JPH06201372A - プローブ顕微鏡の探針位置測定方法 - Google Patents
プローブ顕微鏡の探針位置測定方法Info
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- JPH06201372A JPH06201372A JP4348151A JP34815192A JPH06201372A JP H06201372 A JPH06201372 A JP H06201372A JP 4348151 A JP4348151 A JP 4348151A JP 34815192 A JP34815192 A JP 34815192A JP H06201372 A JPH06201372 A JP H06201372A
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- G01Q—SCANNING-PROBE TECHNIQUES OR APPARATUS; APPLICATIONS OF SCANNING-PROBE TECHNIQUES, e.g. SCANNING PROBE MICROSCOPY [SPM]
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- G01Q40/02—Calibration standards and methods of fabrication thereof
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- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 単純なパターンの標準試料で、容易にプロー
ブ顕微鏡の探針と光学顕微鏡の光軸間の距離を測定でき
るプローブ顕微鏡の探針位置測定方法の提供。 【構成】 標準試料Ａは中心Ｏの周囲に配置される放射
状線分Ｐで形成されるパターンを有する。標準試料Ａを
試料テーブルに載せ、光学顕微鏡の視野内でその光軸と
中心Ｏを一致させる。次に試料テーブルを移動させて前
記パターンをプローブ顕微鏡の探針と対向させ、探針の
走査で１つの線分、例えば線分Ｐ1 の像を得る。次に試
料テーブルを移動して他のパターンと探針を対向させて
走査を行い他の線分Ｐ2 の像を得る。２つの線分から中
心Ｏの位置が判り、中心Ｏと線分から探針位置と中心Ｏ
間の距離が判り、結局光軸と探針間の距離が測定でき
る。
ブ顕微鏡の探針と光学顕微鏡の光軸間の距離を測定でき
るプローブ顕微鏡の探針位置測定方法の提供。 【構成】 標準試料Ａは中心Ｏの周囲に配置される放射
状線分Ｐで形成されるパターンを有する。標準試料Ａを
試料テーブルに載せ、光学顕微鏡の視野内でその光軸と
中心Ｏを一致させる。次に試料テーブルを移動させて前
記パターンをプローブ顕微鏡の探針と対向させ、探針の
走査で１つの線分、例えば線分Ｐ1 の像を得る。次に試
料テーブルを移動して他のパターンと探針を対向させて
走査を行い他の線分Ｐ2 の像を得る。２つの線分から中
心Ｏの位置が判り、中心Ｏと線分から探針位置と中心Ｏ
間の距離が判り、結局光軸と探針間の距離が測定でき
る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、光学顕微鏡が併用され
るトンネル顕微鏡や原子間力顕微鏡等のプローブ顕微鏡
において、その探針と光学顕微鏡との距離を得るための
プローブ顕微鏡の探針位置測定方法に関する。
るトンネル顕微鏡や原子間力顕微鏡等のプローブ顕微鏡
において、その探針と光学顕微鏡との距離を得るための
プローブ顕微鏡の探針位置測定方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】プローブ顕微鏡は、先端の尖った探針
を、試料に対してナノメートル（ｎｍ）オーダまで接近
させ、そのとき探針と試料との間に生じるトンネル電流
や原子間力を測定することにより、試料表面の形状を原
子寸法レベルで計測する装置である。このようなプロー
ブ顕微鏡の測定範囲は最大でも数１０μｍである。この
ため、例えば光ディスク等の大きな試料における１つの
