JP3406412B2 - 画像取込み装置 - Google Patents
画像取込み装置Info
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- JP3406412B2 JP3406412B2 JP03861395A JP3861395A JP3406412B2 JP 3406412 B2 JP3406412 B2 JP 3406412B2 JP 03861395 A JP03861395 A JP 03861395A JP 3861395 A JP3861395 A JP 3861395A JP 3406412 B2 JP3406412 B2 JP 3406412B2
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- Japan
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- optical
- image
- lens means
- optical axis
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- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Description
体ウエハ、印刷配線板等の基板やCRT、LCD等の表
示デバイス)の組み立て、加工、検査等を行う際に、そ
の対象物パターンの画像を取込む画像取込み装置に関す
る。
検査等を行う際に大画面の対象物パターンの画像を取込
むためには、その対象物を可動ステージに載置し、可動
ステージを移動させることによって画像取込みのための
視野を切り換える画像取込み装置が用いられていた。
例えば特開昭61−39539号公報に開示されている
ようなものもあった。すなわち、揺動ミラーによって対
象物パターンの画像を取込むための視野を切り換え、対
象物パターンの検査を行う画像取込み装置である。
ブロック図である。図において、1は定められた正しい
パターンを備えた標準対象物、2は標準対象物1に対し
て正確な位置に位置決めされた被検査対象物、3は標準
対象物1と被検査対象物2に対向して配置された揺動ミ
ラーである。この揺動ミラー3は、往復揺動して傾斜角
を変え、標準対象物1からの入射光の光軸1aと被検査
対象物2からの入射光の光軸2aとを交互に切り換え
て、予め定められた光軸4に沿って反射できるように形
成されている。5は光軸4上に置かれ揺動ミラー3の反
射光を集め定められた位置に像を結ばせるレンズ手段、
6はレンズ手段5の結像点に置かれ光の有無を電気信号
に変換して出力できるイメージセンサ等を備えたTVカ
メラ等の光学的感応手段である。7は揺動ミラー3の切
り換えに同期して光学的感応手段6からの出力信号を通
すゲート回路と、そのゲート回路の出力信号から変化分
を取り出すための微分回路及びフィルターと、その微分
回路からの出力を増幅する差動増幅器とを有する処理ユ
ニット、8は処理ユニット7の出力としての対象物パタ
ーン画像等を表示する表示手段である。
え周波数で揺動ミラー3を揺動させ、標準対象物1と被
検査対象物2の像を交互に切り換えて光学的感応手段6
に導く。被検査対象物2のパターンの欠陥がなければ、
光学的感応手段6からの出力信号は直流成分だけとなる
が、パターンに欠陥があると、その変化が切り換え周波
数に対応した交流成分の信号となって処理ユニット7の
微分回路によって取り出される。
は以上のように構成されているので、可動ステージを備
えた画像取込み装置にあっては、ステージ移動に時間を
要するという問題点があった。また特開昭61−395
39号公報に開示されているような画像取込み装置にあ
っては、レンズ手段5の焦点が合う光軸が光軸1aと光
軸2aのみであり、決められた2カ所の画像しか取込め
ず、大画面の対象物パターン全面の画像を処理するには
時間を要するなどの問題点があった。
ためになされたもので、可動ステージが不要で装置全体
を小型化でき、高さが一定でない大面積の対象物であっ
ても、その対象物パターン全面の画像を高速で高精度に
取込むことができる画像取込み装置を得ることを目的と
する。
パターン画像を高速で取込むことができる画像取込み装
