JP2617356B2 - タブテ−プボンディング装置 - Google Patents

タブテ−プボンディング装置

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Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明はタブテープに半導体チツプ又は単体のバンプ
をボンデイングするタブテープボンデイング装置に関す
る。
［従来の技術］ 従来のダブテープボンデイング装置として、例えば特
開昭47−12529号公報（以下公知例１という）、特開昭5
4−116875号公報（以下公知例２という）及び特開昭63
−166238号公報（以下公知例３という）等に示すものが
知られている。
公知例１及び２は、タブテープが巻回された供給リー
ルを有するローダ部と、ボンデイングが終了したタブテ
ープを巻取る巻取りリールを有するアンローダ部と、前
記ローダ部と前記アンローダ部間に配設され、タブテー
プに半導体チツプをボンデイングするボンデイング装置
と、前記供給リールに巻回されたタブテープを前記ボン
デイング装置及び前記巻取りリールに一定ピッチで間欠
的に送るテープ送り手段とを備えている。ここで、前記
テープ送り手段は、タブテープに設けられたパーフォレ
ーションにスプロケットホイールの歯が係合して送るス
プロケットホイール駆動手段となっている。
公知例３は、アンローダ部がマガジン装置よりなるの
で、ボンデイングが終了したタブテープを一定寸法の短
冊状に切断するために、スプロケットホイール駆動手段
とマガジン装置間にタブテープを切断するカツター装置
を有し、更にこの切断されて短冊状となったタブテープ
をマガジン装置側に送るためのテープ送り手段としてロ
ーラ駆動手段を備えている。
従って、上記従来技術によれば、供給リールに巻かれ
たタブテープはスプロケットホイール駆動手段でボンデ
イング装置のボンデイング装置に一定ピッチづつ送ら
れ、半導体チツプがボンデイングされる。次に公知例１
及び２の場合には、ボンデイングが終了したタブテープ
はスプロケットホイール駆動手段によって送られて巻取
りリールに巻かれる。公知例３の場合には、ボンデイン
グが終了してスプロケットホイール駆動手段で送られて
きたタブテープは、カツター装置で短冊状に切断され、
この短冊状のタブテープはローラ駆動手段で送られてマ
ガジンに収納される。
［発明が解決しようとする問題点］ 上記従来技術は、タブテープをスプロケットホイール
駆動手段で送るので、タブテープに形成されているパー
フォレーションのピッチ、形状及びタブテープの幅の違
い等、即ち使用するタブテープの種類によりスプロケッ
トホイールを交換しなければならないという問題があっ
た。
またスプロケットホイールによって強制的に送るの
で、スプロケットホイールの歯によってパーフォレーシ
ョンに傷が付くと共に、スプロケットホイールの歯とパ
ーフォレーション穴とのがたでタブテープの停止する位
置にばらつきが生じ、タブテープの位置決め精度が悪い
という問題があった。
本発明の目的は、タブテープの種類が異なっても部品
を交換する必要がなく、またタブテープの位置決め精度
が向上するタブテープボンデイング装置を提供すること
にある。
［問題点を解決するための手段］ 上記目的を達成するための本発明の手段は、供給リー
ルに巻かれて供給されたタブテープに半導体チツプ等を
ボンデイングするボンデイング装置と、このボンデイン
グ装置でボンデイングされたタブテープを一定寸法に切
断するカツター装置と、このカツター装置で切断された
短冊状のタブテープを収納するマガジンを上下方向に駆
動するマガジン装置と、前記ボンデイング装置と前記カ
ツター装置との間に配設され、タブテープを送る第１の
駆動手段と、前記カツター装置と前記マガジン装置との
間に配設され、前記短冊状のタブテープを送る第２の駆
動手段とを備えたタブテープボンデイング装置におい
て、前記第１及び第２の駆動手段は、送りローラを有す
る第１及び第２のローラ駆動手段よりなり、前記第１の
ローラ駆動手段の送りローラと前記カツター装置間に配
設され、タブテープに設けられた穴を検出する検出手段
と、この検出手段の検出結果によって前記第１のローラ
駆動手段を制御する制御装置とを有し、前記第２のロー
ラ駆動手段の送りローラは、前記第１のローラ駆動手段
の送りローラより大きな周速となるように構成してなる
ことを特徴とする。
［作用］ 供給リールに巻かれた長尺状のタブテープは、第１の
ローラ駆動手段によってボンデイング装置のボンデイン
グ位置に送られる。このローラ駆動手段でタブテープが
送られると、タブテープに設けられた穴が検出手段で検
出される。そこで、予めタブテープの送り量を制御装置
にプログラムによって設定しておくことにより、検出手
段によって検出したパーフォレーションの数が設定個数
