JPH06249614A - 測長機の測定方法 - Google Patents
測長機の測定方法Info
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- JPH06249614A JPH06249614A JP3673193A JP3673193A JPH06249614A JP H06249614 A JPH06249614 A JP H06249614A JP 3673193 A JP3673193 A JP 3673193A JP 3673193 A JP3673193 A JP 3673193A JP H06249614 A JPH06249614 A JP H06249614A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 高分解能の測長機を用いなくても、支障なく
測長を行うことができる測長機の測定方法を提供するこ
と。 【構成】 電極像９ｐ0Lの右縁を確定し、視野の中心Ｃ
との距離ｂを画像処理部で測定する（Ｉ）。次に、電極
間距離の設計値を制御部へ入力し、試料テーブルを移動
させ、実際の移動距離ｃをレーザ変位計で測定する（I
I）。設計値と実際の移動距離ｂとの差を演算し、その
差だけウインドウＷを移動する（III)。新たなウインド
ウＷd の中心ＣWWにより次の電極像９ｐ0Mを確実に把握
できる。電極像９ｐ0Mと視野の中心Ｃとの距離ｅを測定
し、距離ｂ、ｃ、ｅを加算した値が電極像９ｐ0Lの右縁
と電極像９ｐ0Mの右縁との間隔となる。
測長を行うことができる測長機の測定方法を提供するこ
と。 【構成】 電極像９ｐ0Lの右縁を確定し、視野の中心Ｃ
との距離ｂを画像処理部で測定する（Ｉ）。次に、電極
間距離の設計値を制御部へ入力し、試料テーブルを移動
させ、実際の移動距離ｃをレーザ変位計で測定する（I
I）。設計値と実際の移動距離ｂとの差を演算し、その
差だけウインドウＷを移動する（III)。新たなウインド
ウＷd の中心ＣWWにより次の電極像９ｐ0Mを確実に把握
できる。電極像９ｐ0Mと視野の中心Ｃとの距離ｅを測定
し、距離ｂ、ｃ、ｅを加算した値が電極像９ｐ0Lの右縁
と電極像９ｐ0Mの右縁との間隔となる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、微小な長さを高精度で
測定する測長機を用いた測長機の測定方法に関する。
測定する測長機を用いた測長機の測定方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】近年、各種技術分野においては、使用す
る装置が微小化、かつ、高精度化され、これに伴い製造
時における装置の各部寸法も厳格な管理が必要となり、
このため、サブμｍオーダの精度で測定ができる測長機
が要望されるようになった。ここで、上記のように高精
度の測長が必要な対象物として、テレビジョン、コンピ
ュータ等の表示に使用される液晶表示装置を例示して説
明する。
る装置が微小化、かつ、高精度化され、これに伴い製造
時における装置の各部寸法も厳格な管理が必要となり、
このため、サブμｍオーダの精度で測定ができる測長機
が要望されるようになった。ここで、上記のように高精
度の測長が必要な対象物として、テレビジョン、コンピ
ュータ等の表示に使用される液晶表示装置を例示して説
明する。
【０００３】図２は液晶表示装置の電極の配置図であ
る。図で、１は基板、２は基板１上に縦横に多数配置さ
れた電極である。これら電極は、例えば、横方向の長さ
が４００ｍｍの基板１上に横方向一列に６７００個配列
されている。これら各電極２は同一寸法に形成されなけ
ればならず、かつ、互いに予め定められた正確な間隔で