置を得ることを目的とする。
像取込み装置は、第一のレンズ手段と、第一のレンズ手
段を経た光軸を偏向させ所定周波数で切り換える光軸偏
向切換え手段と、この光軸偏向切換え手段を経た光学的
な像に感応し所定の映像信号を出力する光学的感応手段
と、前記光軸偏向切換え手段と前記光学的感応手段との
間に配設され前記光軸偏向切換え手段を経た光学的な像
を前記光学的感応手段に導く第二のレンズ手段と、前記
光学的感応手段から出力される前記映像信号を処理して
前記対象物の画像を得る処理ユニットとを備え、前記第
一のレンズ手段と前記対象物の中央部との距離をDST
0とし前記第一のレンズ手段の焦点距離をf1とする
と、前記対象物が中央部の高い凸形状の場合にはDST
0>f1、前記対象物が中央部の低い凹形状の場合には
DST0<f1、前記対象物の高さが一定の場合にはD
ST0=f1と設定可能に形成したものである。
数式により決定される値と測定データより作成される補
正テーブル値とを加算し、前記光軸偏向切換え手段を制
御して視野位置決めを行う制御ユニットを備えたもので
ある。
一のレンズ手段を経た光軸が光軸偏向切換え手段で偏向
され所定周波数で切り換えられて第二のレンズ手段で光
学的感応手段に導かれ、その光学的感応手段から出力さ
れる映像信号が処理ユニットで処理されることにより、
高さが一定でない大面積の対象物であっても、その対象
物パターン全面の画像を高速で高精度に取込むことがで
きる。
は、数式により決定される値で視野の概略位置決めがな
され、測定データより作成される補正テーブル値で装置
固有の誤差を補正して光軸偏向切換え手段を制御するこ
とにより、さらに高精度の対象物パターン画像を取込
む。
はこの発明の一実施例による画像取込み装置を示すブロ
ック図であり、従来技術である図8に示した相当部分に
は同一符号を付しその説明を省略する。図において、1
0は中央部が凸形状の被検査対象物(対象物)、11及
び12は揺動可能に形成されそれぞれ被検査対象物10
上で直交する向きに光軸13を偏向させるガルバノミラ
ー(光軸偏向切換え手段)、14はガルバノミラー1
1,12と被検査対象物10との間に配設され焦点距離
がf1のレンズ手段(第一のレンズ手段)、DST0は
レンズ手段14と被検査対象物10の中央部との距離で
ある。この距離DST0は可変自在となっている。15
はガルバノミラー11,12の動作を制御し視野位置決
めを行うためのガルバノ制御ユニット(制御ユニッ
ト)、16は測定データより作成された補正テーブルで
ある。このガルバノ制御ユニット15は数式により決定
される値と測定データより作成される補正テーブル値と
を加算して視野位置決めを行えるように形成されてい
る。
値で視野位置決めを行うことによりなされるが、そのま
までは装置固有の誤差を含んでおり、正確なパターン位
置への視野位置決めができない。そこで、予め概略位置
決めされた状態で図示しない基準パターンとのずれを測
定し、作成したおいたものが上記補正テーブル16であ
る。
って、被検査対象物10の全面上でレンズ手段14の焦
点を合わせる原理を図について説明する。図2はこの発
明の一実施例によるレンズ手段1個の光学系を示すブロ
ック図、図3は図2の拡大図であり、図において、WD
は被検査対象物10のワーク面とレンズ手段14の中心
との距離であるワーキングディスタンス、MD1はガル
バノミラー11若しくはガルバノミラー12のミラーの
回転中心とレンズ手段14の中心との距離、DEFLは
偏向量、KD1はガルバノミラー11若しくはガルバノ
ミラー12のミラーの回転中心と光学的感応手段6のカ
メラ面との距離である。なお、このカメラ面を置く位置
は、レンズ手段14の中心を通る光線と、レンズ手段1
4の中心より後述する距離L0FF1離れた所を通る光
線とが結像する位置である。
0、A、B、B1、C、D、E、Gを決める。そして、
点DG間の距離をL0FF1、点A0間の距離をM0F
F、点BD間の距離を11と定義する。さらに、角度A
G0をα、角度BDEをαf、角度A0Cをαm、角度
0BB1をαk、角度0DGをαm0、線分BB1と線
分EBの延長戦とのなす角をβと定義すると以下の関係