アドレスビットの細部の異常をチェックするような場
合、そのような微小な部分に探針の先端を目視で合わせ
ることは不可能である。したがって、プローブ顕微鏡
は、試料を移動させるＸＹステージとともに、プローブ
顕微鏡の測定範囲より大きな視野をもつ測定機器、例え
ば光学顕微鏡を備えているのが通常である。
を、試料に対してナノメートル（ｎｍ）オーダまで接近
させ、そのとき探針と試料との間に生じるトンネル電流
や原子間力を測定することにより、試料表面の形状を原
子寸法レベルで計測する装置である。このようなプロー
ブ顕微鏡の測定範囲は最大でも数１０μｍである。この
ため、例えば光ディスク等の大きな試料における１つの
アドレスビットの細部の異常をチェックするような場
合、そのような微小な部分に探針の先端を目視で合わせ
ることは不可能である。したがって、プローブ顕微鏡
は、試料を移動させるＸＹステージとともに、プローブ
顕微鏡の測定範囲より大きな視野をもつ測定機器、例え
ば光学顕微鏡を備えているのが通常である。
【０００３】プローブ顕微鏡の実際の測定においては、
最初にＸＹステージで試料を移動させて測定対象部分を
光学顕微鏡の視野内に捉え、次いで、再びＸＹステージ
により当該測定対象部分をプローブ顕微鏡の探針と対向
する位置に移動させて測定を行う。この場合、光学顕微
鏡の光軸と探針との距離は予め判っているので、ＸＹス
テージは当該距離だけ移動せしめられる。
最初にＸＹステージで試料を移動させて測定対象部分を
光学顕微鏡の視野内に捉え、次いで、再びＸＹステージ
により当該測定対象部分をプローブ顕微鏡の探針と対向
する位置に移動させて測定を行う。この場合、光学顕微
鏡の光軸と探針との距離は予め判っているので、ＸＹス
テージは当該距離だけ移動せしめられる。
【０００４】ところで、プローブ顕微鏡の探針は、使用
している間に先端の尖鋭度が劣化して丸くなり、又は、
試料等と接触して先端に曲がりを生じることもあって、
しばしば新しい探針との交換を必要とする。このように
探針を交換した場合には必然的に取付け誤差を生じ、上
記光軸と探針間の距離も変化する。したがって、探針交
換毎に両者間の距離を測定しておかなければ探針を正確
に測定対象部分に対向させることができなくなる。
している間に先端の尖鋭度が劣化して丸くなり、又は、
試料等と接触して先端に曲がりを生じることもあって、
しばしば新しい探針との交換を必要とする。このように
探針を交換した場合には必然的に取付け誤差を生じ、上
記光軸と探針間の距離も変化する。したがって、探針交
換毎に両者間の距離を測定しておかなければ探針を正確
に測定対象部分に対向させることができなくなる。
【０００５】従来、この測定手段として、標準試料を用
いる手段が提案されている。例えば特開平３−１２８４
０３号公報に示される手段は、標準試料として同心円の
パターンが形成されたものが用いられ、このパターンの
うちの２個所を探針で走査し、その結果得られる各プロ
ーブ顕微鏡像における前記同心円の円弧からその中心を
求め、求められた中心と光学顕微鏡で観察された中心と
のずれ量を測定するものである。又、標準試料を用いる
他の手段として、例えば特開平２−１４１６０１号公報
に示される手段は、標準試料として格子状に配列された
位置特定用のパターンが形成され、光学顕微鏡で観察さ
れたパターンとプローブ顕微鏡像のパターンとのずれ量
を測定するものである。
いる手段が提案されている。例えば特開平３−１２８４
０３号公報に示される手段は、標準試料として同心円の
パターンが形成されたものが用いられ、このパターンの
うちの２個所を探針で走査し、その結果得られる各プロ
ーブ顕微鏡像における前記同心円の円弧からその中心を
求め、求められた中心と光学顕微鏡で観察された中心と
のずれ量を測定するものである。又、標準試料を用いる
他の手段として、例えば特開平２−１４１６０１号公報
に示される手段は、標準試料として格子状に配列された
位置特定用のパターンが形成され、光学顕微鏡で観察さ
れたパターンとプローブ顕微鏡像のパターンとのずれ量
を測定するものである。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】ところで、プローブ顕