配置される必要がある。即ち、図２に示すように、各電
極２の寸法Δｘ、Δｙはどの電極も所定の許容範囲で等
しくなければならず、又、隣接する電極２間の寸法
ｘ1 、ｙ1 は正確でなければならない。したがって、こ
のような電極パターンを製造するための原板（マスク）
における上記寸法Δｘ、Δｙ、ｘ1 、ｙ1 は厳格に管理
されなければならない。そして、このためには、高精度
の測長機が必要である。例えば、上記の例では、寸法Δ
ｘは３０μｍ、寸法ｘ1 は６０μｍであるので、測長機
としてはサブμｍオーダの精度のものが要求される。こ
のような測長機は、例えば特願昭６３−２０４７８６号
等により提案されている。これを図３により説明する。
る。図で、１は基板、２は基板１上に縦横に多数配置さ
れた電極である。これら電極は、例えば、横方向の長さ
が４００ｍｍの基板１上に横方向一列に６７００個配列
されている。これら各電極２は同一寸法に形成されなけ
ればならず、かつ、互いに予め定められた正確な間隔で
配置される必要がある。即ち、図２に示すように、各電
極２の寸法Δｘ、Δｙはどの電極も所定の許容範囲で等
しくなければならず、又、隣接する電極２間の寸法
ｘ1 、ｙ1 は正確でなければならない。したがって、こ
のような電極パターンを製造するための原板（マスク）
における上記寸法Δｘ、Δｙ、ｘ1 、ｙ1 は厳格に管理
されなければならない。そして、このためには、高精度
の測長機が必要である。例えば、上記の例では、寸法Δ
ｘは３０μｍ、寸法ｘ1 は６０μｍであるので、測長機
としてはサブμｍオーダの精度のものが要求される。こ
のような測長機は、例えば特願昭６３−２０４７８６号
等により提案されている。これを図３により説明する。
【０００４】図３は測長機の斜視図である。図で、５
Ｘ、５Ｙは図示されない空気定盤上に支持されたＸＹス
テージ、６はステージ５Ｘ上を左右に移動可能な移動台
である。７Ｙはステージ５ＸをＹ軸方向に変位させるモ
ータ、７Ｘは移動台６をＸ軸方向に変位させるモータで
ある。８は試料テーブルであり、移動台６に微動機構１
８を介して固定されている。微動機構１８は、移動台６
に対して試料テーブル８をＸ、Ｙ軸方向に微小寸法変位
させる装置である。９は試料テーブル８上に載置された
上記原板、９ｐは原板９に形成された電極パターンを示
す。この電極パターン９ｐの各電極は、図２に示す各電
極２と同一寸法、同一間隔で配列されている。
Ｘ、５Ｙは図示されない空気定盤上に支持されたＸＹス
テージ、６はステージ５Ｘ上を左右に移動可能な移動台
である。７Ｙはステージ５ＸをＹ軸方向に変位させるモ
ータ、７Ｘは移動台６をＸ軸方向に変位させるモータで
ある。８は試料テーブルであり、移動台６に微動機構１
８を介して固定されている。微動機構１８は、移動台６
に対して試料テーブル８をＸ、Ｙ軸方向に微小寸法変位
させる装置である。９は試料テーブル８上に載置された
上記原板、９ｐは原板９に形成された電極パターンを示
す。この電極パターン９ｐの各電極は、図２に示す各電
極２と同一寸法、同一間隔で配列されている。
【０００５】１０は電極パターン９ｐを拡大して観察す
る顕微鏡、１１は顕微鏡１０を支持するスタンド、１２
は原板９を照明する光源、１３は光源１２の光を導く導
光管、１４は顕微鏡１０の像を撮影するＣＣＤカメラで
ある。１６は画像処理装置であり、画像処理部１６ａお
よび表示部１６ｂで構成され、ＣＣＤカメラ１４で撮影
された顕微鏡像に対して所要の処理を行い、これを表示
する。１７は測長機の制御装置、１９は制御装置１７の
制御のもとに微動機構１８を駆動する微動コントローラ
である。
る顕微鏡、１１は顕微鏡１０を支持するスタンド、１２
は原板９を照明する光源、１３は光源１２の光を導く導
光管、１４は顕微鏡１０の像を撮影するＣＣＤカメラで
