JPH06240032A - 帯電防止透明アクリル樹脂プレートの製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】帯電防止性及び透明性に優れると共に、機械加
工性に適した帯電防止透明アクリル樹脂プレートの製造
方法。 【構成】透明アクリル樹脂プレートの表面を、不活性ガ
ス、気相状の含フッ素化合物及び酸素の混合気体を用い
てプラズマ処理する第１の工程と、該アクリル樹脂プレ
ートのプラズマ処理面上に、下記（ａ）〜（ｅ）からな
る導電性塗料組成物を塗布し塗膜を形成する第２の工程
と、該塗膜に紫外線を照射して硬化させ導電層を形成す
る第３の工程と、該導電層をバフ研磨処理する第４の工
程からなる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は帯電防止透明アクリル樹
脂プレートの製造方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】半導体ウェハー保存容器、電子、電気部
材、半導体の製造工場の床材、壁材などは、多くの場合
帯電防止性を有するものが必要とされる。

【０００３】一般に、合成樹脂を材料とする成形体に帯
電防止性能を付与するために、例えば、カーボン粉末や
金属粉末入り塗料でコーティングしたり、あるいは、カ
ーボン粉末、カーボン繊維や金属繊維等を成形時に合成
樹脂に練り混んで成形する方法が行われている。

【０００４】しかしながら、上記の方法では、塗料や成
形体自体の着色により透明なものが得られず、窓等の部
分に使用した場合、内容物を透視することができないと
いう問題点があった。

【０００５】特に、クリーンルーム等で使用される機器
カバー類には、帯電防止性に加えて、透明性、耐摩耗
性、耐薬品性及び成形時の加工性等が要求される。

【０００６】このような要求に対して、透明性の優れた
導電性塗料として、特開昭５８−９１７７７号公報に
は、平均粒径０．４μｍ以下の酸化錫を主成分とする導
電性微粉末をバインダー中に分散させた塗料が開示され
ている。しかしながら、この塗料はバインダーが熱可塑
性樹脂であるため、耐磨耗性及び耐溶剤性の十分な塗膜
が得られないという問題点があった。

【０００７】さらに、特開昭６０−６０１６６号公報に
は、酸化錫を主成分とする導電性微粉末を光硬化性塗料
バインダー中に含有した塗料が開示されている。この塗
料から得られた塗膜は、透明性、帯電防止性が優れてい
るものの、耐摩耗性、耐薬品性が十分ではなかった。

【０００８】また、穴開け加工等の加工性向上を目的と
して、分子量３０万以上のアクリル樹脂プレートを用い
た場合、上記塗料は塗膜の密着性が不足して、塗膜が剥
離する等の問題点があった。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】本発明は、上記問題点
に鑑みてなされたものであり、その目的は、帯電防止性
及び透明性に優れると共に、機械加工性に適した帯電防
止透明アクリル樹脂プレートの製造方法を提供すること
にある。

【００１０】

【課題を解決するための手段】本発明の製造方法におけ
る第１の工程では、透明アクリル樹脂プレート表面に親
水性を付与するために、不活性ガス、気相状の含フッ素
化合物及び酸素の混合気体を用いてプラズマ処理が行わ
れる。

【００１１】上記不活性ガスとしては、例えば、Ａｒ、
Ｈｅ等が挙げられ、Ｎ₂ 、Ｎｅ等が含まれていてもよ
い。

【００１２】上記含フッ素化合物としては、常温で気相
状あるいはプラズマ処理時の温度で気相となるものであ
れば、特に限定されないが、低毒性かつ不燃性のＣ
Ｆ₄ 、Ｃ ₂ Ｆ₆ 等、あるいは不燃性かつ非腐食性のＳＦ
₆ 、ＮＦ₃ 等が挙げられる。

【００１３】上記プラズマ処理に使用されるプラズマを
発生させるための放電方式としては、特に限定されない
が、例えば、内部電極方式による直流グロー放電及び低
周波放電；内部電極方式、外部電極方式及びコイル型方
式による高周波放電等が挙げられる。プラズマ処理時の
圧力は、特に限定されないが、装置、生産設備、製造コ
スト、大面積基板の処理を考慮すると、大気圧での処理
が好ましい。

【００１４】本発明の製造方法における第２の工程で
は、前工程でプラズマ処理を行った上記樹脂プレートの
プラズマ処理面上に、後述する導電性塗料組成物を塗布
し塗膜を形成する。

