕微鏡像とプロー
ブ顕微鏡像とを検出し、かつ、それらのパターン認識を
行わねばならない。しかし、プローブ顕微鏡像を得るた
めには探針のＸＹ軸の走査を行わねばならず、この走査
に相当の時間を要する。
探針を交換した場合、標準試料の光学顕微鏡像とプロー
ブ顕微鏡像とを検出し、かつ、それらのパターン認識を
行わねばならない。しかし、プローブ顕微鏡像を得るた
めには探針のＸＹ軸の走査を行わねばならず、この走査
に相当の時間を要する。
【０００７】又、上記従来の手段では、標準試料を光学
顕微鏡で観察した後、想定される光軸と探針との距離を
移動させることになるが、光学顕微鏡像に対してプロー
ブ顕微鏡像は数μｍ角の極微小範囲の像であるため、得
られたプローブ顕微鏡像が標準試料のどの部分であるの
か判らなくなる場合があるし、確実に判るようにするた
めには精密なパターン認識処理が必要である。逆に、標
準試料側からみると、数μｍ角以下の異なったパターン
が高精度で配列されていることが必要であり、このよう
なパターンを作成すること自体困難であり、かつ、高価
なものとなり好ましくない。
顕微鏡で観察した後、想定される光軸と探針との距離を
移動させることになるが、光学顕微鏡像に対してプロー
ブ顕微鏡像は数μｍ角の極微小範囲の像であるため、得
られたプローブ顕微鏡像が標準試料のどの部分であるの
か判らなくなる場合があるし、確実に判るようにするた
めには精密なパターン認識処理が必要である。逆に、標
準試料側からみると、数μｍ角以下の異なったパターン
が高精度で配列されていることが必要であり、このよう
なパターンを作成すること自体困難であり、かつ、高価
なものとなり好ましくない。
【０００８】本発明の目的は、上記従来技術における課
題を解決し、光学顕微鏡の光軸と探針との距離を短時間
で、かつ、容易に得ることができるプローブ顕微鏡装置
を提供することにある。
題を解決し、光学顕微鏡の光軸と探針との距離を短時間
で、かつ、容易に得ることができるプローブ顕微鏡装置
を提供することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
め、本発明における第１の発明は、互いに直交するＸ軸
およびＹ軸に沿って変位するＸＹステージと、このＸＹ
ステージとともに変位し試料を載置する試料テーブル
と、前記ＸＹステージの変位量を計測する変位計と、前
記試料テーブルに対向して配置された探針と、前記試料
テーブルに対向しかつ前記探針から離れて配置される光
学顕微鏡とを備えたプローブ顕微鏡装置において、段差
部を備え前記探針により計測されるパターンと、前記段
差部を前記探針により検出可能な位置に変位させる第１
の位置決め手段と、この第１の位置決め手段により定め
られた位置での前記探針と対向する位置と前記パターン
上の段差部の所定点との距離を演算する第１の演算手段
と、前記所定点を前記光学顕微鏡の視野内に移動させる
第２の位置決め手段と、この第２の位置決め手段による
移動量を演算する第２の演算手段と、前記光学顕微鏡の
光軸と前記所定点の像との距離を演算する第３の演算手
段と、前記第１の演算手段、前記第２の演算手段、およ
び前記第３の演算手段により得られた値に基づいて前記
探針と前記光軸との距離を求める第４の演算手段とを設
けたことを特徴とする。
め、本発明における第１の発明は、互いに直交するＸ軸
およびＹ軸に沿って変位するＸＹステージと、このＸＹ
ステージとともに変位し試料を載置する試料テーブル
と、前記ＸＹステージの変位量を計測する変位計と、前
記試料テーブルに対向して配置された探針と、前記試料
テーブルに対向しかつ前記探針から離れて配置される光
学顕微鏡とを備えたプローブ顕微鏡装置において、段差
部を備え前記探針により計測されるパターンと、前記段
差部を前記探針により検出可能な位置に変位させる第１
の位置決め手段と、この第１の位置決め手段により定め
られた位置での前記探針と対向する位置と前記パターン
上の段差部の所定点との距離を演算する第１の演算手段
と、前記所定点を前記光学顕微鏡の視野内に移動させる
第２の位置決め手段と、この第２の位置決め手段による
移動量を演算する第２の演算手段と、前記光学顕微鏡の
光軸と前記所定点の像との距離を演算する第３の演算手
段と、前記第１の演算手段、前記第２の演算手段、およ
び前記第３の演算手段により得られた値に基づいて前記
探針と前記光軸との距離を求める第４の演算手段とを設
けたことを特徴とする。
【００１０】又、本発明における第２の発明は、互いに
直交するＸ軸およびＹ軸に沿って変位するＸＹステージ
と、このＸＹステージとともに変位し試料を載置する試
料テーブルと、前記ＸＹステージの変位量を計測する変
位計と、前記試料テーブルに対向して配置された走査可
能な探針と、前記試料テーブルに対向しかつ前記探針か
ら離れて配置される光学顕微鏡とを備えたプローブ顕微
鏡装置において、段差部を備え前記探針により計測され
るパターンと、前記ＸＹステージを駆動して前記探針に
よる前記段差部の検出により前記探針と前記パターン上
の段差部の所定点とを対向させる位置決め手段と、この
位置決め手段で前記探針と前記所定点とが対向したとき
の前記ＸＹステージの位置を記憶する記憶手段と、この
記憶手段に記憶した値と当該記憶手段にさきに記憶され
ていた値とに基づいて前記探針と前記光学顕微鏡の光軸
との距離を求める演算手段とを設けたことを特徴とす
る。
直交するＸ軸およびＹ軸に沿って変位するＸＹステージ