ある。１６は画像処理装置であり、画像処理部１６ａお
よび表示部１６ｂで構成され、ＣＣＤカメラ１４で撮影
された顕微鏡像に対して所要の処理を行い、これを表示
する。１７は測長機の制御装置、１９は制御装置１７の
制御のもとに微動機構１８を駆動する微動コントローラ
である。
【０００６】２０ａ、２０ｂ、２０ｃは台、２１は台２
０ａ上に固定されたレーザヘッド、２２はこのレーザヘ
ッド２１からのレーザ光線をＸ軸方向およびＹ軸方向に
分離するビームスプリッタである。２３Ｘ、２３Ｙはそ
れぞれ台２０ｃ、２０ｂ上に固定されたインタフェロメ
ータ、２５Ｘ、２５Ｙはそれぞれ台２０ｃ、２０ｂ上に
固定されたレシーバである。２４は試料テーブル８に固
定されたＬ型ミラーであり、Ｘ軸方向に延びるミラー２
４ＸおよびＹ軸方向に延びるミラー２４Ｙで構成されて
いる。２６はパルスコンパレータである。
０ａ上に固定されたレーザヘッド、２２はこのレーザヘ
ッド２１からのレーザ光線をＸ軸方向およびＹ軸方向に
分離するビームスプリッタである。２３Ｘ、２３Ｙはそ
れぞれ台２０ｃ、２０ｂ上に固定されたインタフェロメ
ータ、２５Ｘ、２５Ｙはそれぞれ台２０ｃ、２０ｂ上に
固定されたレシーバである。２４は試料テーブル８に固
定されたＬ型ミラーであり、Ｘ軸方向に延びるミラー２
４ＸおよびＹ軸方向に延びるミラー２４Ｙで構成されて
いる。２６はパルスコンパレータである。
【０００７】このような測長機の動作の概略を顕微鏡１
０の視野を示す図４および図５を参照しながら説明す
る。電極パターン９ｐの１つの電極９ｐ1 とこれに隣接
する電極９ｐ2 との間のＸ軸方向の間隔を測定する場
合、まず、電極９ｐ1 の右辺縁部を図４に示すように顕
微鏡１０の視野Ａに入れる。図で、９ｐ01は電極９ｐ1
の顕微鏡像、Ｃは視野Ａの中心線を示す。当該縁部は凹
凸となって現れる。この凹凸を画像処理部１６の演算処
理（投影分布法等）により１つの縁線Ｅとして確定す
る。このときの縁線Ｅと中心線Ｃとの距離δ1 を画像処
理部１６の演算処理により算出する。
０の視野を示す図４および図５を参照しながら説明す
る。電極パターン９ｐの１つの電極９ｐ1 とこれに隣接
する電極９ｐ2 との間のＸ軸方向の間隔を測定する場
合、まず、電極９ｐ1 の右辺縁部を図４に示すように顕
微鏡１０の視野Ａに入れる。図で、９ｐ01は電極９ｐ1
の顕微鏡像、Ｃは視野Ａの中心線を示す。当該縁部は凹
凸となって現れる。この凹凸を画像処理部１６の演算処
理（投影分布法等）により１つの縁線Ｅとして確定す
る。このときの縁線Ｅと中心線Ｃとの距離δ1 を画像処
理部１６の演算処理により算出する。
【０００８】次いでモータ７Ｘを駆動して試料テーブル
８をＸ軸方向に移動させることにより電極９ｐ2 の右辺
縁部を図５に示すように顕微鏡１０の視野Ａに入れる。
図で、９ｐ02は電極９ｐ2 の顕微鏡像である。顕微鏡像
９ｐ01の場合と同じく、縁線Ｅを確定し、距離δ2 を算
出する。上記試料テーブル８のＸ軸方向の移動距離をＬ
とすると、電極９ｐ1 の右辺縁部と電極９ｐ2 の右辺縁
部との距離は、（Ｌ＋δ1 ＋δ2 ）となる。
８をＸ軸方向に移動させることにより電極９ｐ2 の右辺
縁部を図５に示すように顕微鏡１０の視野Ａに入れる。
図で、９ｐ02は電極９ｐ2 の顕微鏡像である。顕微鏡像
９ｐ01の場合と同じく、縁線Ｅを確定し、距離δ2 を算
出する。上記試料テーブル８のＸ軸方向の移動距離をＬ
とすると、電極９ｐ1 の右辺縁部と電極９ｐ2 の右辺縁
部との距離は、（Ｌ＋δ1 ＋δ2 ）となる。
【０００９】なお、試料テーブル８の移動距離Ｌは次の
ようにして求められる。即ち、レーザヘッド２１からの
レーザ光線をビームスプリッタ２２、インタフェロメー
タ２３Ｘを介してミラー２４Ｘに照射し、この入力光線