が成り立ち、距離KD1が求められる。すなわち、 α= tan−1(DEFL/WD) αf= tan−1(L0FF1/f1+(DEFL−L0FF1)/WD) αm=(90゜−α)/2 αk=90゜−αm−αf αm0= tan−1(MD1/L0FF1) β=αm−αk また、三角形A0G、B0Dより、以下の関係が成り立
つ。 M0FF=MD1・ sin(α)/ sin(αm) l1=(MD12+L0FF12)1/2・sin(αm0−αm) /sin(180゜−αk) またさらに、点0を原点としたので、点A、点B1の座
標は、以下のように示される。 A=(M0FF・ cos(αm),M0FF・sin(αm)) B1=(0,l1・ cos(αf)−MD1 +(L0FF1−l1・ sin(αf))・ tan(β))
対象物10がその中央部とレンズ手段14との距離が距
離DST0となるように配置される。次にガルバノミラ
ー11,12により、光軸13が高速に切り換えられ、
被検査対象物10上の各パターン画像がレンズ手段14
を介してTVカメラ等の光学的感応手段6により撮影さ
れ、処理ユニット7で処理される。かかる場合、適正な
レンズ手段14を配置することで、近軸の光学特性よ
り、被検査対象物10が中央部の高い凸形状かつ大面積
であっても、その全面上で焦点を合わせることができ
る。すなわち、これは偏向量DEFLの増加とともに焦
点位置が遠くなる現象を利用したものである。なお、被
検査対象物10の高さが一定でない場合は、ミラー偏向
視野により光学系の倍率が変化してパターンの大きさが
変わるため、処理ユニット7により倍率補正を行う。
光軸13を偏向させた時の焦点位置の変化を図について
説明する。図4はこの発明の一実施例によるレンズ手段
1個の光学系について焦点位置の変化を示すグラフ図で
ある。この図4は、偏向量DEFLを0mmから120
mmまで変化させミラー回転中心とカメラ面の距離KD
1について、DEFL=0mmの時との差をカメラ面位
置変化量としてプロットしたものである。なお、計算に
際しては、レンズ手段14の焦点位置をf1=225m
m、その他の各距離をL0FF1=10mm、MD1=
150mmとした。
もに焦点位置が遠くなることがわかる。したがって実施
例1の構成によれば、光学的感応手段6のカメラ面位置
を固定することによって、中央部の高い凸形状の被検査
対象物10上で焦点を合わせることができ、対象物パタ
ーン全面で解像度の良い画像を得ることができる。ま
た、従来必要としていた可動ステージは不要になり、装
置全体も小型化できる。
成を示すブロック図、図6は図5の光学系の概略を示す
ブロック図、図7は図6の拡大図であり、図において、
17は焦点距離f2のレンズ手段(第二のレンズ手段)
である。すなわち、本実施例は上記実施例1の構成にお
いて、光学的感応手段6のカメラ面とガルバノミラー1
2等の反射ミラーとの間にレンズ手段17を配設したも
のである。なお、従来技術及び実施例1に示した相当部
分には同一符号を付し、その説明を省略する。MD2は
ガルバノミラー11若しくはガルバノミラー12のミラ
ーの回転中心とレンズ手段17の中心との距離、KD2
はレンズ手段17と光学的感応手段6のカメラ面との距
離である。なお、このカメラ面を置く位置は、レンズ手
段14の中心を通る光線と、レンズ手段14の中心より
上述した距離L0FF1離れた所を通る光線とがレンズ
手段17を介して結像する位置である。
の中央部との距離である距離DST0と焦点距離f1と
を次のように設定する。すなわち、被検査対象物10が
中央部の高い凸形状の場合に距離DST0>焦点距離f
1、被検査対象物10が中央部の低い凹形状の場合にD
ST0<f1、被検査対象物10の高さが一定の場合に
DST0=f1と設定するものとする。
って、被検査対象物10のパターン全面上で解像度の良
い画像を得るための原理を図について説明する。図7よ
り、以下の関係が成り立つ。 α= tan−1(DEFL/WD) αf= tan−1(L0FF1/f1+(DEFL−L0FF1)/WD) αm=(90゜−α)/2 αk=90゜−αm−αf αm0= tan−1(MD1/L0FF1) β=αm−αk M0FF=MD1・ sin(α)/ sin(αm) l1=(MD12+L0FF12)1/2・sin(αm0−αm) /sin(180゜−αk)
