JP2020088324A - 処理装置、処理方法、及びプログラム - Google Patents

Abstract

【課題】プローブ種類の登録時における作業性の向上に有利な技術を提供する。【解決手段】処理装置は、プローブカードに設けられたプローブの映像を表示する表示手段と、ユーザが映像を参照しながらプローブの特徴を示すプローブパラメータを入力する操作を受け付ける入力手段と、プローブパラメータとプローブカードの種類との対応関係を示す情報に基づいて、入力手段により入力されたプローブパラメータに対応するプローブカードの種類を特定する特定手段と、特定手段により特定されたプローブカードの種類を登録するための処理を行う登録手段と、登録手段により登録されたプローブカードの種類に基づいて所定の処理を行う処理手段と、を有する。【選択図】図２

Description

本開示は、処理装置、処理方法、及びプログラムに関する。

半導体製造プロセスにおいて、検査対象となるウエハと検査装置とを電気的に接続するプローブカードが利用されている。検査を実行する際には、使用するプローブカードの種類（プローブ種類）が装置に登録され、プローブ種類毎に定められたアルゴリズムに従ってアライメントが実行され、その結果を元に通電テストが実行される。

特許文献１には、プローブカードのメンテナンスのタイミングを最適化することを目的として、プローブカードの回路基板に、識別情報、使用履歴、及びプローブの状態に関する情報を記憶するデータ蓄積部を備える技術が開示されている。

特開２００６−１２８４５２号公報

本開示は、プローブ種類の登録時における作業性の向上に有利な技術を提供する。

本開示の一態様による処理装置は、プローブカードに設けられたプローブの映像を表示する表示手段と、ユーザが前記映像を参照しながらプローブの特徴を示すプローブパラメータを入力する操作を受け付ける入力手段と、プローブパラメータとプローブカードの種類との対応関係を示す情報に基づいて、入力手段により入力されたプローブパラメータに対応するプローブカードの種類を特定する特定手段と、特定手段により特定されたプローブカードの種類を登録するための処理を行う登録手段と、登録手段により登録されたプローブカードの種類に対応付けられたアルゴリズムに従って所定の処理を行う処理手段と、を有する。

本開示によれば、プローブ種類の登録時における作業性の向上に有利な技術を提供することができる。

図１は、実施形態に係る検査装置のハードウェア構成の一例を示す図である。 図２は、実施形態に係る検査装置の機能構成の一例を示す図である。 図３は、実施形態に係る検査装置におけるプローブ種類の特定処理の一例を示すフローチャートである。 図４は、実施形態に係るプローブ種類特定前の登録画面の一例を示す図である。 図５は、実施形態に係るマクロ画像を含むパラメータ入力補助画面の一例を示す図である。 図６は、実施形態に係るマイクロ画像を含むパラメータ入力補助画面の一例を示す図である。 図７は、実施形態に係るサンプル画像の一例を示す図である。 図８は、実施形態に係る針先間距離の計測時におけるパラメータ入力補助画面の一例を示す図である。 図９は、実施形態に係る確認画面の一例を示す図である。 図１０は、実施形態に係るプローブ種類特定後の登録画面の一例を示す図である。 図１１は、実施形態に係る検査装置におけるプローブ種類の登録処理の一例を示すフローチャートである。 図１２は、実施形態に係る登録補助情報の一例を示す図である。 図１３は、実施形態に係るアライメント用プローブ登録画面のマクロ指定処理を実行する際の状態の一例を示す図である。 図１４は、実施形態に係るアライメント用プローブ登録画面のマイクロ指定処理を実行する際の状態の一例を示す図である。

以下、実施形態について図面を参照して説明する。なお、本明細書及び図面において、実質的に同一の構成については、同一の符号を付することにより重複した説明を省く。

図１は、実施形態に係る検査装置１のハードウェア構成の一例を示す図である。本実施形態に係る検査装置１は、「処理装置」の一例であり、載置台１１、駆動機構１２、エンコーダ１３、プローブカード１４、保持部材１５、第１の撮像装置１６、第２の撮像装置１７、アライメントブリッジ１８、入力装置１９、表示装置２０、及び制御装置２１を有する。

載置台１１は、検査対象となるウエハ２５を載置するための部材である。駆動機構１２は、制御装置２１からの指示信号に従って載置台１１をＸＹＺ空間内で平行移動させる。駆動機構１２の具体的な構成は特に限定されるべきものではないが、例えば、電動モータ、リンク機構等を用いて構成され得る。エンコーダ１３は、載置台１１の変位方向及び変位量を示す信号を出力する回路である。エンコーダ１３から出力された信号は制御装置２１に入力され、駆動機構１２の制御等に利用される。

