TWI432719B - A visual inspection device for a display panel, and a visual inspection method - Google Patents

Description

顯示面板的目視檢查裝置及目視檢查方法

本發明是關於目視檢查裝置及目視檢查方法，更詳細地說，是藉由目視來檢查液晶顯示面板或電漿顯示面板等顯示面板的缺陷之顯示面板的目視檢查裝置及目視檢查方法。

在液晶顯示面板之類的顯示面板中，通常是於晶格步驟的最終檢查中，實際地使面板點燈(點亮)，來執行是否存有點缺陷、線缺陷、斑紋缺陷等的確認，也就是所謂的點燈檢查(LIGHTING INSPECTION)。在該點燈檢查中，通常是各自單獨或者組合使用被稱為自動檢查裝置及目視檢查裝置的2種檢查裝置。

自動檢查裝置，是利用CCD相機等來拍攝「已顯示有測試圖形的顯示面板」而作為影像資料，並利用電腦對該影像資料施以影像處理，來自動地判斷是否有缺陷的檢查裝置，由於不包含由檢查人員的目視所作的判斷，因此是否有缺陷的判斷一致且具有客觀性，並且具有處理能力高的優點。但相反地，在自動檢查裝置中卻具有以下的缺點：當由搭載於電腦的軟體來判斷經影像處理的資料是否顯示出缺陷時，該閾值的設定困難。換言之，為了避免缺陷的檢出疏漏而將閾值設定成較低時，將導致軟體將面板上的異物或刮痕等判斷為缺陷，而成為所謂的誤判，衍生出製品的良率惡化的缺失，相反地，倘若為了避免誤判，而將閾值設定成較高時，將使「原本被當成缺陷且必須被檢出的部份」被略過，而招致缺陷的檢出疏漏。

相對於此，目視檢查裝置，是由檢查員實際地以眼睛來觀視「顯示著測試圖形的顯示面板」，並檢查是否有缺陷的裝置，由於檢查人員是藉由目視來判斷是否有缺陷，而具有以下的優點：相較於自動檢查裝置，可檢查出細紋等細微的缺陷檢查。但是在目視檢查裝置中，缺陷檢出的精確度是大量仰賴檢查人員的熟練程度，而具有「依賴檢查人員，而無法避免缺陷檢出之精確度參差不齊」的缺點，此外，檢查相當耗費時間，而具有效率不佳的缺失。

因此，考慮將自動檢查裝置與目視檢查裝置兩者予以組合，而相互填補彼此的缺點。但是，在以目視檢查裝置來確認「被自動檢查裝置判定為具有缺陷之檢查面板」的組合中，舉例來說，倘若為了避免缺陷的檢出疏漏而將自動檢查裝置的閾值設定成較低時，而使被自動檢查裝置判斷為有缺陷之面板的數量增加，一旦這些面板全數被送入目視檢查裝置，並逐一點燈執行目視檢查，將使檢查耗費大量的時間，而產生出「檢查系統全體的處理能力大幅地下降」的缺失。相反地，倘若為了抑制以目視檢查裝置檢查的面板數，而將自動檢查裝置的閾值設定成較高時，將使原本應該被當成缺陷而檢出的部份被略過，而產生缺陷的檢出疏漏的缺失，無論是採用哪一種組合，皆無法消除「伴隨著自動檢查裝置之閾值設定」之困難性的問題點。

為了消除該問題點，譬如在專利文獻1、2中揭示一種檢查系統，該檢查系統是在自動檢查裝置中，在對所取得的影像資料進行解析並判斷具有缺陷時，將該面板的影像顯示於螢幕畫面，而可由檢查人員確認螢幕畫面上是否有缺陷。根據上述的檢查系統，由於檢查人員只需在螢幕畫面上確認「被自動檢查裝置判斷有缺陷之面板」的影像，故相較於逐一點亮面板來進行目視檢查的場合，可獲得能有效率地執行目視檢查的優點。

但是，在上述的習知檢查系統中，被當成目視檢查的對象，並非顯示測試圖形且經點亮的實際顯示面板，而是由自動檢查裝置所拍攝之顯示面板的顯示影像，因此所謂的目視檢查，其檢查精確度，是受到自動檢查裝置所拍攝之影像的鮮明度和解像度等的限制，而具有無法獲得目視檢查原本之精確度的缺點。

[專利文獻]

[專利文獻1]日本特開2001-289733號公報

[專利文獻2]日本特開2004-279037號公報

本發明，是為了解決上述習知技術之問題點所硏發而成的發明，本發明的課題是提供一種：對於檢查人員之熟練度的依賴甚低，且檢查效率良好的目視檢查裝置及目視檢查方法，以及具備該目視檢查裝置的檢查系統。

