KR20100124653A - 육안 검사장치와 육안 검사방법 - Google Patents

Abstract

본 발명은, 검사원의 숙련도에 의존하는 것이 적고, 검사효율이 좋은 육안 검사장치 및 육안 검사방법과, 그와 같은 육안 검사장치를 갖춘 검사시스템을 제공하는 것을 과제로 한다. 검사대상 패널에 테스트 패턴을 표시시키는 수단을 갖춘 디스플레이 패널의 육안 검사장치로서, 테스트 패턴 기억수단과, 자동 검사장치가 작성한 자동 검사결과 정보를 취득하는 수단과, 자동 검사장치가 검사대상 패널에 존재한다고 판단한 결함에 관한 마커 패턴을 상기 취득한 자동 검사결과 정보에 근거해 작성하는 수단과, 작성한 마커 패턴을 테스트 패턴에 중첩시키는 수단과, 마커 패턴이 중첩된 테스트 패턴을 검사대상 패널에 표시시키는 수단을 갖추고 있는 육안 검사장치 및 육안 검사방법, 및 그와 같은 육안 검사장치를 갖춘 검사시스템 및 육안 검사방법을 제공함으로써 해결한다.

Description

육안 검사장치와 육안 검사방법{Apparatus and Method for Visual Inspection}

본 발명은, 육안 검사장치와 육안 검사방법에 관한 것으로, 상세하게는, 액정 디스플레이 패널이나 플라즈마 디스플레이 패널 등의 디스플레이 패널의 결함을 육안으로 검사하는 디스플레이 패널의 육안 검사장치와 육안 검사방법에 관한 것이다.

액정 디스플레이 패널 등의 디스플레이 패널에 있어서는, 통상, 셀 공정의 최종검사에서, 패널을 실제로 점등시켜, 점 결함, 선 결함, 얼룩 결함 등의 유무를 조사하는, 이른바 점등 검사가 행해지고 있다. 이 점등 검사에는, 통상, 자동 검사장치 및 육안 검사장치라 불리는 2종류의 검사장치가, 각각 단독으로, 혹은 조합하여 사용되고 있다.

자동 검사장치는, 테스트 패턴을 표시시킨 디스플레이 패널을 CCD카메라 등으로 촬영해 화상데이터로 하고, 그 화상데이터를 컴퓨터로 화상처리하고, 결함의 유무를 자동적으로 판단하는 검사장치로서, 검사원의 육안에 의한 판단을 개입시키지 않으므로, 결함의 유무 판단이 일률적이고, 객관성이 있음과 동시에, 처리능력도 높다는 이점을 갖고 있다. 그러나, 그 반면, 자동 검사장치에는, 화상처리된 데이터가 결함을 나타내는 것인지 아닌지를 컴퓨터에 탑재된 소프트웨어에 판단시킬 때의 역치(threshold value)의 설정이 어렵다는 결점이 있다. 즉, 결함의 검출 누락을 피하기 위해 역치를 낮게 설정하면, 소프트웨어는 패널 상의 먼지나 흠집까지도 결함으로 판단해 버리고, 이른바 과(過)검출이 되어, 제품의 수율이 악화된다는 지장이 생기고, 반대로, 과검출을 피하기 위해, 역치를 높게 설정하면, 본래 결함으로서 검출되어야 하는 것을 놓쳐, 결함의 검출 누락을 초래해 버리게 된다.

이에 대해, 육안 검사장치는, 테스트 패턴을 표시시킨 디스플레이 패널을 검사원이 실제로 눈으로 보고 결함의 유무를 검사하는 장치로서, 검사원이 육안으로 결함의 유무를 판단하므로, 자동 검사장치보다 섬세한 결함검사가 가능하다는 이점을 갖고 있다. 그러나, 육안 검사장치에서의 결함검출의 정밀도는 검사원의 숙련 정도에 따르는 바가 커, 검사원에게 의존해 결함검출의 정밀도에 불규칙함을 피할 수 없다는 결점이 있으며, 또한, 검사에 시간이 걸려, 효율이 나쁘다는 지장이 있다.

이 때문에, 자동 검사장치와 육안 검사장치 양자를 조합해, 서로의 결함을 서로 보완하게 하는 것도 고려된다. 그러나, 자동 검사장치에 의해 결함이 있다고 판단된 검사패널을 육안 검사장치로 확인한다는 조합에서는, 예를 들어, 결함의 검출 누락을 피하기 위해, 자동 검사장치에서의 역치를 낮게 설정하면, 자동 검사장치에서 결함이 있다고 판단되는 패널 수가 늘어나고, 이들 패널의 전체 수량을 육안 검사장치로 보내, 하나하나 점등시켜 육안 검사를 하게 되면, 검사에 매우 시간이 걸리고, 검사시스템 전체로서의 처리능력이 대폭 떨어진다는 지장이 생긴다. 반대로, 육안 검사장치로 검사하는 패널 수를 억제하기 위해서, 자동 검사장치에서의 역치를 조금 높게 설정하면, 본래 결함으로서 검출되어야 하는 것을 놓쳐, 결함의 검출 누락을 일으킨다는 지장이 생기고, 어쨌든, 자동 검사장치에서의 역치의 설정에 곤란성이 수반된다는 문제점은 해소되지 않는다.

상기 문제점을 해소하기 위해, 예를 들어, 특허문헌 1, 2에서는, 자동 검사장치에 있어, 수신한 화상데이터를 해석해 결함이 있다고 판단된 경우에는, 그 패널에 관한 화상을 모니터화면에 표시시키고, 검사원이 모니터화면 상에서 결함의 유무를 확인할 수 있게 한 검사시스템이 제안되고 있다. 이들 검사시스템에 따르면, 검사원은, 자동 검사장치에 의해 결함이 있다고 판단된 패널의 화상을 모니터화면 상에서 확인할 뿐이므로, 검사패널을 하나하나 점등시켜 육안 검사를 하는 경우에 비해, 육안 검사를 효율적으로 할 수 있다는 이점을 얻을 수 있다.

그러나, 이들 종래의 검사시스템에 있어서는, 육안 검사의 대상으로 여겨지는 것은, 테스트 패턴을 표시해 점등한 실제 디스플레이 패널이 아니라, 자동 검사장치에 의해 촬영된 디스플레이 패널의 표시화상이므로, 육안 검사라고는 해도, 그 검사 정밀도는, 자동 검사장치에 있어 촬영된 화상의 선명함이나 해상도 등에 따른 제약을 받아, 육안 검사 본래의 정밀도를 얻을 수 없다는 결점이 있다.

