JPH06231897A - 静電気の除去方法およびその装置 - Google Patents
静電気の除去方法およびその装置Info
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- JPH06231897A JPH06231897A JP1874993A JP1874993A JPH06231897A JP H06231897 A JPH06231897 A JP H06231897A JP 1874993 A JP1874993 A JP 1874993A JP 1874993 A JP1874993 A JP 1874993A JP H06231897 A JPH06231897 A JP H06231897A
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Abstract
(57)【要約】
【構成】本発明は、大気圧近傍において、少なくとも不
活性ガスを含むガスを流し、グロー放電発生用電極に高
周波電圧を印加してグロー放電を発生させ、そのグロー
放電により生成される電子あるいはイオンを含むガス流
を被処理物表面に照射することで被処理物表面の静電気
を除去する。 【効果】アーク放電、コロナ放電を用いた静電気除去方
法に比べ、短時間でかつ完全に除電が可能となり、その
ため被処理物表面へのゴミの付着がすくなくなるばかり
か被処理物の酸化を防げる。
活性ガスを含むガスを流し、グロー放電発生用電極に高
周波電圧を印加してグロー放電を発生させ、そのグロー
放電により生成される電子あるいはイオンを含むガス流
を被処理物表面に照射することで被処理物表面の静電気
を除去する。 【効果】アーク放電、コロナ放電を用いた静電気除去方
法に比べ、短時間でかつ完全に除電が可能となり、その
ため被処理物表面へのゴミの付着がすくなくなるばかり
か被処理物の酸化を防げる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はプラスチック、ガラス等
の絶縁物表面にチャージアップした静電気の除電方法、
および装置に関する。
の絶縁物表面にチャージアップした静電気の除電方法、
および装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】プラスチック、ガラス等の絶縁物表面に
チャージアップした静電気の除去方法はアークあるいは
コロナ放電を利用した方法が知られている。
チャージアップした静電気の除去方法はアークあるいは
コロナ放電を利用した方法が知られている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかし前述の従来技術
では、生成される電子、イオンの量が少ないため前記チ
ャージアップを即座に除電することができない。そのた
め以下の問題を有する。まず、当然の事として時間がか
かる。時間がかかることにより、その間に静電気により
ゴミを付着する。さらには、静電気が除去されるまでに
被処理物表面に形成された素子にダメージを与えてしま
う等である。また、ガスに空気を用いることから被処理
物の酸化も懸念される。
では、生成される電子、イオンの量が少ないため前記チ
ャージアップを即座に除電することができない。そのた
め以下の問題を有する。まず、当然の事として時間がか
かる。時間がかかることにより、その間に静電気により
ゴミを付着する。さらには、静電気が除去されるまでに
被処理物表面に形成された素子にダメージを与えてしま
う等である。また、ガスに空気を用いることから被処理
物の酸化も懸念される。
【０００４】そこで本発明はこれらの課題を解決するも
ので、その目的とするところは不活性ガス雰囲気中でグ
ロー放電を生じさせ電子、イオンを大量に生成し、これ
らガス雰囲気に被処理物をさらすことで、被処理物表面
の静電気を即座に除去、あるいは静電気の発生を防ぐこ
とを可能ならしめ、時間的ロスをなくし、ゴミの発生、
素子ダメージのない、さらには被処理物の酸化のない静
電気の除去方法、および装置を提供するところにある。
ので、その目的とするところは不活性ガス雰囲気中でグ
ロー放電を生じさせ電子、イオンを大量に生成し、これ
らガス雰囲気に被処理物をさらすことで、被処理物表面
の静電気を即座に除去、あるいは静電気の発生を防ぐこ
とを可能ならしめ、時間的ロスをなくし、ゴミの発生、
素子ダメージのない、さらには被処理物の酸化のない静
電気の除去方法、および装置を提供するところにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明の静電気の除去方