微鏡の探針による走査範囲は１０μｍ程度であり、極め
て微小範囲である。したがって、上記従来の手段におい
て、同心円が形成されたパターンの標準試料では、プロ
ーブ顕微鏡像に表れる円弧はほぼ直線状となり、このよ
うな円弧から円の中心を求めるのは相当な困難を伴う。
又、格子状に配列された位置特定用のパターンが形成さ
れた標準試料では、同様に探針の走査範囲が微小である
ため、光学顕微鏡像とプローブ顕微鏡像とを比較するの
に、プローブ顕微鏡像が位置特定用のパターンのどの部
分であるのかを確実に認識するのが困難であり、複雑な
パターン認識処理が必要となり、かつ、複雑で高精度の
標準試料の作成を必要とする。
微鏡の探針による走査範囲は１０μｍ程度であり、極め
て微小範囲である。したがって、上記従来の手段におい
て、同心円が形成されたパターンの標準試料では、プロ
ーブ顕微鏡像に表れる円弧はほぼ直線状となり、このよ
うな円弧から円の中心を求めるのは相当な困難を伴う。
又、格子状に配列された位置特定用のパターンが形成さ
れた標準試料では、同様に探針の走査範囲が微小である
ため、光学顕微鏡像とプローブ顕微鏡像とを比較するの
に、プローブ顕微鏡像が位置特定用のパターンのどの部
分であるのかを確実に認識するのが困難であり、複雑な
パターン認識処理が必要となり、かつ、複雑で高精度の
標準試料の作成を必要とする。
【０００７】本発明の目的は、上記従来技術における課
題を解決し、単純なパターンの標準試料で容易に探針位
置を測定することができるプローブ顕微鏡の探針位置測
定方法を提供することにある。
題を解決し、単純なパターンの標準試料で容易に探針位
置を測定することができるプローブ顕微鏡の探針位置測
定方法を提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
め、本発明は、互いに直交するＸ軸およびＹ軸に沿って
変位するＸＹステージと、このＸＹステージとともに変
位しかつ試料を載置する試料テーブルと、前記ＸＹステ
ージの変位量を計測する変位計と、前記試料テーブルに
対向して配置された探針と、前記試料テーブルに対向し
かつ前記探針から離れて配置される光学顕微鏡とを備え
たプローブ顕微鏡において、１つの中心点に対する多数
の放射状線分より成るパターンが形成された標準試料を
前記試料テーブルに載置し、前記光学顕微鏡の光軸と前
記標準試料の中心点とを一致させた後、前記探針により
前記パターンのうちの１つの放射状線分を検出し、次に
当該探針により他の放射状線分を検出し、これら検出さ
れた２つの放射線分に基づいて前記中心点および当該中
心点から前記探針までの距離を演算することを特徴とす
る。
め、本発明は、互いに直交するＸ軸およびＹ軸に沿って
変位するＸＹステージと、このＸＹステージとともに変
位しかつ試料を載置する試料テーブルと、前記ＸＹステ
ージの変位量を計測する変位計と、前記試料テーブルに
対向して配置された探針と、前記試料テーブルに対向し
かつ前記探針から離れて配置される光学顕微鏡とを備え
たプローブ顕微鏡において、１つの中心点に対する多数
の放射状線分より成るパターンが形成された標準試料を
前記試料テーブルに載置し、前記光学顕微鏡の光軸と前
記標準試料の中心点とを一致させた後、前記探針により
前記パターンのうちの１つの放射状線分を検出し、次に
当該探針により他の放射状線分を検出し、これら検出さ
れた２つの放射線分に基づいて前記中心点および当該中
心点から前記探針までの距離を演算することを特徴とす
る。
【０００９】
【作用】本発明では、標準試料として１つの中心点に対
する多数の放射状線分より成るパターンが形成されたも
のを用いる。この標準試料を試料テーブルに載置し、光
学顕微鏡の光軸と標準試料の中心点とを一致させた後、
標準試料を、そのパターンが探針と対向する位置まで移
動させ、この状態で探針によりパターンのうちの１つの
放射状線分を検出し、次に再び標準試料を移動させて探
針により他の放射状線分を検出し、これら検出された２
つの放射状線分に基づいて中心点および中心点から探針
までの距離を演算する。
する多数の放射状線分より成るパターンが形成されたも
のを用いる。この標準試料を試料テーブルに載置し、光