일본특허출원공개제2001-289733호공보 일본특허출원공개제2004-279037호공보

본 발명은, 상기 종래기술의 문제점을 해결하기 위해 만들어진 것으로, 검사원의 숙련도에 의존하는 일이 적고, 검사효율이 좋은 육안 검사장치 및 육안 검사방법과, 그 같은 육안 검사장치를 갖춘 검사시스템을 제공하는 것을 과제로 한다.

본 발명은, 상기의 과제를, 검사대상 패널에 테스트 패턴을 표시시키는 수단을 갖춘 디스플레이 패널의 육안 검사장치로서, 테스트 패턴 기억수단과, 자동 검사장치가 작성한 자동 검사결과 정보를 취득하는 수단과, 자동 검사장치가 검사대상 패널에 존재한다고 판단한 결함에 관한 마커 패턴을 상기 취득한 자동 검사결과 정보에 근거해 작성하는 수단과, 작성한 마커 패턴을 테스트 패턴에 중첩시키는 수단과, 마커 패턴이 중첩된 테스트 패턴을 검사대상 패널에 표시시키는 수단을 갖추고 있는 육안 검사장치를 제공함으로써, 또한, 그와 같은 육안 검사장치를 갖춘 검사시스템을 제공함으로써, 해결하는 것이다.

본 발명의 육안 검사장치에 있어서의 마커 패턴이란, 바람직하게는, 자동 검사장치가 검사대상 패널에 존재한다고 판단한 결함의 검사대상 패널 상의 위치에 대응하는 위치에 표시되는, 결함의 종류 및/또는 크기에 대응한 1 또는 복수의 도형 및/또는 기호로 구성되는 패턴이다. 본 발명의 육안 검사장치는, 이 마커 패턴을 테스트 패턴에 중첩해 검사대상 패널에 표시시킴으로써, 검사원이 검사대상 패널 상의 특정 영역에 주의를 집중하는 것을 가능하게 하고, 검사대상 패널 전역을 치우침 없이 하나부터 검사하는 경우에 비해, 효율적이고, 동시에, 검사원의 숙련도에 의존하는 일이 적은 정밀도 높은 육안 검사를 하는 것을 가능하게 한다. 그 결과, 자동 검사장치 및 육안 검사장치 양쪽을 갖춘 검사시스템 전체에 있어서의 처리능력이 향상되고, 자동 검사장치에서의 역치를 낮게 설정하여, 결함의 검출 누락의 저감을 도모하는 것이 가능해진다.

또한, 본 발명의 육안 검사장치는, 모니터화면과, 상기 모니터화면에 자동 검사장치가 검사대상 패널에 존재한다고 판단한 결함을 표시하는 수단과, 표시된 결함 중에서 1 또는 복수의 결함을 선택하는 것을 가능하게 하는 수단과, 선택된 결함과, 상기 결함에 관한 육안 검사결과를 관련짓는 것을 가능하게 하는 수단과, 결함과 그에 관련된 육안 검사결과에 근거해, 육안 검사결과 정보를 작성하는 수단을 갖추고 있는 것이 바람직하다. 이에 의해, 검사원은, 실시한 육안 검사의 결과에 근거해, 육안 검사결과 정보를 작성하는 것이 가능해진다. 상기 육안 검사결과 정보는, 그대로 이용되어도 되고, 또한, 이 육안 검사결과 정보에 근거해, 먼저 취득한 자동 검사결과 정보를 고쳐 써, 종합적인 검사결과 정보로서 이용하는 것도 가능하다.

모니터화면에 자동 검사장치가 검사대상 패널에 존재한다고 판단한 결함을 표시하는 수단은, 적어도 마커 패턴이 표시된 검사대상 패널의 화상을 모니터화면에 표시하는 수단인 것이 바람직하다. 마커 패턴이 표시된 검사대상 패널의 화상이 모니터화면에 표시될 경우에는, 점등되어 있는 실제 검사대상 패널과, 모니터화면에 표시된 검사대상 패널의 화상이 대응하고 있으므로, 모니터화면에 표시된 결함 중에서 1 또는 복수의 결함을 선택하는 것이 용이해진다는 이점을 얻을 수 있다.

본 발명의 검사시스템에 있어, 육안 검사장치에서의 패널에 테스트 패턴을 표시시키는 수단을, 자동 검사장치에서의 검사대상 패널에 테스트 패턴을 표시시키는 수단으로 하는 것도 가능하다. 이 경우에는, 자동 검사장치와 육안 검사장치에서, 패널에 테스트 패턴을 표시시키는 수단이 공통이 되며, 자동 검사장치에 의한 검사를 종료한 검사패널에, 그대로, 자동 검사결과 정보에 근거한 마커 패턴을 표시시켜, 육안 검사를 실시하는 것이 가능해진다.

본 발명은, 또한, 검사대상 패널을 육안 검사장치의 검사위치에 반입하는 공정, 검사위치에 반입한 검사패널에 관해 자동 검사장치가 작성한 자동 검사결과 정보를 취득하는 공정, 취득한 자동 검사결과 정보에 근거해, 자동 검사장치가 그 검사대상 패널에 존재한다고 판단한 결함에 관한 마커 패턴을 작성하는 공정, 작성한 마커 패턴을 테스트 패턴에 중첩시켜 검사위치에 있는 검사대상 패널에 표시시키는 공정을 포함하는 육안 검사방법을 제공함으로써, 상기의 과제를 해결하는 것이다.

본 발명의 육안 검사방법에 있어서는, 선행하는 자동검사에서 작성된 자동 검사결과 정보에 근거해, 자동 검사장치가 검사대상 패널에 존재한다고 판단한 결함에 관한 마커 패턴이 검사대상 패널에 표시되므로, 검사원은, 검사대상 패널 전역을 치우침 없이 하나부터 검사하는 경우에 비해, 효율적이고, 동시에, 정밀도 높은 육안 검사를 하는 것이 가능해진다. 이 때문에, 검사효율이 향상되고, 자동 검사장치에서의 역치를 낮게 설정하여, 결함의 검출 누락의 저감을 도모하는 것이 가능해진다.

본 발명의 디스플레이 패널의 육안 검사장치 및 육안 검사방법에 따르면, 자동 검사장치가 검사대상 패널에 존재한다고 판단한 결함이, 마커 패턴으로서, 테스트 패턴에 중첩해 검사대상 패널에 표시되므로, 육안 검사장치에서의 검사원은, 마커 패턴으로 표시된 패널 상의 특정 영역에 주의를 집중해 결함의 유무를 판단할 수 있다. 그 때문에, 패널 전역을 치우침 없이 검사하는 경우에 비해, 결함 발견의 정밀도가 높아져, 경험이 부족한 검사원이라도, 정밀도 높은 육안 검사를 효율적으로 할 수 있고, 검사원의 숙련도에 의존하는 일이 적은 고정밀도의 육안 검사를 효율적으로 할 수 있다는 이점을 얻을 수 있다.

