JPH0622253B2 - ボンダ用フイルムキヤリア駆動機構 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、内部リード接合、外部リード接合、ペレツト
接合等を行うボンダにおけるフイルムキヤリア駆動機構
に関する。

［従来の技術］ 周知の如く、内部リード接合ボンダは、フイルムキヤリ
アの内部リードと半導体ペレツトの電極とを一括して接
合するものであり、外部リード接合ボンダは、前記のよ
うにフイルムキヤリアの内部リード（外部リード接合の
場合は一般に外部リードと呼ばれている）に接合された
半導体ペレツトを外部リードと共にフイルムキヤリアよ
り打抜き、この半導体ペレツトに取付けられた外部リー
ドをリードフレーム等に一括して接合するもので、ペレ
ツト接合ボンダは、半導体ペレツトのみをリードフレー
ム等に接合するものである。以下、外部リード接合ボン
ダの場合について説明する。

外部リード接合ボンダは、第７図に示すように、両側帯
にスプロケツト穴１ａを備えたフイルムキヤリア１に外
部リード２ａによつて支えられた固形デバイス２をパン
チングにより打抜き、第８図に示すリードフレーム３又
は第９図に示す基板４のリード接合部３ａ又は４ａに外
部リード２ａを位置合わせして載置し、第１０図及び第
１１図に示すように、外部リード２ａとリード接合部３
ａとをボンデイングによつて接合する工程を全自動で行
うものである。

フイルムキヤリア１から固形デバイス２を打抜くパンチ
ング装置の両側にはフイルムキヤリア１のスプロケツト
穴１ａに係合するスプロケツトピンを有するスプロケツ
トが配設されており、フイルムキヤリア１は供給リール
から前記スプロケツトを通り巻取りリールに巻取られ
る。

従来のフイルムキヤリア駆動機構は、前記巻取りリール
側のスプロケツトを駆動部とし、他方の供給リール側の
スプロケツトは単に装置の固定部に回転自在に設け、か
つ２個のスプロケツト間でフイルムキヤリア１がたるま
ないようにフイルムキヤリア１バツクテンシヨンをかけ
た構造となつている。

一方、前記したようにフイルムキヤリア１から固形デバ
イス２をパンチング装置で打抜く場合、フイルムキヤリ
ア位置決めピンをフイルムキヤリア１のスプロケツト穴
１ａに挿入してフイルムキヤリア１を位置決めする必要
がある。

［発明が解決しようとする問題点］ 上記従来例は、巻取りリール側のスプロケツトを駆動部
とし、他方のスプロケツトを回転自在に設け、かつフイ
ルムキヤリア１にバツクテンシヨンをかけているので、
両スプロケツト間のフイルムキヤリア部分にはゆるみが
なくはられた状態にある。このため、駆動スプロケツト
の回転誤差が生じたりした場合、フイルムキヤリア位置
決めピンによつてフイルムキヤリア１を高精度に位置決
めできないことが生じることがあり、特にひどい時はフ
イルムキヤリア位置決めピンがフイルムキヤリア１に挿
入されないことが生じる。

本発明の目的は、フイルムキヤリアを高精度に位置決め
することができるボンダ用フイルムキヤリア駆動機構を
提供することにある。

［問題点を解決するための手段］ 上記従来技術の問題点は、巻取り側スプロケツトを駆動
するモータと、供給側スプロケツトが前記巻取り側スプ
ロケツトに同期回転するように両スプロケツトを連結す
るベルト伝動手段とを設けた構成にすることにより解決
される。

［作用］ ２個のスプロケツトは同期回転するので、スプロケツト
間のフイルムキヤリアの長さは変動することがない。そ
こで、スプロケツト間には常に一定のたるみをフイルム
キヤリアに持たせることができる。従って、フイルムキ
ヤリアの加工部分の位置ずれがあつても容易にフイルム
キヤリア位置決めピンがフイルムキヤリアのスプロケツ
ト穴に挿入され、フイルムキヤリアの加工部分の位置ず
れは修正される。

［実施例］ 以下、本発明の一実施例を第１図乃至第６図に従って説
明する。第１図乃至第３図に示すように、ベース板１０
には支持板１１が固定されており、この支持板１１には
２個のスプロケツト軸１３、１４が一定距離離れて回転
自在に支承されており、このスプロケツト軸１３、１４
の一端側にはそれぞれスプロケツト１５、１６が固定さ
れている。スプロケツト軸１３、１４の他端側にはそれ
ぞれプーリ１７、１８が固定されており、これらプーリ
１７、１８にはタイミングベルト１９が掛けられてい
る。更に前記右側のスプロケツト軸１４にはプーリ２０
が固定されている。また支持板１１にはモータ２１が固
定されており、このモータ２１の出力軸に固定されたプ
ーリ２２と前記プーリ２０とにはタイミングベルト２３
が掛けられている。またスプロケツト１５、１６の外周
には図示しないが、フイルムキヤリア１のスプロケツト
穴１ａ（第５図参照）に係合するスプロケツトピンが等
間隔に設けられている。