になると、制御装置によってタブテープの送りが停止
し、ボンデイング位置が定まる。そこで、ボンデイング
装置で半導体チップがボンデイングされる。その後アン
ローダ部が巻取りリールの場合には、巻取りリールに巻
取られる。アンローダ部がマガジン装置の場合には、カ
ツター装置で一定の寸法に切断され、この切断された短
冊状のタブテープは第２のローラ駆動手段で搬送されマ
ガジンに収納される。
このように、タブテープはローラ駆動手段で送られる
ので、タブテープのパーフォレーションのピッチ及び形
状が変っても、ローラ駆動手段によるタブテープの送り
量を制御するのみでよい。またタブテープの幅が変った
場合には、ローラ駆動手段の幅方向に配設された送りロ
ーラの間隔を変えるのみでよい。
またアンローダ部がマガジン装置の場合は、第２のロ
ーラ駆動手段の周速を第１のローラ駆動手段の周速より
大きくすることにより、カツター装置の部分に位置する
タブテープは一定のテンシヨンで張られるので、タブテ
ープの蛇行及びジヤムが防止される。
またローラ駆動手段の送りローラと該送りローラの駆
動源とをワンウェイクラッチで連結することにより、タ
ブテープに対するテンシヨンが均一化され、タブテープ
の送り精度が向上する。
［実施例］ 以下、本発明の一実施例を図により説明する。第１図
に示すように、タブテープ１は保護テープ２と共に供給
リール３に巻かれており、タブテープ１はガイドローラ
４、テンシヨンローラ５、ガイドローラ６を介してボン
デイング装置10のボンデイング部11に導かれ、前記保護
テープ２は保護テープリール７に巻き取られる。
ボンデイング部11の両側にはタブテープ１を案内する
ガイドローラ12、13が設けられている。ボンデイング装
置10は、ボンデイング部11の下方に配設されたXY上下移
動装置14とボンデイング部11の上方に配設されたボンデ
イングツール15とからなる。XY上下移動装置14は、XY方
向及び上下方向に移動可能であり、上面には半導体チツ
プ16が分離接着されたチツプ載置台17が位置決め載置さ
れている。またボンデイングツール15は、上下動するこ
とにより半導体チツプ16とタブテープ１のインナーリー
ドとをボンデイングする。
前記ボンデイング部11を通ったタブテープ１は、直線
状にカツター装置20を経てマガジン装置21に導かれるよ
うになつている。マガジン装置21の入口側にはプツシヤ
手段22が設けられている。プツシヤ手段22は、装置の固
定部に回転自在に設けられたブツシヤ23を有し、このプ
ツシヤ23は、タブテープ１の送り方向に伸びている。ま
た装置の固定部にはモータ24が固定されており、このモ
ータ24の出力軸には円板25が固定されている。円板25に
はプツシヤ23の水平に伸びた作動レバー部23aに作用す
るカムフオロア26が固定されている。
以上は従来公知の装置と同じであるので、これ以上の
説明は省略する。
前記ボンデイング装置10とカツター装置20との間及び
前記カツター装置20と前記マガジン装置21との間には第
１のローラ駆動手段30と複数個（実施例は２個）の第２
のローラ駆動手段31、32が配設されている。以下、第２
のローラ駆動手段31、32において、ローラ駆動手段31は
前方側の第２のローラ駆動手段31と呼び、ローラ駆動手
段32は後方側の第２のローラ駆動手段32と呼ぶ。ローラ
駆動手段30〜32は、同じ構成よりなるので、以下、第１
のローラ駆動手段30について説明する。ただし、第２の
ローラ駆動手段31、32に言及する場合には、同一又は相
当部材には、番号の後に符号Ａ、Ｂを付して区別する。
第１のローラ駆動手段30は、第２図に示すような構成
よりなっている。即ち、タブテープ１の上方には、装置
の固定部に支軸33を中心として揺動自在に設けられたコ
字状のローラ支持ブロック34が配設されており、このロ
ーラ支持ブロック34にはローラ軸35が回転自在に支承さ
れている。ローラ軸35には、ローラ支持ブロック34の内
側に配設された２個の上側送りローラ36と、ローラ支持
ブロック34の外側に配設されたギア37とが固定されてい
る。ギア37にはギア38が噛合しており、ギア38はワンウ
ェイクラッチ39を介して駆動軸40の一端に取付けられて
いる。駆動軸40は装置の固定部に軸受41を介して回転自
在に支承されており、他端にはプーリ42が固定されてい
る。
前記ローラ軸35の下方には該ローラ軸35と平行にロー
ラ軸45が配設され、ローラ軸45は装置の固定部に軸受46
及びローラ支持板47に回転自在に支承されている。ロー
ラ軸45には、前記上側送りローラ36に対応し、かつタブ
テープ１の下面に接触する位置に下側送りローラ48がワ
ンウェイクラッチ49を介して取付けられている。またロ
ーラ軸45にはプーリ50、51が固定されており、プーリ50
と前記プーリ42とにはタイミングベルト52が掛け渡され