法は、大気圧、あるいはその近傍圧力下において、少な
くとも不活性ガスを含む雰囲気中にてグロー放電を生じ
させ、前記グロー放電により生成された電子あるいはイ
オンを被処理物表面に照射して、前記被処理物上のチャ
ージをニュートライズすることを特徴とする。
法は、大気圧、あるいはその近傍圧力下において、少な
くとも不活性ガスを含む雰囲気中にてグロー放電を生じ
させ、前記グロー放電により生成された電子あるいはイ
オンを被処理物表面に照射して、前記被処理物上のチャ
ージをニュートライズすることを特徴とする。
【０００６】また、前記被処理物に対して、その近傍に
グロー放電発生用電極を配置し、前記グロー放電発生用
電極に高周波電圧を印加して、前記被処理物と前記グロ
ー放電発生用電極との空間でグロー放電せしめることを
特徴とする。
グロー放電発生用電極を配置し、前記グロー放電発生用
電極に高周波電圧を印加して、前記被処理物と前記グロ
ー放電発生用電極との空間でグロー放電せしめることを
特徴とする。
【０００７】さらに、グロー放電発生用電極と対電極の
間に高周波電圧を印加してグロー放電せしめ、そのグロ
ー放電空間で生成される電子あるいはイオンを含むガス
流を、グロー放電にさらされない被処理物にガス吹き出
し口より吹き付けることを特徴とする。
間に高周波電圧を印加してグロー放電せしめ、そのグロ
ー放電空間で生成される電子あるいはイオンを含むガス
流を、グロー放電にさらされない被処理物にガス吹き出
し口より吹き付けることを特徴とする。
【０００８】また、前記被処理物をグロー放電にさらし
て行う場合のグロー放電発生用電極、あるいはグロー放
電にさらさずガス流を吹き付ける場合のガス吹き出し口
をスポット、ライン、面状とすることを特徴とする。
て行う場合のグロー放電発生用電極、あるいはグロー放
電にさらさずガス流を吹き付ける場合のガス吹き出し口
をスポット、ライン、面状とすることを特徴とする。
【０００９】そして、前記被処理物をグロー放電にさら
して行う場合のグロー放電発生用電極、あるいはグロー
放電にさらさずガス流を吹き付ける場合のガス吹き出し
口を多数個設けることを特徴とする。
して行う場合のグロー放電発生用電極、あるいはグロー
放電にさらさずガス流を吹き付ける場合のガス吹き出し
口を多数個設けることを特徴とする。
【００１０】また、前記被処理物と前記グロー放電発生
用電極あるいは前記ガス吹き出し口を相対的に移動させ
ることを特徴とする。
用電極あるいは前記ガス吹き出し口を相対的に移動させ
ることを特徴とする。
【００１１】加えて、前記グロー放電発生用電極を冷却
あるいは加熱してなることを特徴とする。
あるいは加熱してなることを特徴とする。
【００１２】本発明の静電気の除去装置は、大気圧、あ
るいはその近傍圧力下において、グロー放電発生用電極
と、前記グロー放電発生用電極に高周波電圧を印加する
手段と、少なくとも不活性ガスを含むガスを前記グロー
放電発生用電極近傍に導入する手段とを具備することを
特徴とする。
るいはその近傍圧力下において、グロー放電発生用電極
と、前記グロー放電発生用電極に高周波電圧を印加する
手段と、少なくとも不活性ガスを含むガスを前記グロー
放電発生用電極近傍に導入する手段とを具備することを
特徴とする。
【００１３】また、前記被処理物の近傍にグロー放電発
生用電極を配置し、前記被処理物と前記グロー放電発生
用電極との空間距離を、前記被処理物と他の構造物との
空間距離よりも狭くしたことを特徴とする。
生用電極を配置し、前記被処理物と前記グロー放電発生
用電極との空間距離を、前記被処理物と他の構造物との
空間距離よりも狭くしたことを特徴とする。
【００１４】さらに、前記グロー放電発生用電極と対電
極とを具備し、両者の間に高周波電圧を印加する手段、
前記両者の空間に少なくとも不活性ガスを含むガスを通
過させる手段、前記グロー放電により生成される電子あ
るいはイオンを含むガス流を、前記グロー放電にさらさ
れない被処理物にガス吹き出し口より吹き付ける手段を
設けることを特徴とする。
極とを具備し、両者の間に高周波電圧を印加する手段、
前記両者の空間に少なくとも不活性ガスを含むガスを通
過させる手段、前記グロー放電により生成される電子あ
るいはイオンを含むガス流を、前記グロー放電にさらさ
れない被処理物にガス吹き出し口より吹き付ける手段を
設けることを特徴とする。
【００１５】また、前記被処理物をグロー放電にさらし
て行う場合のグロー放電発生用電極、あるいはグロー放
電にさらさずガス流を吹き付ける場合のガス吹き出し口