そこで、モータ２１が定角間欠回転すると、プーリ２
２、タイミングベルト２３、プーリ２０、スプロケツト
軸１４を介してスプロケツト１６が回転する。またプー
リ１８、１７、タイミングベルト１９、スプロケツト軸
１３を介してスプロケツト１５が前記スプロケツト１６
に同期して回転させられる。これにより、フイルムキヤ
リア１を定寸づつ順送りすることができる。なお、フイ
ルムキヤリア１は図示しない供給リールからスプロケツ
ト１５、１６を通り図示しない巻取りリールに巻取られ
る。

前記スプロケツト１５のフイルムキヤリア１の進入側及
び前記スプロケツト１６のフイルムキヤリア１の退出側
には支持板１１に固定されたカバー支持板３０、３１が
固定されている。カバー支持板３０、３１にはスプロケ
ツト１５、１６とほぼ同じ円弧の内面を有するスプロケ
ツトカバー３２、３３がそれぞれ蝶番３４、３５を介し
て開閉自在に取付けられている。

前記スプロケツト１５、１６間にはパンチング部４０が
設けられている。パンチング部４０は、前記支持板１１
に固定されたパンチホルダ４１を有し、第４図乃至第６
図に示すように、パンチホルダ４１内にパンチ４２が上
下動自在に設けられている。パンチ４２の内部の上方側
には固形デバイス吸着ノズル４３が配設され、この固形
デバイス吸着ノズル４３はねじ４４でパンチ４２に固定
されている。固形デバイス吸着ノズル４３には吸着孔４
３ａが形成されており、この吸着孔４３ａは図示しない
真空ポンプに連結されている。またパンチ４２の両側に
はフイルムキヤリア１のスプロケツト穴１ａに挿入され
るフイルムキヤリア位置決めピン４５が固定されてい
る。

前記パンチホルダ４１の上面には溝４１ａが形成されて
おり、この溝４１ａにスペーサ５０及びフイルムキヤリ
ア押え板５１が上下動可能に配設されている。これらス
ペーサ５０及びフイルムキヤリア押え板５１には前記パ
ンチ４２及びフイルムキヤリア位置決めピン４５が上下
動可能に挿通されるようにそれぞれ穴が形成されてい
る。ここで、前記パンチ４２及びフイルムキヤリア位置
決めピン４５は、パンチ４２が最下降位置にある時はフ
イルムキヤリア押え板５１より突出しなく、かつパンチ
４２の先端はフイルムキアリア位置決めピン４５の先端
より下方にあるように形成されている。前記パンチホル
ダ４１の上面にはダイ５２が固定されており、このダイ
５２の下面と前記フイルムキヤリア押え板５１の上面と
の隙間５３がフイルムキヤリア１の通路を形成してい
る。前記フイルムキヤリア押え板５１はスペーサ５０に
固定されており、スペーサ５０はパンチホルダ４１に上
下動可能に設けられた押え板作動ロツド５４に固定され
ている。押え板作動ロツド５４の中間にはリング部５４
ａが形成されており、このリング部５４ａとパンチホル
ダ４１間にはスプリング５５が配設され、押え板作動ロ
ツド５４は下方に付勢されている。前記パンチ４２の下
端には作動ねじ５６が螺合されており、この作動ねじ５
６にはロツクねじ５７が螺合されて作動ねじ５６の緩み
を防止している。作動ねじ５６には押え板作動板５８が
固定されており、この押え板作動板５８と押え板作動ロ
ツド５４のリング部５４ａ間には前記スプリング５５よ
り弱いスプリング５９が配設されている。従って、押え
板作動板５８が最下降位置にある時は、スプリング５５
の付勢力で押え板作動ロツド５４は下方に付勢され、ス
ペーサ５０はパンチホルダ４１の溝４１ａの底面に当接
している。

再び第１図に戻って、前記押え板作動板５８には検出板
６０が固定されており、この検出板６０を挟持する形で
上下に上限検出センサ６１と下限検出センサ６２と前記
支持板１１に固定されている。