学顕微鏡の光軸と標準試料の中心点とを一致させた後、
標準試料を、そのパターンが探針と対向する位置まで移
動させ、この状態で探針によりパターンのうちの１つの
放射状線分を検出し、次に再び標準試料を移動させて探
針により他の放射状線分を検出し、これら検出された２
つの放射状線分に基づいて中心点および中心点から探針
までの距離を演算する。
【００１０】
【実施例】以下、本発明を図示の実施例に基づいて説明
する。図１は本発明の実施例に係るプローブ顕微鏡の探
針位置測定方法に用いる標準試料の平面図である。図
で、Ａは標準試料を示す。この標準試料Ａは、中心点Ｏ
の同一円周上の全周にわたって、当該中心点Ｏを中心と
する放射状の線分Ｐが配置されたパターンが形成されて
いる。各線分Ｐ間のピッチｐは探針の走査範囲程度か又
はそれよりいくらか大きな値に選定され、又、各線分Ｐ
の長さｄは探針の取付け誤差の最大値程度に選定されて
いる。
する。図１は本発明の実施例に係るプローブ顕微鏡の探
針位置測定方法に用いる標準試料の平面図である。図
で、Ａは標準試料を示す。この標準試料Ａは、中心点Ｏ
の同一円周上の全周にわたって、当該中心点Ｏを中心と
する放射状の線分Ｐが配置されたパターンが形成されて
いる。各線分Ｐ間のピッチｐは探針の走査範囲程度か又
はそれよりいくらか大きな値に選定され、又、各線分Ｐ
の長さｄは探針の取付け誤差の最大値程度に選定されて
いる。
【００１１】図２は、プローブ顕微鏡装置の全体構成の
斜視図である。図で、Ｘ、Ｙ、Ｚは座標軸を示す。１は
振動防止手段が設けられたベース、２はベース１上に装
着されたＸＹステージである。ＸＹステージ２はＸ軸お
よびＹ軸方向に変位する。３はＸＹステージ２に固定さ
れた微動機構であり、Ｘ、Ｙ、Ｚ軸方向の並進変位およ
びＸ、Ｙ、Ｚ軸まわりの回転変位のうち少なくともＸ、
Ｙ軸方向の並進変位が可能な構成となっている。４は微
動機構３に固定された試料テーブル、５は試料テーブル
４に固定されたＬ型ミラー、６は試料テーブル４に載置
された試料を示す。
斜視図である。図で、Ｘ、Ｙ、Ｚは座標軸を示す。１は
振動防止手段が設けられたベース、２はベース１上に装
着されたＸＹステージである。ＸＹステージ２はＸ軸お
よびＹ軸方向に変位する。３はＸＹステージ２に固定さ
れた微動機構であり、Ｘ、Ｙ、Ｚ軸方向の並進変位およ
びＸ、Ｙ、Ｚ軸まわりの回転変位のうち少なくともＸ、
Ｙ軸方向の並進変位が可能な構成となっている。４は微
動機構３に固定された試料テーブル、５は試料テーブル
４に固定されたＬ型ミラー、６は試料テーブル４に載置
された試料を示す。
【００１２】７はベース１上に設けられた門型構造体で
ある。８は門型構造体７に取り付けられＬ型ミラー５の
Ｙ軸に沿う面と対向するレーザ変位計であり、試料テー
ブル４のＸ軸方向の変位量を測定する。なお、試料テー
ブル４のＹ軸方向の変位は図示しない他のレーザ変位計
により測定される。９は門型構造体７に固定された光学
顕微鏡である。１０はプローブ顕微鏡の探針、１１は探
針１０をＺ軸方向に大きく移動させるＺ軸粗動機構、１
２は探針１０をＺ軸方向に微動させるＺ軸微動機構であ
る。
ある。８は門型構造体７に取り付けられＬ型ミラー５の
Ｙ軸に沿う面と対向するレーザ変位計であり、試料テー
ブル４のＸ軸方向の変位量を測定する。なお、試料テー
ブル４のＹ軸方向の変位は図示しない他のレーザ変位計
により測定される。９は門型構造体７に固定された光学
顕微鏡である。１０はプローブ顕微鏡の探針、１１は探
針１０をＺ軸方向に大きく移動させるＺ軸粗動機構、１
２は探針１０をＺ軸方向に微動させるＺ軸微動機構であ
る。
【００１３】次に、本実施例の探針位置測定方法を図３
および図４を参照しながら説明する。図３は試料テーブ
ル４に載置された標準試料Ａの移動を説明する図、図４
は探針の走査の態様を説明する図である。探針１０が交
換され、この交換された探針１０と光学顕微鏡９の光軸
との距離を測定する場合には、まず、試料テーブル４の
適宜の位置に図１に示す標準試料Ａを載置する。次にＸ
Ｙステージ２を駆動して（必要であれば微動機構３も使
用する。以下同じ。）標準試料Ａを光学顕微鏡９の視野
内に入れ、その光軸と標準試料Ａの中心Ｏとを一致させ
る。この状態が図３に示されている。即ち、図３で、Ａ