をスポット、ライン、面状とすることを特徴とする。
て行う場合のグロー放電発生用電極、あるいはグロー放
電にさらさずガス流を吹き付ける場合のガス吹き出し口
をスポット、ライン、面状とすることを特徴とする。
【００１６】そあいて、前記被処理物をグロー放電にさ
らして行う場合のグロー放電発生用電極、あるいは前記
グロー放電にさらさずガス流を吹き付ける場合のガス吹
き出し口を、多数個設けてなることを特徴とする。
らして行う場合のグロー放電発生用電極、あるいは前記
グロー放電にさらさずガス流を吹き付ける場合のガス吹
き出し口を、多数個設けてなることを特徴とする。
【００１７】また、前記被処理物と前記グロー放電発生
用電極あるいは前記ガス吹き出し口を相対的に移動させ
得る手段を具備することを特徴とする。
用電極あるいは前記ガス吹き出し口を相対的に移動させ
得る手段を具備することを特徴とする。
【００１８】加えて、前記グロー放電発生用電極に加熱
あるいは冷却する手段を具備することを特徴とする。
あるいは冷却する手段を具備することを特徴とする。
【００１９】
【作用】本発明の上記の構成によれば、大気圧近傍にお
いて、少なくとも不活性ガスを含むガスを流し、グロー
放電発生用電極に高周波電圧を印加してグロー放電を発
生させ、そのグロー放電により生成される大量の電子あ
るいはイオンを含むガス流を、被処理物表面に吹き付け
ることで、または被処理物表面をグロー放電にさらすこ
とで、被処理物表面にチャージアップされた静電気を素
早く除去できる。従って、静電気によるゴミの付着を低
減できる。さらには、静電気を発生させる原因となる工
程、その状況下において本発明の方法により静電気の発
生そのものを防ぐ事も可能である。
いて、少なくとも不活性ガスを含むガスを流し、グロー
放電発生用電極に高周波電圧を印加してグロー放電を発
生させ、そのグロー放電により生成される大量の電子あ
るいはイオンを含むガス流を、被処理物表面に吹き付け
ることで、または被処理物表面をグロー放電にさらすこ
とで、被処理物表面にチャージアップされた静電気を素
早く除去できる。従って、静電気によるゴミの付着を低
減できる。さらには、静電気を発生させる原因となる工
程、その状況下において本発明の方法により静電気の発
生そのものを防ぐ事も可能である。
【００２０】本装置を可動タイプのガン構造とすること
で、移動しずらい大きな被処理物も本装置を動かすこと
で静電気の除去が可能となる。
で、移動しずらい大きな被処理物も本装置を動かすこと
で静電気の除去が可能となる。
【００２１】さらには、平板なウエハー（ガラス、半導
体、セラミック）、あるいはフィルムが被処理物である
場合は、ライン状の本装置を用いて、ウエハーを動か
す、あるいは面状の本装置にて静電気を除去できる。
体、セラミック）、あるいはフィルムが被処理物である
場合は、ライン状の本装置を用いて、ウエハーを動か
す、あるいは面状の本装置にて静電気を除去できる。
【００２２】加えて、除電用ガスに不活性ガスを用いる
ことで被処理物の酸化を防げる。
ことで被処理物の酸化を防げる。
【００２３】
【実施例】以下、本発明について図面に基づいて詳細に
説明する。
説明する。
【００２４】実施例１ 図１は本発明の実施例１を示す模式図である。
【００２５】雰囲気は空気である。ア−スに接地された
金属カバー２内に絶縁物６で電気的に浮かしたグロー放
電発生用電極３を取り付ける。前記金属カバー２内に、
ガス供給装置５よりまず不活性ガスであるヘリウムガス
を流し、グロー放電発生用電極３と被処理物１近傍の雰
囲気を前記ヘリウムガスで置換する。次に前記グロー放
電発生用電極３に高周波電源４より高周波電圧を印加す
ると、前記グロー放電発生用電極３の先端部と被処理物
１との間で放電し、薄いブルーのグロー放電部９を形成
する。前記被処理物１の表面の静電気は前記グロー放電
の放電部９で生成される電子、イオンでニュートライズ
され、結果として、前記被処理物１表面にチャージアッ
プした静電気８は除去される。図では正イオンのチャー
ジを示しているが負イオンでも同様である。
金属カバー２内に絶縁物６で電気的に浮かしたグロー放
電発生用電極３を取り付ける。前記金属カバー２内に、
ガス供給装置５よりまず不活性ガスであるヘリウムガス
を流し、グロー放電発生用電極３と被処理物１近傍の雰
囲気を前記ヘリウムガスで置換する。次に前記グロー放
電発生用電極３に高周波電源４より高周波電圧を印加す
ると、前記グロー放電発生用電極３の先端部と被処理物
１との間で放電し、薄いブルーのグロー放電部９を形成
する。前記被処理物１の表面の静電気は前記グロー放電