【００１５】上記塗膜を形成する方法としては、上記樹
脂プレート上に導電性塗料組成物を塗布した後、熱風、
赤外線等で乾燥する方法が挙げられる。

【００１６】導電性塗料を塗布するには、例えば、スプ
レー法、ロールコーター法、バーコート法、ドクターブ
レード法等一般的な塗布方法が挙げられる。

【００１７】上記導電性塗料組成物は、導電性粉末
（ａ）、塗料バインダー（ｂ）、アセタール樹脂
（ｃ）、光重合開始剤（ｄ）及び有機溶剤（ｅ）からな
る。

【００１８】上記導電性粉末（ａ）は酸化錫を主成分と
する。上記酸化錫中には酸化アンチモンを含有するもの
が好ましく、その含有量は多くなっても、少なくなって
も塗膜の導電性が低下するので、０．１〜２０重量％が
好ましい。

【００１９】また、上記導電性粉末（ａ）の粒径は、小
さくなると塗膜の導電性が低下し、大きくなると可視光
線を散乱し塗膜の透明性が低下するので、０．０１〜
０．４μｍに限定される。

【００２０】上記塗料バインダー（ｂ）は、分子内に少
なくとも２個以上の（メタ）アクリロイル基を有する
（メタ）アクリレート化合物を主成分とするものであ
る。このような（メタ）アクリレート化合物としては、
例えば、エチレングリコールジ（メタ）アクリレート、
ジエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、トリエ
チレングリコールジ（メタ）アクリレート、テトラエチ
レングリコールジ（メタ）アクリレート、ノナエチレン
グリコールジ（メタ）アクリレート、ポリエチレングリ
コールジ（メタ）アクリレート、トリプロピレングリコ
ールジ（メタ）アクリレート、テトラプロピレングリコ
ールジ（メタ）アクリレート、ノナプロピレングリコー
ルジ（メタ）アクリレート、ポリプロピレングリコール
ジ（メタ）アクリレート、２，２−ビス〔４−（アクリ
ロキシジエトキシ）フェニル〕プロパン、２，２−ビス
〔４−（メタクリロキシジエトキシ）フェニル〕プロパ
ン、３−フェノキシ−２−プロパノイルアクリレート、
１，６−ビス（３−アクリロキシ−２−ヒドロキシプロ
ピル）−ヘキシルエーテル等の２官能（メタ）アクリレ
ート；ペンタエリスルトールトリ（メタ）アクリレー
ト、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレー
ト、グリセロールトリ（メタ）アクリレート、トリス−
（２−ヒドロキシルエチル）−イソシアヌル酸エステル
（メタ）アクリレート等の３官能（メタ）アクリレー
ト；ペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレー
ト、ジペンタエリスルトールペンタ（メタ）アクリレー
ト、ジペンタエリスルトールヘキサ（メタ）アクリレー
トの４官能以上の（メタ）アクリレート等が挙げられ
る。

【００２１】上記以外の（メタ）アクリレート化合物と
しては、分子末端に（メタ）アクリロイル基を２個以上
有し、分子内にウレタン結合を有するアクリル系ウレタ
ンオリゴマーが挙げられ、該オリゴマーを用いると塗膜
の耐摩耗性が一層向上する。

【００２２】上記アクリル系ウレタンオリゴマーは、例
えば、１分子内に２個以上のイソシアネート基を有する
化合物と、活性水素を有する（メタ）アクリレートを作
用させることにより調製される。

【００２３】上記１分子内に２個以上のイソシアネート
基を有する化合物としては、例えば、ｍ−フェニレンジ
イソシアネート、ｐ−フェニレンジイソシアネート、ト
ルエン−２，４−ジイソシアネート、トルエン−２，５
−ジイソシアネート、トルエン−２，６−ジイソシアネ
ート、トルエン−３，５−ジイソシアネート、ｍ−キシ
リレンジイソシアネート、ｐ−キシリレンジイソシアネ
ート、ヘキサメチレンジイソシアネート、トリメチルヘ
キサメチレンジイソシアネート、イソホロンジイソシア
ネート、４，４’−ジフェニルメタンジイソシアネー
ト、４，４’−ジイソシアネート−３，３’−ジメチル
ビフェニル、４，４’−ジイソシアネート−３，３’−
ジメチルビフェニルメタン等が挙げられる。