と、このＸＹステージとともに変位し試料を載置する試
料テーブルと、前記ＸＹステージの変位量を計測する変
位計と、前記試料テーブルに対向して配置された走査可
能な探針と、前記試料テーブルに対向しかつ前記探針か
ら離れて配置される光学顕微鏡とを備えたプローブ顕微
鏡装置において、段差部を備え前記探針により計測され
るパターンと、前記ＸＹステージを駆動して前記探針に
よる前記段差部の検出により前記探針と前記パターン上
の段差部の所定点とを対向させる位置決め手段と、この
位置決め手段で前記探針と前記所定点とが対向したとき
の前記ＸＹステージの位置を記憶する記憶手段と、この
記憶手段に記憶した値と当該記憶手段にさきに記憶され
ていた値とに基づいて前記探針と前記光学顕微鏡の光軸
との距離を求める演算手段とを設けたことを特徴とす
る。
【００１１】
【作用】第１の発明では、最初にＸＹステージにより探
針とパターンとを対向させる。次に、第１の位置決め手
段により、探針が２つの段差部のいずれも検出できる位
置に試料テーブルを移動させる。このときの探針に対向
する位置と所定点との距離を第１の演算手段で演算す
る。次いで、第２の位置決め手段が所定点を光学顕微鏡
の視野内に移動させ、そのときの移動距離を第２の演算
手段で演算する。そして、第３の演算手段で上記視野内
の光軸と所定点との距離を演算する。第１の演算手段、
第２の演算手段および第３の演算手段で得られた値に基
づいて、第４の演算手段で探針と光軸との間の距離を演
算する。
針とパターンとを対向させる。次に、第１の位置決め手
段により、探針が２つの段差部のいずれも検出できる位
置に試料テーブルを移動させる。このときの探針に対向
する位置と所定点との距離を第１の演算手段で演算す
る。次いで、第２の位置決め手段が所定点を光学顕微鏡
の視野内に移動させ、そのときの移動距離を第２の演算
手段で演算する。そして、第３の演算手段で上記視野内
の光軸と所定点との距離を演算する。第１の演算手段、
第２の演算手段および第３の演算手段で得られた値に基
づいて、第４の演算手段で探針と光軸との間の距離を演
算する。
【００１２】又、第２の発明では、最初にＸＹステージ
により探針とパターンとを対向させる。次に、位置決め
手段により、探針で２つの段差部を交互に検出してゆ
き、これにより探針と所定点とを対向させる。次いで、
このときのＸＹステージの位置を記憶手段に記憶し、こ
の記憶した値と当該記憶手段にさきに記憶されていた値
とに基づいて、演算手段で探針と光学顕微鏡の光軸との
間の距離を演算する。
により探針とパターンとを対向させる。次に、位置決め
手段により、探針で２つの段差部を交互に検出してゆ
き、これにより探針と所定点とを対向させる。次いで、
このときのＸＹステージの位置を記憶手段に記憶し、こ
の記憶した値と当該記憶手段にさきに記憶されていた値
とに基づいて、演算手段で探針と光学顕微鏡の光軸との
間の距離を演算する。
【００１３】
【実施例】以下、本発明を図示の実施例に基づいて説明
する。
する。
【００１４】図１は本発明の実施例に係るプローブ顕微
鏡装置による探針と光軸との距離の測定を説明する平面
図である。図で、１は図示しないＸＹステージに固定さ
れた試料テーブル、２は試料テーブル１の所定個所に蒸
着された金属の蒸着膜、５は光学顕微鏡の視野、Ｘ、Ｙ
はＸＹステージおよび試料テーブル１の座標軸を示す。
鏡装置による探針と光軸との距離の測定を説明する平面
図である。図で、１は図示しないＸＹステージに固定さ
れた試料テーブル、２は試料テーブル１の所定個所に蒸
着された金属の蒸着膜、５は光学顕微鏡の視野、Ｘ、Ｙ
はＸＹステージおよび試料テーブル１の座標軸を示す。
【００１５】図２は図１に示す蒸着膜の斜視図である。
蒸着膜２は方形に形成され、その厚みにより試料テーブ
ル１の面との間に微小な段差が形成される。２ＥX は図
１に示すＸ軸方向に沿う段差部、２ＥY はＹ軸に沿う段
差部である。Ｏは蒸着膜２の角部であり、この角部Ｏは
図１に示すＸＹ座標軸上で予め定められた所定点であ
る。各段差部２ＥX 、２ＥY は所定点Ｏから互いに直交
方向に延びている。３はプローブ顕微鏡の探針を示し、
図示せぬアクチュエータによりＸ軸、Ｙ軸およびこれら
と直交する軸（Ｚ軸）方向に変位可能に設置されてい
る。２Ｓは探針３の走査範囲を示し、Ｘ軸、Ｙ軸方向に
距離ａの範囲で走査を行う。ＯP は探針３の位置又はこ
れと対向する蒸着膜２上の位置を示す。
蒸着膜２は方形に形成され、その厚みにより試料テーブ
ル１の面との間に微小な段差が形成される。２ＥX は図
１に示すＸ軸方向に沿う段差部、２ＥY はＹ軸に沿う段
差部である。Ｏは蒸着膜２の角部であり、この角部Ｏは
図１に示すＸＹ座標軸上で予め定められた所定点であ
る。各段差部２ＥX 、２ＥY は所定点Ｏから互いに直交
方向に延びている。３はプローブ顕微鏡の探針を示し、
図示せぬアクチュエータによりＸ軸、Ｙ軸およびこれら
と直交する軸（Ｚ軸）方向に変位可能に設置されてい
る。２Ｓは探針３の走査範囲を示し、Ｘ軸、Ｙ軸方向に
距離ａの範囲で走査を行う。ＯP は探針３の位置又はこ
れと対向する蒸着膜２上の位置を示す。
【００１６】図３は本実施例のプローブ顕微鏡装置の全
体構成図である。この図で、図１および図２に示す部分
と同一部分には同一符号が付してある。１０ＸはＸ軸ス
テージ、１０ＹはＹ軸ステージであり、これらでＸＹス
テージ１０が構成されている。１１は試料テーブル１に
取り付けられたＬ型ミラーである。１２は探針３をＸ、