특히, 마커 패턴이, 결함의 종류 및/또는 크기에 대응한 1 또는 복수의 도형 및/또는 기호로 구성되는 패턴인 경우에는, 패널 상에 표시된 마커 패턴을 봄으로써, 존재할 가능성이 있는 결함의 위치뿐 아니라, 그 종류나 크기에 관한 정보도 얻을 수 있으므로, 검사 효율이 대폭 상승한다는 이점을 얻을 수 있다.

또한, 자동 검사장치와 본 발명의 육안 검사장치를 갖춘 본 발명의 검사시스템에 따르면, 육안 검사장치의 검사효율이 높으므로, 자동 검사장치에서의 역치를 낮게 설정해, 자동 검사장치에서의 결함의 검출 누락을 방지할 수 있다는 이점을 얻을 수 있다. 또한, 자동 검사장치에서의 역치를 낮게 설정함으로써, 자동 검사장치에서 결함이 있다고 판단되는 패널의 비율이 증가해도, 후속하는 육안 검사장치에서, 정밀도 높은 육안 검사가 효율적으로 행해지므로, 검사시스템 전체로서 과검출될 우려가 없고, 제품의 수율을 필요 이상으로 저하시킬 일이 없다는 이점을 얻을 수 있다.

도1은, 본 발명의 검사시스템의 일례를 나타낸 개념도이다.
도2는, 본 발명의 육안 검사장치의 일례를 나타낸 개략도이다.
도3은, 육안 검사장치의 검사부의 개념도이다.
도4는, 패널에 표시되는 마커의 일례를 나타낸 도면이다.
도5는, 패널에 표시되는 마커의 다른 예를 나타낸 도면이다.
도6은, 패널에 표시되는 마커의 또 다른 예를 나타낸 도면이다.
도7은, 마커 패턴의 일례를 나타낸 도면이다.

이하, 도면을 이용해, 검사패널이 액정 디스플레이 패널인 경우를 예로, 본 발명을 상세하게 설명하나, 본 발명이 도시된 것에 한정되지 않음은 물론이다.

도1은, 본 발명의 검사시스템의 일례를 나타낸 개념도이다. 도1에서, 부호 1은 본 발명의 검사시스템을 나타내고, 2는 자동 검사장치, 3은 본 발명의 육안 검사장치, 4는, 예를 들어, 공장 내에 설치된 LAN 등의 네트워크, 5는 관리 서버이다. 도면에 나타낸 바와 같이, 자동 검사장치(2), 육안 검사장치(3), 및 관리 서버(5)는, 네트워크(4)를 통해, 유선 혹은 무선으로, 상시 또는 수시 접속되고, 필요에 따라 데이터나 명령을 주고받을 수 있게 되어 있으며, 전체로서 본 발명의 검사시스템(1)을 형성하고 있다.

자동 검사장치(2)는, 통상적인 자동 검사장치로서, 검사대상 패널에 테스트 패턴을 표시시키는 수단과, 테스트 패턴이 표시된 검사대상 패널의 표시화면을 화상데이터로서 수신하는 화상데이터 취득수단과, 취득한 화상데이터를 해석하는 화상 처리수단과, 해석된 화상데이터에 근거해 자동 검사결과 정보를 작성하는 수단과, 작성한 자동 검사결과 정보를 기억하는 기억수단을 갖추고 있다.

예를 들어, 자동 검사장치(2)는, 뒤에서 설명하는 육안 검사장치(3)에 있어서와 마찬가지로, 검사대상 패널을 수신하고, 세트 스테이지에 세트시켜 검사부로 반송(搬送)하는 로더부와, 검사부에 반송된 검사패널의 위치를 맞추는 얼라인먼트 카메라와, 검사패널의 전극에 접촉하는 프로브 유닛과, 프로브 유닛에 신호를 공급해, 검사패널을 점등하고, 테스트 패턴을 표시시키는 검사부와, 테스트 패턴을 기억하는 기억장치를 갖추고 있고, 이들에 의해, 검사대상 패널에 테스트 패턴을 표시시킬 수 있도록 구성되어 있다. 또한, 테스트 패턴을 기억하는 기억장치는, 관리 서버(5) 상에 있어도 된다.

또한, 자동 검사장치(2)는, 테스트 패턴이 표시된 검사대상 패널의 표시화면을 화상데이터로서 수신하는 화상데이터 취득수단으로서, 텔레비전 카메라, CCD카메라 등의 촬상장치를 갖추고, 취득한 화상데이터를 해석하는 화상 처리수단, 및, 해석된 화상데이터에 근거해 자동 검사결과 정보를 작성하는 수단으로서, 컴퓨터와, 상기 컴퓨터에 상기의 화상처리 및 자동 검사결과 정보의 작성을 하게 하는 프로그램을 더 갖추고 있다. 자동 검사장치(2)에 갖춰져 있는 컴퓨터는, 작성한 자동 검사결과 정보를, 자동 검사장치(2) 내에 갖춰져 있는 기억장치 또는 관리 서버(5)에 설치되어 있는 기억장치, 혹은 그 양쪽에 기억시킨다.

또한, 자동 검사장치(2)로 검사되는 각각의 검사패널에는, 예를 들어, 2차원 바코드, IC태그 등을 이용해, 식별용 ID가 부착되어 있고, 자동 검사장치(2)에 갖춰진 컴퓨터는, 텔레비전 카메라, CCD카메라, IC태그리더(IC tag reader) 등의 적당한 수단을 이용해, 로더부 또는 검사부에서 각 검사패널의 식별용 ID를 독해한다. 작성된 상기의 자동 검사결과 정보는, 독해한 상기 검사패널의 식별용 ID와 관련지어, 자동 검사장치(2) 내에 갖춰진 기억장치 또는 관리 서버(5)에 설치된 기억장치, 혹은 그 양쪽에 기억되게 된다. 이때, 상기 검사패널에 관해 촬상한 화상데이터 및/또는 그 화상데이터의 해석결과도 함께, 기억시키게 해도 된다.