【００２４】上記活性水素を有する（メタ）アクリレー
トとしては、例えば、２−ヒドロキシエチル（メタ）ア
クリレート、２−ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレ
ート、３−ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、
グリセリンジ（メタ）アクリレート、１，６−ビス（３
−アクリロキシ−２−ヒドロキシプロピル）−ヘキシル
エーテル、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレ
ート、トリス−（２−ヒドロキシエチル）イソシアヌル
酸エステル（メタ）アクリレート、（メタ）アクリル酸
等が挙げられる。

【００２５】上記（メタ）アクリレート化合物は単独で
用いられても併用されてもよく、併用される場合は、上
記（メタ）アクリル系ウレタンオリゴマーが併用される
のが好ましい。

【００２６】上記（メタ）アクリル系ウレタンオリゴマ
ーの量は、多くなっても少なくなっても、塗膜の耐摩耗
性が低下するので、塗料バインダー（ｂ）中１０〜９０
重量％が好ましい。

【００２７】導電性塗料組成物中、上記塗料バインダー
（ｂ）の量は、少なくなると塗膜の機械的強度が低下
し、多くなると導電性粉末（ａ）の分散性が悪化し塗膜
の透明性が低下するので、導電性粉末（ａ）１００重量
部に対して１０〜１００重量部に限定され、好ましくは
２０〜６０重量部である。

【００２８】上記アセタール樹脂（ｃ）は、主鎖のビニ
ル基にアセタール基が結合した部分と水酸基が結合した
部分から構成され、導電性粉末（ａ）の分散性を向上さ
せるために配合される。

【００２９】上記アセタール樹脂（ｃ）は、ポリビニル
アルコールにアルデヒドを縮合反応させてアセタール化
することにより得られるものであり、アセタール化に
は、酸触媒の存在下で水系媒体を用いる沈殿法や、アル
コール等の溶媒を用いる溶解法等公知の方法が採用され
る。なお、原料としてポリ酢酸ビニルを用い、ケン化と
アセタール化とを並行的に行って、ポリビニルアセター
ル樹脂を得ることもできる。

【００３０】上記アセタール樹脂（ｃ）において、水酸
基が結合したビニル基の部分が少なくなると、前記導電
性粉末（ａ）を分散する能力が不足して透明性が低下
し、多くなると有機溶剤への溶解性が低下し塗料の作製
が困難になるとともに、得られた塗膜の耐水性が低下す
るので、水酸基が結合しているビニル基のモル％は、主
鎖中の全ビニル基に対して２０〜８０モル％に限定され
る。

【００３１】また、上記アセタール樹脂（ｃ）は、側鎖
にアセチル基が含有されてもよく、その含有量は、主鎖
中の全ビニル基に対するアセチル基が結合しているビニ
ル基量として、１０モル％以下が好ましい。

【００３２】上記アセタール樹脂（ｃ）の量は、少なく
なると、導電性粉末（ａ）の分散性が悪くなって透明性
が低下し、増粘効果も得られず塗工性が悪くなり、多く
なると、塗膜の硬度や耐摩耗性が低下するので、導電性
粉末（ａ）１００重量部に対して、１〜３０重量部に限
定され、好ましくは２〜２５重量部である。