Ｙ、Ｚ軸方向に変位させるアクチュエータ（一般に圧電
素子により構成されている）、１３は光学顕微鏡、１４
は光学顕微鏡１３の映像を電気信号に変換するＣＣＤカ
メラ、１５は支持台である。１６はＸＹステージの変位
を制御するコントローラ、１７はＬ型ミラー１１の反射
を用いて試料テーブル１（ＸＹステージ１０）の変位量
を測定するレーザ変位計、１８はアクチュエータ１２の
駆動を制御するコントローラである。１９はＣＣＤカメ
ラ１４からの信号に基づいて画像処理を行う画像処理装
置、２０は画像処理装置１９により処理された画像を表
示する表示装置である。２１は演算制御部を示し、本実
施例における探針３と光学顕微鏡１３の光軸間の距離測
定のための演算、制御、その他種々の演算、制御を行
う。
体構成図である。この図で、図１および図２に示す部分
と同一部分には同一符号が付してある。１０ＸはＸ軸ス
テージ、１０ＹはＹ軸ステージであり、これらでＸＹス
テージ１０が構成されている。１１は試料テーブル１に
取り付けられたＬ型ミラーである。１２は探針３をＸ、
Ｙ、Ｚ軸方向に変位させるアクチュエータ（一般に圧電
素子により構成されている）、１３は光学顕微鏡、１４
は光学顕微鏡１３の映像を電気信号に変換するＣＣＤカ
メラ、１５は支持台である。１６はＸＹステージの変位
を制御するコントローラ、１７はＬ型ミラー１１の反射
を用いて試料テーブル１（ＸＹステージ１０）の変位量
を測定するレーザ変位計、１８はアクチュエータ１２の
駆動を制御するコントローラである。１９はＣＣＤカメ
ラ１４からの信号に基づいて画像処理を行う画像処理装
置、２０は画像処理装置１９により処理された画像を表
示する表示装置である。２１は演算制御部を示し、本実
施例における探針３と光学顕微鏡１３の光軸間の距離測
定のための演算、制御、その他種々の演算、制御を行
う。
【００１７】次に、プローブ顕微鏡の探針３を交換した
場合の新しい探針３と光学顕微鏡の光軸間の距離の測定
手段を説明する。先ず、測定者は目視により探針３を蒸
着膜２に対向する位置に移動させる。この移動は、蒸着
膜２を数ミリ角（例えば５ミリ角）に形成しておけば容
易に行うことができる。以後の処理は演算制御部２１に
より自動的に実行される。
場合の新しい探針３と光学顕微鏡の光軸間の距離の測定
手段を説明する。先ず、測定者は目視により探針３を蒸
着膜２に対向する位置に移動させる。この移動は、蒸着
膜２を数ミリ角（例えば５ミリ角）に形成しておけば容
易に行うことができる。以後の処理は演算制御部２１に
より自動的に実行される。
【００１８】演算制御部２１は蒸着膜２の所定点Ｏを探
針３の位置ＯP に接近させるようにＸＹステージ１０
（試料テーブル１）を移動させる。この移動処理を図４
により説明する。演算制御部２１は、上記目視により移
動させた位置関係（図４に示す蒸着膜２の位置２００）
において、先ず、アクチュエータ１２を用いて探針３を
Ｘ軸方向に１ライン、Ｙ軸方向に１ライン走査させる。
この走査によっても蒸着膜２の段差部２ＥX 、２ＥY の
両者が検出されない場合、演算制御部２１は試料テーブ
ル１を、探針３の一方向の走査範囲である距離ａだけＸ
軸方向およびＹ軸方向へそれぞれ変位させる。この変位
後の蒸着膜２の位置が図４に一点鎖線２０１で示されて
いる。
針３の位置ＯP に接近させるようにＸＹステージ１０
（試料テーブル１）を移動させる。この移動処理を図４
により説明する。演算制御部２１は、上記目視により移
動させた位置関係（図４に示す蒸着膜２の位置２００）
において、先ず、アクチュエータ１２を用いて探針３を
Ｘ軸方向に１ライン、Ｙ軸方向に１ライン走査させる。
この走査によっても蒸着膜２の段差部２ＥX 、２ＥY の
両者が検出されない場合、演算制御部２１は試料テーブ
ル１を、探針３の一方向の走査範囲である距離ａだけＸ
軸方向およびＹ軸方向へそれぞれ変位させる。この変位
後の蒸着膜２の位置が図４に一点鎖線２０１で示されて
いる。
【００１９】演算制御部２１はこの位置で再び探針３を
Ｘ、Ｙ軸方向へ各１ライン走査させ、蒸着膜２の段差部
２ＥX 、２ＥY が検出されるか否かを判断する。検出さ
れなければ、演算制御部２１は再び上記と同様の変位、
検出処理を行う。このような処理を繰り返すことによ
り、最終的に蒸着膜２の段差部２ＥX 、２ＥY の両者が
検出される位置に蒸着膜２を位置決めすることができ
る。この位置が図４に二点鎖線２０ｎで示されている。
上記の処理において、一方の段差部のみが検出された場
合、その後の処理は他方の段差部に対する変位、検出処
理となる。このように位置決めできた状態で、演算制御
部２１はアクチュエータ１２による探針３の変位又は試
料テーブル１の変位により、位置ＯP と所定点Ｏとの距
離ＸP 、ＹPを演算する。
Ｘ、Ｙ軸方向へ各１ライン走査させ、蒸着膜２の段差部
２ＥX 、２ＥY が検出されるか否かを判断する。検出さ
れなければ、演算制御部２１は再び上記と同様の変位、
検出処理を行う。このような処理を繰り返すことによ
り、最終的に蒸着膜２の段差部２ＥX 、２ＥY の両者が
検出される位置に蒸着膜２を位置決めすることができ
る。この位置が図４に二点鎖線２０ｎで示されている。
上記の処理において、一方の段差部のみが検出された場
合、その後の処理は他方の段差部に対する変位、検出処
理となる。このように位置決めできた状態で、演算制御
部２１はアクチュエータ１２による探針３の変位又は試
料テーブル１の変位により、位置ＯP と所定点Ｏとの距
