JPS6320842A - ボンダ用フイルムキヤリア駆動機構 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、内部リード接合、外部リード接合、ペレット
接合等を行うポンダにおけるフィルトキャリア駆動機構
に関する。

［従来の技術］ 周知の如く、内部リード接合ボンダは、フィルムキャリ
アの内部リードと半導体ペレットの電極とを一括して接
合するものであり、外部リード接合ポンダは、前記のよ
うにフィルムキャリアの内部リード（外部リード接合の
場合は＝一般に外部リードと呼ばれている）に接合され
た半導体ペレットを外部リードと共にフィルトキャリア
より打抜き、この゛ｈ導体ペレットに取旧けられた外部
り−ドをリードフレーム等に一括して接合するもので、
ペレツ）　７６合ポンダは、半導体ペレットのみをリー
ドフレーム等に接合するものである。以下、外部リード
接合ポンダの場合について説１１する。

外部リード接合ポンダは、第７図に示すように、両側（
ニジにスプロケット穴１ａを備えたフィルムキャリアｌ
に外部リード２ａによって支えられた固形デバイス２を
パンチングにより打抜き、第８図に示すリードフレーム
３又は第９図に示す基板４のリード接合部３ａ又は４ａ
に外部リード２ａを位置合わせして載置し、第１θ図及
び第１１図に示すように、外部リード２ａとリード接合
部３ａとをポンディングによって接合する工程を全自動
で行うものである。

フィルムキャリアｌから固形デバイス２を打抜くパンチ
ング装置の両側にはフィルムキャリアｌのスプロケット
穴１ａに係合するスプロケットピンを有するスプロケッ
トが配設されており、フィルムキャリアｌは供給リール
から前記スプロケットを通り巻取リリールに巻取られる
。

従来のフィルムキャリア駆動機構は、前記春１ｆｉリリ
ール側のスプロケットを駆動部とし、他方の供給リール
側のスプロケットは単に装置の固定部に回転自在に設け
、かつ２個のスプロケット間でフィルムキャリアｌがた
るまないようにフィルムキャリアｌにバックテンション
をかけた構造となっている。

一方、前記したようにフィルムキャリア１から固形デバ
イス２をパンチング装置で打抜く場合。

フィルムキャリア位置決めピンをフィルムキャリアｌの
スプロケット穴１ａに挿入してフィルムキャリアｌを位
置決めする必要がある。

［発明が解決しようとする問題点］ 上記従来例は、巻取リリール側のスプロケットを駆動部
とし、他方のスプロケットを回転自在に設け、かつフィ
ルムキャリアｌにバックテンションをかけているので１
両スプロケット間のフィルムキャリア部分にはゆるみが
なくはられた状態にある。このため、駆動スプロケット
の回転誤差が生じたりした場合、フィルムキャリア位置
決めピンによってフィルムキャリアｌを高精度に位２１
決めできないことが生じることがあり、特にひどい時は
フィルムキャリア位置決めピンがフィルムキャリアｌに
挿入されないことが生じる。

本発明の目的は、フィルムキャリアを高精度に位置決め
することができるポンダ用フィルムキャリア駆動機構を
提供することにある。

［問題点を解決するための手段］ 上記従来技術の問題点は、ａＪＩＸり側スプロケットを
駆動するモータと、供給側スプロケットが前記巻取り側
スプロケットに同期回転するように両スプロケットを連
結するベルト伝動−１段とを設けた構成にすることによ
り解決される。

［作用］ ２個のスプロケットは同期回転するので、スプロケット
間のフィルムキャリアの長さは変動することがない、そ
こで、スプロケット間には常に一定のたるみをフィルム
キャリアに持たせることができる。従って、フィルムキ
ャリアの加工部分の位置ずれがあっても容易にフィルム
キャリア位置決めピンがフィルムキャリアのスプロケッ
ト穴に挿入され、フィルムキャリアの加工部分の位置ず
れは修正される。