1 はこのときの標準試料の位置、Ｏは図１に示す標準試
料Ａの中心、ＯR は光学顕微鏡９の光軸を示す。ここ
で、中心Ｏ（光軸ＯR ）を座標系ＸＹの原点と考える。
および図４を参照しながら説明する。図３は試料テーブ
ル４に載置された標準試料Ａの移動を説明する図、図４
は探針の走査の態様を説明する図である。探針１０が交
換され、この交換された探針１０と光学顕微鏡９の光軸
との距離を測定する場合には、まず、試料テーブル４の
適宜の位置に図１に示す標準試料Ａを載置する。次にＸ
Ｙステージ２を駆動して（必要であれば微動機構３も使
用する。以下同じ。）標準試料Ａを光学顕微鏡９の視野
内に入れ、その光軸と標準試料Ａの中心Ｏとを一致させ
る。この状態が図３に示されている。即ち、図３で、Ａ
1 はこのときの標準試料の位置、Ｏは図１に示す標準試
料Ａの中心、ＯR は光学顕微鏡９の光軸を示す。ここ
で、中心Ｏ（光軸ＯR ）を座標系ＸＹの原点と考える。
【００１４】次に、ＸＹステージ２を駆動して標準試料
Ａのパターンを探針１０に対向させる。Ａ2 はこのとき
の標準試料Ａの位置、ＯP は探針１０の対向位置、−Ｘ
0 、−Ｙ0 は標準試料Ａの移動距離を示す。この標準試
料Ａの移動距離は、光軸ＯRと探針１０との間の距離の
設計値（又は前回装着されていた探針１０と光軸ＯR間
の距離）、および標準試料Ａの中心Ｏからパターンまで
の距離を加算した値とされ、標準試料Ａは当該値だけ自
動的に移動される。この場合、探針１０の取付け誤差
は、通常０．１ｍｍ以下であり、一方、標準試料１０の
パターンの各線分Ｐの長さｄは前述のように探針１０の
取付け誤差の最大値程度に選定されているので、上記の
値だけ自動的に移動しても、図３に示す探針１０と対向
する位置ＯP はほぼ確実にいずれかの線分Ｐの近辺に位
置することとなる。
Ａのパターンを探針１０に対向させる。Ａ2 はこのとき
の標準試料Ａの位置、ＯP は探針１０の対向位置、−Ｘ
0 、−Ｙ0 は標準試料Ａの移動距離を示す。この標準試
料Ａの移動距離は、光軸ＯRと探針１０との間の距離の
設計値（又は前回装着されていた探針１０と光軸ＯR間
の距離）、および標準試料Ａの中心Ｏからパターンまで
の距離を加算した値とされ、標準試料Ａは当該値だけ自
動的に移動される。この場合、探針１０の取付け誤差
は、通常０．１ｍｍ以下であり、一方、標準試料１０の
パターンの各線分Ｐの長さｄは前述のように探針１０の
取付け誤差の最大値程度に選定されているので、上記の
値だけ自動的に移動しても、図３に示す探針１０と対向
する位置ＯP はほぼ確実にいずれかの線分Ｐの近辺に位
置することとなる。
【００１５】次に、この位置で探針１０により標準試料
Ａの表面の走査を、微動機構３をＸ軸およびＹ軸方向に
駆動することにより行う。前述のように各線分Ｐ間のピ
ッチｐは探針の走査範囲程度か又はそれよりいくらか大
きな値に選定されているので、上記走査により少なくと
も１つの線分Ｐがその走査範囲内にほぼ確実に捕捉され
る。この状態が図４に示されている。図４で、Ｓ1 は位
置ＯP を中心とした走査範囲、Ｐ1 は走査範囲Ｓ1 内に
捕捉された線分を示す。この線分Ｐ1 は図１にも示され
ている。走査の結果、線分Ｐ1 はプローブ顕微鏡像とし
て表示される。
Ａの表面の走査を、微動機構３をＸ軸およびＹ軸方向に
駆動することにより行う。前述のように各線分Ｐ間のピ
ッチｐは探針の走査範囲程度か又はそれよりいくらか大
きな値に選定されているので、上記走査により少なくと
も１つの線分Ｐがその走査範囲内にほぼ確実に捕捉され
る。この状態が図４に示されている。図４で、Ｓ1 は位
置ＯP を中心とした走査範囲、Ｐ1 は走査範囲Ｓ1 内に
捕捉された線分を示す。この線分Ｐ1 は図１にも示され
ている。走査の結果、線分Ｐ1 はプローブ顕微鏡像とし
て表示される。
【００１６】この状態で、位置ＯP を原点としＸ軸およ
びＹ軸と同一方向の軸を有する座標系ｘｙを想定する。
そして、図４に示すように、このプローブ顕微鏡像の画
像処理により線分Ｐ1 上の任意の２点ｋ1 、ｋ2 を設定
する。これらの点ｋ1 、ｋ2のｘｙ座標の座標値から、
線分Ｐ1 のｘｙ座標における直線の式を求めることがで
きる。