前記パンチング部４０の下方には中間作動部６５が設け
られている。この中間作動部６５は支持板１１に固定さ
れたホルダ６６を有し、このホルダ６６には中間作動ロ
ツド６７が上下動自在に設けられている。中間作動ロツ
ド６７は下端にカムフオロア６８が回転自在に設けられ
ている。

前記カムフオロア６８は上面にカム面を有するリニアカ
ム７０に当接している。リニアカム７０はベース板１０
に固定されたエアシリンダ７１の作動ロツドに固定さ
れ、水平動するようになつている。リニアカム７０に対
応したベース板１０の上面にはリニアカム７０の底面を
ガイドするガイド板７２が固定され、更にガイド板７２
にはリニアカム７０の両側面をガイドするガイドローラ
７３が回転自在に設けられている。

次に作用について説明する。まず始動前に先立ち、フイ
ルムキヤリア１のセツトを行う。これは、まずスプロケ
ツトカバー３２、３３を矢印Ｄ方向に蝶番３４、３５を
支点として回動させて開状態にしておく。次に図示しな
い供給リールよりフイルムキヤリア１を引き出し、スプ
ロケツト１５の上面、パンチング部４０の隙間５３及び
スプロケツト１６の上面を通し、図示しない巻取りリー
ルに固定する。そして、スプロケツト１５と１６間にお
けるフイルムキヤリア１の部分が若干のたるみを有する
ようにスプロケツト１５、１６のスプロケツトピンにフ
イルムキヤリア１のスプロケツト穴１ａを係合させる。
この状態でスプロケツトカバー３２、３３を図示のよう
に閉じる。

このようにスプロケツトカバー３２、３３でフイルムキ
ヤリア１をスプロケツト１５、１６に押付けるので、ス
プロケツト１５、１６間にフイルムキヤリア１の若干の
たるみを持たせてもフイルムキヤリア１のスプロケツト
穴１ａがスプロケツト１５、１６のスプロケツト穴１ａ
から離れることはない。

この状態でモータ２１を始動させると、前記したように
スプロケツト１５、１６は同期して回転し、フイルムキ
ヤリア１が間欠的に送られ、固形デバイス２がパンチ４
２の上方に位置して停止し、その後エアシリンダ７１が
作動する。これによりリニアカム７０によつてカムフオ
ロア６８と共に中間作動ロツド６７が上方に移動させら
れる。また中間作動ロツド６７が上方に移動すると、押
え板作動板５８を介してまずパンチ４２と共にフイルム
キヤリア位置決めピン４５が上昇する。前記したように
フイルムキヤリア位置決めピン４５の先端はパンチ４２
の先端より上方に位置しているので、まずフイルムキヤ
リア位置決めピン４５がフイルムキヤリア１のスプロケ
ツト穴１ａに挿入され、パンチングされるフイルムキヤ
リア１の部分が位置決めされる。このフイルムキヤリア
位置決めピン４５による位置決め後にパンチ４２はフイ
ルムキヤリア１の下面に達するが、その前にスプリング
５９が押え板作動板５８によつて縮められ、押え板作動
ロツド５４が押え板作動板５８と共に上昇する。押え板
作動ロツド５４が上昇すると、スペーサ５０と共にフイ
ルムキヤリア押え板５１が上昇し、前記したようにフイ
ルムキヤリア位置決めピン４５によつて位置決めされフ
イルムキヤリア１はフイルムキヤリア押え板５１によつ
てダイ５２の下面に押付けられて固定される。この状態
で初めてパンチ４２はフイルムキヤリア１の下面に到達
し、フイルムキヤリア１の外部リード２ａを第７図に２
点鎖線で示す部分を打抜く。この打抜かれた固形デバイ
ス２は吸着孔４３ａで真空吸着保持され、飛び散った
り、位置ずれが生じたりするのが防止される。

パンチ４２上に保持された固形デバイス２は、ダイ５２
の上方に配設されたリードフレーム３又は基板４のリー
ド接合部３ａ又は４ａに接合されるか、又はダイ５２の
上方に配設された吸着ノズルに受け渡しされ、吸着ノズ
ルがＸＹ方向に移動してリードフレーム３又は基板４の
リード接合部３ａ又は４ａ上に載置し、その後ツールで
接合される。

前記のように固形デバイス２を直接リードフレーム３又
は基板４のリード接合部３ａ又は４ａに接合した後、又
は吸着ノズルに受け渡した後、エアシリンダ７１は前記
と逆方向に作動する。これによりスプリング５５、５９
の付勢力でパンチ４２、フイルムキヤリア位置決めピン
４５、スペーサ５０及びフイルムキヤリア押え板５１は
下降し、図示の状態となる。

