JPH02180935A - 樹脂フィルムのコロナ放電処理方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、樹脂フィルムのコロナ放電処理方法に関す
る。

〔従来の技術と解決すべき課題〕

樹脂フィルム、たとえばポリイミドフィルムは電子部品
の配線基板などに用いられており、ポリイミドフィルム
の表面に銅箔などを接着させて、可撓性基板などとして
使用されている。この種の可撓性配線基板などは繰り返
して曲げて使用されることが多いため、配線基板の使用
時にポリイミドフィルムの表面から接着された銅箔が剥
離しないように、予めポリイミドフィルムの接着性を向
上させておくことが望ましい、そこで、本発明者らはポ
リイミドフィルムについてコロナ放電処理を施してみた
。

ところが、ポリイミドフィルムにコロナ放電処理を長時
間にわたって連続的に施していると、第５図に示すよう
に、フィルム１搬送用のローラ２の表面に微粉末３が付
着し、次第に蓄積していくのが認められた。このローラ
２の表面に蓄積した微粉末３が塊になってフィルム１の
上に落下して、電子材料としての品質に影響を与えるよ
うなことがあってはならないため、適宜コロナ放電処理
装置を停止してローラ２の表面から微粉末３の除去作業
を行っていた。しかし、この微粉末３をローラ２から除
去するのは困難で時間の要するものであり、装置の稼働
率を低下させる原因となっていた。しかも、接着性を改
善することを目的にポリイミドフィルムｌに施したコロ
ナ放電処理により、却って発生した微粉末３がフィルム
１表面に付着してポリイミドフィルム１の接着性などを
低下させる恐れがあるのは不都合である。

そこで、本発明者らはコロナ放電処理によって発生した
微粉末３をポリイミドフィルム１の表面から除去するた
め、第６図に示すように、コロナ放電処理装置の固定電
極４を櫛状に形成して、そのスリット部５がら空気を吸
引しつつ固定電極４とローラ電極６との間にコロナ放電
を起こさせるようにした。この方法により、ポリイミド
フィルム１にコロナ放電処理を施しつつ発生した微粉末
を空気と共に吸引させることとした。

しかしながら、この方法ではほとんど微粉末を除去する
効果はなかった。そこで、コロナ放電の出力を落とすと
、微粉末の付着がほとんど認められなくなった。ところ
が、コロナ放電処理の効果を出すため、ポリイミドフィ
ルムｌにコロナ放電処理を２回繰り返して施すと、微粉
末の発生が認められた。

〔課題を解決するための手段〕

そこで、本発明者らは更に鋭意研究を重ねた結果、微粉
末の付着に関しである知見を得て、本発明に至ったので
ある。

本発明に係る樹脂フィルムのコロナ放電処理方法の要旨
とするところは、樹脂フィルムの片面又は両面にコロナ
放電処理を施す処理方法において、前記コロナ放電処理
に引き続いて帯電した樹脂フィルムを除電するとともに
気体流によりコロナ放電処理によって発生した微粉末を
除去するようにしたことにある。

また、本発明の一実施態様であるコロナ放電処理方法の
要旨とするところは、樹脂フィルムの片面又は両面にコ
ロナ放電処理を施す処理方法において、前記コロナ放電
処理に引き続いて、該樹脂フィルムに帯電した静電気の
極性と逆極性のイオンを存するイオン化ガスを該樹脂フ
ィルムに吹き付けて、該静電気を除電すると同時に付着
した微粉末を除去するようにしたことにある。

〔作　用〕

かかる本発明の樹脂フィルムのコロナ放電処理方法によ
れば、コロナ放電処理によって生じた微粉末が樹脂フィ
ルムに帯電した静電気によってその樹脂フィルムに付着
させられており、コロナ放電処理に引き続いて樹脂フィ
ルムが除電されることにより、樹脂フィルムに帯電した
静電気がほとんど消滅させられ、微粉末は静電気による
付着力から開放される０次いで、樹脂フィルムの除電と
ほぼ同時に又は一定の遅れをもって樹脂フィルムに気体
流が吹付けられあるいは吸引されて、樹脂フィルムの表
面に付着させられていた微粉末が吹き飛ばされあるいは
吸い取られて除去される。