도2는, 본 발명의 육안 검사장치(3)의 일례를 나타낸 개략도이다. 도2에서, 부호 6은 로더부, 7은 검사부이고, 이들 로더부(6) 및 검사부(7)는 육안 검사장치(3)를 형성하고 있다. 부호 8은, 검사부(7)에 설치된 모니터화면, 9, 9는 검사부(7)에 설치된 얼라인먼트 카메라, 10, 10은 마찬가지로 검사부(7)에 설치된 프로브 유닛, 11은 검사패널이다.

로더부(6)는, 도시되지 않은 반송장치로부터, 예를 들어 기계 핸드로 검사대상이 되는 액정패널을 받아들이고, XYZθ방향으로 이동가능한 세트 스테이지에 세트해, 검사부(7)로 반송하는 기능을 갖추고 있다. 검사부(7)에서는, 얼라인먼트 카메라(9, 9)와, 세트 스테이지를 이용해, 세트 스테이지에 세트된 검사패널(11)이 소정의 검사위치가 되도록 위치가 맞춰진다. 위치맞춤이 완료되면, 검사패널(11)의 전극에 프로브 유닛(10, 10)이 눌려, 검사패널(11)이 점등하고, 테스트 패턴 등이 표시된다. 이를 검사원이 눈으로 보고, 육안 검사가 행해진다. 검사가 종료된 검사패널(11)은, 로더부(6)로 반송되고, 외부의 반송장치로 되돌아간다. 육안 검사장치(3)에 있어서의 이들 동작은, 검사부(7)에 수용된 컴퓨터에 의한 제어 하에 행해진다.

도3은, 검사부(7)의 구성을 나타낸 개념도이다. 도3에서, 부호 12는 컴퓨터, 13은 기억장치, 14는 입출력장치, 15는 테스트 패턴 기억장치, 16은 마커 패턴 작성장치, 17은 패턴 합성장치, 18은, 액정패널(11)에 테스트 패턴 등을 표시시키는 구동장치이다. 도3에 나타낸 바와 같이, 컴퓨터(12)와, 기억장치(13), 입출력장치(14), 테스트 패턴 기억장치(15), 마커 패턴 작성장치(16), 및 모니터화면(8)은, 신호선으로 접속되어 있고, 컴퓨터(12)는, 네트워크(4)와 유선 혹은 무선으로 접속되어 있다.

이하, 도2 및 도3을 이용해, 본 발명의 육안 검사장치(3)의 동작, 및 본 발명의 육안 검사방법을 설명한다. 우선, 도시되지 않은 검사원이, 입출력장치(14)를 통해, 컴퓨터(12)에 패널의 검사 개시를 지시하면, 컴퓨터(12)는, 로더부(6)에 명령을 보내고, 외부의 반송장치 상에서 대기하고 있는 검사패널(11)을 받아들여, 세트 스테이지에 세트하고, 검사부(7)로 반송시킨다. 검사패널(11)의 검사부(7)로의 반송이 완료되면, 컴퓨터(12)는 검사부(7)에 명령을 보내고, 반송되어 온 검사패널(11)을, 얼라인먼트 카메라(9, 9) 및 세트 스테이지를 사용해, 검사부(7)의 소정의 검사위치에 위치를 맞춘다.

검사패널(11)에 부착되어 있는 식별용 ID는, 앞서 설명한 자동 검사장치(2)에 있어서와 마찬가지로, 검사부(7)에 설치되어 있는 적당한 독해수단에 의해 독해되고, 기억장치(13)에 일시 기억됨과 동시에, 모니터화면(8)에 표시된다. 또한, 검사패널(11)에 부착되어 있는 식별용 ID의 독해는, 로더부(6)에서 하게 해도 된다.

식별용 ID의 독해가 끝나면, 컴퓨터(12)는, 자동적으로, 혹은, 입출력장치(14)로부터의 지령을 기다리고, 네트워크(3)를 통해, 독해한 식별용 ID의 검사패널(11)에 관한 자동 검사결과 정보의 송신을 요구한다. 이 요구는, 자동 검사결과 정보가 자동 검사장치(2)의 기억장치에 기억되어 있는 경우에는 자동 검사장치(2)에 대해 행해지고, 관리 서버(5)에 기억되어 있는 경우에는 관리 서버(5)에 대해 행해진다. 자동 검사장치(2) 또는 관리 서버(5)로부터, 그 검사패널(11)의 자동 검사결과 정보를 수신하면, 컴퓨터(12)는, 그것을 마커 패턴 작성장치(16)로 송신한다.

마커 패턴 작성장치(16)는, 송신되어 온 자동 검사결과 정보에 근거해, 그 검사패널(11)에 관한 마커 패턴을 작성한다. 마커 패턴 작성장치(16)에 의한 마커 패턴의 작성은, 예를 들어 이하처럼 하여 행해진다. 즉, 마커 패턴 작성장치(16)는, 송신되어 온 자동 검사결과 정보에 근거해, 그 검사패널(11)에 존재한다고 판단된 1 또는 복수의 결함 각각에 관해, 그 결함이, 예를 들어, 점 결함, 선 결함, 또는 얼룩 결함 중 어느 하나인지를 판별하여, 그 판별결과를, 각 결함과 관련지어, 기억장치(13)에 기억한다. 마커 패턴 작성장치(16)가 독자적인 기억장치를 갖고 있는 경우에는, 그 기억장치에 기억시키게 해도 된다. 결함 종류의 판별은, 자동 검사결과 정보에 포함되어 있는 각각의 결함의 위치정보에 근거해 할 수 있다. 송신되어 온 자동 검사결과 정보에 이미 각각의 결함의 종류에 관한 정보가 포함되어 있는 경우에는, 그것을 그대로 이용해도 된다.

기억장치(13) 또는 마커 패턴 작성장치(16) 내의 기억장치에는, 결함의 종류와, 마커로서 표시해야 할 도형 또는 기호, 및 그 색들과의 대응 테이블이 기억되어 있다. 예를 들어, 점 결함인 마커 도형은 '원'이고, 그 색은 '적색', 선 결함인 마커 기호는 '×'이고, 그 색은 '녹색', 얼룩 결함인 마커 도형은 '사각형'이고, 그 색은 '청색',이란 대응관계가, 대응 테이블에 기억되어 있다. 덧붙여 말하면, 이들 마커 도형 또는 기호, 및 그 색들은, 어디까지나 일례에 지나지 않는다. 각 결함에 다른 도형 또는 기호, 혹은 다른 색을 대응시키는 것이 가능함은 물론이고, 상기 대응 테이블에 설정되어 있는 도형이나 기호, 및 그 색들은, 예를 들어, 검사원이, 입출력장치(14)로부터 컴퓨터(12)를 통해 적당히, 설정, 변경을 할 수 있다. 또한, 이들 마커로서의 도형 또는 기호는, 이들을 점멸시키거나, 이들에 화살표 등의 기호를 부가하거나 하여, 검사원의 주의를 쉽게 끌게 해도 된다.