の放電部９で生成される電子、イオンでニュートライズ
され、結果として、前記被処理物１表面にチャージアッ
プした静電気８は除去される。図では正イオンのチャー
ジを示しているが負イオンでも同様である。
【００２６】ここでは、グロー放電を起こすためのガス
としてヘリウムガスを用いたがアルゴンガスでもよい。
また、グロー放電を起こすための条件としては金属カバ
ー２は必ずしも必要ではない。さらには、金属カバー２
は金属である必要はなく、セラミックでもよい。
としてヘリウムガスを用いたがアルゴンガスでもよい。
また、グロー放電を起こすための条件としては金属カバ
ー２は必ずしも必要ではない。さらには、金属カバー２
は金属である必要はなく、セラミックでもよい。
【００２７】実施例２ 図２は本発明の実施例２を示す模式図である。
【００２８】前記実施例１の金属カバー２を前記グロー
放電発生用電極３の先端近傍まで延ばしこれをグロー放
電発生のための対電極１０とする。前記同様に前記金属
カバー２内に、ガス供給装置５よりまず不活性ガスであ
るヘリウムガスを流し、内部をヘリウムガスで置換し、
前記グロー放電発生用電極３に高周波電源４より高周波
電圧を印加すると、前記グロー放電発生用電極３の先端
部と対電極１０との間にグロー放電が発生する。金属カ
バー２の先端部である対電極１０の形状で任意に決定さ
れるガス吹き出し口１１より、イオン化されなかったヘ
リウムガスと共に前記グロー放電により生成された電
子、前記ヘリウムイオンが吹き出す。前記ガス吹き出し
口１１から３〜５ｍｍ離して被処理物１を設置する。前
記ガス吹き出し口１１から吹き出すイオンガス流７の電
子、ヘリウムイオンにより前記被処理物１の表面のチャ
ージアップした静電気８はニュートライズされる。
放電発生用電極３の先端近傍まで延ばしこれをグロー放
電発生のための対電極１０とする。前記同様に前記金属
カバー２内に、ガス供給装置５よりまず不活性ガスであ
るヘリウムガスを流し、内部をヘリウムガスで置換し、
前記グロー放電発生用電極３に高周波電源４より高周波
電圧を印加すると、前記グロー放電発生用電極３の先端
部と対電極１０との間にグロー放電が発生する。金属カ
バー２の先端部である対電極１０の形状で任意に決定さ
れるガス吹き出し口１１より、イオン化されなかったヘ
リウムガスと共に前記グロー放電により生成された電
子、前記ヘリウムイオンが吹き出す。前記ガス吹き出し
口１１から３〜５ｍｍ離して被処理物１を設置する。前
記ガス吹き出し口１１から吹き出すイオンガス流７の電
子、ヘリウムイオンにより前記被処理物１の表面のチャ
ージアップした静電気８はニュートライズされる。
【００２９】実験のデータを示す。
【００３０】被処理物１は２０ｍｍ＊６０ｍｍ、厚み２
ｍｍのガラス基板を用いた。この被処理物１を棉で擦り
前記被処理物１表面に１ｋｖの正の静電気８を生じしめ
る。静電気の測定の方法は、木製の机の上に１５０ｍｍ
＊１５０ｍｍ、厚み５ｍｍのＳＵＳ板を置き、さらにそ
の上に被処理物１を固定して前記棉で擦り、その状態で
静電気測定機で計測した。綿で擦った直後に静電気測定
機の指示値は正の１ｋｖを示し、１分放置後でもその値
は変化しなかった。別の被処理物１（同材質、形状）で
も同様の擦り方、測定方法で実験を行ったところ同様の
結果が得られた。次に、同様に擦り、１ｋｖの正の静電
気８がチャージしたことを確認した直後、前記イオンガ
ス流７を前記被処理物１に１秒照射し再測定した。測定
機の指示値は０ｖを示し、被処理物１表面にチャージア
ップした静電気８が除去されたことを確認した。
ｍｍのガラス基板を用いた。この被処理物１を棉で擦り
前記被処理物１表面に１ｋｖの正の静電気８を生じしめ
る。静電気の測定の方法は、木製の机の上に１５０ｍｍ
＊１５０ｍｍ、厚み５ｍｍのＳＵＳ板を置き、さらにそ
の上に被処理物１を固定して前記棉で擦り、その状態で
静電気測定機で計測した。綿で擦った直後に静電気測定
機の指示値は正の１ｋｖを示し、１分放置後でもその値
は変化しなかった。別の被処理物１（同材質、形状）で
も同様の擦り方、測定方法で実験を行ったところ同様の
結果が得られた。次に、同様に擦り、１ｋｖの正の静電
気８がチャージしたことを確認した直後、前記イオンガ
ス流７を前記被処理物１に１秒照射し再測定した。測定
機の指示値は０ｖを示し、被処理物１表面にチャージア
ップした静電気８が除去されたことを確認した。
【００３１】被処理物１を絶縁フィルム、プラスチック
等に取り替えて実験した。擦る物によっては、負のチャ
ージアップを示す。そのような場合でも同様の方法、装