［実施例］ 以下、本発明の一実施例を第１図乃至第６図に従って説
明する。第１図乃至第３図に示すように、ベース板１０
には支持板１１が固定されており、この支持板ｌｌには
２個のスプロケット軸１３．１４が一定距ｒａ離れて回
転自在に支承されており、このスプロケット軸１３．１
４の一端側にはそれぞれスプロケツ）１５．１６が固定
されている。スプロケット軸１３．１４の他端側にはそ
れぞれプーリ１７，１８が固定されており、これらプー
リ１７．１８にはタイミングベルト１９が掛けられてい
る。更に前記右側のスプロケット軸１４にはプーリ２０
が固定されている。また支持板１１にはモータ２１が固
定されており、このモータ２１の出力軸に固定されたプ
ーリ２２と前記プーリ２０とにはタイミングベルト２３
が掛けられている、またスプロケツ）１５．１６の外周
には図示しないが、フィルムキャリアｌのスプロケット
穴１ａ（第５図参照）に係合するスプロケットピンが’
９１７１１隔に設けられている。

そこで、モータ２１が定角間欠回転すると、プーリ２２
．タイミングベルト２３、プーリ２０゜スプロケット軸
１４を介してスプロケット１６が回転する。またプーリ
１８．１７、タイミングベルト１９．スプロケット軸１
３を介してスプロケ・　ット１５が前記スプロケット１
６に同期して回転させられる。これにより、フィルムキ
ャリアｌを定寸づつ順送りすることができる。なお、フ
ィルムキャリアｌは図示しない供給リールからスプロケ
ット１５．１６を通り図示しない巻取りリールに巻取ら
れる。

前記スプロケツ）１５のフィルムキャリア１の進入側及
び前記スプロケット１６のフィルムキャリア１の退出側
には支持板１１に固定されたカバー支持板３０．３１が
固定されている。カバー支持板３０．３１にはスプロケ
ット１５．１８とほぼ同じ円弧の内面を有するスプロケ
ットカバー３２．３３がそれぞれ蝶番３４，３５を介し
て開閉自在に取付けられている。

前記スプロケット１５．１６間にはパンチング部４０が
設けられている。パンチングｉ’！！Ｉ４０は、前記支
持板１１に固定されたパンチホルダ４１を有し、第４図
乃至第６図に示すように、パンチホルダ４１内にパンチ
４２が上下動自在に設けられている。パンチ４２の内部
の上方側には固形デバイス吸着ノズル４３が配設され、
この固形デバイス吸着ノズル４３はねじ４４でパンチ４
２に固定されている。固形デバイス吸着ノズル４３には
吸着孔４３ａが形成されており、この吸着孔４３ａは図
示しない真空ポンプに連結されている。またパンチ４２
の両側にはフィルムキャリアｌのスプロケット穴１ａに
挿入されるフィルムキャリア位置決めピン４５が固定さ
れている。

前記パンチホルダ４１の上面には１Ｊ４１ａが形成され
ており、この溝４１ａにスペーサ５０及びフィルムキャ
リア押え板５１が上下動回走に配設されている。これら
スペーサ５０及びフィルムキャリア押え板５１には前記
パンチ４２及びフィルムキャリア位置決めピン４５が上
下動可能に挿通されるようにそれぞれ穴が形成されてい
る。ここで、前記パンチ４２及びフィルムキャリア位置
決めピン４５は、パンチ４２が最下降位置にある時はフ
ィルムキャリア押え板５１より突出しなく、かつパンチ
４２の先端はフィルムキャリア位置決めピン４５の先端
より下方にあるように形成されている。前記パンチホル
ダ４１の上面にはダイ５２が固定されており、このダイ
５２の下面と曲記フィルムキャリア押え板５１の、上面
との隙間５３がフィルムキャリアｌの通路を形成してい
る。前記フィルムキャリア押え板５１はスペーサ５０に
固定されており、スペーサ５０はパンチホルダ４１に上
下動可能に設けられた押え板作動ロッド５４に固定され
ている。押え板作動ロッド５４の中間にはリングｆｆ１
５４ａが形成されており、このリングＦ１１５４ａとパ
ンチホルダ４１間にはスプリング５５が配設され、押え
板作動ロッド５４は下方に付勢されている。前記パンチ
４２の下端には作動ねじ５６が螺合されており、この作
動ねじ５６にはロックねじ５７が螺合されて作動ねじ５
６の緩みを防止している０作動ねじ５６には押え仮作動
板５８が固定されており、この押え仮作動板５８と押＆
板作動ロッド５４のリングＦｊＢ　５４　ａ間には前記
スプリング５５より弱いスプリング５９が配設されてい
る。従って、押え仮作動板５８が最下降位置にある時は
、スプリング５５の付勢力で押え板作動ロッド５４は下
方に付勢され、スペーサ５０はパンチホルダ４１の溝４
１ａの底面に当接している。