本發明，是藉由提供下述的目視檢查裝置，且提供具備該目視檢查裝置的檢查系統，來解決上述的課題，本發明的目視檢查裝置，是具備使測試圖形顯示於檢查對象面板之手段的顯示面板的目視檢查裝置，其中具備：測試圖形記憶手段；和用來取得自動檢查裝置所作成之自動檢查結果資訊的手段；和根據上述所取得之自動檢查結果資訊，對經自動檢查裝置判斷為存在於檢查對象面板的缺陷，作成標誌圖形的手段；和使所作成的標誌圖形重疊於測試圖形的手段；及使重疊有標誌圖形的測試圖形顯示於檢查對象面板的手段。

本發明之目視檢查裝置中的標誌圖形，最好是由1個或複數個圖形及/或記號所構成的圖案，而該1個或複數個圖形及/或記號是對應於缺陷的種類及/或大小，而該標誌圖形則是顯示在：對應於檢查對象面板上「經自動檢查裝置判斷為存在於檢查對象面板之缺陷的位置」的位置。本發明的目視檢查裝置，可藉由使該標誌圖形重疊於測試圖形而顯示於檢查對象面板，使檢查人員集中注意檢查對象面板上的特定領域，相較於徹底對檢查對象面板的全域實施檢查的場合，可執行效率良好，且對檢查人員之熟練度的依存性低的高精確度的目視檢查。如此一來，可提高「具備自動檢查裝置及目視檢查裝置之雙方的檢查系統全體」的處理能力，而能達成：將自動檢查裝置的閾值設定成較低，並降低缺陷的檢出疏漏。

此外，本發明的目視檢查裝置最好是具備：螢幕畫面；和將自動檢查裝置判斷為存在於檢查對象面板的缺陷，顯示於該螢幕畫面的手段；和可從所顯示的缺陷中選擇1個或複數個缺陷的手段；和可將所選擇的缺陷、與該缺陷的目視檢查結果建立關連對應的手段；及根據缺陷、及其關連對應的目視檢查結果，作成目視檢查結果資訊的手段。如此一來，檢查人員，可根據所實施之目視檢查的結果，作成目視檢查結果資訊。該目視檢查結果資訊，可直接加以利用，此外，也能根據該目視檢查結果資訊，來改寫先前所取得的自動檢查結果資訊，而作為綜合性的檢查結果資訊來利用。

將「自動檢查裝置判斷為存在於檢查對象面板的缺陷」顯示於螢幕畫面的手段，最好是至少將「顯示有標誌圖形之檢查對象面板的影像」顯示於螢幕畫面的手段。在將「顯示有標誌圖形之檢查對象面板的影像」顯示於螢幕畫面的場合中，由於經點亮(點燈)之實際的檢查對象面板、與顯示於螢幕畫面之檢查對象面板的影像相對應，故能獲得以下的優點：可容易地從螢幕畫面所顯示的缺陷中選擇1個或複數個缺陷。

在本發明的檢查系統中，目視檢查裝置中用來將測試圖形顯示於面板的手段，也可以是自動檢查裝置中用來將測試圖形顯示於檢查對象面板的手段。在該場合中，在自動檢查裝置與目視檢查裝置中，將測試圖形顯示於面板的手段成為共用，而能在已完成自動檢查裝置之檢查的檢查面板上，直接顯示基於自動檢查結果資訊的標誌圖形，並實施目視檢查。

此外，本發明可藉由提供包含下述步驟的目視檢查方法，而解決上述的課題：將檢查對象面板搬入目視檢查裝置之檢查位置的步驟；和針對已搬入檢查位置的檢查面板，取得自動檢查裝置所作成之自動檢查結果資訊的步驟；和根據所取得之自動檢查結果資訊，對「經自動檢查裝置判斷為存在於該檢查對象面板的缺陷」作成標誌圖形的步驟；及使所作成的標誌圖形重疊於測試圖形，並顯示於位在檢查位置之檢查對象面板的步驟。

在本發明的目視檢查方法中，由於是根據在先行的自動檢查中所作成的自動檢查結果資訊，將「經自動檢查裝置判斷為存在於檢查對象面板之缺陷」的標誌圖形顯示於檢查對象面板，故相較於徹底對檢查對象面板的全域實施檢查的場合，檢查人員能執行效率良好，且高精確度的目視檢查。因此，可提高檢查效率，將自動檢查裝置的閾值設定成較低，而達成缺陷之檢出疏漏的降低。

根據本發明之顯示面板的目視檢查裝置及目視檢查方法，由於「經自動檢查裝置判斷為存在於檢查對象面板」的缺陷，被作為標誌圖形而重疊於測試圖形並顯示於檢查對象面板，故目視檢查裝置的檢查人員，可將注意集中在以標誌圖形所顯示之面板上的特定領域，來判斷是否有缺陷。因此，相較於對面板全域實施完全檢查的場合，可提高發現缺陷的精確度，即使是經驗較少的檢查人員，也能有效率地執行高精確度的目視檢查，而獲得：可有效率地執行「對檢查人員之熟練度的依存性低、且精確度高的目視檢查」的優點。