また、樹脂フィルムに帯電した静電気を除電すると同時
に微粉末を除去する方法として、本発明の他の方法によ
れば、樹脂フィルムに帯電した静電気の極性と逆極性の
イオンを主体として含むイオン化ガスをコロナ放電処理
された樹脂フィルムに吹付けることにより、そのイオン
によって樹脂フィルムに帯電した静電気を除電すると同
時に、ガスの噴出流によって微粉末が吹き飛ばされて除
去される。

〔実施例〕

次に、本発明方法の実施例を図面を参照しつつ詳しく説
明する。

第１図において、符号１０及び１２は絶縁ロールであり
、その絶縁ロール１０．１２はその内部の軸心部に接地
されたアース電極（図示せず）を備え、そのアース電極
の外周が絶縁体１４で覆われた構成のロール電極を形成
している。一方、絶縁ロール１０．１２のそれぞれに相
対向して一定の間隔をもって線条の電極１６．１８が配
置されている。この絶縁ロール１０．１２のアース電極
と線条の電極１６．１８との間に高電圧が印加されるこ
とによって、両電極間にコロナ放電が起こされるように
されているのである。

線条の電極１６．１８はコロナ放電の処理をすべき長さ
、換言すればほぼ樹脂フィルムの幅に形成されている。

そして、それぞれの電極１６，１８は複数の碍子２０を
介してフレーム２２に固定され支持されている。

絶縁ロール１０．１２には樹脂フィルム２４が引伸ロー
ル２６により幅方向に引き伸ばされて、連続的に載置さ
れるようにされている。引伸ロール２６は、第２図（ａ
）に示すフラットエキスパンダーロール２８や同図（ｂ
）に示すレベルエキスパンダーロール３０などが好まし
い。いずれの引伸ロール２８．３０もロールが一回転す
る間にその円筒状の外表面が順次幅方向に伸縮し得るよ
うにされたものであり、引伸ロール２８．３０の外表面
が縮んだ状態にある部位で樹脂フィルム２４をその外表
面に密着させ、引伸ロール２８．３０が回転して樹脂フ
ィルム２４とともに外表面が幅方向に引き伸ばされた状
態にある部位でその樹脂フィルム２４を引伸ロール２８
．３０から離脱させるようにされている。

引伸ロール２６　（２８，３０）により幅方向に引き伸
ばされた樹脂フィルム２４は、その送り方向に図示しな
い送り装置により一定の張力が作用させられていて、幅
方向に引き伸ばされた状態で絶縁ロール１０の上に載置
され、続いてその樹脂フィルム２４の反対面が表面に出
るように絶縁ロール１２の上に載置される。

絶縁ロール１０の上で樹脂フィルム２４には線条の電極
１６からコロナ放電が放射され、コロナ放電処理が施さ
れる。なお、コロナ放電により樹脂フィルム２４は加熱
され熱膨張させられるが、樹脂フィルム２４は予め幅方
向に引き伸ばされているため、その伸びの範囲内で熱膨
張による伸びが吸収され、皺になることなく樹脂フィル
ム２４にコロナ放電処理が施される。

コロナ放電処理が施された樹脂フィルム２４の表面性状
は接着性の優れたものに改善されるが、コロナ放電処理
にともなって微粉末が発生し、その微粉末はコロナ放電
処理によって発生、帯電した静電気により樹脂フィルム
２４の表面に付着させられている。この微粉末は通常、
樹脂フィルム２４上では目視することができず、たとえ
ば鏡面に研磨されたロールの表面に堆積して初めて認識
し得る程度のものである。