다음으로, 마커 패턴 작성장치(16)는, 송신되어 온 자동 검사결과 정보에 포함되어 있는 각각의 결함의 위치정보와, 먼저 판별한 결함의 종류에 근거해, 각각의 결함에 관해, 표시시켜야 할 마커를 형성하는 검사패널(11)에 있어서의 셀의 어드레스를 산출한다. 예를 들어, 1번째 결함이 점 결함이었던 경우에는, 마커 패턴 작성장치(16)는, 상기 결함 종류와 마커의 대응 테이블로부터 마커가 '원'이고 색이 '적색'임을 판독하고, 검사패널(11)에서 점 결함이 존재한다고 여겨지는 셀을 중심으로 하는 '원'을 그리는 셀의 어드레스를 산출한다. 산출된 셀의 어드레스는, 1번째 결함에 관한 마커 패턴으로서, 그 마커의 색과 함께, 기억장치(13) 혹은 마커 패턴 작성장치(16) 내의 기억장치에 기억된다.

산출된 셀의 어드레스에 근거해, 검사패널(11)에 표시되는 마커로서의 '원'은, 예를 들어, 도4에서, 부호 M₁으로 나타낸 것 같은 것이다. 도4에 나타낸 바와 같이, 마커(M₁)는, 자동 검사장치에서 결함으로 판단된 점 결함(D₁)을 중심으로 하는, 적당한 반경의 '원'으로서 검사패널(11)에 표시되게 된다. 또한, 도4에는, 설명의 편의상, 마커(M₁)와 함께, 점 결함(D₁)이 함께 나타나 있지만, 결함(D₁)은, 검사원이 육안으로 그 존재의 유무를 판단하는 대상물이지, 검사패널(11)에 표시되는 것은 아니다. 또한, 도4에서는, 마커(M₁)에 색은 주어져 있지 않지만, 마커(M₁)는, 실제로는, 대응 테이블에 점 결함인 마커에 대해 설정되어 있는 색, 예를 들어 '적색'으로 검사패널(11)에 표시된다.

마커(M₁)로서의 '원'의 반경은, 적당한 크기로 설정하면 된다. '원'의 반경이 너무 작으면, 검사패널(11) 상에서, 그 '원'을 발견하는 것이 곤란해지고, 또, 너무 크면, 그 '원'으로 둘러싸이는 영역이 너무 넓어, 마커로서의 '원'을 검사패널(11)에 표시하는 의미가 사라지므로 바람직하지 않다. 마커로서의 '원'의 반경은, 검사원이, 입출력장치(14)로부터 컴퓨터(12)를 통해 적당히 설정, 변경할 수 있게 해 두는 것이 바람직하다.

또한, 점 결함이 복수 존재하고, 각각의 점 결함에 관한 마커로서의 '원'이 겹쳐져 버릴 때에는, 마커 패턴 작성장치(16)는, 그 복수의 점 결함들의 중심이 되는 셀의 어드레스를 계산으로 구하고, 그 셀을 중심으로 복수의 점 결함을 커버하는 반경의 '원'이 표시되도록, 셀의 어드레스를 산출하게 해도 된다.

2번째 결함이, 예를 들어 선 결함이었던 경우에는, 마커 패턴 작성장치(16)는, 상기 결함종류와 마커의 대응 테이블로부터 마커가 '×'이고 색이 '녹색'임을 판독하고, 검사패널(11)에서 선 결함이 존재한다고 여겨지는 셀 열(列)의 양끝에 '×'라는 기호를 그리는 셀의 어드레스를 산출한다. 산출된 셀의 어드레스는, 2번째 결함에 관한 마커 패턴으로서, 그 마커의 색과 함께, 기억장치(13) 혹은 마커 패턴 작성장치(16) 내의 기억장치에 기억된다.

산출된 셀의 어드레스에 근거해, 검사패널(11)에 표시되는 마커로서의 '×'는, 예를 들어, 도5에서, 부호 M₂, M₂로 나타낸 것 같은 것이다(도5에는, 도4에서 나타낸 마커(M₁) 및 결함(D₁)도 함께 나타나 있다). 도5에 나타낸 바와 같이, 마커(M₂, M₂)는, 자동 검사장치에서 결함으로 판단된 선 결함(D₂)의 양끝을, 각각의 2개 선의 교점으로 하는 2개의 '×'기호로서 검사패널(11)에 표시되게 된다. 또한, 도5에는, 설명의 편의상, 마커(M₂, M₂)와 함께, 선 결함(D₂)이 함께 나타나 있지만, 결함(D₂)은, 검사원이 육안으로 그 존재의 유무를 판단하는 대상물이지, 검사패널(11)에 표시되는 것은 아니다. 또한, 도5에서는, 마커(M₂, M₂)에 색은 주어져 있지 않지만, 마커(M₂, M₂)는, 실제로는, 대응 테이블에 선 결함인 마커에 대해 설정되어 있는 색, 예를 들어 '녹색'으로 검사패널(11)에 표시된다.

도5에서는, 마커(M₂, M₂)는, 2개 1세트로, 선 결함(D₂)의 양끝을 사이에 두는 위치에 표시되게 되어 있지만, 선 결함(D₂)의 한쪽 끝에만 기호 '×'를 표시하게 해도 되고, 선 결함(D₂)의 중앙이 되는 위치에 1개의 '×'기호가 표시되게 해도 된다. 또한, 선 결함(D₂)의 한쪽 끝만, 또는 중앙부에만 기호 '×'를 표시할 경우에는, 선 결함(D₂)의 길이에 따라 기호 '×'의 크기를 바꾸고, 선 결함(D₂)이 길 때에는 기호 '×'를 크게, 반대로 짧을 때에는 기호 '×'를 작게 표시하게 하면, 기호 '×'의 크기에 따라, 선 결함(D₂)이 존재한다고 생각되는 선 형태 영역의 대체적인 길이를 알 수 있어, 편리하다.