とミラー２４Ｘからの反射光とをインタフェロメータ２
３Ｘで干渉させ、この干渉の程度に応じた信号をレシー
バ２５Ｘから出力し、パルスコンパレータ２６で当該信
号に比例するパルスに変換し、このパルスに基づいて制
御装置１７で移動距離Ｌが算出される。又、距離δ1 、
δ2 は微動機構１８を用いて縁線Ｅと中心線Ｃとが一致
するような処理により得ることもできる。
ようにして求められる。即ち、レーザヘッド２１からの
レーザ光線をビームスプリッタ２２、インタフェロメー
タ２３Ｘを介してミラー２４Ｘに照射し、この入力光線
とミラー２４Ｘからの反射光とをインタフェロメータ２
３Ｘで干渉させ、この干渉の程度に応じた信号をレシー
バ２５Ｘから出力し、パルスコンパレータ２６で当該信
号に比例するパルスに変換し、このパルスに基づいて制
御装置１７で移動距離Ｌが算出される。又、距離δ1 、
δ2 は微動機構１８を用いて縁線Ｅと中心線Ｃとが一致
するような処理により得ることもできる。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】上記測長機において、
モータ７Ｘ、７Ｙには、停止時の振動レベルが低いステ
ッピングモータが多用され、これらモータ７Ｘ、７Ｙに
よるＸＹステージ５Ｘ、５Ｙの移動は、モータ７Ｘ、７
Ｙでボールネジを回転させて行われる。この場合、試料
テーブル８の移動の分解能は１パルス当たり移動量であ
り、その値は、「ボールネジのリード（ｍｍ／ｒｅ
ｖ．）」を「モータ１回転の分割数（ｐｕｌｓ／ｒｅ
ｖ．）」で除した値となる。例えば、ボールネジのリー
ドが２ｍｍ、モータ１回転の分割数が１０００とする
と、分解能は２μｍとなる。
モータ７Ｘ、７Ｙには、停止時の振動レベルが低いステ
ッピングモータが多用され、これらモータ７Ｘ、７Ｙに
よるＸＹステージ５Ｘ、５Ｙの移動は、モータ７Ｘ、７
Ｙでボールネジを回転させて行われる。この場合、試料
テーブル８の移動の分解能は１パルス当たり移動量であ
り、その値は、「ボールネジのリード（ｍｍ／ｒｅ
ｖ．）」を「モータ１回転の分割数（ｐｕｌｓ／ｒｅ
ｖ．）」で除した値となる。例えば、ボールネジのリー
ドが２ｍｍ、モータ１回転の分割数が１０００とする
と、分解能は２μｍとなる。
【００１１】さらに、モータ７Ｘ、７Ｙにステッピング
モータが使用されている場合、モータ７Ｘ、７Ｙの駆動
は所要のパルス数を入力することにより行われるが、こ
のパルスのカウントが外部ノイズ等によりミスカウント
される場合がある。そして、このミスカウントが１つ生
じると、分解能に相当する量だけ移動過大又は移動不足
が発生する。
モータが使用されている場合、モータ７Ｘ、７Ｙの駆動
は所要のパルス数を入力することにより行われるが、こ
のパルスのカウントが外部ノイズ等によりミスカウント
される場合がある。そして、このミスカウントが１つ生
じると、分解能に相当する量だけ移動過大又は移動不足
が発生する。
【００１２】ところで、上記測長機を用いた測定におい
ては、当該分解能およびミスカウントが測定に影響を与
える場合がある。これを図により説明する。図６は図２
と同じく液晶表示装置の電極の配置図である。この場
合、各電極の幅、各電極の対向する縁部の間の寸法はい
ずれも同一の寸法ａ（μｍ）である。このような電極配
置は通常みられる配置であり、これを、分解能ａ（寸法
ａと同一長さ）の測長機で測定するものとする。
ては、当該分解能およびミスカウントが測定に影響を与
える場合がある。これを図により説明する。図６は図２
と同じく液晶表示装置の電極の配置図である。この場
合、各電極の幅、各電極の対向する縁部の間の寸法はい
ずれも同一の寸法ａ（μｍ）である。このような電極配
置は通常みられる配置であり、これを、分解能ａ（寸法