座標系に点A2、B2を決める。そして、点B2のY座
標を−L0FF2、点Fを点A2からの光線と点B2か
らの光線が結像する点とし、線分B2FとX軸のなす角
度をγと定義すると以下の関係が成り立ち、距離KD2
が求められる。すなわち、 A2=(MD2,M0FF・ sin(αm)) B2=(md2,−L0FF2) F=(MD2+KD2,y) L0FF2=MD1−l1・ cos(αf) −(md2+l0ff1−l1・sin(αf))・ tan(β) γ= tan−1(L0FF2/f2+ tan(β))
対象物10が中央部とレンズ手段14との距離がDST
0となるように置かれる。次にガルバノミラー11,1
2により、光軸13が高速に切り換えられ、被検査対象
物10上の各パターン画像がレンズ手段14、レンズ手
段17を介してTVカメラ等の光学的感応手段6により
撮影され、処理ユニット7で処理される。かかる場合
に、適正なレンズ手段14、レンズ手段17を配置する
ことで、近軸の光学特性より、各種形状の大面積の被検
査対象物10全面上で焦点を合わせることができる。す
なわち、DST0>f1の場合にあっては偏向量DEF
Lの増加とともに焦点位置が遠くなり、DST0<f1
の場合似合っては偏向量DEFLの増加とともに焦点位
置が近くなり、DST0=f1の場合にあっては焦点位
置が一定となる現象を利用したものである。なお、ガル
バノ制御ユニット15と処理ユニット7による補正動作
は、実施例1の場合と同様である。
光軸13を偏向させた時の焦点位置の変化を図について
説明する。図8はこの発明の一実施例によるレンズ手段
2個の光学系について焦点位置の変化を示すグラフ図で
あり、偏向量DEFLを0mmから120mmまで変化
させ、レンズ手段17とカメラ面の距離KD2につい
て、DEFL=0mmの時との差をカメラ面位置変化量
としてプロットしたものである。なお、レンズ手段1
4,17の焦点距離についてはそれぞれf1=450m
m、f2=400mm、各距離については、L0FF1
=10mm、MD1=150mm、MD2=200mm
として計算した。
Dの設定により、偏向量DEFLの増加とともに焦点位
置の遠近W制御できることがわかる。したがって実施例
2の構成によれば、光学的感応手段6のカメラ面位置を
固定することによって、被検査対象物10の形状に応じ
てレンズ手段14と被検査対象物10中央部との距離D
ST0を設定すれば、各種形状の大面積の被検査対象物
上に焦点を合わせることができ、対象物パターン全面で
解像度の良い画像を得ることができる。また、従来必要
としていた可動ステージは不要となり、装置全体も小型
化できる。
により、被検査対象物10上で直交する2軸に光軸が偏
向される場合について説明したが、ガルバノミラー1つ
で、1軸のみに光軸が偏向されるような構成としてもよ
い。かかる構成によっても、対象物パターン全面で解像
度の良い画像を得ることができ、また従来必要としてい
た可動ステージは不要になり、装置全体も小型化でき
る。
ば、第一のレンズ手段と、この第一のレンズ手段を経た
光軸を偏向させ所定周波数で切り換える光軸偏向切換え
手段と、この光軸偏向切換え手段を経た光学的な像に感
応し所定の映像信号を出力する光学的感応手段と、この
光学的感応手段と前記光軸偏向切換え手段との間に配設
されその光軸偏向切換え手段を経た光学的な像を前記光
学的感応手段に導く第二のレンズ手段と、前記光学的感
応手段から出力される前記映像信号を処理して前記対象
物の画像を得る処理ユニットとを備え、前記第一のレン
ズ手段と前記対象物の中央部との距離をDST0とし前
記第一のレンズ手段の焦点距離をf1とすると、前記対
象物が中央部の高い凸形状の場合にはDST0>f1、
前記対象物が中央部の低い凹形状の場合にはDST0<
f1、前記対象物の高さが一定の場合にはDST0=f
1と設定可能に形成するように構成したので、可動ステ
ージが不要となって装置全体を小型化できるものであり
ながら、高さが一定でない大面積の対象物であっても、
その対象物パターン全面の画像を高速で高精度に取込む
ことができる効果がある。
される値と測定データより作成される補正テーブル値と
を加算し、前記光軸偏向切換え手段を制御して視野位置
決めを行う制御ユニットを備えるように構成したので、