特別是在標誌圖形為「由對應於缺陷之種類及/或大小的1個或複數個圖形及/或記號所構成」的圖案的場合中，藉由觀看顯示於面板上的標誌圖形，不僅能得知可能存在缺陷的位置，還能獲得其種類或大小的資訊，故能獲得檢查效率大幅上升的優點。

此外，根據「具備自動檢查裝置、及本發明的目視檢查裝置」之本發明的檢查系統，由於目視檢查裝置的檢查效率高，故能獲得以下的優點：將自動檢查裝置的閾值設定成較低，可防止自動檢查裝置之缺陷的檢出疏漏。此外，藉由將自動檢查裝置的閾值設定成較低，即使自動檢查裝置中判定為具有缺陷之面板的比例增加，由於在後續的目視檢查裝置中，能有效率地執行高精確度的目視檢查，因此就檢查系統全體而言不會有誤判的疑慮，而獲得：製品的良率不會下降至必要良率以下的優點。

以下，採用圖面，並將「檢查面板為液晶顯示面板的場合」作為例子，詳細地說明本發明，但是本發明並不侷限於圖面所示的例子，這點是無庸置疑的。

第1圖，是顯示本發明中檢查系統之一種範例的概念圖。在第1圖中，1是表示本發明的檢查系統，2為自動檢查裝置，3是本發明的目視檢查裝置，4是譬如設置於工場內的LAN(區域網路)之類的網路，5為管理伺服器。如同圖面所示，自動檢查裝置2、目視檢查裝置3、及管理伺服器5是形成：經由網路4，以有線或者無線的方式而經常或隨時連接，可視需要而交換資料或命令，而全體形成本發明的檢查系統1。

自動檢查裝置2，是一般的自動檢查裝置，並具備：使測試圖形顯示於檢查對象面板的手段；和將「顯示有測試圖形之檢查對象面板」的顯示畫面作為影像資料並加以載入的影像資料取得手段；和對所取得的影像資料進行解析的影像處理手段；和根據經解析的影像資料而作成自動檢查結果資訊的手段；及用來記憶所作成之自動檢查結果資訊的記憶手段。

舉例來說，自動檢查裝置2，與後述的目視檢查裝置3相同，具備：用來載入檢查對象面板，並裝設於安裝台而朝檢查部搬送的裝載部；和執行「被搬送至檢查部的檢查面板」之定位的校準攝影機(alignment camera)；和用來接觸檢查面板之電極的探針單元；和將訊號供給至探針單元，使檢查面板點亮(點燈)，而顯示測試圖形的檢查部；及用來記憶測試圖形的記憶裝置；藉由上述的各構件而構成：可使測試圖形顯示於檢查對象面板。而用來記憶測試圖形的記憶裝置，亦可位於管理伺服器5上。

此外，自動檢查裝置2，具備數位相機、CCD相機之類的攝影裝置來作為「將顯示有測試圖形之檢查對象面板的顯示畫面當成影像資料而載入」的影像資料取得手段，並更進一步具備電腦、及「在該電腦上執行上述影像處理及自動檢查結果資訊之製作」的程式，來作為「對所取得之影像資料進行解析」的影像處理手段、及「根據經解析的影像資料，而作成自動檢查結果資訊」的手段。自動檢查裝置2所具備的電腦，可以將所作成的自動檢查結果資訊，記憶於自動檢查裝置2內所具備的記憶裝置、或設於管理伺服器5的記憶裝置、或者上述的雙方。

在以自動檢查裝置2所檢查的各個檢查面板，譬如採用二維條碼、IC標籤等而附加有識別用ID，自動檢查裝置2所具備的電腦，是採用數位相機、CCD相機、IC標籤讀取器等適當的手段，於裝載部或者檢查部讀取各檢查面板的識別用ID。所作成的上述自動檢查結果資訊是形成：與經讀取之該檢查面板的識別用ID建立關連對應，並記憶於自動檢查裝置2內所具備的記憶裝置、或設於管理伺服器5的記憶裝置、或者上述的雙方。此時，亦可一併記憶針對該檢查面板所攝影的影像資料及/或該影像資料的解析結果。

第2圖，是顯示本發明中目視檢查裝置3之其中一例的概略圖。在第2圖中，6為裝載部，7則是檢查部，上述的裝載部6及檢查部7形成了目視檢查裝置3。8是被設於檢查部7的螢幕畫面，9、9是被設於檢查部7的校準攝影機，10、10是同樣被設於檢查部7的探針單元，11是檢查面板。

裝載部6具備以下的機能：從圖面中未顯示的搬送裝置，譬如以機械手載入成為檢查對象的液晶面板，而裝設於可朝XYZθ方向移動的安裝台，並朝檢查部7搬送。在檢查部7，採用校準攝影機9、9與安裝台執行定位，而使被裝設於安裝台的檢查面板11形成於特定的檢查位置。當定位完成時，將探針單元10、10抵接於檢查面板11的電極，而點亮(點燈)檢查面板11並顯示測試圖形等。上述的動作是由檢查人員以眼睛觀看，而執行目視檢查。檢查已完成的檢查面板11，被搬送至裝載部6，並回到外部的搬送裝置。目視檢查裝置3中的上述動作，是在由「被收容於檢查部7的電腦」控制的狀態下所執行。