3번째 결함이, 예를 들어 얼룩 결함이었던 경우에는, 마커 패턴 작성장치(16)는, 상기 결함종류와 마커의 대응 테이블로부터 마커가 '사각형'이고 색이 '청색'임을 판독하고, 검사패널(11)에서 얼룩 결함이 존재한다고 여겨지는 영역을 둘러싸는 '사각형'을 표시하는 셀의 어드레스를 산출한다. 산출된 셀의 어드레스는, 3번째 결함에 관한 마커 패턴으로서, 그 마커의 색과 함께, 기억장치(13) 혹은 마커 패턴 작성장치(16) 내의 기억장치에 기억된다.

산출된 셀의 어드레스에 근거해, 검사패널(11)에 표시되는 마커로서의 '사각형'은, 예를 들어, 도6에서, 부호 M₃로 나타낸 것 같은 것이다(도6에는, 도5에서 나타낸 마커(M₁, M₂, M₂) 및 결함(D₁, D₂)도 함께 나타나 있다). 도6에 나타낸 바와 같이, 마커(M₃)는, 자동 검사장치에서 결함으로 판단된 얼룩 결함(D₃)을 둘러싸는 '사각형'으로서 검사패널(11)에 표시되게 된다. 또한, 도6에는, 설명의 편의상, 마커(M₃)와 함께, 얼룩 결함(D₃)이 함께 나타나 있지만, 결함(D₃)은, 검사원이 육안으로 그 존재의 유무를 판단하는 대상물이지, 검사패널(11)에 표시되는 것은 아니다. 또한, 도6에서는, 마커(M₃)에 색은 주어져 있지 않지만, 마커(M₃)는, 실제로는, 대응 테이블에 선 결함인 마커에 대해 설정되어 있는 색, 예를 들어 '청색'으로 검사패널(11)에 표시된다.

이상과 같은 조작을 반복하여, 마커 패턴 작성장치(16)는, 수신한 자동 검사결과 정보에 포함되어 있는 모든 결함에 관해, 표시해야 할 마커의 셀의 어드레스를 산출하고, 그 마커의 색과 함께, 기억장치(13) 혹은 마커 패턴 작성장치(16) 내의 기억장치에 기억해, 마커 패턴을 작성한다. 작성된 마커 패턴은, 예를 들어 도7에 나타난 것과 같은 패턴이다. 이 마커 패턴은, 모니터화면(8)에 표시시켜, 그 내용을 확인하는 것이 가능하다.

마커 패턴의 작성이 종료되면, 컴퓨터(12)는, 자동적으로, 혹은, 입출력장치(14)로부터의 지령을 기다려, 마커 패턴 작성장치(16)가 작성한 마커 패턴을 패턴 합성장치(17)에 송신시킴과 동시에, 테스트 패턴 기억장치(15)에 기억되어 있는 적당한 테스트 패턴을 패턴 합성장치(17)로 송신시킨다. 송신된 마커 패턴과 테스트 패턴은, 패턴 합성장치(17)로 합성, 중첩되어, 구동장치(18)로 보내지고, 검사패널(11)에 표시된다.

테스트 패턴 기억장치(15)에는, 1 또는 복수 종류의 테스트 패턴이 기억되어 있고, 검사원은, 입출력장치(14)로부터 컴퓨터(12)를 통해, 패턴 합성장치(17)에 송신하는 테스트 패턴의 종류를 검사패널마다 선택, 지정할 수 있다. 또한, 테스트 패턴 기억장치(15)에 기억되어 있는 테스트 패턴의 검사원에 의한 변경, 갱신, 교체도, 입출력장치(14)로부터 컴퓨터(12)를 통해, 적당히 하는 것이 가능하다.

이상과 같이 하여, 검사패널(11) 상에, 테스트 패턴과 마커 패턴이 중첩된 상태로 표시되면, 검사원은, 표시되어 있는 마커 패턴 부분에 주의를 집중해, 육안 검사장치에서 존재한다고 판단된 각각의 결함에 관하여, 그 유무를, 육안으로 검사한다.

또한, 검사패널(11) 상으로의 마커 패턴의 표시는, 검사원이, 입출력장치(14)를 통해 컴퓨터(12)에 지령을 보냄으로써, 일괄하여, 온·오프하는 것이 가능하다. 따라서, 검사원은, 필요하지 않은 경우에는, 마커 패턴의 표시를 오프(off)로 하여, 검사패널(11) 상에 테스트 패턴만을 표시시켜 검사를 할 수도 있고, 필요한 경우에는, 마커 패턴의 표시를 온(on)으로 하여, 위에서 설명한 바와 같이, 검사패널(1) 상에 테스트 패턴과 마커 패턴 양자를 표시시켜 검사를 할 수 있다.

또한, 검사원은, 필요한 경우에는, 입출력장치(14)를 통해, 컴퓨터(12)에 지령을 내림으로써, 마커 패턴을 구성하는 마커 중 1 또는 복수의 마커를 선택해, 마커마다 개별로, 검사패널(11)로의 표시를 온·오프하거나, 점멸시키거나, 색을 변경하거나 하는 것이 가능하다. 따라서, 검사원은, 예를 들어, 육안 검사가 종료된 마커나, 불필요하다고 생각되는 마커에 관해서는, 검사패널(11)로의 표시를 오프로 하여 표시시키지 않게 하거나, 반대로, 필요하다고 생각되는 마커에 관해서는, 검사패널(11)로의 표시를 온으로 해서 표시시키거나, 혹은, 점멸시키거나, 색을 바꿔보기 쉽게 하거나 하여, 육안 검사의 효율화를 도모하는 것이 가능하다. 대상이 되는 마커의 선택은, 예를 들어, 마커 패턴을 모니터화면 상에 표시시키고, 선택하고 싶은 마커를 손가락으로 터치하거나, 마우스로 클릭하는 등의 수단에 의해, 모니터화면 상에서 할 수 있다.

검사원에 의한 육안 검사 시, 모니터화면(8)에는, 검사대상이 되고 있는 검사패널(11)의 식별용 ID와 함께, 테스트 패턴 및 마커 패턴이 표시된 검사패널의 화상이 표시된다. 이 검사패널의 화상은, 예를 들어, 패턴 합성장치(17)의 출력에 근거해, 컴퓨터(12)에 의해 작성되고, 모니터화면(8)으로 보내진다. 검사원은, 이하에 설명하는 바와 같이, 상기 모니터화면(8)에 표시된 검사패널의 화상을 통해, 검사패널(11) 상에서 육안으로 행한 검사결과를, 컴퓨터(12)에 입력할 수 있다.