【００３３】上記光重合開始剤（ｄ）としては、紫外
線、可視光線等の活性光線により、重合を開始させる性
質を有するものであればよい。

【００３４】上記光重合開始剤（ｄ）のうち、紫外線で
活性化するものとしては、例えば、ソジウムメチルジチ
オカーバメイトサルファイド、テトラメチルチウラムモ
ノサルファイド、ジフェニルモノサルファイド、ジベン
ゾチアゾイルモノサルファイド及びジサルファイドなど
のサルファイド類；チオキサントン、２−エチルチオキ
サントン、２−クロロチオキサントン、２，４−ジエチ
ルチオキサントン等のチオキサントン誘導体；ヒドラゾ
ン、アゾビスイソブチロニトリル、ベンゼンジアゾニウ
ム等の（ジ）アゾ化合物；ベンゾイン、ベンゾインメチ
ルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾフェノ
ン、ジメチルアミノベンゾフェノン、ミヒラーケトン、
ベンジルアントラキノン、ｔ−ブチルアントラキノン、
２−メチルアントラキノン、２−エチルアントラキノ
ン、２−アミノアントラキノン、２−クロロアントラキ
ノン等の芳香族カルボニル化合物；ｐ−ジメチルアミノ
安息香酸メチル、ｐ−ジメチルアミノ安息香酸エチル、
ｐ−ジメチルアミノ安息香酸ブチル、ｐ−ジエチルアミ
ノ安息香酸イソプロピル等のジアルキルアミノ安息香酸
エステル類；ベンゾイルパーオキサイド、ジ−ｔ−ブチ
ルパーオキサイド、ジクミルパーオキサイド、キュメン
ハイドロパーオキサイド等の過酸化物；９−フェニルア
クリジン、９−ｐ−メトキシフェニルアクリジン、９−
アセチルアミノアクリジン、ベンズアクリジン等のアク
リジン誘導体；９，１０−ジメチルベンズフェナジン、
９−メチルベンズフェナジン、１０−メトキシベンズフ
ェナジン等のフェナジン誘導体；６，４’，４”−トリ
メトキシ−２，３−ジフェニルキノキサリン等のキノキ
サリン誘導体；２，４，５−トリフェニルイミダゾイル
二量体等が挙げられる。

【００３５】また、可視光線で活性化するものとして
は、例えば、２−ニトロフルオレン、２，４，６−トリ
フェニルピリリウム四弗化ホウ素塩、２，４，６−トリ
ス（トリクロロメチル）−１，３，５−トリアジン、
３，３’−カルボニルビスクマリン、チオミヒラーケト
ン等が挙げられる。

【００３６】本発明では、導電性粉末（ａ）が３５０ｎ
ｍ以下の紫外線を強く吸収し、４００ｎｍ以上では着色
が強くなるために、光重合開始剤（ｅ）の最大吸収波長
は３５０〜４００ｎｍの範囲にあるものが好ましい。

【００３７】また、上記光重合開始剤（ｄ）には、酸素
阻害による感度の低下を防止するため、アミン化合物を
併用してもよい。このようなアミン化合物としては、脂
肪族アミン、芳香族アミン等不揮発性のものであれば、
特に限定されない。

【００３８】導電性塗料組成物中、上記光重合開始剤
（ｄ）の量は、少なくなると重合反応が進行せず、塗膜
の硬度及び耐摩耗性が不十分なものとなり、多くなると
塗膜の表面近傍のみで硬化が起こり、塗膜内部まで完全
に硬化し難くなるので、導電性粉末（ａ）１００重量部
に対して０．１〜１０重量部に限定される。

【００３９】上記有機溶剤（ｅ）としては、アセタール
樹脂（ｃ）を溶解するものであれば、特に限定されず、
例えば、メタノール、メチルエチルケトン、シクロヘキ
サノン、エチレングリコールモノメチルエーテル（メチ
ルセロソルブ）、エチレングリコールモノエチルエーテ
ル（エチルセロソルブ）等が挙げられ、これらは単独で
用いられてもよく、混合して使用されてもよい。

【００４０】導電性塗料組成物中、有機溶剤（ｅ）の量
は、多くなっても少なくなっても塗工作業が困難になる
と共に、導電性粉末（ａ）の分散性が低下するので、導
電性粉末（ａ）１００重量部に対して１００〜１０００
重量部に限定される。

【００４１】上記光硬化性導電性塗料組成物には、紫外
線吸収剤、酸化防止剤、熱重合禁止剤、表面改質剤、脱
泡剤等の各種添加剤が添加されていてもよい。

【００４２】上記塗料組成物は、全成分（ａ）〜（ｅ）
を一度に加えて混合することによっても調製できるが、
塗料バインダー（ｂ）、光重合開始剤（ｅ）等を有機溶
剤（ｆ）に加えて混合、溶解した後、アセタール樹脂
（ｄ）と導電性粉末（ａ）を少しずつ加えさらに混合す
る方がより短時間に調製可能である。

【００４３】混合には、塗料の分散や配合に通常用いら
れる装置、例えば、サンドミル、ボールミル、アトライ
ター、高速回転攪拌装置、三本ロール等が使用される。

【００４４】本発明の製造方法における第３の工程で
は、前工程で得られた塗膜に紫外線を照射して硬化さ
せ、導電層を形成する。

【００４５】紫外線照射に使用される光源としては、高
圧水銀ランプ、メタルハライドランプ等が挙げられる。
また、照射量は少なくなると塗膜の硬化が不十分とな
り、硬度、耐摩耗性、樹脂プレートへの密着性が低下す
るので、３６５ｎｍの積算露光量として５００ｍＪ／ｃ
ｍ² 以上が好ましい。