プローブカード１４は、載置台１１に載置されたウエハ２５と電気的に接続するデバイスである。プローブカード１４は、ウエハ２５に設けられた複数の電極と接触する複数のプローブ１４Ａを有する。プローブカード１４により取得された電気信号はテスタ４０に入力され、検査処理等に利用される。保持部材１５は、プローブカード１４を保持する部材であり、固定されていてもよいし、所定の駆動機構により変位可能に構成されてもよい。

第１の撮像装置１６は、プローブカード１４を下方から撮像する装置である。第１の撮像装置１６の具体的な構成は特に限定されるべきものではないが、例えばＣＣＤ（Charge Coupled Device）等を利用した構成であり得る。第１の撮像装置１６により、保持部材１５に保持されたプローブカード１４の下面部の画像、すなわちプローブ１４Ａの先端部等の状態を示す画像を取得することができる。本実施形態に係る第１の撮像装置１６は載置台１１に固定されており、第１の撮像装置１６の撮像範囲は載置台１１の位置に応じて変化する。また、本実施形態に係る第１の撮像装置１６は、画像の倍率を変化させる機能を有し、比較的低倍率の画像（マクロ画像）と比較的高倍率の画像（マイクロ画像）とを撮像できるよう構成されている。第１の撮像装置１６により取得された画像データは制御装置２１に出力され、後述するプローブカード１４の種類（プローブ種類）の特定・登録処理、アライメント処理等に利用される。

第２の撮像装置１７は、ウエハ２５を上方から撮像する装置である。第２の撮像装置１７の具体的な構成は特に限定されるべきものではないが、例えばＣＣＤ等を利用した構成であり得る。第２の撮像装置１７により、載置台１１に載置されたウエハ２５の上面部の画像、すなわち電極の位置等を示す画像を取得することができる。本実施形態に係る第２の撮像装置１７はアライメントブリッジ１８に固定されている。アライメントブリッジ１８は所定の駆動機構により変位可能に構成され、第２の撮像装置１７の撮像範囲はアライメントブリッジ１８の位置に応じて変化する。第２の撮像装置１７により取得された画像データは制御装置２１に出力され、アライメント処理等に利用される。

入力装置１９は、ユーザの操作を受け付けるデバイスであり、例えばキーボード、マウス、タッチパネル機構等であり得る。入力装置１９により取得された情報は制御装置２１に入力され、各種処理の実行／停止、設定作業等に利用される。

表示装置２０は、映像（静止画、動画を含む）を出力するデバイスであり、例えばタッチパネル機構等を有したディスプレイ等であり得る。本実施形態に係る表示装置２０は、プローブ種類の特定・登録時、アライメント処理時、検査処理時等に所定の映像を表示させる。

制御装置２１は、検査装置１全体を制御する電子制御ユニットである。制御装置２１は、ＣＰＵ（Central Processing Unit）３１、ＲＡＭ（Random Access Memory）３２、ＲＯＭ（Read Only Memory）３３、メモリ３４、画像処理回路３５、画像データメモリ３６、及び表示制御回路３７を有する。

ＣＰＵ３１は演算処理を行う電子回路であり、検査装置１が有する各種機能を実現するための各種処理を行う。ＲＡＭ３２は情報の高速な読書きが可能な揮発性の記憶媒体であり、ＣＰＵ３１が情報を処理する際の作業領域として用いられる。ＲＯＭ３３は読み出し専用の不揮発性の記憶媒体であり、ファームウェア等が格納されている。メモリ３４は情報の読み書きが可能な不揮発性の記憶媒体であり、ＯＳ（Operating System）、検査装置１の各種機能を実現するための各種の制御プログラム、アプリケーションプログラム等が格納される。また、メモリ３４には、検査装置１の各種機能を実現するために必要な各種データが格納される。

画像処理回路３５は、第１の撮像装置１６及び第２の撮像装置１７により取得された画像データに対して各種画像処理を行うＦＰＧＡ（Field Programmable Gate Array）等の回路である。画像データメモリ３６は、画像処理回路３５により処理された画像データを記憶する記憶媒体である。本実施形態に係る画像データメモリ３６には第１の撮像装置１６により撮像された、プローブ１４Ａの針先等の状態を示す画像の画像データが記憶され、当該画像データはプローブ種類の登録時に利用される。表示制御回路３７は、表示装置２０を制御するための処理を行う回路である。表示制御回路３７は、ＣＰＵ３１からの制御信号、画像データメモリ３６に記憶された画像データ等に基づいて、表示装置２０に所定の映像を表示させるための制御を行う。