再び第１図に戻って、荊記押え仮作動板５８には検出板
６０が固定されており、この検出板６０を挟持する形で
上下に上限検出センサ６１と下限検出センサ６２とが前
記支持板１１に固定されている。

１γ１記パンチング１４０の下方には中間作動？Ｂ６５
が設けられている。この中間作動部６５は支持板ｌ！に
固定されたホルダ６６を有し、このホルダ６６には中間
作動ロッド６７が上下動自在に設けられている。中間作
動ロッド６７は下端にカムフォロア６８が回転自在に設
けられている。

前記カムフォロア６８は上面にカム面を有するリニアカ
ム７０！ｆｆｉ＋６している。リニアカム７０はベース
板１０に固定されたエアシリンダ７１の作動ロッドに固
定され、水平動するようになっている。リニアカム７０
に対応したベース板１０の上面にはリニアカム７０の底
面をガイドするガイド板７２が固定され、更にガイド板
７２にはりニアカム７０の両側面をガイドするガイドロ
ーラ７３が回転自在に設けられている。

次に作用について説ＩＪＩする。まず始動前に先立ち、
フィルムキャリアｌのセットを行う、これは、まずスプ
ロケットカバー３２．３３を矢印り方向に蝶番３４．３
５を支点として回動させて開状態にしておく０次に図示
しない供給リールよりフィルムキャリア１を引き出し、
スプロケット１５の上面、パンチング部４０の隙間５３
及びスプロケット１６の上面を通し、図示しない巻取り
リールに固定する。そして、スプロケット１５と１６間
におけるフィルムキャリア１の部分が若干のたるみを有
するようにスプロケット１５．１６のスプロケットピン
にフィルムキャリアｌのスプロケット穴１ａを係合させ
る。この状態でスプロケットカバー３２．３３を図示の
ように閉じる。

このようにスプロケットカバー３２．３３でフィルムキ
ャリア１をスプロケット１５．１６に押付けるので、ス
プロケツ）１５．１６間にフィルムキャリアｌの若干の
たるみを持たせてもフィル　０ムキヤリ７１のスプロケ
ット穴１ａがスプロケット１５．１６のスプロケット穴
１ａから離れることはない。

この状態でモータ２１を始動させると、前記したように
スプロケット１５．１６は同期して回転し、フィルムキ
ャリアｌが間欠的に送られ、固形デバイス２がパンチ４
２の上方に位置して停止し、その後エアシリンダ７１が
作動する。これによりリニアカム７０によってカムフォ
ロア６８と共に中間作動ロッド６７が上方に移動させら
れる。また中間作動ロッド６７が上方に移動すると、押
え仮作動板５８を介してまずパンチ４２と共にフィルム
キャリア位置決めピン４５が上昇する。前記したように
フィルムキャリア位置決めピン４５の先端はパンチ４２
の先端より上方に位ｌしているので、まずフィルムキャ
リア位置決めピン４５がフィルムキャリアｌのスプロケ
ット穴ｌａに挿入され、パンチングされるフィルムキャ
リアｌの部分が位置決めされる。このフィルムキャリア
位置決めピン４５による位置決め後にパンチ４２はフィ
ルムキャリアｌの下面に達するが、その曲にスプリング
５９が押え仮作動板５８によって縮められ、押え板作動
ロッド５４が押え仮作動板５８と共に上昇する。押え板
作動ロッド５４が上昇す゛ると、スペーサ５０と共にフ
ィルムキャリア押え板５１が上昇し１前記したようにフ
ィルムキャリア位と決めピン４５によって位置決めされ
たフィルムキャリアｌはフィルムキャリア押え板５１に
よってダイ５２の下面に押付けられて固定される。この
状態で初めてパンチ４２はフィルムキャリア１の下面に
到達し、フィルムキャリアｌの外部リード２ａを第７図
に２点鎖線で示す部分★打抜く、この打抜かれた固形デ
バイス２は吸着孔４３ａで真空吸着保持され、飛び散っ
たり、位ｌずれが生じたりするのが防止される。

パンチ４２上に保持された固形デバイス２は。

ダイ５２の上方に配設されたリードフレーム３又は基板
４のリード接合部３ａ又は４ａに接合されるか、又はダ
イ５２の上方に配設された吸着ノズルに受は渡しされ、
吸着ノズルがＸＹ方向に移動してリードフレーム３又は
基板４のリード接合部３ａ又は４ａ上に載置し、その後
ツールで接合される。