第3圖，是顯示檢查部7之構造的概念圖。在第3圖中，12為電腦，13為記憶裝置，14為輸出入裝置，15為測試圖形記憶裝置，16為標誌圖形作成裝置，17為圖案合成裝置，18則是使測試圖形等顯示於液晶面板11的驅動裝置。如同第3圖所示，電腦12與記憶裝置13、輸出入裝置14、測試圖形記憶裝置15、標誌圖形作成裝置16、以及螢幕畫面8之間是由訊號線所連接，電腦12是利用有線或者無線的方式與網路4連接。

以下，採用第2圖及第3圖，說明本發明之目視檢查裝置3的動作、及本發明的目視檢查方法。首先，一旦圖面中未顯示的檢查人員，透過輸出入裝置14對電腦12下達「面板之檢查開始」的指示，電腦12將對裝載部6發送命令，而載入「於外部的搬送裝置上待機」的檢查面板11，將其裝設於安裝台，並朝檢查部7搬送。一旦檢查面板11朝檢查部7的搬送完成，電腦12將對檢查部7發送命令，而使用校準攝影機9、9及安裝台，將所搬送而來的檢查面板11，定位在檢查部7的特定檢查位置。

檢查面板11所附設的識別用ID，與在前述的自動檢查裝置2中相同，是由「被設於檢查部7的適當讀取手段」所讀取，而暫時記憶於記憶裝置13，並顯示於螢幕畫面8。而「檢查面板11所附設之識別用ID」的讀取，也可以在裝載部6執行。

一旦識別用ID的讀取結束，電腦12將自動地或等待來自於輸出入裝置14的指令，而透過網路4，要求發送「已讀取之識別用ID的檢查面板11的自動檢查結果資訊」。該要求，在自動檢查結果資訊被記憶於自動檢查裝置2之記憶裝置時是對自動檢查裝置2提出，在被記憶於管理伺服器5時則對管理伺服器5提出。一旦接收來自於自動檢查裝置2或管理伺服器5之該檢查面板11的自動檢查結果資訊，電腦12便將其發送至標誌圖形作成裝置16。

標誌圖形作成裝置16，是根據經發送而來的自動檢查結果資訊，作成該檢查面板11的標誌圖形。由標誌圖形作成裝置16所執行之標誌圖形的作成，譬如是採以下的方式所執行。換言之，標誌圖形作成裝置16，是根據經發送而來的自動檢查結果資訊，對被判斷為存在於該檢查面板11的1個或複數個缺陷的每一個，判定該缺陷是譬如點缺陷、線缺陷、或斑紋缺陷中的哪一種，並將該判定結果與各缺陷建立關連對應，而記憶於記憶裝置13。在標誌圖形作成裝置16具有獨自的記憶裝置的場合中，亦可記憶於該記憶裝置。缺陷種類的判定，是根據自動檢查結果資訊所含有之各個缺陷的位置資訊所執行。在所發送而來的自動檢查結果資訊中已含有各個缺陷種類的資訊的場合中，也可以直接加以利用。

在記憶裝置13或標誌圖形作成裝置16內的記憶裝置中記憶有：缺陷的種類；和可作為標誌而顯示的圖形或記號；及上述兩者與顏色的對應表。舉例來說，是將下述的對應關係記憶於對應表：點缺陷的標誌圖形為「圓」，其顏色為「紅」；線缺陷的標誌記號為「×」，其顏色為「綠」；斑紋缺陷的標誌圖形為「四角形」，其顏色為「藍」。而上述的標誌圖形或記號、以及所對應的顏色，僅是一種例子而已。當然也可以使其他的圖形或記號、以及其他的顏色對應於各缺陷，上述對應表所設定的圖形或記號，以及其顏色，舉例來說，檢查人員可從輸出入裝置14經由電腦12而執行適當的設定、變更。此外，作為上述標誌的圖形或記號，也可以使其閃爍，或者對其附加箭號之類的記號，以便於容易引起檢查人員的注意。

接著，標誌圖形作成裝置16，是根據「經發送而來的自動檢查結果資訊所包含的各個缺陷」的位置資訊、及「先前所判定之缺陷」的種類，而計算出各個缺陷在「形成有應顯示之標誌的檢查面板11」中的晶格位址。舉例來說，在第1個缺陷為點缺陷的場合中，標誌圖形作成裝置16，從上述缺陷種類與標誌的對應表讀出標誌為「圓」且顏色為「紅」的資料時，計算出下述的晶格位置，該晶格位置是以「檢查面板11中，被當成存在有點缺陷之晶格」作為中心而描繪出「圓」之晶格的位址。所算出之晶格的位址，是被標示代表第1個缺陷的標誌圖形，並與該標誌的顏色一起記憶在記憶裝置13或者標誌圖形作成裝置16內的記憶裝置。