びＹ軸と同一方向の軸を有する座標系ｘｙを想定する。
そして、図４に示すように、このプローブ顕微鏡像の画
像処理により線分Ｐ1 上の任意の２点ｋ1 、ｋ2 を設定
する。これらの点ｋ1 、ｋ2のｘｙ座標の座標値から、
線分Ｐ1 のｘｙ座標における直線の式を求めることがで
きる。
【００１７】次に、ＸＹステージ２を所定量（図４に示
すΔｘ、−Δｙ）だけ駆動して標準試料Ａを移動させ、
探針１０を他のパターン部分に対向させ、さきの場合と
同様に走査を行ってそのプローブ顕微鏡像を得る。この
第２回目の走査の走査範囲が図４に符号Ｓ2 で示され、
又、そのとき捕捉された線分が符号Ｐ2 で示されてい
る。この線分Ｐ2 は図１にも示されている。上記線分Ｐ
1 の場合と同様に、線分Ｐ2 に対しても２つの点ｋ3 、
ｋ4 を設定し、その直線の式を求める。
すΔｘ、−Δｙ）だけ駆動して標準試料Ａを移動させ、
探針１０を他のパターン部分に対向させ、さきの場合と
同様に走査を行ってそのプローブ顕微鏡像を得る。この
第２回目の走査の走査範囲が図４に符号Ｓ2 で示され、
又、そのとき捕捉された線分が符号Ｐ2 で示されてい
る。この線分Ｐ2 は図１にも示されている。上記線分Ｐ
1 の場合と同様に、線分Ｐ2 に対しても２つの点ｋ3 、
ｋ4 を設定し、その直線の式を求める。
【００１８】このようにして求められた２つの線分
Ｐ1 、Ｐ2 の式から、両線分の交点、即ち標準試料Ａの
中心Ｏのｘｙ座標系の座標値を求める。中心Ｏが求まる
と、この中心Ｏから点ｋ1 までの距離が演算でき、位置
ＯP と点ｋ1 との距離は既知であるので、中心Ｏと位置
ＯP との距離を求めることができる。図３に示すよう
に、光軸ＯR と移動後の中心Ｏとの距離は既知であるか
ら、結局、光学顕微鏡９の光軸ＯR と探針１０との間の
距離を測定することができることとなる。
Ｐ1 、Ｐ2 の式から、両線分の交点、即ち標準試料Ａの
中心Ｏのｘｙ座標系の座標値を求める。中心Ｏが求まる
と、この中心Ｏから点ｋ1 までの距離が演算でき、位置
ＯP と点ｋ1 との距離は既知であるので、中心Ｏと位置
ＯP との距離を求めることができる。図３に示すよう
に、光軸ＯR と移動後の中心Ｏとの距離は既知であるか
ら、結局、光学顕微鏡９の光軸ＯR と探針１０との間の
距離を測定することができることとなる。
【００１９】このように本実施例では、標準試料Ａのパ
ターンを放射状の線分で形成したので、探針１０の走査
による標準試料Ａの中心の確定を、ひいては探針１０と
光軸ＯR との距離の測定を容易に、かつ、正確に行うこ
とができ、さらに、標準試料Ａのパターンも単純なパタ
ーンとすることができる。
ターンを放射状の線分で形成したので、探針１０の走査
による標準試料Ａの中心の確定を、ひいては探針１０と
光軸ＯR との距離の測定を容易に、かつ、正確に行うこ
とができ、さらに、標準試料Ａのパターンも単純なパタ
ーンとすることができる。
【００２０】なお、上記実施例の説明では、標準試料の
パターンを全周にわたって形成する例について説明した
が、標準試料の試料テーブル上の載置方向が定められて
おれば、当該パターンは所定の一部にのみ形成すること
もできる。又、探針による走査を微動機構により行う例
について説明したが、探針自体を駆動して走査を行う構
成とすることができるのは当然である。
パターンを全周にわたって形成する例について説明した
が、標準試料の試料テーブル上の載置方向が定められて
おれば、当該パターンは所定の一部にのみ形成すること
もできる。又、探針による走査を微動機構により行う例
について説明したが、探針自体を駆動して走査を行う構
成とすることができるのは当然である。
【００２１】
【発明の効果】以上述べたように、本発明では、標準試
料のパターンを１つの中心に対する多数の放射状線分で
形成したので、探針の走査による標準試料の中心の確定
を容易に、かつ、正確に行うことができ、ひいては探針
と光軸との距離の測定を容易、正確に行うことができ
る。さらに、標準試料のパターンも単純なパターンとす
ることができる。
料のパターンを１つの中心に対する多数の放射状線分で
形成したので、探針の走査による標準試料の中心の確定
を容易に、かつ、正確に行うことができ、ひいては探針