ａと同一長さ）の測長機で測定するものとする。
【００１３】図７および図８は図６に示す電極の顕微鏡
像を示す図である。図で、Ａは表示部１６ｂに表示され
る顕微鏡の視野、Ｃは視野Ａの中心線を示す。寸法ａが
小さい場合、視野Ａには複数の電極像が含まれる。この
ような場合、測定対象電極を示すため表示領域の一部に
ウインドウＷが設定される。ウインドウＷの作成は通常
使用される手法であり、画像処理部１６ａにより、その
大きさや位置を自由に変更することができる。ＣW はウ
インドウＷの中心線を示す。
像を示す図である。図で、Ａは表示部１６ｂに表示され
る顕微鏡の視野、Ｃは視野Ａの中心線を示す。寸法ａが
小さい場合、視野Ａには複数の電極像が含まれる。この
ような場合、測定対象電極を示すため表示領域の一部に
ウインドウＷが設定される。ウインドウＷの作成は通常
使用される手法であり、画像処理部１６ａにより、その
大きさや位置を自由に変更することができる。ＣW はウ
インドウＷの中心線を示す。
【００１４】今、電極像９ｐ0Iまでの寸法の測定を終了
し、次に、電極像９ｐ0Iの右縁から電極像９ｐ0Jの右縁
までの寸法を測定する場合、測定者は制御装置１７に当
該寸法の設計値を入力し試料テーブル８を図で左方に移
動する。ミスカウントがない場合、電極像９ｐ0Jの右縁
がウインドウＷの中心線ＣW の近辺に現れるが、１個の
ミスカウントがあると、電極像９ｐ0kの左縁が中心線Ｃ
W の近辺に現れる。この場合、各電極の幅および間隔は
同一であるから、測定対象電極が電極像９ｐ0Jなのか電
極像９ｐ0Kなのか判断することはできず、測定不能とな
る。ミスカウントの数が多くなると、電極間隔が大きい
場合でも上記の不都合が生じる。このような不都合は、
高分解能の測長機を使用すれば解消されるが、分解能が
高ければ高いほど、測長機の価格は飛躍的に増大する。
し、次に、電極像９ｐ0Iの右縁から電極像９ｐ0Jの右縁
までの寸法を測定する場合、測定者は制御装置１７に当
該寸法の設計値を入力し試料テーブル８を図で左方に移
動する。ミスカウントがない場合、電極像９ｐ0Jの右縁
がウインドウＷの中心線ＣW の近辺に現れるが、１個の
ミスカウントがあると、電極像９ｐ0kの左縁が中心線Ｃ
W の近辺に現れる。この場合、各電極の幅および間隔は
同一であるから、測定対象電極が電極像９ｐ0Jなのか電
極像９ｐ0Kなのか判断することはできず、測定不能とな
る。ミスカウントの数が多くなると、電極間隔が大きい
場合でも上記の不都合が生じる。このような不都合は、
高分解能の測長機を使用すれば解消されるが、分解能が
高ければ高いほど、測長機の価格は飛躍的に増大する。
【００１５】本発明の目的は、上記従来技術における課
題を解決し、高分解能の測長機を使用しなくても、何等
支障なく測定を行うことができる測長機の測定方法を提
供するにある。
題を解決し、高分解能の測長機を使用しなくても、何等
支障なく測定を行うことができる測長機の測定方法を提
供するにある。
【００１６】
【課題を解決するための手段】入力信号に応じて移動す
る移動ステージ、測長対象物を載置し前記移動ステージ
により移動せしめられる試料テーブル、前記測長対象物
の像を拡大する顕微鏡、この顕微鏡の拡大像を撮影する
カメラ、および前記試料テーブルの移動量を測定するレ
ーザ変位計、前記カメラが撮影した顕微鏡像を処理する
画像処理部、この画像処理部で処理された顕微鏡像を表
示する表示部、この表示部の表示面の一部に表示される
ウインドウ、およびこのウインドウの位置を移動させる
ウインドウ移動手段とで構成される測長機において、前
記顕微鏡像の視野の中心から測長始点までの始点寸法を
求め、次いで前記測長始点から次の測長点までの設計値
を入力して前記移動ステージを移動させ前記次の測長点