根據所算出之晶格的位址，作為標誌而顯示於檢查面板11的「圓」，在第4圖中，譬如是作為M₁ 顯示。如第4圖所示，標誌M₁ ，是採用在自動檢查裝置中被判斷為缺陷的點缺陷D₁ 作為中心，形成適宜半徑的「圓」而顯示於檢查面板11。而在第4圖中，為了說明上的方便，是將標誌M₁ 與點缺陷D₁ 一併顯示，但是缺陷D₁ 是「檢查人員以目視來判斷其是否存在的對象物」，並非顯示於檢查面板11上的圖像。此外，雖然在第4圖中，並未對標誌M₁ 賦予顏色，但實際上標誌M₁ 是以「在對應表中設定成對應點缺陷之標誌」的顏色，譬如「紅」而顯示於檢查面板11。

被作為標誌M₁ 之「圓」的半徑，只需設定成適當的大小即可。一旦「圓」的半徑過小，將很難在檢查面板11上發現該「圓」，此外，一旦過大，將使被該「圓」所圍繞的領域過於廣泛，而失去把當成標誌的「圓」顯示於檢查面板11的意義，因此並不適合。被作為標誌之「圓」的半徑，最好是檢查人員可從輸出入裝置14透過電腦12，來做適當的設定、變更。

此外，當存在複數個點缺陷，而導致作為各個點缺陷之標誌的「圓」重疊時，標誌圖形作成裝置16也可以採用以下的方式來算出晶格的位址：利用計算來求出「成為上述複數的點缺陷之中心」的晶格位址，並以該晶格作為中心而顯示可覆蓋複數個點缺陷之半徑的「圓」。

在第2個缺陷譬如為線缺陷的場合中，標誌圖形作成裝置16，是從上述缺陷種類與標誌的對應表，讀出標誌為「×」且顏色為「綠」的資料，而算出在「於檢查面板11中，被認為存在有線缺陷之晶格列的兩端」描繪「×」記號之晶格的位址。所算出之晶格的位址，是被標示代表第2個缺陷的標誌圖形，並與該標誌的顏色一起記憶於記憶裝置13或者標誌圖形作成裝置16內的記憶裝置。

根據所算出之晶格的位址，而作為顯示於檢查面板11之標誌的「×」，譬如是在第5圖中作為M₂ 、M₂ 顯示的顯示物(在第5圖中，也一併顯示第4圖中所顯示的標誌M₁ 及缺陷D₁ )。如同第5圖所示，標誌M₂ 、M₂ ，是將「在自動檢查裝置中被判斷為缺陷之線缺陷D₂ 」的兩端，當成「各自的2條線之交點」的2個「×」記號而顯示於檢查面板11。雖然在第5圖中，為了說明上的方便，在顯示標誌M₂ 、M₂ 的同時，一併顯示線缺陷D₂ ，但是缺陷D₂ ，是檢查人員以目視來判斷是否存有該缺陷的對象物，並非顯示於檢查面板11的圖像。此外，在第5圖中，雖然並未對標誌M₂ 、M₂ 賦予顏色，但實際上，標誌M₂ 、M₂ 是以對應表中設定成對應線缺陷之標誌的顏色，譬如「綠」而顯示於檢查面板11。

雖然在第5圖中，標誌M₂ 、M₂ 是形成以2個一組，而顯示於包夾著線缺陷D₂ 之兩端的位置，但亦可僅在線缺陷D₂ 的其中一端側顯示記號「×」，或亦可在成為線缺陷D₂ 中央的位置顯示1個「×」記號。此外，在記號「×」僅顯示於線缺陷D₂ 的其中一端側，或者僅顯示於中央部的場合中，可對應於線缺陷D₂ 的長度來變更記號「×」的大小，倘若在線缺陷D₂ 較長時將記號「×」顯示成較大，相反地在較短時將記號「×」顯示成較小，便可根據記號「×」的大小，而得知「被認為存在有線缺陷D₂ 之線狀領域」的大略長度，極為便利。

在第3個缺陷譬如為斑紋缺陷的場合中，標誌圖形作成裝置16，是從上述缺陷種類與標誌的對應表，讀出標誌為「四角形」且顏色為「藍」的資料，而算出檢查面板11中顯示成圍繞著被認為存在斑紋缺陷之領域的「四角形」之晶格的位址。所算出的晶格位址，標示代表第3個缺陷的標誌圖形，並與該標誌的顏色一起被記憶於記憶裝置13或者標誌圖形作成裝置16內的記憶裝置。