離ＸP 、ＹPを演算する。
【００２０】次に、演算制御部２１は、図１に示すよう
に、蒸着膜２の所定点Ｏが光学顕微鏡１３の視野５内に
入るように試料テーブル１を移動させる。この移動距離
が図１においてＸ0 、Ｙ0 で示されている。図１に示す
符号ＯR は光学顕微鏡１３の光軸である。試料テーブル
１の上記移動距離Ｘ0 、Ｙ0 は、探針３と光軸ＯR 間の
設計値距離又は探針交換前の両者間の距離とすることが
できる。その理由は、探針３の走査範囲に比較して光学
顕微鏡１３の視野５は遥かに広く、上記移動距離により
所定点Ｏは確実に視野５内に入るからである。この状態
において、演算制御部２１は画像処理装置１９による画
像処理により光軸ＯR と所定点Ｏ間の距離Ｘm 、Ｙm を
演算することができる。このような画像処理は一般に良
く知られているので、説明は省略する。
に、蒸着膜２の所定点Ｏが光学顕微鏡１３の視野５内に
入るように試料テーブル１を移動させる。この移動距離
が図１においてＸ0 、Ｙ0 で示されている。図１に示す
符号ＯR は光学顕微鏡１３の光軸である。試料テーブル
１の上記移動距離Ｘ0 、Ｙ0 は、探針３と光軸ＯR 間の
設計値距離又は探針交換前の両者間の距離とすることが
できる。その理由は、探針３の走査範囲に比較して光学
顕微鏡１３の視野５は遥かに広く、上記移動距離により
所定点Ｏは確実に視野５内に入るからである。この状態
において、演算制御部２１は画像処理装置１９による画
像処理により光軸ＯR と所定点Ｏ間の距離Ｘm 、Ｙm を
演算することができる。このような画像処理は一般に良
く知られているので、説明は省略する。
【００２１】最後に、演算制御部２１は交換後の探針３
と光軸ＯR との間の距離を求める。両者の距離は、Ｘ軸
方向の距離が（Ｘ0 −ＸP −Ｘm ）の演算により、又、
Ｙ軸方向の距離が（Ｙ0 −ＹP −Ｙm ）の演算によりそ
れぞれ求めることができる。
と光軸ＯR との間の距離を求める。両者の距離は、Ｘ軸
方向の距離が（Ｘ0 −ＸP −Ｘm ）の演算により、又、
Ｙ軸方向の距離が（Ｙ0 −ＹP −Ｙm ）の演算によりそ
れぞれ求めることができる。
【００２２】このように、本実施例では、試料テーブル
１上に蒸着膜２を蒸着して、探針３で検出可能な段差部
２ＥX 、２ＥY を形成し、これら段差部２ＥX 、２ＥY
を用いて交換後の探針３と光軸ＯR 間の距離を測定する
ようにしたので、高精度で複雑なパターンの標準試料を
不要とすることができる。又、探針３による走査は１ラ
インのみであり、かつ、複雑なパターン認識処理を行う
必要もないので、測定は短時間で行うことができる。さ
らに、測定者は最初に探針３を蒸着膜２に対向させるだ
けで、以後、測定は自動的に実行されるので、測定者に
とって格別の手間も時間も必要としない。
１上に蒸着膜２を蒸着して、探針３で検出可能な段差部
２ＥX 、２ＥY を形成し、これら段差部２ＥX 、２ＥY
を用いて交換後の探針３と光軸ＯR 間の距離を測定する
ようにしたので、高精度で複雑なパターンの標準試料を
不要とすることができる。又、探針３による走査は１ラ
インのみであり、かつ、複雑なパターン認識処理を行う
必要もないので、測定は短時間で行うことができる。さ
らに、測定者は最初に探針３を蒸着膜２に対向させるだ
けで、以後、測定は自動的に実行されるので、測定者に
とって格別の手間も時間も必要としない。
【００２３】なお、上記実施例の説明では、方形の蒸着
膜２を試料テーブル１に形成する例について説明した
が、これに限ることはなく、段差部２ＥX 、２ＥY を形
成するのは蒸着膜でなく他の物体でも良く、又、試料自
体が互いに交差する段差部をもつものであれば、これを
利用することもでき、要は２つの段差部が存在すれば本
発明を適用することができる。
膜２を試料テーブル１に形成する例について説明した
が、これに限ることはなく、段差部２ＥX 、２ＥY を形
成するのは蒸着膜でなく他の物体でも良く、又、試料自
体が互いに交差する段差部をもつものであれば、これを
利用することもでき、要は２つの段差部が存在すれば本
発明を適用することができる。
【００２４】又、上記実施例の説明では、段差部２Ｅ
X 、２ＥY がＸ軸およびＹ軸方向に沿って形成される例
について説明したが、各段差部がＸ軸、Ｙ軸方向に沿わ
ないものである場合にも本発明を適用することができ
る。これを以下に図５を参照しながら説明する。
X 、２ＥY がＸ軸およびＹ軸方向に沿って形成される例
について説明したが、各段差部がＸ軸、Ｙ軸方向に沿わ
ないものである場合にも本発明を適用することができ
る。これを以下に図５を参照しながら説明する。
【００２５】図５は蒸着膜２の所定点Ｏの近辺の平面図
である。図で２Ｓは図２に示すものと同じ探針３の走査
範囲、２ＥX 、２ＥY は段差部、ＯP は探針３と対向す
る位置（走査範囲２Ｓの中心点）である。Ｘ、Ｙは図１
に示すものと同じ座標系であり、探針３は上述のように
この座標系のＸ軸、Ｙ軸に沿って走査される。ｘ、ｙは
座標系Ｘ、Ｙとは別の座標系であり、そのｘ軸は段差部
２ＥX に沿った軸、ｙ軸は段差部２ＥY に沿った軸であ
る。
である。図で２Ｓは図２に示すものと同じ探針３の走査
範囲、２ＥX 、２ＥY は段差部、ＯP は探針３と対向す
る位置（走査範囲２Ｓの中心点）である。Ｘ、Ｙは図１
に示すものと同じ座標系であり、探針３は上述のように
この座標系のＸ軸、Ｙ軸に沿って走査される。ｘ、ｙは
座標系Ｘ、Ｙとは別の座標系であり、そのｘ軸は段差部