ている。
第１図に示すように、第１のローラ駆動手段30のプー
リ51と前方側の第２のローラ駆動手段31のローラ軸45A
にはモータ54が連結されている。また後方側の第２のロ
ーラ駆動手段32のローラ軸45Bにもモータ55が連結され
ている。また上側送りローラ36A及び下側送りローラ48A
はそれぞれ上側送りローラ36及び下側送りローラ48の外
径より大きく、更に上側送りローラ36B及び下側送りロ
ーラ48Bはそれぞれ上側送りローラ36A及び下側送りロー
ラ48Aの外径より大きく形成されている。即ち、第２の
ローラ駆動手段31、32の送りローラ36A、48A及び36B、4
8Bは、第１のローラ駆動手段30の送りローラ36、48より
大きな周速となるように構成されている。
従って、モータ54、55が駆動すると、ローラ軸45A、4
5Bが時計方向に回転し、下側送りローラ48A、48Bも時計
方向に回転する。またプーリ51A、タイミングベルト5
3、プーリ51を介してローラ軸45も時計方向に回転する
ので、下側送りローラ48も時計方向に回転する。前記の
ようにローラ軸45、45A、45Bが時計方向に回転すると、
プーリ50、50A、50B、タイミイングベルト52、52A、52
B、プーリ42、42A、42Bを介して駆動軸40、40A、40B及
びギア38、38A、38Bが時計方向に回転する。これによ
り、ギア37、37A、37B、ローラ軸35、35A、35Bを介して
上側送りローラ36、36A、36Bが反時計方向に回転する。
このようにギア38、38A、38Bは時計方向に回転するの
で、ローラ支持ブロック34、34A、35Bを時計方向に揺動
させる。これにより、上側送りローラ36、36A、36Bはタ
ブテープ１を下側送りローラ48、48A、48Bに押付けて反
時計方向に回転する。従って、タブテープ１は上側送り
ローラ36と下側送りローラ48、36Aと48A、36Bと48Bとに
挟持されて送られる。
また第１のローラ駆動手段30とカツター装置20との間
には、タブテープ１に形成されているパーフォレーシヨ
ンを検出する検出センサー60が配設されている。またマ
ガジン装置21の前方にはタブテープ１の通過（終端）を
検出する検出センサー61が配設されている。
第３図に示すように、XY上下移動装置14、ボンデイン
グツール15、ローラ駆動手段30〜32、カツター装置20及
びプツシヤ手段22は、それぞれ制御装置70より制御回路
71〜76を介して駆動される。タブテープ１の送り量は、
制御装置70に予めプログラムによって設定されており、
検出センサー60がタブテープ１に形成されたパーフォレ
ーシヨンを検出して、これをカウンタ77によりカウント
して設定個数になると、制御装置70の指令によって第１
のローラ駆動手段30及び前方側の第２のローラ駆動手段
31が停止する。またカツター装置20の駆動は、タブテー
プ１に予め設定された数だけ半導体チツプ16がボンデイ
ングされると、制御装置70の指令によって作動する。ま
たプツシヤ手段22は検出センサー61の信号による制御装
置70からの指令によって作動する。
次に作用について説明する。供給リール３に巻かれた
タブテープ１は、第１のローラ駆動手段30が間欠的に駆
動することにより一定ピッチで送られる。そして、前記
したように検出センサー60によってタブテープ１のパー
フォレーシヨンを検出し、カウンタ77によるカウント数
が設定個数分になると、モータ54が停止される。これに
より、タブテープ１のボンデイング位置が定まる。
供給リール３から供給されたタブテープ１のインナー
リード部分がボンデイング部11に位置して位置決めされ
ると、XY上下移動装置14が上昇、ボンデイングツール15
が下降してタブテープ１のインナーリードに半導体チツ
プ16がボンデイングされる。ボンデイング後、XY上下移
動装置14は下降し、その後XY方向に移動して次にボンデ
イングされる半導体チツプ16がボンデイング位置へ位置
合せされる。また同時にボンデイングツール15が上昇す
る。この動作の繰返しにより、順次タブテープ１のイン
ナーリードに半導体チツプ16がボンデイングされる。
このようにしてボンデイングが終了したタブテープ１
はローラ駆動手段30により直線状のテープガイド20を通
ってカツター装置20及び第２のローラ駆動手段31、32に
順次送られる。そして、タブテープ１が予め設定された
数だけ半導体チツプ16が上記のようにしてボンデイング
されると、制御装置70より制御回路75を介してカツター
装置20が作動し、タブテープ１は短冊状に切断される。
カツター装置20によるタブテープ１の切断が終了する
と、ローラ駆動手段30〜32が作動し、短冊状のタブテー
プ１はマガジン装置21の方へ送られる。
検出センサー61が短冊状に切断されたタブテープ１の
通過を読み取ると、プツシヤ手段22が作動し、タブテー