根據所算出之晶格的位址，顯示於檢查面板11上作為標誌的「四角形」，在第6圖中是譬如以M₃ 顯示(在第6圖中，是與第5圖中所顯示的標誌M₁ 、M₂ 、M₂ 及缺陷D₁ 、D₂ 一併顯示)。如同第6圖所示，標誌M₃ 是形成：作為圍繞「在自動檢查裝置中被判斷為缺陷之斑紋缺陷D₃ 」的「四角形」而顯示於檢查面板11。雖然在第6圖中，為了說明上的方便，在顯示標誌M₃ 的同時，一併顯示斑紋缺陷D₃ ，但是缺陷D₃ ，是檢查人員以目視判斷缺陷是否存在的對象物，並非顯是於檢查面板11的圖像。此外，雖然在第6圖中，並未對標誌M₃ 賦予顏色，但實際上，標誌M₃ 是以對應表中設定成對應斑紋缺陷之標誌的顏色，譬如「藍」而顯示於檢查面板11。

重覆上述的操作，標誌圖形作成裝置16，對「所接收之自動檢查結果資訊中」所含有的全部缺陷，算出應顯示之標誌的晶格位址，並與該標誌的顏色一起記憶於記憶裝置13或者標誌圖形作成裝置16內的記憶裝置，而作成標誌圖形。所作成的標誌圖形，譬如是第7圖所示的圖案。該標誌圖形被顯示於螢幕畫面8，並可確認其內容。

當完成標誌圖形的作成時，電腦12將自動地、或者等待來自於輸出入裝置14的指令，而將標誌圖形作成裝置16所作成的標誌圖形發送至圖案合成裝置17，並將記憶於測試圖形記憶裝置15的適當測試圖形發送至圖案合成裝置17。所發送的標誌圖形與測試圖形，是由圖案合成裝置17所合成、重疊，並送往驅動裝置18，而顯示於檢查面板11。

在測試圖形記憶裝置15記憶有1種或複數種類的測試圖形，檢查人員可從輸出入裝置14透過電腦12，對每個檢查面板選擇、指定「發送至圖案合成裝置17之測試圖形」的種類。此外，檢查人員對記憶於測試圖形記憶裝置15之測試圖形的變更、更新、替換，也能從輸出入裝置14透過電腦12而適當地執行。

倘若如上述所進行，而使測試圖形與標誌圖形在重疊的狀態下顯示於檢查面板11上時，檢查人員將注意集中於所顯示之標誌圖形的部分，而對經自動檢查裝置判斷為存在的各個缺陷，以目視來檢查其是否存在。

而標誌圖形朝檢查面板11上的顯示，檢查人員可藉由透過輸出入裝置14對電腦12發出指令，而統括地形成ON/OFF。因此，檢查人員可以在不必要的場合中，將標誌圖形的顯示設定為OFF，而僅使測試圖形顯示於檢查面板11上來執行檢查，在必要的場合中，可將標誌圖形的顯示設定為ON，而如同以上所述，使測試圖形與標誌圖形兩者顯示於檢查面板11上來執行檢查。

此外，檢查人員可以在必要的場合中，藉由透過輸出入裝置14對電腦12發出指令，來選擇「構成標誌圖形之標誌中」的1個或複數個標誌，使每個標誌可個別地ON/OFF對檢查面板11的顯示、或使其閃爍、或者變更顏色。因此，檢查人員可以譬如對已完成目視檢查的標誌、或認為不需要的標誌，將其朝檢查面板11的顯示設成OFF而使其不顯示、或相反地針對認為有必要的標誌，將其朝檢查面板11的顯示設成ON而使其顯示；或者使其閃爍、或容易改變顏色，而達到目視檢查的效率化。成為對象之標誌的選擇，譬如可藉由下述等的手段，而在螢幕畫面上執行：使標誌圖形顯示於螢幕畫面上，然後以手指觸碰欲選擇的標誌、或者藉由滑鼠來點選。

檢查人員執行目視檢查時，「成為檢查對象之檢查面板11」的識別用ID、與「已顯示著測試圖形及標誌圖形之檢查面板」的影像是顯是於螢幕畫面8上。該檢查面板的影像，譬如是根據圖案合成裝置17的輸出，而由電腦12所作成，並送至螢幕畫面8。檢查人員可如以下所述，透過顯示於該螢幕畫面8之檢查面板的影像，將藉由目視在檢查面板11所執行的檢查結果，輸入電腦12。

舉例來說，使第7圖所示的標誌圖形，與測試圖形一起顯示於檢查面板11，檢查人員在檢查面板11上，目視檢查「在以標誌M₁ 所表示的圓形領域內」是否存有點缺陷，如此一來，在點缺陷被判斷為「存在」或「不存在」的場合中，檢查人員可在「螢幕畫面8所顯示之檢查面板」的影像上，藉由以手指觸碰對應於標誌M₁ 的部分、或者以滑鼠點選來選擇，並在此時所開啟的視窗或者下拉式選單上，指定「有」或者「無」缺陷的其中一個選項；或者是以手指觸碰螢幕畫面8上所顯示的「有」或者「無」缺陷之其中一個選擇鈕；或以滑鼠點選，而將針對該缺陷的目視檢查結果，與該缺陷建立關連對應，並輸入電腦12。

