JP2009522560A - 走査型プローブ顕微鏡を備えた測定システムを動作させるための方法、及び、測定システム - Google Patents
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Abstract
Description
走査型プローブ顕微鏡(SPM)は、探針を用いて検査対象である試料を走査することによって、例えば、試料の表面的特徴を記録する技術である。このために、探針と試料との相対運動が利用される。この相対運動は、探針および試料の少なくとも何れかが移動することにより達成される。通常、この相対運動は、水平方向への運動により実現される。また、この相対運動は、垂直方向にも行われる。走査型プローブ顕微鏡の一つの形態として、走査型力顕微鏡(SFM)がある。この場合に使用される原子間力顕微鏡が備える探針は、繊細な測定チップを備えたカンチレバー状に形成される。
本発明の目的は、走査型プローブ顕微鏡を備えた測定システムを動作させるための改良された方法と、走査型プローブ顕微鏡を備えた測定システムであって、正確な探針の位置決め(検査対象物となる試料に対する探針の相対位置の決定)が可能な測定システムとを実現することにある。
本発明の実施形態を、図を参照して以下に詳細に説明する。
Claims (12)
- 走査型プローブ顕微鏡、特に原子間力顕微鏡を備えた測定システムを動作させるための方法であって、
光学的記録装置を用いて記録された、試料の測定対象部分の光学像を、表示装置に表示する工程と、
上記光学像上の位置を選択する工程と、
探針走査測定のために、上記試料と探針とを相対的に移動する移動装置を座標変換に応じて制御することによって、探針走査測定用に構成された探針を、上記座標変換により上記光学像上の被選択位置に関連付けられた測定位置に移動する工程と、を含み、
上記座標変換は、上記光学像上の座標系と、上記測定位置をその要素として含む空間であって上記試料に対して上記探針が取り得る位置の全体からなる空間の座標系とを関連付ける予め定められた座標変換である、
ことを特徴とする方法。 - 上記探針を上記測定位置に移動する工程において、上記測定位置に移動される上記探針上に形成された測定チップを用いて、上記探針走査測定の測定値を検出する工程を含む、
ことを特徴とする請求項1に記載の方法。 - 上記表示装置に表示された上記光学像上に、上記探針の少なくとも一部分を表示する、
ことを特徴とする請求項1または2に記載の方法。 - 上記表示装置に表示された上記光学像上に、上記探針を表示することなく、上記測定対象部分を表示する、
ことを特徴とする請求項1または2に記載の方法。 - ライブオペレーティングモードにおいて、瞬間的に記録された光学像を、上記光学像として表示する、
ことを特徴とする請求項1から4の何れか1項に記載の方法。 - 上記表示装置上に、少なくとも1つの探針走査測定像を探針走査測定の測定値とともに表示し、該探針走査測定像と上記光学像とを少なくとも部分的にスーパーインポーズ表示する、
ことを特徴とする請求項1から5の何れか1項に記載の方法。 - 上記測定対象部分の上記光学像の表示を、上記表示装置において繰り返し更新する、
ことを特徴とする請求項1から6の何れか1項に記載の方法。 - 上記座標変換を、1つまたは幾つかの光学像上の1つまたは幾つかの像点と、上記試料に対する上記探針の位置のうちこれらの像点に対応する測定位置とを比較することによって座標変換を決定し、一般化された変換の規則を導き出す工程を含む、ことを特徴とする請求項1から7の何れか1項に記載の方法。
- 上記1つまたは上記幾つかの光学像は、蛍光像、バックライト像、およびラマン分光像からなる群より選択された少なくとも1種類の像として記録される、ことを特徴とする請求項8に記載の方法。
- 走査型プローブ顕微鏡と光学的手段とを用いて試料を測定するための測定システムであって、
探針が形成されている走査型プローブ顕微鏡と、
探針走査測定のフレームワーク内での上記探針を用いた測定の対象となる試料の測定対象部分の光学像を記録するように構成された記録装置と、
上記光学像を表示するように構成された、上記光学的記録装置に接続された表示装置と、
上記測定の対象となる試料に対する上記探針の位置を変化させる移動装置と、
上記移動装置に接続され、上記表示装置に表示された光学像上の被選択位置を検出した後、探針走査測定のために上記移動装置を動作させるために必要な制御信号を生成することによって、上記探針を、上記光学像上の座標系と上記試料に対して上記探針が取り得る位置の全体からなる空間の座標系との間に予め定められた関連付けを与える座標変換よって上記光学像上の上記被選択位置に関連づけられた測定位置に移動するように構成された制御装置と、を備えた測定システム。 - 上記走査型プローブ顕微鏡は、原子間力顕微鏡、走査型近接場顕微鏡、またはフォトン走査型顕微鏡である、ことを特徴とする請求項10に記載の測定システム。
- 上記制御装置は、上記光学像上の座標系と、上記試料に対して上記探針が取り得る位置の全体からなる空間との間に関連付けを検出するように構成されている、ことを特徴とする請求項10または11に記載の測定システム。
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US20160004983A1 (en) * | 2014-07-07 | 2016-01-07 | GM Global Technology Operations LLC | Method and apparatus for quantifying dimensional variations and process capability independently of datum points |
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EP3610271A4 (en) * | 2017-04-12 | 2021-04-14 | General Automation LAB Technologies Inc. | APPARATUS AND METHOD FOR TAKING A BIOLOGICAL SAMPLE |
DE102017211957A1 (de) | 2017-07-12 | 2019-01-17 | Carl Zeiss Smt Gmbh | Verfahren und Vorrichtung zum Untersuchen einer Messspitze eines Rastersondenmikroskops |
DE112018007444T5 (de) * | 2018-05-15 | 2021-01-07 | Hitachi High-Tech Corporation | Ladungsträgerstrahlvorrichtung, verfahren zum verarbeiten einer probe und beobachtungsverfahren |