２ＥX に沿った軸、ｙ軸は段差部２ＥY に沿った軸であ
る。
【００２６】ここで、 ｘ1 ：位置ＯP からＹ軸方向への探針３の走査により検
出された段差部２ＥX 上の点 ｘ2 ：位置ＯP から距離ｄＸ移動した点からＹ軸方向へ
の探針３の走査により検出された段差部２ＥX 上の点 ｙ1 ：位置ＯP からＸ軸方向への探針３の走査により検
出された段差部２ＥY 上の点 ｙ2 ：位置ＯP から距離ｄＹ移動した点からＸ軸方向へ
の探針３の走査により検出された段差部２ＥY 上の点 ＳY1：位置ＯP と点ｘ1 との距離 ＳY2：位置ＯP から距離ｄＸ移動した点と点ｘ2 との距
離 ＳX1：位置ＯP と点ｙ1 との距離 ＳX2：位置ＯP から距離ｄＹ移動した点と点ｙ2 との距
離 とする。
出された段差部２ＥX 上の点 ｘ2 ：位置ＯP から距離ｄＸ移動した点からＹ軸方向へ
の探針３の走査により検出された段差部２ＥX 上の点 ｙ1 ：位置ＯP からＸ軸方向への探針３の走査により検
出された段差部２ＥY 上の点 ｙ2 ：位置ＯP から距離ｄＹ移動した点からＸ軸方向へ
の探針３の走査により検出された段差部２ＥY 上の点 ＳY1：位置ＯP と点ｘ1 との距離 ＳY2：位置ＯP から距離ｄＸ移動した点と点ｘ2 との距
離 ＳX1：位置ＯP と点ｙ1 との距離 ＳX2：位置ＯP から距離ｄＹ移動した点と点ｙ2 との距
離 とする。
【００２７】上記のように定め、次に、位置ＯP のｘｙ
座標系の座標ｘP 、ｙP を求める。位置ＯP を原点とす
る座標系ＸＹにおける点ｘ1 、ｘ2 の座標は、ｘ1
（０，−ＳY1）、ｘ2 （ｄＸ，−ＳY2）である。したが
って、座標系ＸＹにおける直線（段差）２ＥX を表す式
は次のようになる。
座標系の座標ｘP 、ｙP を求める。位置ＯP を原点とす
る座標系ＸＹにおける点ｘ1 、ｘ2 の座標は、ｘ1
（０，−ＳY1）、ｘ2 （ｄＸ，−ＳY2）である。したが
って、座標系ＸＹにおける直線（段差）２ＥX を表す式
は次のようになる。
【００２８】
【数１】
【００２９】同様に、位置ＯP を原点とする座標系ＸＹ
における点ｙ1 、ｙ2 の座標は、ｙ1 （−ＳX1，０）、
ｙ2 （−ＳX2，ｄＹ）である。したがって、座標系ＸＹ
における直線（段差）２ＥY を表す式は次のようにな
る。
における点ｙ1 、ｙ2 の座標は、ｙ1 （−ＳX1，０）、
ｙ2 （−ＳX2，ｄＹ）である。したがって、座標系ＸＹ
における直線（段差）２ＥY を表す式は次のようにな
る。
【００３０】
【数２】
【００３１】上記（１）、（２）式から、座標系ＸＹに
おける直線２ＥX 、２ＥY の交点、即ち蒸着膜２の所定
点Ｏの座標は次のようになる。
おける直線２ＥX 、２ＥY の交点、即ち蒸着膜２の所定
点Ｏの座標は次のようになる。
【００３２】
【数３】
【００３３】このように、段差部２ＥX 、２ＥY が座標
系ＸＹの各座標軸に沿った直線となってなくても、上記
の演算を実施することにより、図１、図４に示す距離Ｘ
P 、ＹP を得ることができる。
系ＸＹの各座標軸に沿った直線となってなくても、上記
の演算を実施することにより、図１、図４に示す距離Ｘ
P 、ＹP を得ることができる。
【００３４】図６は本発明の他の実施例に係るプローブ
顕微鏡装置によるＸＹステージの移動処理を説明する平
面図である。この図で、図４に示す部分と同一又は等価
な部分には同一符号が付してある。演算制御部２１は、
ＸＹステージにより蒸着膜２を探針３に対向する位置に
移動させた後、ＸＹステージ１０を探針３がいずれかの
段差部（図では段差部２ＥY ）に到達するまで移動させ
る。このときの探針３の蒸着膜２上の軌跡が符号Ｌ0
で、又、到達点（探針３で検出された段差部２ＥY の
点）が符号Ａ1 で示されている。次に、演算制御部２１
は、探針３が軌跡Ｌ0 に対して角度θをなす軌跡Ｌ1 に
沿うようにＸＹステージ１０を移動させる。これにより
段差部２ＥX の点Ａ2 が検出される。続いて、演算制御
部２１は、ＸＹステージ１０を軌跡Ｌ1 に直交する方向
に距離ｄだけ移動させた後、軌跡Ｌ1と並行に、かつ、
逆方向に移動させる。これにより段差部２ＥX の点Ａ3
が、さらに移動を続けることにより段差部２ＥY の点Ａ
4 が検出される。このような処理を繰り返し実行する
と、探針３の軌跡は所定点Ｏに接近してゆく。
顕微鏡装置によるＸＹステージの移動処理を説明する平
面図である。この図で、図４に示す部分と同一又は等価
な部分には同一符号が付してある。演算制御部２１は、
ＸＹステージにより蒸着膜２を探針３に対向する位置に
移動させた後、ＸＹステージ１０を探針３がいずれかの
段差部（図では段差部２ＥY ）に到達するまで移動させ
る。このときの探針３の蒸着膜２上の軌跡が符号Ｌ0
で、又、到達点（探針３で検出された段差部２ＥY の
点）が符号Ａ1 で示されている。次に、演算制御部２１
は、探針３が軌跡Ｌ0 に対して角度θをなす軌跡Ｌ1 に
沿うようにＸＹステージ１０を移動させる。これにより
段差部２ＥX の点Ａ2 が検出される。続いて、演算制御
部２１は、ＸＹステージ１０を軌跡Ｌ1 に直交する方向
に距離ｄだけ移動させた後、軌跡Ｌ1と並行に、かつ、
逆方向に移動させる。これにより段差部２ＥX の点Ａ3
が、さらに移動を続けることにより段差部２ＥY の点Ａ
4 が検出される。このような処理を繰り返し実行する
と、探針３の軌跡は所定点Ｏに接近してゆく。
【００３５】図７は図６に示す所定点Ｏの近辺の拡大平