換言之，顯示有「螢幕畫面8上所顯示之標誌圖形」的檢查面板的影像，是用來顯示「經自動檢查裝置判斷為存在於檢查面板11之缺陷」的手段，且是可供檢查人員從「上述所顯示的缺陷之中」選擇1個缺陷的手段。此外，「當缺陷被選擇時所開啟的視窗、或者下拉式選單中」所顯示之缺陷「有」或「無」的選擇選項；及螢幕畫面8上所顯示之缺陷「有」或「無」的選擇鈕是成為：可供檢查人員將所選擇的缺陷、與針對該缺陷的目視檢查結果建立關連對應的手段。

即使「檢查人員在螢幕畫面8上選擇的缺陷」為複數也無妨，在該場合中，可收集「針對所選擇之複數個缺陷的目視檢查結果」，而與上述的複數個缺陷建立關連對應，並輸入電腦12。此外，雖然在上述的例子中，是形成使「顯示有標誌圖形與測試圖形之雙方」的檢查面板影像顯示於螢幕畫面8，但是螢幕畫面8所顯示的檢查面板影像，也可使僅顯示標誌圖形的影像。

而可從「經自動檢查裝置判斷為存在於檢查面板11之缺陷」中選擇1個或複數個缺陷的手段，並不僅侷限於螢幕畫面8所顯示之檢查面板的影像。舉例來說，可以對每個顯示於「螢幕畫面8所顯示的檢查面板之影像」中的缺陷標示編號，而將對應於該編號的一覽表顯示於螢幕畫面8，且對象缺陷的選擇、及「針對所選擇之缺陷的目視檢查結果」的輸入，也可以在該一覽表上執行。

藉由重複上述的操作，檢查人員，可根據檢查面板11所顯示的標誌圖形，對「經自動檢查裝置判斷為缺陷之檢查面板11上的所有領域」檢查是否存有缺陷，並將其結果透過螢幕畫面8而輸入電腦12。所輸入的檢查結果，將作為目視檢查結果資訊，而與檢查面板11的識別用ID建立關連對應並記憶於記憶裝置13。以上述方式所作成的目視檢查結果資訊，能以下述的方式利用：作為目視檢查結果資訊，而當成與自動檢查結果資訊不同的其他資訊利用；或根據目視檢查結果資訊，來改寫所對應之檢查面板的自動檢查結果資訊，而作成新的檢查結果資訊；或將其作為綜合性的檢查結果資訊來利用。

如以上所述，根據本發明的目視檢查裝置3、及本發明的目視檢查方法，當檢查面板11的點亮(點燈)檢查時，由於表示「經自動檢查裝置2判斷為存在有缺陷」之檢查面板11上的位置或領域的標誌圖形，是與測試圖形一起顯示於檢查面板11，因此檢查人員可將注意僅集中於「顯示有標誌圖形的部分」來執行目視檢查，故即使是經驗較少的檢查人員，也能有效率地執行高精確度的目視檢查。

此外，根據本發明的目視檢查裝置3，假設：即使在標誌圖形無法顯示於檢查面板11的場合中，由於「顯示有標誌圖形與測試圖形之檢查面板」的影像顯示於螢幕畫面8，因此檢查人員可一邊觀視螢幕畫面8，而得知「檢查面板11上被判斷有缺陷」的位置或領域，能有效率地執行高精確度的目視檢查。

因此，根據第1圖所顯示之本發明的檢查系統1的其中一例，可以將自動檢查裝置2中缺陷判定的閾值設定成較低，並將「缺陷之檢出疏漏的危險性」儘可能地降低，即使「藉由將閾值設定成較低，導致被判斷成具有缺陷之不良品」之面板的比例增加，也能藉由後續之本發明的目視檢查裝置3，而成為高精確度的目視檢查，因此不會有「製品的良率下降至必要良率以下」的疑慮。如此一來，在本發明的檢查系統1中，可以克服傳統以來具有問題的自動檢查裝置中之閾值設定的困難性，不會有缺陷的檢出疏漏，可有效率地執行高精確度的檢查。

在本發明的檢查系統1中，倘若必要的話，即使「讓自動檢查裝置2的檢查對象面板顯示測試圖形」的手段、跟「讓目視檢查裝置3的面板顯示測試圖形」的手段，成為同一個手段也無妨。在該場合中，自動檢查裝置2與目視檢查裝置3，除了使測試圖形顯示於檢查對象面板的手段以外，加上彼此所欠缺的要件而成為融合的綜合檢查裝置，在1台的檢查裝置中，可形成：首先，執行自動檢查，並在將其結果作成自動檢查結果資訊之後，使用相同的裝置，執行目視檢查。在該場合中，由於將檢查面板11搬送至檢查部7，且執行定位的作業能一次完成，故能獲得效率良好的優點。

此外，雖然在以上說明的例子中是形成：僅針對在自動檢查裝置2中被判斷為具有缺陷的面板，執行使用目視檢查裝置3的目視檢查，但倘若有必要，亦可對經自動檢查裝置2檢查的所有面板，執行使用目視檢查裝置3的目視檢查。