置で静電気８を除去することができた。
等に取り替えて実験した。擦る物によっては、負のチャ
ージアップを示す。そのような場合でも同様の方法、装
置で静電気８を除去することができた。
【００３２】長時間にわたり洗浄を行う場合はグロー放
電発生用電極３が加熱するため、図３に示すように冷却
装置１２を用いて冷却水をパイプ１３、１４より前記グ
ロー放電発生用電極３に循環させて冷却してもよい。あ
るいは、前記グロー放電発生用電極３に水滴等の付着が
懸念される場所での使用にあたっては、図示しないがヒ
ータを利用して前記グロー放電発生用電極３および金属
カバー２の周囲を加熱してもよい。また、ヒータを利用
することでガスの温度を高め静電気８の除去効果を向上
させることも可能である。
電発生用電極３が加熱するため、図３に示すように冷却
装置１２を用いて冷却水をパイプ１３、１４より前記グ
ロー放電発生用電極３に循環させて冷却してもよい。あ
るいは、前記グロー放電発生用電極３に水滴等の付着が
懸念される場所での使用にあたっては、図示しないがヒ
ータを利用して前記グロー放電発生用電極３および金属
カバー２の周囲を加熱してもよい。また、ヒータを利用
することでガスの温度を高め静電気８の除去効果を向上
させることも可能である。
【００３３】これらの静電気除去装置はスポット的に静
電気８の除去を行うもので、本出願者は後に説明する他
の実施例の静電気除去装置（ガン）と区別するために、
これらをＳ−ガンと呼ぶ。 実施例３ 図４、図５に実施例３の模式図を示す。図４は正面図、
図５は側面図である。
電気８の除去を行うもので、本出願者は後に説明する他
の実施例の静電気除去装置（ガン）と区別するために、
これらをＳ−ガンと呼ぶ。 実施例３ 図４、図５に実施例３の模式図を示す。図４は正面図、
図５は側面図である。
【００３４】グロー放電発生用電極３は棒状であり、こ
れを覆うように金属カバー２を取り付けてある。前記同
様に前記金属カバー２内に、ガス供給装置５よりまず不
活性ガスであるヘリウムガスを流し、内部をヘリウムガ
スで置換し、前記グロー放電発生用電極３に高周波電源
４より高周波電圧を印加すると、前記グロー放電発生用
電極３の先端部と対電極１０との間でグロー放電を生じ
る。もちろん前述したようにヘリウムガスでなくアルゴ
ンガスでもよく、さらには前記グロー放電発生用電極３
は金属カバー２から被処理物１側に飛び出した構造とし
て、前記放電発生用電極３と前記被処理物１との間でグ
ロー放電させてもかまわない。前記グロー放電により生
成された電子、ヘリウムイオンはイオン化しなかったヘ
リウムガスと共にガス吹き出し口１１から吹き出す。前
記ガス吹き出し口１１から３〜５ｍｍ離して被処理物１
を設置する。前記ガス吹き出し口１１から吹き出す前記
電子、ヘリウムイオンにより前記被処理物１の表面のチ
ャージアップした静電気８はニュートライズされる。前
述したように金属カバー２は必ずしも必要ではない。ま
た、イオンガス流７の方向を規制するための手段として
はセラミックでもよい。
れを覆うように金属カバー２を取り付けてある。前記同
様に前記金属カバー２内に、ガス供給装置５よりまず不
活性ガスであるヘリウムガスを流し、内部をヘリウムガ
スで置換し、前記グロー放電発生用電極３に高周波電源
４より高周波電圧を印加すると、前記グロー放電発生用
電極３の先端部と対電極１０との間でグロー放電を生じ
る。もちろん前述したようにヘリウムガスでなくアルゴ
ンガスでもよく、さらには前記グロー放電発生用電極３
は金属カバー２から被処理物１側に飛び出した構造とし
て、前記放電発生用電極３と前記被処理物１との間でグ
ロー放電させてもかまわない。前記グロー放電により生
成された電子、ヘリウムイオンはイオン化しなかったヘ
リウムガスと共にガス吹き出し口１１から吹き出す。前
記ガス吹き出し口１１から３〜５ｍｍ離して被処理物１
を設置する。前記ガス吹き出し口１１から吹き出す前記
電子、ヘリウムイオンにより前記被処理物１の表面のチ
ャージアップした静電気８はニュートライズされる。前
述したように金属カバー２は必ずしも必要ではない。ま
た、イオンガス流７の方向を規制するための手段として
はセラミックでもよい。
【００３５】このようなライン状の静電気除去装置を本
出願者はＬ−ガンと呼ぶ。
出願者はＬ−ガンと呼ぶ。
【００３６】前記Ｓ−ガン、Ｌ−ガンと前記被処理物１
とは相対的に移動することで、前記被処理物１の除電ポ
イント数、面積を増やすことが可能である。例えば、被
処理物１が平板状のウエハーの場合などは、Ｌ−ガンを
固定して、前記被処理物１を水平方向に動かして静電気
８を除去すればよい。