예를 들어, 검사패널(11)에 도7에 나타낸 바와 같은 마커 패턴이 테스트 패턴과 함께 표시되어 있고, 검사원이, 검사패널(11) 상에서, 마커(M₁)로 표시된 원형의 영역 내에서의 점 결함의 유무를 육안 검사하여, 그 결과, 점 결함은 '존재한다' 또는 '존재하지 않는다'고 판단한 경우, 검사원은, 모니터화면(8)에 표시되어 있는 검사패널의 화상 상에서, 마커(M₁)에 대응하는 부분을 손가락으로 터치하거나, 마우스로 클릭해 선택하고, 그때 열린 윈도우 혹은 풀다운 메뉴 상에서, 결함 '유' 또는 '무' 중 어느 하나를 지정하거나, 모니터화면(8) 상에 표시되어 있는 결함 '유' 또는 '무' 선택버튼 중 어느 하나를 손가락으로 터치하거나, 마우스로 클릭함으로써, 그 결함에 관한 육안 검사결과를, 그 결함과 관련지어, 컴퓨터(12)에 입력할 수 있다.

즉, 모니터화면(8) 상에 표시되어 있는 마커 패턴이 표시된 검사패널의 화상은, 자동 검사장치가 검사패널(11)에 존재한다고 판단한 결함을 표시하는 수단임과 동시에, 검사원에게, 그 표시된 결함들 중에서 하나의 결함을 선택하는 것을 가능하게 하는 수단이다. 또한, 결함이 선택됐을 때 열리는 윈도우 혹은 풀다운 메뉴에 표시된 결함 '유' 또는 '무' 선택지, 및, 모니터화면(8) 상에 표시되어 있는 결함 '유' 또는 '무' 선택버튼은, 검사원에게, 선택된 결함과, 상기 결함에 관한 육안 검사결과를 관련짓는 것을 가능하게 하는 수단이 되는 것이다.

검사원이 모니터화면(8) 상에서 선택하는 결함은 복수여도 되며, 그 경우에는, 선택된 복수의 결함에 관한 육안 검사결과를, 모아서, 그 복수의 결함들과 관련지어, 컴퓨터(12)에 입력할 수 있다. 또한, 상기의 예에서는, 모니터화면(8)에, 마커 패턴과 테스트 패턴 양쪽이 표시된 검사패널 화상이 표시되게 되어 있지만, 모니터 화면(8)에 표시되는 검사패널 화상은, 마커 패턴만이 표시된 것이어도 된다.

또한, 자동 검사장치가 검사패널(11)에 존재한다고 판단한 결함 중에서 1 또는 복수의 결함을 선택하는 것을 가능하게 하는 수단은, 모니터화면(8)에 표시된 검사패널의 화상에만 한정되지 않는다. 예를 들어, 모니터화면(8)에 표시된 검사패널의 화상에 표시되어 있는 결함 각각에 번호를 달고, 그 번호에 대응하는 일람표를 모니터화면(8)에 표시하고, 대상 결함의 선택과, 선택된 결함에 관한 육안 검사결과의 입력은, 그 일람표 상에서 하게 해도 된다.

이상과 같은 조작을 반복함으로써, 검사원은, 검사패널(11)에 표시된 마커 패턴에 근거해, 자동 검사장치가 결함이라고 판단한 검사패널(11) 상의 모든 영역에 관해 결함의 유무를 검사하고, 그 결과를, 모니터화면(8)을 통해 컴퓨터(12)에 입력한다. 입력된 검사결과는, 육안 검사결과 정보로서, 검사패널(11)의 식별용 ID와 관련지어 기억장치(13)에 기억된다. 이처럼 해서 작성된 육안 검사결과 정보는, 육안 검사결과 정보로서, 자동 검사결과 정보와는 별개의 것으로서 이용되어도 되고, 육안 검사결과 정보에 근거해, 대응하는 검사패널의 자동 검사결과 정보를 고치고, 새로 검사결과 정보를 작성해, 그것을 종합적인 검사결과 정보로서 이용하게 해도 된다.

이상과 같이, 본 발명의 육안 검사장치(3), 및 본 발명의 육안 검사방법에 따르면, 검사패널(11)의 점등 검사 시에, 자동 검사장치(2)가 결함이 존재한다고 판단한 검사패널(11) 상의 위치 또는 영역을 나타내는 마커 패턴이 테스트 패턴과 함께 검사패널(11)에 표시되므로, 검사원은, 마커 패턴이 표시된 부분에만 주의를 집중해서 육안 검사를 할 수 있으므로, 경험이 적은 검사원이라도, 정밀도 높은 육안 검사를 효율적으로 할 수 있다.

또한, 본 발명의 육안 검사장치(3)에 따르면, 만약, 검사패널(11)에 마커 패턴을 표시할 수 없는 경우라도, 모니터화면(8)에는 마커 패턴과 테스트 패턴이 표시된 검사패널의 화상이 표시되므로, 검사원은, 모니터화면(8)을 보면서, 검사패널(11) 상의 결함으로 판단된 위치 또는 영역을 알 수 있어, 정밀도 높은 육안 검사를 효율적으로 하는 것이 가능하다.

따라서, 도1에 그 일례를 나타낸 본 발명의 검사시스템(1)에 따르면, 자동 검사장치(2)에서의 결함 판별의 역치를 낮게 설정하여, 결함의 검출 누락의 위험성을 가급적 낮게 억제하는 것이 가능하고, 역치를 낮게 설정함으로써, 결함이 있어 불량품으로 판단된 패널의 비율이 증가해도, 후속하는 본 발명의 육안 검사장치(3)에 의해, 정밀도 높은 육안 검사가 행해지므로, 제품의 수율이 필요 이상으로 저하할 우려는 없다. 이처럼, 본 발명의 검사시스템(1)에서는, 종래부터 문제였던 자동 검사장치에서의 역치 설정의 곤란성이 극복되고, 결함의 검출 누락이 없는, 정밀도 높은 검사를 효율적으로 하는 것이 가능하다.

또한, 본 발명의 검사시스템(1)에 있어, 필요하면, 자동 검사장치(2)에서의 검사대상 패널에 테스트 패턴을 표시시키는 수단과, 육안 검사장치(3)에서의 패널에 테스트 패턴을 표시시키는 수단을 같은 것으로 해도 된다. 이 경우에는, 자동 검사장치(2)와 육안 검사장치(3)가, 검사대상 패널에 테스트 패턴을 표시시키는 수단을 제외하고, 서로 부족한 요소를 가산해 융합한 종합 검사장치가 되며, 1대의 검사장치에 있어, 우선, 자동검사를 하고, 그 결과를 자동 검사결과 정보로서 작성한 후에, 같은 장치를 사용하여, 육안 검사를 하는 것이 가능해진다. 이 경우에는, 검사패널(11)을, 검사부(7)로 반송하고, 위치를 맞추는 작업이 한번에 끝나므로, 효율이 좋다는 이점을 얻을 수 있다.