【００４６】上記紫外線の照射量は、少なくなると硬化
が不十分となり、多くなるとそれ以上硬化が進行せず、
逆に紫外線による劣化が起こるので、１，０００〜１
０，０００ｍＪ／ｃｍ² が好ましい。

【００４７】導電層の厚さは薄くなると導電性及び耐摩
耗性が低下し、厚くなると透明性が低下するので、０．
５〜３μｍが好ましい。

【００４８】本発明の製造方法における第４の工程で
は、前工程で得られた導電層をバフ研磨処理する。

【００４９】上記バフ研磨処理により、導電層の透明性
が向上すると共に、表面の脱落し易い微粉末が除去され
るので塵の発生がなくなり、塵埃を極度に嫌う半導体の
製造装置に好適に用いられる。

【００５０】バフ研磨処理としては、例えば、直径３０
ｃｍのウール性ポリッシャーを３０００ｒｐｍで回転さ
せる方法が挙げられる。

【００５１】

【実施例】以下に、本発明の実施例を説明する。 〔導電性塗料組成物Ａの調製〕ジペンタエリスリトール
ヘキサアクリレート３８重量部、ヒドロキノン０．１重
量部、エチルセロソルブ３５０重量部、２，２−ジエチ
ルチオキサントン１重量部及びジエチルアミノアセトフ
ェノン１重量部をアトライターに仕込み、混合して溶解
させた後、粒径０．０２μｍの酸化アンチモン含有導電
性粉末（三菱マテリアル社製「Ｔ−１」）１００重量
部、残存水酸基３４モル％、ブチラール化度６５モル
％、アセチル基１モル％及び重合度１９００のアセター
ル樹脂１０重量部を混合させながら２０分間かけて添加
した。さらに、１０時間分散させて導電性塗料組成物を
調製した（以下塗料組成物Ａという）。

【００５２】〔導電性塗料組成物Ｂの調製〕粒径０．０
２μｍの酸化アンチモン含有導電性粉末（三菱マテリア
ル社製「Ｔ−１」）１００重量部、残存水酸基３３モル
％、ブチラール化度４０モル％、アセトアセタール化度
２６モル％、アセチル基１モル％及び重合度２０００の
アセタール樹脂１７重量部、ペンタエリスリトールテト
ラアクリレート３４重量部、ヒドロキノン０．１重量
部、エチルセロソルブ３９０重量部、ベンゾフェノン１
重量部及びミヒラーケトン１重量部をアトライターに仕
込み、２４時間分散させて導電性塗料組成物を調製した
（以下塗料組成物Ｂという）。

【００５３】〔導電性塗料組成物Ｃの調製〕粒径０．０
２μｍの酸化アンチモン含有導電性粉末（三菱マテリア
ル社製「Ｔ−１」）１００重量部、ジペンタエリスリト
ールヘキサアクリレート５０重量部、ヒドロキノン０．
１重量部、エチルセロソルブ３５０重量部、ベンゾフェ
ノン１重量部及びミヒラーケトン１重量部をアトライタ
ーに仕込み、２４時間分散させて導電性塗料組成物を調
製した（以下塗料組成物Ｃという）。

【００５４】（実施例１）厚さ３ｍｍ、分子量５５万の
アクリル樹脂プレートをプラズマ反応容器内に入れ、Ｈ
ｅガスを１０リットル／分、ＣＦ₄ を０．２リットル／
分、Ｏ₂ ０．２リットル／分の流量で流しながら、周波
数１０ｋＨｚ、電圧２４００Ｖ、電力２００Ｗで６０秒
間印加した〔第１の工程〕。

【００５５】次いで、アクリル樹脂プレートの両面に、
バーコーターを用いて乾燥後の膜厚が１．５μｍになる
ように塗料組成物Ａを塗布し塗膜を形成した後、常温で
３０分間乾燥し、さらに５０℃で１０分間熱風乾燥させ
た〔第２の工程〕。