面図である。上記の処理中、各軌跡が所定点Ｏから離れ
た位置にある場合には、各軌跡毎に必ず２つの点が検出
される。しかし、各軌跡が所定点Ｏに極めて接近し、例
えば図７に示すように、軌跡Ｌ5 により点Ａ10が検出さ
れた後、ＸＹステージ１０を軌跡Ｌ5 と直交する方向に
距離ｄだけ移動させ、次いで、軌跡Ｌ6 に沿って移動さ
せたとき、いずれの段差部も検出されなくなる。
面図である。上記の処理中、各軌跡が所定点Ｏから離れ
た位置にある場合には、各軌跡毎に必ず２つの点が検出
される。しかし、各軌跡が所定点Ｏに極めて接近し、例
えば図７に示すように、軌跡Ｌ5 により点Ａ10が検出さ
れた後、ＸＹステージ１０を軌跡Ｌ5 と直交する方向に
距離ｄだけ移動させ、次いで、軌跡Ｌ6 に沿って移動さ
せたとき、いずれの段差部も検出されなくなる。
【００３６】演算制御部２１は、段差部の検出なしと判
断すると、その時点でＸＹステージ１０を軌跡Ｌ6 に直
交する方向に、かつ、それまでとは逆方向に（所定点Ｏ
の側に）距離ｄ／２だけ移動させた後、軌跡Ｌ7 に沿っ
て移動させる。これにより段差部２ＥY の点Ａ11が、さ
らに移動を続けることにより段差部２ＥX の点Ａ12が検
出される。次に、ＸＹステージ１０を、点Ａ12から軌跡
Ｌ7 と直交する方向に、今度は距離ｄ／４だけ移動させ
た後、軌跡Ｌ8 に沿って移動させる。このとき、再び段
差部が検出されなければ、軌跡Ｌ8 に直交する方向に距
離ｄ／８だけ移動させた後、軌跡Ｌ9 に沿って移動させ
る。この処理を繰り返すことにより、所定点Ｏと探針３
の位置とは一致することとなる。
断すると、その時点でＸＹステージ１０を軌跡Ｌ6 に直
交する方向に、かつ、それまでとは逆方向に（所定点Ｏ
の側に）距離ｄ／２だけ移動させた後、軌跡Ｌ7 に沿っ
て移動させる。これにより段差部２ＥY の点Ａ11が、さ
らに移動を続けることにより段差部２ＥX の点Ａ12が検
出される。次に、ＸＹステージ１０を、点Ａ12から軌跡
Ｌ7 と直交する方向に、今度は距離ｄ／４だけ移動させ
た後、軌跡Ｌ8 に沿って移動させる。このとき、再び段
差部が検出されなければ、軌跡Ｌ8 に直交する方向に距
離ｄ／８だけ移動させた後、軌跡Ｌ9 に沿って移動させ
る。この処理を繰り返すことにより、所定点Ｏと探針３
の位置とは一致することとなる。
【００３７】演算制御部２１は、上記の手段を用いて、
最初の探針３の取付け時における探針３と所定点Ｏとが
対向したときのＸＹステージ１０の位置（座標）、およ
びそのときの探針３と光学顕微鏡１３の光軸ＯR との距
離を内部の記憶部に記憶させる。そして、次回以降の取
付け時には、ＸＹステージ１０の位置のみを記憶し、こ
の記憶した位置を最初に記憶した位置と比較してそのず
れを演算し、この演算値で最初に記憶された探針３と光
学顕微鏡１３の光軸ＯR との距離を補正演算すれば、取
付け時の両者の正確な距離を得ることができる。
最初の探針３の取付け時における探針３と所定点Ｏとが
対向したときのＸＹステージ１０の位置（座標）、およ
びそのときの探針３と光学顕微鏡１３の光軸ＯR との距
離を内部の記憶部に記憶させる。そして、次回以降の取
付け時には、ＸＹステージ１０の位置のみを記憶し、こ
の記憶した位置を最初に記憶した位置と比較してそのず
れを演算し、この演算値で最初に記憶された探針３と光
学顕微鏡１３の光軸ＯR との距離を補正演算すれば、取
付け時の両者の正確な距離を得ることができる。
【００３８】なお、取付け時毎にＸＹステージ１０の位
置、および探針３と光学顕微鏡１３の光軸ＯR との演算
された距離を記憶し、取付け時における当該位置のずれ
で前回の距離を補正して正確な距離を得ることもでき
る。
置、および探針３と光学顕微鏡１３の光軸ＯR との演算
された距離を記憶し、取付け時における当該位置のずれ
で前回の距離を補正して正確な距離を得ることもでき
る。
【００３９】このように、本実施例では、探針３の位置
と所定点Ｏを対向させるようにしたので、さきの実施例
と同じ効果を発揮するばかりでなく、探針３と光学顕微
鏡５との距離の演算をより一層簡略化することができ
る。
と所定点Ｏを対向させるようにしたので、さきの実施例
と同じ効果を発揮するばかりでなく、探針３と光学顕微
鏡５との距離の演算をより一層簡略化することができ
る。
【００４０】なお、上記各実施例の説明では、試料テー
ブルに直接蒸着膜を設ける例について説明した。しか
し、本発明では、２つの段差部とこれら段差部が交わる
所定点とさえ存在すればよいのであるから、これらを標
準試料に形成し、この標準試料を、試料テーブルの蒸着
膜２に代えて用いることができるのは当然である。そし
て、このような単純なパターンを標準試料として作成す
るのは極めて容易である。 なお、このような直線のみ
の単純なパターンであっても、実際に標準パターンとし
て真っすぐな直線を作成するのは困難である。しかし、
本発明では、段差部の検出ができればよいのであるか
ら、上記パターンにおける直線性が多少悪くても、又、
所定点がある程度円弧状に形成されていても、格別の支
障は生じない。これを図６、図７に示す実施例について
図８を用いて説明する。
ブルに直接蒸着膜を設ける例について説明した。しか
し、本発明では、２つの段差部とこれら段差部が交わる
所定点とさえ存在すればよいのであるから、これらを標
準試料に形成し、この標準試料を、試料テーブルの蒸着
膜２に代えて用いることができるのは当然である。そし
て、このような単純なパターンを標準試料として作成す