図２は、実施形態に係る検査装置１の機能構成の一例を示す図である。本実施形態に係る検査装置１は、撮像部１０１、パラメータ取得部１０２、プローブ種類特定部１０３、更新部１０４、プローブ種類登録部１０５、及び検査部１０６を有する。また、検査装置１は、プローブ情報データベース１３１、アライメント情報データベース１３２、登録補助情報データベース１３３、及び検査情報データベース１３４を有する。ここでは、主にプローブ登録に関連する機能部及びデータベースが示されている。

撮像部１０１は、登録しようとしているプローブカード１４の下面部の画像（プローブ１４Ａの先端部の状態を示す画像）を撮像する。撮像部１０１は、第１の撮像装置１６、制御装置２１等により構成される。

パラメータ取得部１０２は、プローブカード１４の特徴を示すプローブパラメータを取得する。プローブパラメータは、登録しようとしているプローブカード１４のプローブ１４Ａの特徴を示す情報であり、例えば、プローブ１４Ａの先端部の形状を示す「針先形状」、プローブ１４Ａの先端部の径を示す「針先径」、プローブ１４Ａの先端部の色を示す「針先色」、隣り合う２つのプローブ１４Ａの先端部間の距離を示す「針先間距離」等であり得る。

本実施形態に係るパラメータ取得部１０２は、入力補助画面表示部１１１及び入力部１１２を有する。入力補助画面表示部１１１は、プローブ種類の特定時にユーザがプローブパラメータを入力する操作を補助するためのパラメータ入力補助画面（後に詳述する）を表示する。入力補助画面表示部１１１は、撮像部１０１により撮像された画像（プローブカード１４の下面部の画像）に基づいてパラメータ入力補助画面を表示する。入力部１１２は、ユーザがパラメータ入力補助画面等を参照しながらプローブパラメータを入力する操作を受け付ける。パラメータ取得部１０２は、入力装置１９、表示装置２０、制御装置２１等により構成される。

プローブ種類特定部１０３は、パラメータ取得部１０２により取得されたプローブパラメータと、プローブ情報データベース１３１に格納された情報（プローブ情報）とに基づいて、登録しようとしているプローブカード１４のプローブ種類を特定する。プローブ情報は、プローブパラメータとプローブ種類とが対応付けられた情報である。プローブ種類特定部１０３は、制御装置２１等により構成される。

更新部１０４は、プローブ情報データベース１３１に格納されているプローブ情報を更新する。更新部１０４は、プローブ種類特定部１０３により特定されたプローブ種類に関する情報（プローブパラメータとプローブ種類との対応関係等）をプローブ情報に追加する追加処理を行う。また、更新部１０４は、ユーザの指示等に応じて、既に記憶されているプローブ種類に関する情報の一部（プローブパラメータの一部等）を変更する再登録処理を行ってもよい。更新部１０４は、制御装置２１等により構成される。

プローブ種類登録部１０５は、プローブ種類特定部１０３により特定されたプローブ種類を登録する。本実施形態に係るプローブ種類登録部１０５は、アライメント部１２１及び登録補助情報表示部１２２を有する。

アライメント部１２１は、プローブカード１４の位置決めを行うアライメント処理を行う。アライメント部１２１は、プローブ種類毎に定められたアライメントアルゴリズムに従ってアライメント処理を行う。アライメント部１２１は、プローブ種類特定部１０３により特定されたプローブ種類と、アライメント情報データベース１３２に格納された情報（アライメント情報）とに基づいてアライメント処理を行う。アライメント情報は、プローブ種類とアライメントアルゴリズムとが対応付けられた情報である。アライメント部１２１は、アライメント情報データベース１３２から、プローブ種類特定部１０３により特定されたプローブ種類に対応するアライメントアルゴリズムを抽出し、抽出されたアライメントアルゴリズムに従ってアライメント処理を行う。なお、ここではアライメント処理がプローブカード１４の登録処理に含まれる場合を示しているが、アライメント処理はプローブ種類の登録後に独立して行われてもよい。

登録補助情報表示部１２２は、プローブ種類の登録時におけるユーザの操作を補助するための登録補助画面（後に詳述する）を表示する。登録補助情報表示部１２２は、プローブ種類毎に定められた補助情報を、登録作業を行っているユーザが確認できるように表示する。登録補助情報表示部１２２は、プローブ種類特定部１０３により特定されたプローブ種類と、登録補助情報表示部１２２に格納された情報（登録補助情報）とに基づいて、登録補助画面を表示するための処理を行う。登録補助情報は、プローブ種類と補助情報とが対応付けられた情報である。登録補助情報表示部１２２は、登録補助情報データベース１３３から、プローブ種類特定部１０３により特定されたプローブ種類に対応する補助情報を抽出し、抽出された補助情報をユーザが視認可能なディスプレイ等に表示する。