と光軸との距離の測定を容易、正確に行うことができ
る。さらに、標準試料のパターンも単純なパターンとす
ることができる。
【図１】本発明の実施例に係るプローブ顕微鏡の探針位
置測定方法に用いられる標準試料の平面図である。
置測定方法に用いられる標準試料の平面図である。
【図２】プローブ顕微鏡装置の斜視図である。
【図３】本実施例の測定方法の説明図である。
【図４】本実施例の測定方法の説明図である。
Ａ 標準試料 Ｐ パターンの線分
Claims (3)
- 【請求項１】 互いに直交するＸ軸およびＹ軸に沿って
変位するＸＹステージと、このＸＹステージとともに変
位しかつ試料を載置する試料テーブルと、前記ＸＹステ
ージの変位量を計測する変位計と、前記試料テーブルに
対向して配置された探針と、前記試料テーブルに対向し
かつ前記探針から離れて配置される光学顕微鏡とを備え
たプローブ顕微鏡において、１つの中心点に対する多数
の放射状線分より成るパターンが形成された標準試料を
前記試料テーブルに載置し、前記光学顕微鏡の光軸と前
記標準試料の中心点とを一致させた後、前記探針により
前記パターンのうちの１つの放射状線分を検出し、次に
当該探針により他の放射状線分を検出し、これら検出さ
れた２つの放射状線分に基づいて前記中心点および当該
中心点から前記探針までの距離を演算することを特徴と
するプローブ顕微鏡の探針位置測定方法。 - 【請求項２】 請求項１において、前記パターンは、前
記中心点の全周にわたって形成されていることを特徴と
するプローブ顕微鏡の探針位置測定方法。 - 【請求項３】 請求項１において、前記パターンは、前
記中心点の周囲の所定部分にのみ形成されていることを
特徴とするプローブ顕微鏡の探針位置測定方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4348151A JPH06201372A (ja) | 1992-12-28 | 1992-12-28 | プローブ顕微鏡の探針位置測定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4348151A JPH06201372A (ja) | 1992-12-28 | 1992-12-28 | プローブ顕微鏡の探針位置測定方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06201372A true JPH06201372A (ja) | 1994-07-19 |
Family
ID=18395095
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4348151A Pending JPH06201372A (ja) | 1992-12-28 | 1992-12-28 | プローブ顕微鏡の探針位置測定方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06201372A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8495759B2 (en) | 2008-07-31 | 2013-07-23 | Sii Nanotechnology Inc. | Probe aligning method for probe microscope and probe microscope operated by the same |
-
1992
- 1992-12-28 JP JP4348151A patent/JPH06201372A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8495759B2 (en) | 2008-07-31 | 2013-07-23 | Sii Nanotechnology Inc. | Probe aligning method for probe microscope and probe microscope operated by the same |
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