前記のように固形デバイス２を直接リードフレーム３又
は基板４のリード接合ｍ　３　ａ又は４ａに接合した後
、又は吸着ノズルに受は渡した後、エアシリンダ７１は
前記と逆方向に作動する。これによりスプリング５５．
５９の付勢力でパンチ４２、フィルムキャリア位置決め
ピン４５、スペーサ５０及びフィルムキャリア押え板５
１は下降し１図示の状態となる。

このように、スプロケット１５．１６は同期して駆動さ
せられるので、スプロケツ）１５．１６間のフィルムキ
ャリア１の部分は常に一定のたるみを保持することがで
きる。このため、フィルムキャリアｌのスプロケット穴
１ａがフィルムキャリア位置決めピン４５に対して若干
ずれてもフィルムキャリア位置決めピン４５はスプロケ
ット穴ｌａに挿入されてフィルムキャリアｌの位置を修
正することができるので、高精度の打抜きが行える。ま
たスプロケットカバー３２．３３を設けることにより、
フィルムキャリアｌのスプロケット穴１ａがスプロケッ
ト１５．１６のスプロケットピンから離れることも防止
される。

なお、上記実施例は、外部リード接合ポンダの場合につ
いて説明したが、内部リード接合ポンダ及びペレット接
合ポンダにも適用できることはいうまでもない、内部リ
ード接合ポンダの場合は、パンチング装置（番号４０〜
７３）に代え、フィルムキャリア１の下方にペレットを
位置決めａ２１するテーブルを設け、フィルムキャリア
１の上方にツールを設ける。またペレット接合ポンダの
場合は、フィルムキャリア１の下方にフィルムキャリア
支持台を設け、フィルムキャリアｌの上方にはペレット
を吸着してフィルムキャリアｌに接合させる吸着ノズル
が配設されることはいうまでもない。

［発明の効果］ 以丑の説明から明らかなように１本発明によれば、供給
側スプロケットと巻取り側スプロケット七同期回転する
ように構成してなるので、フィルムキャリアのスプロケ
ット穴がフィルムキャリア位置決めピンに対して若干ず
れてもフィルムキャリア位置決めピンはスプロケット穴
に挿入されてフィルムキャリアの位置を修正することが
で１ｇ、フィルムキャリアを高精度に位置決めすること
かでさる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例を示す正面図、第２図は一部
断面で示す第１図の平面図、第３図は第１図のＡ−Ａ線
断面図、第４図は第１図のパンチング部のＢ−Ｂ線断面
拡大図、第５図は第４図の平面図、第６図は第５図のＣ
−Ｃ線矢視図、第７図はフィルムキャリアの平面図、第
８図はリードフレームの平面図、第９図は基板の平面図
、第１θ図はリードフレームに接合された固形デバイス
の上面図、第１１図は基板に接合された固形デバイスの
平面図及び側面図である。 ｌ：フィルムキャリア。 １５．１６：スプロケット、 １７．１８：プーリ、　　　　□ １９：タイミングベルト、　　２０：プーリ、２１：モ
ータ、　　　　　　　２２：プーリ。 ２３：タイミングベルト、 ３２．３３：スプロケット力バー、 ４０：パンチング部。 第４図 第５図 第６９ 第７図 第８図

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）加工部の両側に供給側及び巻取り側スプロケット
   が配設され、フィルムキャリアを供給リールより供給側
   スプロケット、加工部及び巻取り側スプロケットを通し
   て巻取りリールに巻取るボンダ用フィルムキャリア駆動
   機構において、前記巻取り側スプロケットを駆動するモ
   ータと、前記供給側スプロケットが前記巻取り側スプロ
   ケットに同期回転するように両スプロケットを連結する
   ベルト伝動手段とを設けたことを特徴とするボンダ用フ
   ィルムキャリア駆動機構。
2. （２）加工部の両側に供給側及び巻取り側スプロケット
   が配設され、フィルムキャリアを供給リールより供給側
   スプロケット、加工部及び巻取り側スプロケットを通し
   て巻取りリールに巻取るボンダ用フィルムキャリア駆動
   機構において、前記巻取り側スプロケットを駆動するモ
   ータと、前記供給側スプロケットが前記巻取り側スプロ
   ケットに同期回転するように両スプロケットを連結する
   ベルト伝動手段と、前記フィルムキャリアを前記スプロ
   ケットに押付ける開閉自在のスプロケットカバーとを設
   けたことを特徴とするボンダ用フィルムキャリア駆動機
   構。