プローブ種類登録部１０５（アライメント部１２１及び登録補助情報表示部１２２を含む）は、入力装置１９、表示装置２０、制御装置２１等により構成される。

検査部１０６は、登録されたプローブ種類のプローブカード１４を用いてウエハ２５を検査する検査処理を行う。検査部１０６は、プローブ種類毎に対応するアライメントをアライメント部１２１により実行後、検査処理を行う。検査部１０６は、検査情報データベース１３４に格納された情報（検査情報）に基づいて検査処理を行う。検査部１０６は、検査情報データベース１３４から検査アルゴリズムを抽出し、抽出された検査アルゴリズムに従って検査処理を行う。

図３は、実施形態に係る検査装置１におけるプローブ種類の特定処理の一例を示すフローチャートである。ここでは、使用していたプローブカード１４を交換したときの処理を例示する。ユーザがプローブカード１４を交換し（Ｓ１０１）、入力装置１９に対して所定の操作を行うと、入力補助画面表示部１１１は、表示装置２０に新たなプローブカード１４の種類（プローブ種類）を登録するための登録画面を表示させる（Ｓ１０２）。

図４は、実施形態に係るプローブ種類特定前の登録画面２０１の一例を示す図である。ここで例示する登録画面２０１には、プローブ登録ボタン２１１及びプローブ種類表示欄２１２が含まれている。

プローブ登録ボタン２１１は、プローブ種類を登録する作業を開始するための操作部である。プローブ種類表示欄２１２は、特定されたプローブ種類を表示する部分である。

中止ボタン２２１は、登録作業を中止するための操作部である。プローブ種類登録開始ボタン２２２は、プローブ種類の登録作業を進行させるための操作部である。プローブ種類設定ガイドボタン２２３は、登録しようとしているプローブカード１４の種類（プローブ種類）の特定を補助するため操作部である。

図３に戻り、フローチャートの説明を続ける。上記のような登録画面２０１において、プローブ種類設定ガイドボタン２２３を押下する操作を行うと（Ｓ１０３）、入力補助画面表示部１１１は、登録しようとしているプローブカード１４のプローブパラメータをユーザが入力する操作を補助するためのパラメータ入力補助画面を表示装置２０に表示させる（Ｓ１０４）。このとき、パラメータ入力補助画面には、登録しようとしているプローブカード１４の下面部を比較的低倍率で撮像したマクロ画像が表示される（Ｓ１０５）。

図５は、実施形態に係るマクロ画像２３２を含むパラメータ入力補助画面２３１の一例を示す図である。ここで例示するパラメータ入力補助画面２３１には、マクロ画像２３２、パラメータ入力補助情報２３３、ステージ座標表示部２３４、視野変更ボタン２３５、カーソル操作ボタン２３７、移動量表示部２３８、針先形状入力ボタン２４１、針先色入力ボタン２４２、針先径入力ボタン２４３、針先間距離入力ボタン２４４、計測開始・終了ボタン２４５、確定終了ボタン２５１、及び中止終了ボタン２５２が含まれている。

マクロ画像２３２は、登録しようとしているプローブカード１４の下面部を撮像部１０１（第１の撮像装置１６）により比較的低倍率で撮像した画像である。ここで例示するマクロ画像２３２には、複数（４つ）のプローブ１４Ａの先端部、カーソル２４６、及び枠２４７（枠状のオブジェクト）が映し出されている。

パラメータ入力補助情報２３３は、プローブパラメータを入力する際の手順を示す情報である。ここで例示するパラメータ入力補助情報２３３は、針先形状、針先色、針先径、及び針先間距離の入力手順を示している。

ステージ座標表示部２３４は、載置台１１の位置及び回転方向の傾斜角度を表示する部分である。視野変更ボタン２３５は、マクロ画像２３２と、後述するマイクロ画像との表示を切り替えるための操作部である。カーソル操作ボタン２３７は、カーソル２４６及び枠２４７を移動させるための操作部である。移動量表示部２３８は、カーソル２４６の移動量を表示する部分である。

針先形状入力ボタン２４１は、登録しようとしているプローブカード１４のプローブ１４Ａの先端の形状を入力するための操作部である。針先色入力ボタン２４２は、プローブ１４Ａの色を入力するための操作部である。針先径入力ボタン２４３は、プローブ１４Ａの先端の径を入力するための操作部である。針先径入力ボタン２４３のうち、外向きの矢印が描かれたボタンを押すことにより枠２４７が大きくなり、内向きの矢印が描かれたボタンを押すことにより枠２４７が小さくなる。