るのは極めて容易である。 なお、このような直線のみ
の単純なパターンであっても、実際に標準パターンとし
て真っすぐな直線を作成するのは困難である。しかし、
本発明では、段差部の検出ができればよいのであるか
ら、上記パターンにおける直線性が多少悪くても、又、
所定点がある程度円弧状に形成されていても、格別の支
障は生じない。これを図６、図７に示す実施例について
図８を用いて説明する。
【００４１】図８は図７に示す部分に相当する部分の平
面図である。この図で、２ＥX 、２ＥY は図７に示す直
線の段差部であり、破線で示されている。２ＥXC、２Ｅ
YCは実際の段差部の形状を示し非直線形状となってい
る。又、所定点Ｏは丸みを帯びた形状となっている。こ
のような段差部および所定点の形状であっても、軌跡Ｌ
に示すように、図６、図７に示す手段を用いることがで
き、最終的に軌跡Ｌn の移動を行ったとき所定点Ｏが検
出され、何等の支障もなく探針３と所定点Ｏとを対向さ
せることができる。
面図である。この図で、２ＥX 、２ＥY は図７に示す直
線の段差部であり、破線で示されている。２ＥXC、２Ｅ
YCは実際の段差部の形状を示し非直線形状となってい
る。又、所定点Ｏは丸みを帯びた形状となっている。こ
のような段差部および所定点の形状であっても、軌跡Ｌ
に示すように、図６、図７に示す手段を用いることがで
き、最終的に軌跡Ｌn の移動を行ったとき所定点Ｏが検
出され、何等の支障もなく探針３と所定点Ｏとを対向さ
せることができる。
【００４２】
【発明の効果】以上述べたように、本発明では、それぞ
れ段差部を形成する２つの直線およびこれら各直線の交
点である所定点を備えたパターンを用い、ＸＹステージ
を移動させて探針で上記各段差部を検出し、この検出位
置と所定点との位置関係、又は、各段差部の検出の繰り
返しにより得られる所定点と探針との対向位置に基づい
て交換後の探針と光軸間の距離を得るようにしたので、
複雑なパターン認識処理を行う必要はなく、短時間で、
かつ、容易に探針と光軸間の距離を得ることができる。
又、高精度で複雑なパターンの標準試料を不要とするこ
ともできる。さらに、測定者は最初に探針を段差部近辺
に対向させるだけで、以後、測定は自動的に実行される
ので、測定者にとって格別の手間も時間も必要としな
い。
れ段差部を形成する２つの直線およびこれら各直線の交
点である所定点を備えたパターンを用い、ＸＹステージ
を移動させて探針で上記各段差部を検出し、この検出位
置と所定点との位置関係、又は、各段差部の検出の繰り
返しにより得られる所定点と探針との対向位置に基づい
て交換後の探針と光軸間の距離を得るようにしたので、
複雑なパターン認識処理を行う必要はなく、短時間で、
かつ、容易に探針と光軸間の距離を得ることができる。
又、高精度で複雑なパターンの標準試料を不要とするこ
ともできる。さらに、測定者は最初に探針を段差部近辺
に対向させるだけで、以後、測定は自動的に実行される
ので、測定者にとって格別の手間も時間も必要としな
い。
【図１】本発明の実施例に係るプローブ顕微鏡装置を用
いた測定を説明する平面図である。
いた測定を説明する平面図である。
【図２】図１に示す蒸着膜の拡大斜視図である。
【図３】本実施例のプローブ顕微鏡装置の全体構成図で
ある。
ある。
【図４】蒸着膜の移動処理を説明する平面図である。
【図５】蒸着膜の所定点近辺の平面図である。
【図６】本発明の他の実施例における蒸着膜の移動処理
を説明する平面図である。
を説明する平面図である。
【図７】蒸着膜の所定点近辺の拡大平面図である。
【図８】蒸着膜の所定点近辺の拡大平面図である。
１ 試料テーブル ２ 蒸着膜 ５ 光学顕微鏡の視野 Ｏ 蒸着膜の所定点 ＯP 探針に対向する位置 ＯR 光学顕微鏡の光軸
Claims (9)
- 【請求項１】 互いに直交するＸ軸およびＹ軸に沿って
変位するＸＹステージと、このＸＹステージとともに変
位し試料を載置する試料テーブルと、前記ＸＹステージ
の変位量を計測する変位計と、前記試料テーブルに対向
して配置された探針と、前記試料テーブルに対向しかつ
前記探針から離れて配置される光学顕微鏡とを備えたプ
ローブ顕微鏡装置において、段差部を備え前記探針によ
り計測されるパターンと、前記各段差部を前記探針によ
り検出可能な位置に変位させる第１の位置決め手段と、
この第１の位置決め手段により定められた位置での前記
探針と対向する位置と前記パターン上の段差部の所定点
との距離を演算する第１の演算手段と、前記所定点を前
記光学顕微鏡の視野内に移動させる第２の位置決め手段
と、この第２の位置決め手段による移動量を演算する第
２の演算手段と、前記光学顕微鏡の光軸と前記所定点の
像との距離を演算する第３の演算手段と、前記第１の演
算手段、前記第２の演算手段、および前記第３の演算手
段により得られた値に基づいて前記探針と前記光軸との
距離を求める第４の演算手段とを設けたことを特徴とす
るプローブ顕微鏡装置。 - 【請求項２】 互いに直交するＸ軸およびＹ軸に沿って
変位するＸＹステージと、このＸＹステージとともに変
位し試料を載置する試料テーブルと、前記ＸＹステージ
の変位量を計測する変位計と、前記試料テーブルに対向
して配置された走査可能な探針と、前記試料テーブルに
対向しかつ前記探針から離れて配置される光学顕微鏡と
を備えたプローブ顕微鏡装置において、段差部を備え前
記探針により計測されるパターンと、前記ＸＹステージ
を駆動して前記探針による前記段差部の検出により前記