とは相対的に移動することで、前記被処理物１の除電ポ
イント数、面積を増やすことが可能である。例えば、被
処理物１が平板状のウエハーの場合などは、Ｌ−ガンを
固定して、前記被処理物１を水平方向に動かして静電気
８を除去すればよい。
【００３７】また、前記被処理物１をグロー放電にさら
して行う場合のグロー放電発生用電極３、あるいはグロ
ー放電にさらさずガス流を吹き付ける場合のガス吹き出
し口１１を面状とすることで、前記Ｓ−ガン、Ｌ−ガン
と前記被処理物１を固定したままの静電気除去も可能で
ある。さらには、グロー放電発生用電極３を球面、非球
面形状としてもよい。
して行う場合のグロー放電発生用電極３、あるいはグロ
ー放電にさらさずガス流を吹き付ける場合のガス吹き出
し口１１を面状とすることで、前記Ｓ−ガン、Ｌ−ガン
と前記被処理物１を固定したままの静電気除去も可能で
ある。さらには、グロー放電発生用電極３を球面、非球
面形状としてもよい。
【００３８】ガンをロボットの腕に取り付けて静電気除
去を行うことも可能である。
去を行うことも可能である。
【００３９】また、ドラムに巻かれた絶縁フィルムを前
記ドラムよりひきはがす時に生じる静電気８の場合は、
前記ドラムと絶縁フィルムとの接点部にイオンガス流７
を吹きかけることで静電気８そのものの発生を予防でき
る。
記ドラムよりひきはがす時に生じる静電気８の場合は、
前記ドラムと絶縁フィルムとの接点部にイオンガス流７
を吹きかけることで静電気８そのものの発生を予防でき
る。
【００４０】また、被処理物１表面上に導通性の薄膜が
形成されている場合でも、使用するガスが不活性である
ことから、その薄膜の表面の酸化を防ぎつつすばやい除
電が可能となる。これも、空気を使用しているコロナ放
電による静電気除去方法に比べ利点となる。
形成されている場合でも、使用するガスが不活性である
ことから、その薄膜の表面の酸化を防ぎつつすばやい除
電が可能となる。これも、空気を使用しているコロナ放
電による静電気除去方法に比べ利点となる。
【００４１】実施例４ 図６に実施例４の模式図を示す。
【００４２】Ｌ−ガンの変形タイプである。
【００４３】グロー放電発生用電極３が金属カバー２に
包まれた構成である。この場合は、金属カバー２に多数
個のガス吹き出し口１１が開けられている。グロー放電
を生じる場所は（ａ）については中央のみ、（ｂ）につ
いては前記ガス吹き出し口１１の近傍全てである。この
ように、グロー放電の場所、グロー放電を生じる場所の
数、ガス吹き出し口１１等はガンの設計しだいで任意に
変えることができる。また、これらは面状のガンについ
ても言える。このような構成にすることで、多数個の被
処理物１の表面に発生した静電気８を同時に除去するこ
とが可能となる。
包まれた構成である。この場合は、金属カバー２に多数
個のガス吹き出し口１１が開けられている。グロー放電
を生じる場所は（ａ）については中央のみ、（ｂ）につ
いては前記ガス吹き出し口１１の近傍全てである。この
ように、グロー放電の場所、グロー放電を生じる場所の
数、ガス吹き出し口１１等はガンの設計しだいで任意に
変えることができる。また、これらは面状のガンについ
ても言える。このような構成にすることで、多数個の被
処理物１の表面に発生した静電気８を同時に除去するこ
とが可能となる。
【００４４】
【発明の効果】以上述べたように本発明によれば、大気
圧近傍において、少なくとも不活性ガスを含むガスを流
し、グロー放電発生用電極に高周波電圧を印加してグロ
ー放電を発生させ、そのグロー放電により生成される大
量の電子あるいはイオンを含むガス流を、被処理物表面
に吹き付けることで、または被処理物表面をグロー放電
にさらすことで、被処理物表面の静電気を即座に除去、
あるいは静電気の発生を防ぐことができるという効果を
有する。さらには前記効果により時間的ロスをなくし、
ゴミの発生、素子ダメージのない静電気除去ができると
いう効果を有する。加えて、被処理物の酸化のない除電
ができるという効果を有する。
圧近傍において、少なくとも不活性ガスを含むガスを流
し、グロー放電発生用電極に高周波電圧を印加してグロ
ー放電を発生させ、そのグロー放電により生成される大
量の電子あるいはイオンを含むガス流を、被処理物表面
に吹き付けることで、または被処理物表面をグロー放電
にさらすことで、被処理物表面の静電気を即座に除去、
あるいは静電気の発生を防ぐことができるという効果を
有する。さらには前記効果により時間的ロスをなくし、
ゴミの発生、素子ダメージのない静電気除去ができると
いう効果を有する。加えて、被処理物の酸化のない除電