針先間距離入力ボタン２４４は、隣り合う２つプローブ１４Ａの先端部間の距離を入力するための操作部である。計測開始・終了ボタン２４５は、針先間距離を入力する際に操作される操作部である。これらのボタン２４１〜２４５を用いてプローブパラメータの入力操作が行われる。

確定終了ボタン２５１は、全てのプローブパラメータ（本例では針先形状、針先色、針先径、及び針先間距離）の入力内容を確定させるための操作部である。中止終了ボタン２５２は、プローブパラメータの入力を中止するための操作部である。

図３に戻り、フローチャートの説明を続ける。上記のようなパラメータ入力補助画面２３１において、ユーザがカーソル２４６を動かして所望のプローブ１４Ａの先端部を指定し（Ｓ１０６）、視野変更ボタン２３５を押下すると（Ｓ１０７）、パラメータ入力補助画面２３１に、指定された先端部を拡大したマイクロ画像が表示される（Ｓ１０８）。

図６は、実施形態に係るマイクロ画像２５５を含むパラメータ入力補助画面２３１の一例を示す図である。マイクロ画像２５５は、登録しようとしているプローブカード１４の下面部を比較的高倍率（マクロ画像２３２の撮像時における倍率より高い倍率）で撮像した画像である。ここで例示するマイクロ画像２５５には、ユーザにより指定されたプローブ１４Ａの先端部が１つだけ映し出されている。

図３に戻り、フローチャートの説明を続ける。上記のようなマイクロ画像２５５が表示されたパラメータ入力補助画面２３１上でプローブパラメータの入力が行われる。ユーザがパラメータ入力補助画面２３１内の針先形状入力ボタン２４１を押下すると（Ｓ１０９）、入力補助画面表示部１１１は表示装置２０にプローブ１４Ａの針先形状のバリエーションを示すサンプル画像を表示する（Ｓ１１０）。

図７は、実施形態に係るサンプル画像２７１の一例を示す図である。ここで例示するサンプル画像２７１には、プローブ１４Ａの先端部の側面視形状を示す側面視形状表示部２７５と、プローブ１４Ａの先端部の下面視形状を示す下面視形状表示部２７６と、下面視形状の分類を示す下面視形状分類表示部２７７と、プローブ１４Ａのタイプを示すプローブタイプ表示部２７８とが含まれている。

図３に戻り、フローチャートの説明を続ける。ユーザは、図６に示すようなマイクロ画像２５５に映し出された実際のプローブ１４Ａの先端部の拡大画像と、図７に示すようなサンプル画像２７１とを参照し、登録しようとしているプローブカード１４のプローブ１４Ａの先端形状を選択する操作を行う（Ｓ１１１）。これにより、プローブパラメータの１つである「針先形状」を入力することができる。

次いで、ユーザがパラメータ入力補助画面２３１内の針先径入力ボタン２４３を操作して枠２４７の大きさを調整し、マイクロ画像２５５内で枠２４７がプローブ１４Ａの先端の縁部と接するようにすることにより、針先径を計測する（Ｓ１１２）。これにより、プローブパラメータの１つである「針先径」を入力することができる。

次いで、ユーザがパラメータ入力補助画面２３１内の針先色入力ボタン２４２を操作し、プローブ１４Ａの先端の色を選択する（Ｓ１１３）。ユーザはこの操作を、マイクロ画像２５５を確認しながら行うことができる。これにより、プローブパラメータの１つである「針先色」を入力することができる。

次いで、ユーザがパラメータ入力補助画面２３１内の計測開始・終了ボタン２４５を操作し、針先間距離を計測する（Ｓ１１４）。針先間距離を計測する際には、マイクロ画像２５５の画像位置をずらす必要がある。

図８は、実施形態に係る針先間距離の計測時におけるパラメータ入力補助画面２３１の図である。ここで示すパラメータ入力補助画面２３１には、マイクロ画像２５５、計測開始・終了ボタン２４５、針先間距離算出ボタン２７２、針先間距離表示部２７３、及び前画面表示ボタン２７４が含まれている。