このように、スプロケツト１５、１６は同期して駆動さ
せられるので、スプロケツト１５、１６間のフイルムキ
ヤリア１の部分は常に一定のたるみを保持することがで
きる。このため、フイルムキヤリア１のスプロケツト穴
１ａがフイルムキヤリア位置決めピン４５に対して若干
ずれてもフイルムキヤリア位置決めピン４５はスプロケ
ツト穴１ａに挿入されてフイルムキヤリア１の位置を修
正することができるので、高精度の打抜きが行える。ま
たスプロケツトカバー３２、３３を設けることにより、
フイルムキヤリア１のスプロケツト穴１ａがスプロケツ
ト１５、１６のスプロケツトピンから離れることも防止
される。

なお、上記実施例は、外部リード接合ボンダの場合につ
いて説明したが、内部リード接合ボンダ及びペレツト接
合ボンダにも適用できることはいうまでもない。内部リ
ード接合ボンダの場合は、パンチング装置（番号４０〜
７３）に代え、フイルムキヤリア１の下方にペレツトを
位置決め載置するテーブルを設け、フイルムキヤリア１
の上方にツールを設ける。またペレツト接合ボンダの場
合は、フイルムキヤリア１の下方にフイルムキヤリア支
持台を設け、フイルムキヤリア１の上方にはペレツトを
吸着してフイルムキヤリア１に接合させる吸着ノズルが
配設されることはいうまでもない。

［発明の効果］ 以上の説明から明らかなように、本発明によれば、供給
側スプロケツトと巻取り側スプロケツトを同期回転する
ように構成してなるので、フイルムキヤリアのスプロケ
ツト穴がフイルムキヤリア位置決めピンに対して若干ず
れてもフイルムキヤリア位置決めピンはスプロケツト穴
に挿入されてフイルムキヤリアの位置を修正することが
でき、フイルムキヤリアを高精度に位置決めすることが
できる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例を示す正面図、第２図は一部
断面で示す第１図の平面図、第３図は第１図のＡ−Ａ線
断面図、第４図は第１図のパンチング部のＢ−Ｂ線断面
拡大図、第５図は第４図の平面図、第６図は第５図のＣ
−Ｃ線矢視図、第７図はフイルムキヤリアの平面図、第
８図はリードフレームの平面図、第９図は基板の平面
図、第１０図はリードフレームに接合された固形デバイ
スの平面図、第１１図は基板に接合された固形デバイス
の平面図及び側面図である。 １：フイルムキヤリア、 １５、１６：スプロケツト、 １７、１８：プーリ、 １９：タイミングベルト、２０：プーリ、 ２１：モータ、２２：プーリ、 ２３：タイミングベルト、 ３２、３３：スプロケツトカバー、 ４０：パンチング部。

フロントページの続き (72)発明者 板東 昭雄 東京都武蔵村山市伊奈平２丁目51番地の１ 株式会社新川内 (72)発明者 石田 久雄 東京都武蔵村山市伊奈平２丁目51番地の１ 株式会社新川内 (72)発明者 西村 明浩 東京都武蔵村山市伊奈平２丁目51番地の１ 株式会社新川内 (72)発明者 山口 弘 東京都板橋区蓮根１−６−５ (72)発明者 稲井 徹郎 埼玉県新座市新座３−３−５−403

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】加工部の両側に供給側及び巻取り側スプロ
   ケツトが配設され、フイルムキヤリアを供給リールより
   供給側スプロケツト、加工部及び巻取り側スプロケツト
   を通して巻取りリールに巻取るボンダ用フイルムキヤリ
   ア駆動機構において、前記巻取り側スプロケツトを駆動
   するモータと、前記供給側スプロケツトが前記巻取り側
   スプロケツトに同期回転するように両スプロケツトを連
   結するベルト伝動手段とを設けたことを特徴とするボン
   ダ用フイルムキヤリア駆動機構。
2. 【請求項２】加工部の両側に供給側及び巻取り側スプロ
   ケツトが配設され、フイルムキヤリアを供給リールより
   供給側スプロケツト、加工部及び巻取り側スプロケツト
   を通して巻取りリールに巻取るボンダ用フイルムキヤリ
   ア駆動機構において、前記巻取り側スプロケツトを駆動
   するモータと、前記供給側スプロケツトが前記巻取り側
   スプロケツトに同期回転するように両スプロケツトを連
   結するベルト伝動手段と、前記フイルムキヤリアを前記
   スプロケツトに押付ける開閉自在のスプロケツトカバー
   とを設けたことを特徴とするボンダ用フイルムキヤリア
   駆動機構。