ができるという効果を有する。
【図１】本発明の実施例１を示す模式図。
【図２】本発明の実施例２を示す模式図。
【図３】本発明の実施例２の変形タイプを示す模式図。
【図４】本発明の実施例３を示す模式図（正面図）。
【図５】本発明の実施例３を示す模式図（側面図）。
【図６】本発明の実施例４を示す模式図。
１ 被処理物 ２ 金属カバー ３ グロー放電発生用電極 ４ 高周波電源 ５ ガス供給装置 ６ 絶縁物 ７ イオンガス流 ８ チャージアップした静電気 ９ グロー放電部 １０ 対電極 １１ ガス吹き出し口
Claims (14)
- 【請求項１】 大気圧、あるいはその近傍圧力下におい
て、少なくとも不活性ガスを含む雰囲気中にてグロー放
電を生じさせ、前記グロー放電により生成された電子あ
るいはイオンを被処理物表面に照射して、前記被処理物
上のチャージをニュートライズすることを特徴とする静
電気の除去方法。 - 【請求項２】前記被処理物に対して、その近傍にグロー
放電発生用電極を配置し、前記グロー放電発生用電極に
高周波電圧を印加して、前記被処理物と前記グロー放電
発生用電極との空間でグロー放電せしめることを特徴と
する請求項１記載の静電気の除去方法。 - 【請求項３】グロー放電発生用電極と対電極の間に高周
波電圧を印加してグロー放電せしめ、そのグロー放電空
間で生成される電子あるいはイオンを含むガス流を、グ
ロー放電にさらされない被処理物にガス吹き出し口より
吹き付けることを特徴とする請求項１記載の静電気の除
去方法。 - 【請求項４】前記被処理物をグロー放電にさらして行う
場合のグロー放電発生用電極、あるいはグロー放電にさ
らさずガス流を吹き付ける場合のガス吹き出し口をスポ
ット、ライン、面状とすることを特徴とする請求項２、
請求項３記載の静電気の除去方法。 - 【請求項５】前記被処理物をグロー放電にさらして行う
場合のグロー放電発生用電極、あるいはグロー放電にさ
らさずガス流を吹き付ける場合のガス吹き出し口を多数
個設けることを特徴とする請求項２、請求項３記載の静
電気の除去方法。 - 【請求項６】前記被処理物と前記グロー放電発生用電極
あるいは前記ガス吹き出し口を相対的に移動させること
を特徴とする請求項２、請求項３記載の静電気の除去方
法。 - 【請求項７】前記グロー放電発生用電極を冷却あるいは
加熱してなることを特徴とする請求項２、請求項３記載
の静電気の除去方法。 - 【請求項８】大気圧、あるいはその近傍圧力下におい
て、グロー放電発生用電極と、前記グロー放電発生用電
極に高周波電圧を印加する手段と、少なくとも不活性ガ
スを含むガスを前記グロー放電発生用電極近傍に導入す
る手段とを具備することを特徴とする静電気の除去装
置。 - 【請求項９】前記被処理物の近傍にグロー放電発生用電
極を配置し、前記被処理物と前記グロー放電発生用電極
との空間距離を、前記被処理物と他の構造物との空間距
離よりも狭くしたことを特徴とする請求項８記載の静電
気の除去装置。 - 【請求項１０】前記グロー放電発生用電極と対電極とを
具備し、両者の間に高周波電圧を印加する手段、前記両
者の空間に少なくとも不活性ガスを含むガスを通過させ
る手段、前記グロー放電により生成される電子あるいは
イオンを含むガス流を、前記グロー放電にさらされない
被処理物にガス吹き出し口より吹き付ける手段を設ける
ことを特徴とする請求項８記載の静電気の除去装置。 - 【請求項１１】前記被処理物をグロー放電にさらして行
う場合のグロー放電発生用電極、あるいはグロー放電に
さらさずガス流を吹き付ける場合のガス吹き出し口をス
ポット、ライン、面状とすることを特徴とする請求項
９、請求項１０記載の静電気の除去装置。 - 【請求項１２】前記被処理物をグロー放電にさらして行
う場合のグロー放電発生用電極、あるいは前記グロー放
電にさらさずガス流を吹き付ける場合のガス吹き出し口
を、多数個設けてなることを特徴とする請求項９、請求
項１０記載の静電気の除去装置。 - 【請求項１３】前記被処理物と前記グロー放電発生用電
極あるいは前記ガス吹き出し口を相対的に移動させ得る
手段を具備することを特徴とする請求項９、請求項１０
記載の静電気の除去装置。 - 【請求項１４】前記グロー放電発生用電極に加熱あるい
は冷却する手段を具備することを特徴とする請求項９、