先ず、ユーザがマイクロ画像２５５上で任意の針先位置２６５を指定し、計測開始・終了ボタン２４５の開始ボタンを押下する操作を行う。次いで、ユーザがマクロ画像２３２上で針先位置２６５に隣接する針先位置２６６を指定し、計測開始・終了ボタン２４５の終了ボタンを押下する操作を行う。そして、ユーザが針先間距離算出ボタン２７２を押下する操作を行うことにより、２つの針先位置２６５，２６６間の距離、すなわち針先間距離が自動的に計測され、針先間距離表示部２７３に表示される。前画面表示ボタン２７４を押す操作を行うことにより、図５又は図６に示すパラメータ入力補助画面２３１に戻る。このような操作により、プローブパラメータの１つである「針先間距離」を入力することができる。

図３に戻り、フローチャートの説明を続ける。上記のようにプローブパラメータの入力が完了した後、ユーザがパラメータ入力補助画面２３１の確定終了ボタン２５１を押下する操作を行うと（Ｓ１１５）、プローブ種類特定部１０３は、プローブ情報データベース１３１から、入力されたプローブパラメータ（針先形状、針先径、針先色、及び針先間距離）に対応するプローブ種類を抽出する（Ｓ１１６）。その後、入力補助画面表示部１１１は、抽出されたプローブ種類をユーザに確認させるための確認画面を表示装置２０に表示する（Ｓ１１７）。

図９は、実施形態に係る確認画面２８１の一例を示す図である。ここで例示する確認画面２８１には、抽出されたプローブ種類を示すプローブ種類表示部２８５、針先径を示す針先径表示部２８６、及び内容を確認したことを示す操作部である確認ボタン２８７が含まれている。ユーザが確認ボタン２８７を押下する操作を行うことにより、抽出されたプローブ種類が特定される。

図３に戻り、フローチャートの説明を続ける。上記のようにプローブ種類が特定されると、当該プローブ種類に関する情報を追加するようにプローブ情報データベース１３１を更新した後（Ｓ１１８）、当該プローブ種類の特定処理が完了する（Ｓ１１９）。

図１０は、実施形態に係るプローブ種類特定後の登録画面２０１の一例を示す図である。上記のようにプローブ種類の特定処理が完了すると、登録画面２０１内のプローブ種類表示欄に、特定されたプローブ種類（本例では「Ｗ ＰＣ」）が表示される。そして、プローブ種類登録開始ボタン２２２が押下されると、プローブ種類の登録処理が開始される。

図１１は、実施形態に係る検査装置１におけるプローブ種類の登録処理の一例を示すフローチャートである。ユーザが登録画面２０１内のプローブ種類登録開始ボタン２２２を押下する操作を行うと（Ｓ２０１）、プローブ種類登録部１０５の登録補助情報表示部１２２は、特定されたプローブ種類（本例ではＷ ＰＣ）に対応する登録補助情報を表示装置２０に表示する（Ｓ２０２）。

図１２は、実施形態に係る登録補助情報２９１の一例を示す図である。ここで例示する登録補助情報２９１には、特定されたプローブ種類を表示するプローブ種類表示部２９５、マクロ画像上で針先を指定するマクロ指定処理の実行時における注意事項を示すマクロ時注意事項表示部２９６、マイクロ画像上で針先を指定するマイクロ指定処理の実行時における注意事項を示すマイクロ時注意事項表示部２９７、及びユーザが内容を確認した後に操作される確認ボタン２９８が含まれている。

図１１に戻り、フローチャートの説明を続ける。ユーザが登録補助情報２９１を確認した後に確認ボタン２９８を押下する操作を行うと、登録補助情報２９１が消去する（Ｓ２０３）。その後、プローブ種類登録部１０５は、アライメント処理を行うためのアライメント用プローブ登録画面を表示装置２０に表示する（Ｓ２０４）。

図１３は、実施形態に係るアライメント用プローブ登録画面３０１のマクロ指定処理を実行する際の状態の一例を示す図である。ここで例示するアライメント用プローブ登録画面３０１には、マクロ画像３０５、手順情報３０６、ｉボタン３０７、確定終了ボタン３１１、及び中止終了ボタン３１２が含まれている。

マクロ画像３０５は、登録しようとしている（上記特定処理により特定された）プローブカード１４の下面部を比較的低倍率で撮像した画像であり、本例では複数のプローブ１４Ａが配置された領域の隅部３１０を含むプローブ１４Ａの先端部が映し出されている。手順情報３０６は、マクロ画像３０５上で行われるマクロ指定処理の手順を示す情報である。ｉボタン３０７は、登録補助情報２９１を表示するための操作部である。確定終了ボタン３１１は、アライメント用プローブ登録処理の内容を確定して終了させるための操作部である。中止終了ボタン３１２は、アライメント用プローブ登録処理を中止して終了させるための操作部である。