を前記視野に入れ、前記レーザ変位計により前記移動ス
テージの移動寸法を測定し、前記ウインドウ移動手段に
より前記ウインドウを移動寸法と設計値との差だけ移動
し、前記視野の中心と前記次の測長点までの寸法を求
め、この寸法と前記始点寸法と前記移動寸法とを加算し
て前記測長始点から前記次の測長点までの寸法を求める
ことを特徴とする。
る移動ステージ、測長対象物を載置し前記移動ステージ
により移動せしめられる試料テーブル、前記測長対象物
の像を拡大する顕微鏡、この顕微鏡の拡大像を撮影する
カメラ、および前記試料テーブルの移動量を測定するレ
ーザ変位計、前記カメラが撮影した顕微鏡像を処理する
画像処理部、この画像処理部で処理された顕微鏡像を表
示する表示部、この表示部の表示面の一部に表示される
ウインドウ、およびこのウインドウの位置を移動させる
ウインドウ移動手段とで構成される測長機において、前
記顕微鏡像の視野の中心から測長始点までの始点寸法を
求め、次いで前記測長始点から次の測長点までの設計値
を入力して前記移動ステージを移動させ前記次の測長点
を前記視野に入れ、前記レーザ変位計により前記移動ス
テージの移動寸法を測定し、前記ウインドウ移動手段に
より前記ウインドウを移動寸法と設計値との差だけ移動
し、前記視野の中心と前記次の測長点までの寸法を求
め、この寸法と前記始点寸法と前記移動寸法とを加算し
て前記測長始点から前記次の測長点までの寸法を求める
ことを特徴とする。
【００１７】
【作用】１つの測長始点から次の測長点までの長さを測
定する場合、移動ステージを設計値だけ移動させ、レー
ザ変位計により移動ステージの移動寸法を測定し、実際
の移動寸法と設計値との差だけウインドウをウインドウ
移動手段により移動して測定対象を明確にする。この状
態で、視野の中心と次の測長点までの寸法を求め、この
寸法と始点寸法と移動寸法とを加算して測長始点から次
の測長点までの寸法を求める。
定する場合、移動ステージを設計値だけ移動させ、レー
ザ変位計により移動ステージの移動寸法を測定し、実際
の移動寸法と設計値との差だけウインドウをウインドウ
移動手段により移動して測定対象を明確にする。この状
態で、視野の中心と次の測長点までの寸法を求め、この
寸法と始点寸法と移動寸法とを加算して測長始点から次
の測長点までの寸法を求める。
【００１８】
【実施例】以下、本発明を図示の実施例に基づいて説明
する。図１は本発明の実施例に係る測長機の測定方法を
説明する説明図である。図で、図７に示す部分と同一部
分には同一符号が付してある。９ｐ0L、９ｐ0M、９ｐ0N
は電極像を示す。まず、図のＩに示すように、電極像９
ｐ0Lの右縁が確定された後、画像処理部１６ａにより当
該右縁と視野の中心との間の寸法ｂが測定される。
する。図１は本発明の実施例に係る測長機の測定方法を
説明する説明図である。図で、図７に示す部分と同一部
分には同一符号が付してある。９ｐ0L、９ｐ0M、９ｐ0N
は電極像を示す。まず、図のＩに示すように、電極像９
ｐ0Lの右縁が確定された後、画像処理部１６ａにより当
該右縁と視野の中心との間の寸法ｂが測定される。
【００１９】次に、制御装置１７に予め判っている各電
極間隔の設計値ｓを入力することにより、試料テーブル
８が移動せしめられる。この移動により各電極像も移動
するが、この間にミスカウントが発生するおそれがあ
る。図のIIに示すように、上記の実際の移動寸法ｃがレ
ーザ変位計により測定される。次いで、設計値ｓと実際
の移動寸法ｃとの差ｄ（ｄ＝ｓ−ｃ）が演算される。こ
の差の値が分解能以上であれば、ミスカウントが発生し
ているものと考え、図のIII に示すようにウインドウＷ
を、差ｄが正の場合には前記移動方向と反対方向へ、負
の場合には移動方向へ、差ｄだけ移動させる。これによ