本發明的目視檢查裝置及檢查系統、以及本發明的目視檢查方法中作為對象的顯示面板，並不侷限於液晶顯示面板，而是將自動檢查及目視檢查面板上之缺陷的電漿顯示面板、EL顯示面板、電界放出顯示面板、電子紙(electronic paper)等的所有顯示面板作為對象。

[產業上的可利用性]

如同以上所述，根據本發明的目視檢查裝置、及具備該目視檢查裝置的檢查系統以及目視檢查方法，由於能以高精確度，而效率良好且沒有檢出疏漏地執行顯示面板的缺陷檢查，因此在製造顯示面板的相關產業領域中，是具有巨大產業利用性的發明。

1．．．檢查系統

2．．．自動檢查裝置

3．．．目視檢查裝置

4．．．網路

5．．．管理伺服器

6．．．裝載部

7．．．檢查部

8．．．螢幕畫面

9．．．校準攝影機

10．．．探針單元

11．．．檢查面板

12．．．電腦

13．．．記憶裝置

14．．．輸出入裝置

15．．．測試圖形記憶裝置

16．．．標誌圖形作成裝置

17．．．圖案合成裝置

18．．．驅動裝置

第1圖：是顯示本發明之檢查系統的其中一例的概念圖。

第2圖：是顯示本發明之目視檢查裝置的其中一例的概略圖。

第3圖：是目視檢查裝置之檢查部的概念圖。

第4圖：是顯示「面板所顯示的標誌」之其中一例的圖。

第5圖：是顯示「面板所顯示的標誌」之另一例的圖。

第6圖：是顯示「面板所顯示的標誌」之另外一例的圖。

第7圖：是顯示標誌圖形之其中一例的圖。

1．．．檢查系統

2．．．自動檢查裝置

3．．．目視檢查裝置

4．．．網路

5．．．管理伺服器

Claims (6)

1. 一種顯示面板的目視檢查裝置，是具備使測試圖形顯示於檢查對象顯示面板的手段，並利用眼睛來觀視檢查顯示面板是否有缺陷之顯示面板的目視檢查裝置，其特徵為：該顯示面板的目視檢查裝置具備：測試圖形記憶手段；和取得自動檢查裝置針對前述檢查對象顯示面板所作成之自動檢查結果資訊的手段；和針對經自動檢查裝置判斷存在於前述檢查對象顯示面板的缺陷，根據上述所取得的自動檢查結果資訊，作成對應於缺陷的種類及/或大小的1個或複數個圖形及/或記號的標誌圖形的手段；和使所作成的前述標誌圖形重疊於測試圖形的手段；及使重疊有前述標誌圖形的測試圖形，顯示於檢查對象顯示面板的手段。
2. 如申請專利範圍第1項所記載之顯示面板的目視檢查裝置，其中具備可將標誌圖形朝檢查對象顯示面板的顯示，統括地或者每個標誌個別地形成ON/OFF的手段。
3. 如申請專利範圍第1或2項所記載之顯示面板的目視檢查裝置，其中具備：螢幕畫面；和把經自動檢查裝置判斷為存在於檢查對象面板上的缺陷，顯示於該螢幕畫面的手段；和可從所顯示的缺陷之中，選擇1個或複數個缺陷的手段；和可將所選擇的缺陷、與針對該該缺陷的目視檢查結果建立關連對應的手段；及可根據缺陷、和與其建立關連對應之目視檢查結果，而作成目視檢查結果資訊的 手段。
4. 如申請專利範圍第3項所記載之顯示面板的目視檢查裝置，其中具備：根據所作成的目視檢查結果資訊，來改寫所取得的自動檢查結果資訊，而作成檢查結果資訊的手段。
5. 一種檢查系統，是具備自動檢查裝置與目視檢查裝置之顯示面板的檢查系統，其特徵為：該自動檢查裝置，是具備下述各手段的自動檢查裝置：將測試圖形顯示於檢查對象顯示面板的手段；和將顯示有測試圖形之檢查對象顯示面板的顯示畫面，作為影像資料而載入的影像資料取得手段；和用來解析所取得之影像資料的影像處理手段；和根據經解析的影像資料，而作成自動檢查結果資訊的手段；及用來記憶所作成之自動檢查結果資訊的記憶手段，該目視檢查裝置，是申請專利範圍第1~4項之其中任一項所記載之顯示面板的目視檢查裝置。
6. 一種顯示面板的目視檢查方法，其特徵為：含有：將檢查對象顯示面板搬入至目視檢查裝置之檢查位置的步驟；和針對已搬入至檢查位置的前述檢查對象顯示面板，取得自動檢查裝置所作成之自動檢查結果資訊的步驟；和針對經自動檢查裝置判斷存在於前述檢查對象顯示面板的缺陷，根據所取得的前述自動檢查結果資訊，作成對 應於缺陷的種類及/或大小的1個或複數個圖形及/或記號的標誌圖形的步驟；及使所作成的前述標誌圖形重疊於測試圖形，並顯示於位在檢查位置之檢查對象顯示面板的步驟。