【００５６】次に、この塗膜を、１２０Ｗ／ｃｍ² の高
圧水銀ランプを用いて、高さ２００ｍｍから積算照射量
が２５００ｍＪ／ｃｍ² となるように紫外線を照射して
硬化させ導電層を形成した〔第３の工程〕。得られた導
電層を、直径３０ｃｍのウール性ポリッシャー（３，０
００ｒｐｍ）によりバフ仕上げした〔第４の工程〕。

【００５７】（実施例２）塗料組成物Ａに代えて塗料組
成物Ｂを使用し、第１の工程の印加電圧を４０００Ｖ、
電力を２７００Ｗとしたこと以外は、実施例１と同様に
して、アクリル樹脂プレートの両面に導電層を形成し
た。

【００５８】（実施例３）第１の工程の印加時間を１５
分間としたこと以外は、実施例１と同様にして、アクリ
ル樹脂プレートの両面に導電層を形成した。

【００５９】（比較例１）アクリル樹脂プレートにプラ
ズマ処理をしなかったこと以外は、実施例１と同様にし
て、アクリル樹脂プレートの両面に導電層を形成した。

【００６０】（比較例２）アクリル樹脂プレートにプラ
ズマ処理をしなかったこと以外は、実施例２と同様にし
て、アクリル樹脂プレートの両面に導電層を形成した。

【００６１】（比較例３）塗料組成物Ａに代えて塗料組
成物Ｃを使用し、アクリル樹脂プレートにプラズマ処理
をしなかったこと以外は、実施例３と同様にして、アク
リル樹脂プレートの両面に導電層を形成した。

【００６２】〔光硬化性導電塗料組成物の塗膜の性能評
価〕上記実施例及び比較例で得られたアクリル樹脂プレ
ート（但し、接触角の測定は導電層のないアクリル樹脂
プレート使用）につき、下記項目の性能評価を行いその
結果を表１に示した。 （１）接触角 プラズマ処理した状態のアクリル樹脂プレートと水との
接触角を接触角計（共和界面科学社製）により測定し、
表面エネルギーの指標とした。 （２）帯電防止性 表面固有抵抗をＡＳＴＭ Ｄ２５７に準拠して測定し、
帯電防止性の指標とした。 （３）透明性 ＡＳＴＭ Ｄ１００３に準拠して全光線透過率及び曇価
を測定し、透明性の指標とした。 （４）密着性 導電層上に、縦横各１ｍｍ幅の直線の切れ目を入れて１
００個の碁盤目を作り、粘着テープを貼り付けた後剥離
し、残存した碁盤目の面積を百分率で示した。

【００６３】

【表１】

【００６４】

【発明の効果】本発明の帯電防止透明アクリル樹脂プレ
ートの製造方法は、上に述べた通りであり、透明性、帯
電防止性に優れると共に、機械加工に適したアクリル樹
脂プレートを提供するので、この帯電防止透明アクリル
樹脂プレートを半導体工場や一般のクリーンルーム用の
部材として好適に使用することができる。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁵ 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｃ０９Ｄ 5/00 ＰＰＭ 6904−4Ｊ 129/14 ＰＦＱ 6904−4Ｊ 175/16 ＰＤＺ 8620−4Ｊ

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】透明アクリル樹脂プレートの表面を、不活
   性ガス、気相状の含フッ素化合物及び酸素の混合気体を
   用いてプラズマ処理する第１の工程と、該アクリル樹脂
   プレートのプラズマ処理面上に、下記（ａ）〜（ｅ）か
   らなる導電性塗料組成物を塗布し塗膜を形成する第２の
   工程と、該塗膜に紫外線を照射して硬化させ導電層を形
   成する第３の工程と、該導電層をバフ研磨処理する第４
   の工程からなることを特徴とする帯電防止透明透明アク
   リル樹脂プレートの製造方法。 （ａ）粒径０．０１〜０．４μｍの酸化錫を主成分とす
   る導電性粉末１００重量部。 （ｂ）分子内に少なくとも２個以上の（メタ）アクリロ
   イル基を有する（メタ）アクリレート化合物を主成分と
   する塗料バインダー１０〜１００重量部。 （ｃ）水酸基が結合しているビニル基のモル％が、主鎖
   中の全ビニル基に対して２０〜８０モル％であるアセタ
   ール樹脂１〜３０重量部。 （ｄ）光重合開始剤０．１〜１０重量部。 （ｅ）有機溶剤１００〜１０００重量部。