り、ウインドウＷの中心ＣW も差ｄだけ移動する。新た
なウインドウがＷd で、新たな中心がＣWWで示されてい
る。新たな中心ＣWWに基づいて、これに最も近い電極像
の右縁、即ち電極像９ｐ0Mの右縁が次の測定対象という
ことが判る。
極間隔の設計値ｓを入力することにより、試料テーブル
８が移動せしめられる。この移動により各電極像も移動
するが、この間にミスカウントが発生するおそれがあ
る。図のIIに示すように、上記の実際の移動寸法ｃがレ
ーザ変位計により測定される。次いで、設計値ｓと実際
の移動寸法ｃとの差ｄ（ｄ＝ｓ−ｃ）が演算される。こ
の差の値が分解能以上であれば、ミスカウントが発生し
ているものと考え、図のIII に示すようにウインドウＷ
を、差ｄが正の場合には前記移動方向と反対方向へ、負
の場合には移動方向へ、差ｄだけ移動させる。これによ
り、ウインドウＷの中心ＣW も差ｄだけ移動する。新た
なウインドウがＷd で、新たな中心がＣWWで示されてい
る。新たな中心ＣWWに基づいて、これに最も近い電極像
の右縁、即ち電極像９ｐ0Mの右縁が次の測定対象という
ことが判る。
【００２０】この状態で、電極像９ｐ0Mの右縁を確定
し、その後で当該右縁と視野の中心との間の寸法ｅが画
像処理部１６ａにより測定される。最後に上記の各寸法
ｂ、ｃ、ｅを加算することにより、電極像９ｐ0Lと電極
像９ｐ0Mとの間の寸法が得られる。
し、その後で当該右縁と視野の中心との間の寸法ｅが画
像処理部１６ａにより測定される。最後に上記の各寸法
ｂ、ｃ、ｅを加算することにより、電極像９ｐ0Lと電極
像９ｐ0Mとの間の寸法が得られる。
【００２１】このように、本実施例では、試料テーブル
を設計値だけ移動した後、実際の移動寸法を測定し、両
者の差だけウインドウを移動するようにしたので、測定
対象電極像を確実に把握することができ、高分解能の測
長機を用いなくても、何等の支障もなく測定を行うこと
ができる。
を設計値だけ移動した後、実際の移動寸法を測定し、両
者の差だけウインドウを移動するようにしたので、測定
対象電極像を確実に把握することができ、高分解能の測
長機を用いなくても、何等の支障もなく測定を行うこと
ができる。
【００２２】
【発明の効果】以上述べたように、本発明では、試料テ
ーブルを設計値だけ移動した後、実際の移動寸法を測定
し、両者の差だけウインドウを移動するようにしたの
で、次の測長点を確実に把握することができ、高分解能
の測長機を用いなくても、何等の支障もなく測定を行う
ことができる。
ーブルを設計値だけ移動した後、実際の移動寸法を測定
し、両者の差だけウインドウを移動するようにしたの
で、次の測長点を確実に把握することができ、高分解能
の測長機を用いなくても、何等の支障もなく測定を行う
ことができる。
【図１】本発明の実施例に係る測長機の測定方法を説明
する説明図である。
する説明図である。
【図２】測定対象原板の平面図である。
【図３】測長機の斜視図である。
【図４】顕微鏡の視野を示す図である。
【図５】顕微鏡の視野を示す図である。
【図６】測長対象原板の一部拡大平面図である。
【図７】顕微鏡の視野を示す図である。
【図８】顕微鏡の視野を示す図である。
９ｐ0L、９ｐ0M、９ｐ0N 電極像 Ｃ 視野の中心 Ｗ、Ｗd ウインドウ ＣW 、ＣWW ウインドウの中心
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 高橋 哲 東京都小平市喜平町一丁目五番十号 株式 会社リンク内
Claims (1)
- 【請求項１】 入力信号に応じて移動する移動ステー
ジ、測長対象物を載置し前記移動ステージにより移動せ
しめられる試料テーブル、前記測長対象物の像を拡大す
る顕微鏡、この顕微鏡の拡大像を撮影するカメラ、およ