この微粉末を樹脂フィルム２４の表面から除去するため
、第１図に示すように、イオン化ガスを噴出させるため
のノズル３２が樹脂フィルム２４の幅方向に複数、図示
しないフレームによって配設されている。ノズル３２か
ら噴出されるイオン化ガスは正又は負の極性を有するイ
オンを主体として含有するガスであり、主として物理的
あるいは化学的に発生させられたイオン化ガスからいず
れか一方の極性のイオンを選択的に取り除いて構成され
たものである０本発明においては、イオン化ガスの極性
はコロナ放電によって樹脂フィルム２４に帯電させられ
た静電気の極性と逆極性が選択される。したがって、こ
のイオン化ガスが静電気の帯電した樹脂フィルム２４の
表面に吹付けられることにより、極性の異なる静電気と
イオンとが衝突して電気的に中和し、樹脂フィルム２４
は除電させられる。

樹脂フィルム２４が除電されると同時に、静電気による
付着力から開放された微粉末はノズル３２から噴出され
るイオン化ガスの噴出力により吹き飛ばされ、除去され
る。ここで、イオン化させられるガスとしては空気や窒
素などが使用され、何ら限定されるものではない。

微粉末が除去された樹脂フィルム２４は、続いて絶縁ロ
ール１２の上にコロナ放電処理が施されていない面を表
面に出して載置され、前述と同様にして樹脂フィルム２
４の表面に線条の電ｉ１８からコロナ放電が放射されて
処理が施される。コロナ放電処理が施された樹脂フィル
ム２４には前述と同様にノズル３４から逆極性のイオン
化ガスが噴出され、微粉末が除去される。

以上、本発明の一実施例を詳細に説明したが、本発明は
その他の態様でも実施することが可能である。

たとえば第３図に示すように、コロナ放電処理された樹
脂フィルム２４の表面に、電気的良導体から成りアース
された除電ロール３６を接触させて、樹脂フィルム２４
に帯電した静電気を自己放電させた後、ノズル３日から
空気などを噴出させて、微粉末を吹き飛ばすように構成
しても良い。

また、除電ロール３６やノズル３８に代えて、スリット
や孔などを備えた固定式の除電装置を構成し、除電装置
に樹脂フィルム２４を接触させて自己放電させるととも
にスリットや孔などから空気を吸入させたり、あるいは
空気を噴出させて微粉末を吸引あるいは吹き飛ばせて除
去するようにしても良い。

更に、第４図に示すように、本発明におけるコロナ放電
処理装置４０は絶縁ロールと引伸装置とを一体化させ、
絶縁ロール４２上で樹脂フィルム２４を幅方向に引き伸
ばしてからコロナ放電処理を施すように構成しても良い
。その他、本発明に用いられるコロナ放電処理装置は如
何なる形式のものでも良い。

樹脂フィルムとしてはポリイミドフィルムが最も好適で
あるが、その他の樹脂フィルムであっても適用し得るも
のである。

その他、樹脂フィルムの両面にコロナ放電処理を施した
後、その両面に付着している微粉末を同時に除去するよ
うに構成することも可能であり、また、樹脂フィルムの
両面にコロナ放電処理を施す必要は必ずしもないなど、
本発明はその趣旨を逸脱しない範囲内で、当業者の知識
に基づき種々なる改良、変形、修正を加えた態様で実施
し得るものである。

叉豊五−上 ポリイミドフィルムに、２５０　Ｗｍ１ｎ／ｍ”の条件
でコロナ放電処理を施した。コロナ放電処理が施された
ポリイミドフィルムに、イオン化空気発生装Ｗ（春日電
機■製、４０９３Ｃ型）によって発生させたイオン化空
気を、圧力２　Ｋｇ／ｃｎ＋”、空気量８０　１／＋ｉ
ｎの条件でノズルから噴出させた。

ノズルは、コロナ放電処理装置の絶縁ロールの軸心（樹
脂フィルムの絶縁ロールからの離脱点）から約１００１
１１！１離れた位置で、フィルムの表面からノズルの先
端までの距離が７０ｍｍの位置に、フィルムの幅方向に
５０ｍｍ間隔で３個配設した。