請求項1の発明よりもさらに高精度の対象物パターン画
像を取込むことができる効果がある。
構成を示すブロック図である。
光学系を示すブロック図である。
光学系について焦点位置の変化を示すグラフ図である。
の構成を示すブロック図である。
る。
光学系について焦点位置の変化を示すグラフ図である。
図である。
対象物(対象物)、11,12 ガルバノミラー(光軸
偏向切換え手段)、13 光軸、14 レンズ手段(第
一のレンズ手段)、DST0 距離、15 ガルバノ制
御ユニット(制御ユニット)、16 補正テーブル、1
7 レンズ手段(第二のレンズ手段)。
Claims (2)
- 【請求項1】 対象物の光学的な像を得る第一のレンズ
手段と、前記第一のレンズ手段を経た光軸を偏向させ所
定周波数で切り換える光軸偏向切換え手段と、前記光軸
偏向切換え手段を経た光学的な像に感応し所定の映像信
号を出力する光学的感応手段と、前記光軸偏向切換え手
段と前記光学的感応手段との間に配設され前記光軸偏向
切換え手段を経た光学的な像を前記光学的感応手段に導
く第二のレンズ手段と、前記光学的感応手段から出力さ
れる前記映像信号を処理して前記対象物の画像を得る処
理ユニットとを備え、前記第一のレンズ手段と前記対象
物の中央部との距離をDST0とし前記第一のレンズ手
段の焦点距離をf1とすると、前記対象物が中央部の高
い凸形状の場合にはDST0>f1、前記対象物が中央
部の低い凹形状の場合にはDST0<f1、前記対象物
の高さが一定の場合にはDST0=f1と設定可能に形
成したことを特徴とする画像取込み装置。 - 【請求項2】 数式により決定される値と測定データに
より作成される補正テーブル値とを加算し、前記光軸偏
向切換え手段を制御して視野位置決めを行う制御ユニッ
トを備えたことを特徴とする請求項1記載の画像取込み
装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP03861395A JP3406412B2 (ja) | 1995-02-27 | 1995-02-27 | 画像取込み装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP03861395A JP3406412B2 (ja) | 1995-02-27 | 1995-02-27 | 画像取込み装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH08233554A JPH08233554A (ja) | 1996-09-13 |
JP3406412B2 true JP3406412B2 (ja) | 2003-05-12 |
Family
ID=12530117
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP03861395A Expired - Lifetime JP3406412B2 (ja) | 1995-02-27 | 1995-02-27 | 画像取込み装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3406412B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH1137731A (ja) | 1997-07-24 | 1999-02-12 | Sumitomo Kinzoku Erekutorodebaisu:Kk | 画像取込みシステム |
CN102944561B (zh) * | 2012-11-16 | 2015-07-29 | 北京金橙子科技有限公司 | 一种矩阵式小器件的外观检测方法及装置 |
-
1995
- 1995-02-27 JP JP03861395A patent/JP3406412B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH08233554A (ja) | 1996-09-13 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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