図１１に戻り、フローチャートの説明を続ける。プローブ種類登録部１０５は、先ず、アライメント用プローブ登録画面３０１にマクロ画像３０５を表示させる（Ｓ２０５）。その後、登録補助情報表示部１２２は、ｉボタン３０７が押されたか否かを判定し（Ｓ２０６）、ｉボタン３０７が押された場合（Ｓ２０６：Ｙｅｓ）には表示装置２０に登録補助情報２９１を表示させる（Ｓ２０７）。その後、ユーザがマクロ画像３０５上で針先位置を指定するマクロ指定処理の操作を行う（Ｓ２０８）。また、ｉボタン３０７が押されなかった場合（Ｓ２０６：Ｎｏ）、登録補助情報２９１を表示させることなく、マクロ指定処理の操作が行われる（Ｓ２０８）。

ここでマクロ指定処理の一例を示す。図１３に示すマクロ画像３０５内には、画像の中心部に配置されたクロスポイント３１５が表示されている。クロスポイント３１５は、ウエハ２５とプローブカード１４との位置決めを行うための基準となる位置を示すものである。ここで例示するマクロ指定処理は、隅部３１０に位置するプローブ１４Ａの先端部をクロスポイント３１５に合わせる処理である。なお、マクロ指定処理の方法はこれに限定されるものではない。

上記のようにマクロ指定処理が完了し、アライメント用プローブ登録画面３０１の確定終了ボタン３１１が押下される（Ｓ２０９）と、プローブ種類登録部１０５は、マイクロ指定処理を実行するためにアライメント用プローブ登録画面３０１内にマイクロ画像を表示する（Ｓ２１０）。

図１４は、実施形態に係るアライメント用プローブ登録画面３０１のマイクロ指定処理を実行する際の状態の一例を示す図である。ここで例示するアライメント用プローブ登録画面３０１には、マイクロ画像３２１、手順情報３０６、ｉボタン３０７、確定終了ボタン３１１、及び中止終了ボタン３１２が含まれている。

マイクロ画像３２１は、登録しようとしているプローブカード１４の下面部を比較的高倍率で撮像した画像であり、本例では隅部３１０に存在する１つのプローブ１４Ａの先端部が映し出されている。本例における手順情報３０６には、マイクロ画像３２１上で行われるマイクロ指定処理の手順を示す情報が表示されている。ｉボタン３０７により、ユーザは任意のタイミングで登録補助情報２９１を表示させることができる。

図１１に戻り、フローチャートの説明を続ける。上記のようにアライメント用プローブ登録画面３０１内にマイクロ画像３２１が表示された状態において、登録補助情報表示部１２２は、ｉボタン３０７が押されたか否かを判定し（Ｓ２１１）、ｉボタン３０７が押された場合（Ｓ２１１：Ｙｅｓ）には表示装置２０に登録補助情報２９１を表示させる（Ｓ２１２）。その後、ユーザがマイクロ画像３２１上で針先位置を指定する（隅部３１０に位置するプローブ１４Ａの先端部をクロスポイント３１５に合わせる）、マイクロ指定処理の操作を行う（Ｓ２１３）。また、ｉボタン３０７が押されなかった場合（Ｓ２１１：Ｎｏ）、登録補助情報２９１を表示させることなく、マイクロ指定処理の操作が行われる（Ｓ２１３）。そして、ユーザがアライメント用プローブ登録画面３０１内の確定終了ボタン３１１を押す操作を行うことにより、プローブカードの登録処理が完了する（Ｓ２１４）。

検査装置１の各機能を実現するプログラムは、インストール可能な形式又は実行可能な形式のファイルでＣＤ−ＲＯＭ、フレキシブルディスク（ＦＤ）、ＣＤ−Ｒ、ＤＶＤ（Digital Versatile Disk）等のコンピュータで読み取り可能な記録媒体に記録して提供するように構成してもよい。また、プログラムを、インターネット等のネットワークに接続された他のコンピュータ上に格納し、ネットワーク経由でダウンロードさせることにより提供するように構成してもよい。また、プログラムをネットワーク経由で提供又は配布するように構成してもよい。

以上のように、本実施形態によれば、プローブ種類の登録時における作業性の向上に有利な技術を提供することが可能となる。具体的には、プローブカードの交換時等において、プローブカードについて詳しい知識を持たないユーザであっても、簡便且つ正確にプローブ種類を特定及び登録することが可能となる。

今回開示された実施形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。上記の実施形態は、添付の請求の範囲及びその趣旨を逸脱することなく、様々な形態で省略、置換、変更されてもよい。