び前記試料テーブルの移動量を測定するレーザ変位計、
前記カメラが撮影した顕微鏡像を処理する画像処理部、
この画像処理部で処理された顕微鏡像を表示する表示
部、この表示部の表示面の一部に表示されるウインド
ウ、およびこのウインドウの位置を移動させるウインド
ウ移動手段とで構成される測長機において、前記顕微鏡
像の視野の中心から測長始点までの始点寸法を求め、次
いで前記測長始点から次の測長点までの設計値を入力し
て前記移動ステージを移動させ前記次の測長点を前記視
野に入れ、前記レーザ変位計により前記移動ステージの
移動寸法を測定し、前記ウインドウ移動手段により前記
ウインドウを移動寸法と設計値との差だけ移動し、前記
視野の中心と前記次の測長点までの寸法を求め、この寸
法と前記始点寸法と前記移動寸法とを加算して前記測長
始点から前記次の測長点までの寸法を求めることを特徴
とする測長機の測定方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3673193A JPH06249614A (ja) | 1993-02-25 | 1993-02-25 | 測長機の測定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3673193A JPH06249614A (ja) | 1993-02-25 | 1993-02-25 | 測長機の測定方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06249614A true JPH06249614A (ja) | 1994-09-09 |
Family
ID=12477884
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3673193A Pending JPH06249614A (ja) | 1993-02-25 | 1993-02-25 | 測長機の測定方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06249614A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102628670A (zh) * | 2011-02-01 | 2012-08-08 | 株式会社其恩斯 | 尺寸测量设备、尺寸测量方法和用于尺寸测量设备的程序 |
| CN112629417A (zh) * | 2020-12-14 | 2021-04-09 | 苏州耘侬软件科技有限公司 | 一种长度测量方法、装置、设备及存储介质 |
-
1993
- 1993-02-25 JP JP3673193A patent/JPH06249614A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102628670A (zh) * | 2011-02-01 | 2012-08-08 | 株式会社其恩斯 | 尺寸测量设备、尺寸测量方法和用于尺寸测量设备的程序 |
| JP2012159409A (ja) * | 2011-02-01 | 2012-08-23 | Keyence Corp | 寸法測定装置、寸法測定方法及び寸法測定装置用のプログラム |
| CN102628670B (zh) * | 2011-02-01 | 2017-08-04 | 株式会社其恩斯 | 尺寸测量设备和尺寸测量方法 |
| CN112629417A (zh) * | 2020-12-14 | 2021-04-09 | 苏州耘侬软件科技有限公司 | 一种长度测量方法、装置、设备及存储介质 |
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