その結果、ポリイミドフィルムを２０００ｍ、コロナ放
電処理したが、微粉末の付着は認められなかった。

なお、コロナ放電処理を施したポリイミドフィルムにつ
いて、静電電位測定器（春日電機■製。

ＫＳＤ−６１１０型）により帯電した静電気の電位を測
定したところ、約５〜３０ＫＶの正の電位が測定された
。また、イオン化空気を吹付けて処理した後においては
、約０．２〜２ＫＶ程度の電位であった。

几較■−土 実施例１と同様の条件で、ポリイミドフィルムにコロナ
放電処理を施したが、微粉末を除去するための処理を施
さなかった。

その結果、ポリイミドフィルムを１３０ｍ、コロナ放電
処理したところで、搬送用ロールに微粉末の付着が認め
られた。

此［１−え 実施例１と同様の条件で、ポリイミドフィルムにコロナ
放電処理を施した後、微粉末を除去するため、同様にノ
ズルによりイオン化空気を吹付けた。但し、ノズルの取
付は位置をコロナ放電処理装置の絶縁ロールの軸心から
５０ＩＩ１１離れた所とした。

その結果、ポリイミドフィルムを１０００ｍ、コロナ放
電処理したところで、搬送用ロールに微粉末の付着がわ
ずかに認められた。ノズルの取付は位置が絶、縁ロール
に近く、絶縁ロールやコロナ放電の影響を受けるためと
思われる。

〔発明の効果〕

かかる本発明は、コロナ放電処理に引き続いて樹脂フィ
ルムに帯電した静電気を除電し、静電気の除電と同時又
はその後、気体流により微粉末を除去するようにしてい
るため、静電気による付着力から開放された微粉末はほ
ぼ完全に除去し得、コロナ放電処理によって発生した微
粉末の影響を受けず、且つ接着性の改善された樹脂フィ
ルムが得られることとなる。

しかも、コロナ放電処理によって発生した微粉末の処分
のため、処理装置を停止させることがなくなるため、従
来に増して稼働率、生産性が向上し、生産コストを下げ
ることが可能となるなど、本発明は優れた効果を奏する
。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に係る樹脂フィルムのコロナ放電処理方
法を説明するための側面説明図であり、第２図は樹脂フ
ィルムにコロナ放電処理を施すために用いられる引伸ロ
ールの例を示す図であり、第２図（ａ）はフラットエキ
スパンダーロールを、第２図（ｂ）はレベルエキスパン
ダーロールをそれぞれ示す概略正面図である。第３図は
本発明の他の実施例を説明するための要部説明図であり
、第４図は本発明の更に他の実施例を説明するための要
部正面図である。 第５図は従来のコロナ放電処理に伴う不具合を説明する
ための斜視図であり、第６図はコロナ放電処理によって
発生した微粉末を処理するために行った失敗例を説明す
るための説明図である。 １０．１２，４２ｉ絶縁ロール １６．１８；電極 ２４；樹脂フィルム ２６．２８，３０；引伸ロール ３２．３４；ノズル ３６；除電ロール ３８；ノズル ４０：コロナ放電処理装置

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）樹脂フィルムの片面又は両面にコロナ放電処理を
   施す処理方法において、前記コロナ放電処理に引き続い
   て帯電した樹脂フィルムを除電するとともに気体流によ
   りコロナ放電処理によって発生した微粉末を除去するこ
   とを特徴とする樹脂フィルムのコロナ放電処理方法。
2. （２）樹脂フィルムの片面又は両面にコロナ放電処理を
   施す処理方法において、前記コロナ放電処理に引き続い
   て、該樹脂フィルムに帯電した静電気の極性と逆極性の
   イオンを有するイオン化ガスを該樹脂フィルムに吹き付
   けて、該静電気を除電すると同時に付着した微粉末を除
   去することを特徴とする樹脂フィルムのコロナ放電処理
   方法。