１ 検査装置（処理装置）
１１ 載置台
１２ 駆動機構
１３ エンコーダ
１４ プローブカード
１４Ａ プローブ
１５ 保持部材
１６ 第１の撮像装置
１７ 第２の撮像装置
１８ アライメントブリッジ
１９ 入力装置
２０ 表示装置
２１ 制御装置
４０ テスタ
１０１ 撮像部
１０２ パラメータ取得部
１０３ プローブ種類特定部
１０４ 更新部
１０５ プローブ種類登録部
１０６ 検査部
１１１ 入力補助画面表示部
１２１ アライメント部
１２２ 登録補助情報表示部
１３１ プローブ情報データベース
１３２ アライメント情報データベース
１３３ 登録補助情報データベース
１３４ 検査情報データベース
２０１ 登録画面
２３１ パラメータ入力補助画面
２３２，３０５ マクロ画像
２５５，３２１ マイクロ画像
２７１ サンプル画像
２８１ 確認画面
２９１ 登録補助情報
３０１ アライメント用プローブ登録画面
３０７ ｉボタン

Claims (11)

1. プローブカードに設けられたプローブの映像を表示する表示手段と、
   ユーザが前記映像を参照しながら前記プローブの特徴を示すプローブパラメータを入力する操作を受け付ける入力手段と、
   前記プローブパラメータと前記プローブカードの種類との対応関係を示す情報に基づいて、前記入力手段により入力された前記プローブパラメータに対応する前記プローブカードの種類を特定する特定手段と、
   前記特定手段により特定された前記プローブカードの種類を登録するための処理を行う登録手段と、
   前記登録手段により登録された前記プローブカードの種類に基づいて所定の処理を行う処理手段と、
   を有する処理装置。
2. 前記表示手段は、前記映像の倍率をユーザの操作に応じて変更できるように構成されている、
   請求項１に記載の処理装置。
3. 前記プローブパラメータは、前記プローブの先端部の形状を示す針先形状、前記プローブの先端部の径を示す針先径、前記プローブの先端部の色を示す針先色、及び隣り合う２つの前記プローブの先端部間の距離を示す針先間距離のうちの少なくとも１つを含む、
   請求項１又は２に記載の処理装置。
4. 前記プローブパラメータは、前記針先形状を含み、
   前記入力手段は、前記針先形状の入力時に前記針先形状のバリエーションを示すサンプル画像を表示し、ユーザが前記サンプル画像を参照して前記針先形状を選択できるように構成されている、
   請求項３に記載の処理装置。
5. 前記プローブパラメータは、前記針先径を含み、
   前記入力手段は、ユーザが前記映像に重畳される枠状のオブジェクトを操作することにより前記針先径を入力できるように構成されている、
   請求項３又は４に記載の処理装置。
6. 前記プローブパラメータは、前記針先間距離を含み、
   前記入力手段は、ユーザが前記映像上で前記プローブの先端部を指定する操作を行うことにより前記針先間距離を入力できるように構成されている、
   請求項３〜５のいずれか１項に記載の処理装置。
7. 前記登録手段は、前記特定手段により特定された前記プローブカードの種類を登録するための操作を補助するための登録補助画面を表示する、
   請求項１〜６のいずれか１項に記載の処理装置。
8. 前記登録補助画面は、前記プローブカードの位置合わせを行うための操作を補助するための情報を含む、
   請求項７に記載の処理装置。
9. 前記処理手段は、登録された前記プローブカードを用いて対象物の検査を行う、
   請求項１〜８のいずれか１項に記載の処理装置。
10. プローブカードに設けられたプローブの映像を表示装置に表示する工程と、
    ユーザが前記映像を参照しながら前記プローブの特徴を示すプローブパラメータを入力する工程と、
    前記プローブパラメータと前記プローブカードの種類との対応関係を示す情報に基づいて、ユーザにより入力された前記プローブパラメータに対応する前記プローブカードの種類を特定する工程と、
    特定された前記プローブカードの種類を登録する工程と、
    登録された前記プローブカードの種類に対応付けられたアルゴリズムに従って所定の処理を行う工程と、
    を有する処理方法。
11. コンピュータに、
    プローブカードに設けられたプローブの映像を表示装置に表示させる処理と、
    ユーザが前記映像を参照しながら前記プローブの特徴を示すプローブパラメータを入力する処理と、
    前記プローブパラメータと前記プローブカードの種類との対応関係を示す情報に基づいて、ユーザにより入力された前記プローブパラメータに対応する前記プローブカードの種類を特定する処理と、
    特定された前記プローブカードの種類を登録する処理と、
    登録された前記プローブカードの種類に対応付けられたアルゴリズムに従って所定の処理を行う処理と、
    を実行させるプログラム。

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