プ１の後部端面を押す。これにより、タブテープ１はマ
ガジン装置21のマガジン内に押し込まれる。
なお、上記実施例においては、検出センサー60は第１
のローラ駆動手段30の後方に設けたが、前方に設けても
よい。また検出センサー60はタブテープ１のパーフォレ
ーシヨンを検出するようにしたが、タブテープ１に検出
用の穴を設け、この穴を検出するようにしてもよい。タ
ブテープ１に半導体チツプ16をボンデイングする場合に
ついて説明したが、単体のバンプをボンデイングする場
合にも適用できる。
このように、タブテープ１は第１及び第２のローラ駆
動手段30〜32で送られるので、タブテープ１のパーフォ
レーションのピッチ及び形状が変っても、ローラ駆動手
段30〜32によるタブテープ１の送り量を制御するのみで
よい。またタブテープ１の幅が変った場合には、例えば
第１のローラ駆動手段30について見ると、送りローラ36
と36の間隔及び48と48の間隔を変えるのみでよい。
またアンローダ部がマガジン装置21の場合は、第２の
ローラ駆動手段31、32の周速を第１のローラ駆動手段30
の周速より大きくすることにより、カツター装置20の部
分に位置するタブテープ１は一定のテンシヨンで張られ
るので、タブテープ１の蛇行及びジヤムが防止される。
また第１のローラ駆動手段30の送りローラ36、48と該
送りローラ36、48の駆動軸40、45とをワンウェイクラッ
チ39、49で連結することにより、タブテープ１に対する
テンシヨンが均一化され、タブテープ１の送り精度が向
上する。これは第２のローラ駆動手段31、32についても
同様である。
［発明の効果］ 以上の説明から明らかなように、本発明によれば、タ
ブテープをローラ駆動手段で送り、その送り量を制御装
置で制御するので、タブテープの種類が異なっても部品
を交換する必要がなく、またタブテープの位置決め精度
が向上する。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明の一実施例になるタブテープボンデイン
グ装置の概略構成を示す説明図、第２図は第１図のロー
ラ駆動手段の斜視図、第３図は制御回路のブロツク図で
ある。 1:タブテープ、3:供給リール、10:ボンデイング装置、1
1:ボンデイング部、14:XY上下移動装置、15:ボンデイン
グツール、16:半導体チツプ、20:カツター装置、21:マ
ガジン装置、30:第１のローラ駆動手段、31、32:第１の
ローラ駆動手段、36、36A、36B:上側送りローラ、39:ワ
ンウェイクラッチ、48、48A、48B:下側送りローラ、49:
ワンウェイクラッチ、54、55:モータ、60:検出センサ
ー、70:制御装置。

Claims (3)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】供給リールに巻かれて供給されたタブテー
    プに半導体チツプ等をボンデイングするボンデイング装
    置と、このボンデイング装置でボンデイングされたタブ
    テープを一定寸法に切断するカツター装置と、このカツ
    ター装置で切断された短冊状のタブテープを収納するマ
    ガジンを上下方向に駆動するマガジン装置と、前記ボン
    デイング装置と前記カツター装置との間に配設され、タ
    ブテープを送る第１の駆動手段と、前記カツター装置と
    前記マガジン装置との間に配設され、前記短冊状のタブ
    テープを送る第２の駆動手段とを備えたタブテープボン
    デイング装置において、前記第１及び第２の駆動手段
    は、送りローラを有する第１及び第２のローラ駆動手段
    よりなり、前記第１のローラ駆動手段の送りローラと前
    記カツター装置間に配設され、タブテープに設けられた
    穴を検出する検出手段と、この検出手段の検出結果によ
    って前記第１のローラ駆動手段を制御する制御装置とを
    有し、前記第２のローラ駆動手段の送りローラは、前記
    第１のローラ駆動手段の送りローラより大きな周速とな
    るように構成してなることを特徴とするタブテープボン
    デイング装置。
  2. 【請求項２】前記第２のローラ駆動手段は、複数のロー
    ラ駆動手段よりなり、前記カツター装置側のローラ駆動
    手段の送りローラが前記第１のローラ駆動手段の送りロ
    ーラより大きな周速となるように構成してなることを特
    徴とする請求項１記載のタブテープボンデイング装置。
  3. 【請求項３】前記第１及び第２のローラ駆動手段の送り
    ローラは、該送りローラの駆動源とワンウェイクラッチ
    を介して連結されていることを特徴とする請求項１又は
    ２記載のタブテープボンデイング装置。
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