請求項１０記載の静電気の除去装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1874993A JPH06231897A (ja) | 1993-02-05 | 1993-02-05 | 静電気の除去方法およびその装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1874993A JPH06231897A (ja) | 1993-02-05 | 1993-02-05 | 静電気の除去方法およびその装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06231897A true JPH06231897A (ja) | 1994-08-19 |
Family
ID=11980306
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1874993A Pending JPH06231897A (ja) | 1993-02-05 | 1993-02-05 | 静電気の除去方法およびその装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06231897A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5571866A (en) * | 1993-03-19 | 1996-11-05 | Mitsubishi Chemical Corporation | Thermoplastic resin composition |
| JPH11238595A (ja) * | 1997-11-27 | 1999-08-31 | Toray Ind Inc | 除電装置および除電方法 |
| WO2003059023A1 (fr) * | 2001-12-28 | 2003-07-17 | National Institute Of Industrial Safety Independent Administrative Institution | Generateur de decharge luminescente a pression atmospherique et dispositif de neutralisation de charge |
| KR100515888B1 (ko) * | 2002-11-04 | 2005-09-21 | 한국원자력연구소 | 이온빔조사에 의한 대전방지용 진공성형용기 제조방법 |
| WO2006112020A1 (ja) * | 2005-04-15 | 2006-10-26 | Koganei Corporation | 除電装置 |
| JP2021197318A (ja) * | 2020-06-17 | 2021-12-27 | 株式会社松本技研 | 電子装置、及び電子装置の製造方法 |
-
1993
- 1993-02-05 JP JP1874993A patent/JPH06231897A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5571866A (en) * | 1993-03-19 | 1996-11-05 | Mitsubishi Chemical Corporation | Thermoplastic resin composition |
| JPH11238595A (ja) * | 1997-11-27 | 1999-08-31 | Toray Ind Inc | 除電装置および除電方法 |
| WO2003059023A1 (fr) * | 2001-12-28 | 2003-07-17 | National Institute Of Industrial Safety Independent Administrative Institution | Generateur de decharge luminescente a pression atmospherique et dispositif de neutralisation de charge |
| KR100515888B1 (ko) * | 2002-11-04 | 2005-09-21 | 한국원자력연구소 | 이온빔조사에 의한 대전방지용 진공성형용기 제조방법 |
| WO2006112020A1 (ja) * | 2005-04-15 | 2006-10-26 | Koganei Corporation | 除電装置 |
| JP2021197318A (ja) * | 2020-06-17 | 2021-12-27 | 株式会社松本技研 | 電子装置、及び電子装置の製造方法 |
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