또한, 이상 설명한 예에서는, 자동 검사장치(2)에 있어 결함이 있다고 판단된 패널에 관해서만, 육안 검사장치(3)에 의한 육안 검사가 행해지게 되어 있지만, 필요하면, 자동 검사장치(2)로 검사된 모든 패널에 관해 육안 검사장치(3)에 의한 육안 검사를 하게 해도 된다.

본 발명의 육안 검사장치 및 검사시스템, 나아가 본 발명의 육안 검사방법이 대상으로 하는 디스플레이 패널은, 액정 디스플레이 패널에 한정되지 않고, 플라즈마 디스플레이 패널, EL 디스플레이 패널, 전계 방출 디스플레이 패널, 전자 페이퍼 등, 패널 상의 결함을 자동 검사 및 육안 검사하는 모든 디스플레이 패널을 대상으로 하는 것이다.

이상 설명한 바와 같이, 본 발명의 육안 검사장치와 그것을 갖춘 검사시스템 및 육안 검사방법에 따르면, 디스플레이 패널의 결함검사를, 검출 누락없이, 높은 정밀도로, 효율적으로 할 수 있으므로, 디스플레이 패널의 제조에 관계되는 산업분야에서, 매우 큰 산업상의 이용가능성을 갖는 것이다.

본 발명은, 상기 실시예에 한정되지 않고, 그 취지를 벗어나지 않는 한, 각종 변경이 가능하다.

본 발명의 단순한 변형 내지 변경은 이 분야의 통상의 지식을 가진 자에 의해 용이하게 이용될 수 있으며, 이러한 변형이나 변경은 모두 본 발명의 영역에 포함되는 것으로 볼 수 있다.

1: 검사시스템 2: 자동 검사장치
3: 육안 검사장치 4: 네트워크
5: 관리 서버 6: 로더부
7: 검사부 8: 모니터화면
9: 얼라인먼트 카메라 10: 프로브 유닛
11: 검사패널 12: 컴퓨터
13: 기억장치 14: 입출력장치
15: 테스트 패턴 기억장치 16: 마커 패턴 작성장치
17: 패턴 합성장치 18: 구동장치

Claims (9)

1. 검사대상 패널에 테스트 패턴을 표시시키는 수단을 갖춘 디스플레이 패널의 육안 검사장치로서, 이 육안 검사장치는,
   테스트 패턴 기억수단;
   자동 검사장치가 작성한 자동 검사결과 정보를 취득하는 수단;
   자동 검사장치가 검사대상 패널에 존재한다고 판단한 결함에 관한 마커 패턴을 상기 취득한 자동 검사결과 정보에 근거해 작성하는 수단;
   작성한 마커 패턴을 테스트 패턴에 중첩시키는 수단; 및
   마커 패턴이 중첩된 테스트 패턴을 검사대상 패널에 표시시키는 수단;
   을 갖추고 있는 것을 특징으로 하는 육안 검사장치.
   
2. 제1항에 있어서, 마커 패턴이, 자동 검사장치가 검사대상 패널에 존재한다고 판단한 결함의 검사대상 패널 상의 위치에 대응하는 위치에 표시되는, 결함의 종류 및/또는 크기에 대응한 1 또는 복수의 도형 및/또는 기호인 것을 특징으로 하는 육안 검사장치.
   
3. 제1항 또는 제2항에 있어서, 검사대상 패널로의 마커 패턴의 표시를 일괄하여, 또는 마커마다 개별로, 온·오프하는 수단을 갖추고 있는 것을 특징으로 하는 육안 검사장치.
   
4. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
   모니터화면;
   상기 모니터화면에 자동 검사장치가 검사대상 패널에 존재한다고 판단한 결함을 표시하는 수단;
   표시된 결함 중에서 1 또는 복수의 결함을 선택하는 것을 가능하게 하는 수단;
   선택된 결함과, 상기 결함에 관한 육안 검사결과를 관련짓는 것을 가능하게 하는 수단; 및
   결함과 그것에 관련된 육안 검사결과에 근거해, 육안 검사결과 정보를 작성하는 수단;
   을 갖추고 있는 것을 특징으로 하는 육안 검사장치.
   
5. 제4항에 있어서, 작성한 육안 검사결과 정보에 근거해, 취득한 자동 검사결과 정보를 고치고, 검사결과 정보를 작성하는 수단을 갖추고 있는 것을 특징으로 하는 육안 검사장치.
   
6. 자동 검사장치와 육안 검사장치를 갖춘 디스플레이 패널의 검사시스템으로서, 자동 검사장치가,
   검사대상 패널에 테스트 패턴을 표시시키는 수단;
   테스트 패턴이 표시된 검사대상 패널의 표시화면을 화상데이터로서 수신하는 화상데이터 취득수단;
   취득한 화상데이터를 해석하는 화성 처리수단;
   해석된 화상데이터에 근거해 자동 검사결과 정보를 작성하는 수단; 및
   작성한 자동 검사결과 정보를 기억하는 기억수단;
   을 갖춘 자동 검사장치이며,
   육안 검사장치가 제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 기재된 육안 검사장치인 것을 특징으로 하는 검사시스템.
   
7. 제6항에 있어서, 자동 검사장치에서의 검사대상 패널에 테스트 패턴을 표시시키는 수단이, 육안 검사장치에서의 패널에 테스트 패턴을 표시시키는 수단인 것을 특징으로 하는 검사시스템.
   
8. 검사대상 패널을 육안 검사장치의 검사위치에 반입하는 공정;
   검사위치에 반입한 검사패널에 관해 자동 검사장치가 작성한 자동 검사결과 정보를 취득하는 공정;
   취득한 자동 검사결과 정보에 근거해, 자동 검사장치가 그 검사대상 패널에 존재한다고 판단한 결함에 관한 마커 패턴을 작성하는 공정; 및
   작성한 마커 패턴을 테스트 패턴에 중첩시켜 검사위치에 있는 검사대상 패널에 표시시키는 공정;
   을 포함하는 것을 특징으로 하는 육안 검사방법.
   
9. 제8항에 있어서, 마커 패턴이, 자동 검사장치가 검사대상 패널에 존재한다고 판단한 결함의 검사대상 패널 상의 위치에 대응하는 위치에 표시되는, 결함의 종류 및/또는 크기에 대응한 1 또는 복수의 도형 및/또는 기호인 것을 특징으로 하는 육안 검사방법.
   

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