探針と前記所定点とを対向させる位置決め手段と、この
位置決め手段で前記探針と前記パターン上の段差部の所
定点とが対向したときの前記ＸＹステージの位置を記憶
する記憶手段と、この記憶手段に記憶した値と当該記憶
手段にさきに記憶されていた値とに基づいて前記探針と
前記光学顕微鏡の光軸との距離を求める演算手段とを設
けたことを特徴とするプローブ顕微鏡装置。 - 【請求項３】 請求項１又は請求項２において、前記パ
ターンは、前記試料テーブルの表面に設けられているこ
とを特徴とするプローブ顕微鏡装置。 - 【請求項４】 請求項３において、前記パターンは蒸着
により形成されることを特徴とするプローブ顕微鏡装
置。 - 【請求項５】 請求項１又は請求項２において、前記パ
ターンは、標準試料に形成されていることを特徴とする
プローブ顕微鏡装置。 - 【請求項６】 請求項１において、前記第１の位置決め
手段は、前記ＸＹステージを直交する２つの軸方向に前
記探針の走査距離ずつ移動させてゆく手段であることを
特徴とするプローブ顕微鏡装置。 - 【請求項７】 請求項２において、前記位置決め手段
は、前記ＸＹステージを、前記探針が一方の前記段差部
を検出するまで変位させる第１の移動手段、この第１の
移動手段により検出された段差部の点から所定角度で他
方の前記段差部を検出するまで変位させる第２の移動手
段、およびこの第２の移動手段による移動の軌跡に対し
て所定間隔を置いて繰り返し並行な移動を行う第３の移
動手段、およびこの第３の移動手段で前記いずれの段差
部も検出されなくなったとき、前記繰り返しの方向を逆
方向に転じて前記所定点を前記探針に対向させる第４の
移動手段を備えていることを特徴とするプローブ顕微鏡
装置。 - 【請求項８】 請求項２において、前記記憶手段にさき
に記憶されていた値は、最初に記憶された値であること
を特徴とするプローブ顕微鏡装置。 - 【請求項９】 請求項２において、前記記憶手段にさき
に記憶されていた値は、直前に記憶された値であること
を特徴とするプローブ顕微鏡装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5075787A JPH06258073A (ja) | 1993-01-08 | 1993-04-01 | プローブ顕微鏡装置 |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP178593 | 1993-01-08 | ||
| JP5-1785 | 1993-01-08 | ||
| JP5075787A JPH06258073A (ja) | 1993-01-08 | 1993-04-01 | プローブ顕微鏡装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06258073A true JPH06258073A (ja) | 1994-09-16 |
Family
ID=26335073
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5075787A Pending JPH06258073A (ja) | 1993-01-08 | 1993-04-01 | プローブ顕微鏡装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06258073A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006023285A (ja) * | 2004-06-08 | 2006-01-26 | Olympus Corp | 複合型走査プローブ顕微鏡及び複合型走査プローブ顕微鏡のカンチレバー位置表示方法 |
| JP2009522560A (ja) * | 2006-01-04 | 2009-06-11 | イェーペーカー インストゥルメンツ アクチエンゲゼルシャフト | 走査型プローブ顕微鏡を備えた測定システムを動作させるための方法、及び、測定システム |
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1993
- 1993-04-01 JP JP5075787A patent/JPH06258073A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006023285A (ja) * | 2004-06-08 | 2006-01-26 | Olympus Corp | 複合型走査プローブ顕微鏡及び複合型走査プローブ顕微鏡のカンチレバー位置表示方法 |
| JP2009522560A (ja) * | 2006-01-04 | 2009-06-11 | イェーペーカー インストゥルメンツ アクチエンゲゼルシャフト | 走査型プローブ顕微鏡を備えた測定システムを動作させるための方法、及び、測定システム |
| US8368017B2 (en) | 2006-01-04 | 2013-02-05 | Jpk Instruments Ag | Method for the operation of a measurement system with a scanning probe microscope and a measurement system |
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