US11231571B2 (en) | 2018-08-09 | 2022-01-25 | Viavi Solutions Inc. | Determining an erroneous movement of a microscope |
US10571676B1 (en) * | 2018-08-09 | 2020-02-25 | Viavi Solutions Inc. | Determining an error in a moving distance of a microscope |
US10481379B1 (en) * | 2018-10-19 | 2019-11-19 | Nanotronics Imaging, Inc. | Method and system for automatically mapping fluid objects on a substrate |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH02141601A (ja) * | 1988-11-24 | 1990-05-31 | Seiko Instr Inc | 標準試料及びこれを用いた位置補正方法並びに複合化測定装置 |
JPH0413902A (ja) * | 1990-05-08 | 1992-01-17 | Hitachi Constr Mach Co Ltd | 顕微鏡の表示装置 |
JPH0666558A (ja) * | 1992-08-14 | 1994-03-08 | Hitachi Constr Mach Co Ltd | 微細対象物測定装置の測定箇所視野内設定方法 |
JPH06258073A (ja) * | 1993-01-08 | 1994-09-16 | Hitachi Constr Mach Co Ltd | プローブ顕微鏡装置 |
JPH0829354A (ja) * | 1993-06-08 | 1996-02-02 | Mitsubishi Electric Corp | 微小異物の検出および検査方法、それに用いられる走査型プローブ顕微鏡ならびにこれらを用いた半導体素子または液晶表示素子の製法 |
JPH08220006A (ja) * | 1995-02-14 | 1996-08-30 | Mitsubishi Electric Corp | 微小異物の分析方法、分析装置およびこれらを用いる半導体素子もしくは液晶表示素子の製法 |
JP2002350320A (ja) * | 2001-05-25 | 2002-12-04 | Olympus Optical Co Ltd | 走査型プローブ顕微鏡 |
JP2004301728A (ja) * | 2003-03-31 | 2004-10-28 | Olympus Corp | 顕微鏡対物レボルバ取付型走査型プローブユニット |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5517027A (en) * | 1993-06-08 | 1996-05-14 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Method for detecting and examining slightly irregular surface states, scanning probe microscope therefor, and method for fabricating a semiconductor device or a liquid crystal display device using these |
US5581082A (en) * | 1995-03-28 | 1996-12-03 | The Regents Of The University Of California | Combined scanning probe and scanning energy microscope |
US5953687A (en) * | 1997-08-18 | 1999-09-14 | Giddings & Lewis, Inc. | Method and apparatus for displaying active probe tip status of a coordinate measuring machine |
AU2003211027A1 (en) * | 2002-03-27 | 2003-10-13 | Nanoink, Inc. | Method and apparatus for aligning patterns on a substrate |
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Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH02141601A (ja) * | 1988-11-24 | 1990-05-31 | Seiko Instr Inc | 標準試料及びこれを用いた位置補正方法並びに複合化測定装置 |
JPH0413902A (ja) * | 1990-05-08 | 1992-01-17 | Hitachi Constr Mach Co Ltd | 顕微鏡の表示装置 |
JPH0666558A (ja) * | 1992-08-14 | 1994-03-08 | Hitachi Constr Mach Co Ltd | 微細対象物測定装置の測定箇所視野内設定方法 |
JPH06258073A (ja) * | 1993-01-08 | 1994-09-16 | Hitachi Constr Mach Co Ltd | プローブ顕微鏡装置 |
JPH0829354A (ja) * | 1993-06-08 | 1996-02-02 | Mitsubishi Electric Corp | 微小異物の検出および検査方法、それに用いられる走査型プローブ顕微鏡ならびにこれらを用いた半導体素子または液晶表示素子の製法 |
JPH08220006A (ja) * | 1995-02-14 | 1996-08-30 | Mitsubishi Electric Corp | 微小異物の分析方法、分析装置およびこれらを用いる半導体素子もしくは液晶表示素子の製法 |
JP2002350320A (ja) * | 2001-05-25 | 2002-12-04 | Olympus Optical Co Ltd | 走査型プローブ顕微鏡 |
JP2004301728A (ja) * | 2003-03-31 | 2004-10-28 | Olympus Corp | 顕微鏡対物レボルバ取付型走査型プローブユニット |
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