JPH06213927A - プローブピンの取付装置及び交換装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 プローブピンのチャックユニットの構成を簡
素化する。 【構成】 プローブピン１０の挿入軸部に、周方向にロ
ック溝１２を形成する。プローブピン１０が挿入される
筒状のコレット本体２３を設ける。コレット本体２３を
Ｚ軸ユニットに取付ベース２１により取り付ける。コレ
ット本体２３のテーパー面３５を複数条の割り溝３６で
分割して、複数個の保持爪１３を設ける。保持爪１３の
先端内側に係止部を形成する。保持爪１３上で軸方向に
移動自在にロックスリーブ２４を設ける。ロックスリー
ブ２４の内周にテーパー面４５を形成する。ロックスリ
ーブ２４をコイルバネ２５により下方に付勢する。 【効果】 プローブピン１０をワンタッチ式に着脱する
ことができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、回路基板検査機のプロ
ーブピン取付装置及び交換装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】回路基板のプリント配線の断線や短絡、
回路基板に実装された部品の種類や性能等の各種検査を
するために、プローブピンを測定部位に接触させて検査
する検査機がある。この検査機では、回路基板に合わせ
てプローブピンを固定した専用の治具（ピンボード）を
用いる他に、プローブピンをＸ−Ｙユニット及びＺ軸ユ
ニットにより移動させて行うものもある。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】前記移動式のもので
は、被測定基板毎に専用のピンボードを作る必要が無
く、しかもＺ軸ユニットを介してプローブピンをＺ軸に
対し傾斜させて取り付けることにより、測定部位に斜め
に接触することができ、通常のピンボードでは測定が困
難な高密度実装基板に対しても測定が可能になるという
利点がある。反面、通常のピンボードのプローブピンに
比べて、１本のプローブピンの使用回数が格段に多くな
るため、プローブピンの先端の消耗が激しく、プローブ
ピンの交換が頻繁になる。また、被測定物の違いによ
り、先端形状の異なるプローブピン、例えばチップ部品
用プローブピンやＱＦＰ（クォターフラットパッケー
ジ）用プローブピン等を用いる場合には、その都度交換
する必要がある。これらの場合には、オペレータが取付
ネジを緩めてプローブピンの交換を行うため、作業能率
が低下する。

【０００４】本発明は上記課題を解決するためのもので
あり、プローブピンを簡単に交換することができるよう
にした回路基板検査機のプローブピン取付装置を提供す
ることを目的とする。

【０００５】また、本発明は、複数本のプローブピンを
自動的に交換することができるようにした回路基板検査
機のプローブピン交換装置を提供することを目的とす
る。

【０００６】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、請求項１記載の発明は、Ｚ軸ユニットとプローブピ
ンとの間にチャックユニットを設けて、このチャックユ
ニットによりプローブピンをＺ軸ユニットに取り付け、
プローブピンには、その挿入軸部に、周方向にロック溝
を形成し、チャックユニットは、プローブピンの挿入軸
部が挿入される筒状のコレット本体と、コレット本体を
Ｚ軸ユニットに固定する取付ベースと、コレット本体の
先端部の外周に形成した先端に向かうに従い太くなるテ
ーパー面と、このテーパー面に軸方向に沿って形成した
複数条の割り溝と、割り溝で分割され、外側に開くよう
に付勢された複数個の保持爪と、保持爪の先端内側に形
成され、前記ロック溝に係止する係止部と、コレット本
体の保持爪部分に軸方向で移動自在に設けたロックスリ
ーブと、ロックスリーブの内周に形成され先端に向かう
に従い開くようになるテーパー面と、ロックスリーブを
コレット本体の保持爪上で先端側に付勢して、ロックス
リーブのテーパー面により保持爪を内側に押圧する付勢
手段とから構成したものである。

【０００７】また、請求項２記載の発明は、ユニット本
体に、プローブピンを排出する方向に付勢する手段を設
けて、プローブピンの排出を容易にしたしたものであ
る。

【０００８】また、請求項３記載の発明は、ロックスリ
ーブの移動をガイドするガイドプレートを取付ベースに
設けて、プローブピンの位置決め精度を向上するように
したものである。

【０００９】また、請求項４記載の発明は、請求項１又
は２又は３記載の回路基板検査機のプローブピン取付装
置を用いたプローブピンの交換装置において、前記プロ
ーブピンが先端から挿入される収納穴を有するプローブ
ホルダと、このプローブホルダをプロープピンの挿入向
きを合わせて複数個取り付けたホルダ台と、ホルダ台を
プローブピンの軸方向で移動させる第１の移動部と、前
記ロックスリーブに係合してこれをロック解除位置にす
るチャック解除部材と、このチャック解除部材をプロー
ブピンの軸方向で移動させる第２の移動部と、第１及び
第２の移動部を作動させてプローブピンを交換するコン
トローラとを設けて、プローブピンの交換を自動化する
ようにしたものである。

【００１０】また、請求項５記載の発明は、請求項４記
載のプローブピンの交換装置において、収納すべきプロ
ーブホルダの位置にチャックユニットを合わせ、第１の
移動部を前進させホルダ台を上昇させてプローブピンを
コレット本体内に挿入させた後に、第２の移動部を前進
させチャック解除部材を上昇させてチャックユニットか
らプローブピンを外し、次に第１及び第２の移動部を順
に後退させて、プローブ台及びチャック解除部材を下降
させ、この後、使用するプローブピンが収納されたプロ
ーブホルダの位置にチャックユニットを合わせ、第２の
移動部を前進させチャック解除部材を上昇させてチャッ
クユニットをプローブピンの挿入可能状態にした後に、
第１の移動部を前進させてチャックユニットの収納穴に
プローブピンを挿入し、次に、第２の移動部を後退させ
てチャック解除部材を下降させた後に、第１の移動部を
後退させてホルダ台を下降させるようにして、前記コン
トローラを構成したものである。

【００１１】

【作用】チャックユニットからプローブピンを外す場合
には、ロックスリーブを上方に持ち上げる。これによ
り、保持爪が開き、保持爪の係止部とプローブピンのロ
ック溝との係止が解除され、プローブピンは抜け落ち
る。プローブピンの取り付け時には、ロックスリーブを
持ち上げた状態で、コレット本体内にプローブピンの挿
入軸部を挿入する。この後、ロックスリーブを離すと、
ロックスリーブは下方に付勢され、ロックスリーブのテ
ーパー面でコレット本体の保持爪が内側に押されるた
め、保持爪の係止部とプローブピンのロック溝とが係止
され、チャックユニットにプローブピンが固定される。

【００１２】上記チャックユニットを用いたプローブピ
ンの自動交換は次のように行われる。まず、ホルダ台が
上昇してプローブピンをプローブホルダの収納穴に挿入
する。チャック解除部材が上昇してロックスリーブを上
方に持ち上げ、チャックユニットからプローブピンを外
す。ホルダ台及びチャック解除部材が下降して、外した
プローブピンをチャックユニットから離す。次に使用す
るプローブピンが収納されたプローブホルダの位置にチ
ャックユニットが合わせられる。チャック解除部材が上
昇してロックスリーブを上方に持ち上げて、ロックを解
除し、プローブピンの挿入待機状態にする。ホルダ台が
上昇してチャックユニットのコレット本体内にプローブ
ピンを挿入する。チャック解除部材が下降すると、ロッ
クスリーブが下方に付勢され、ロックスリーブのテーパ
ー面により保持爪が内側に押されるため、チャックユニ
ットはプローブピンのロック状態になる。この後、ホル
ダ台が下降してチャックユニットから離れる。このよう
に、ホルダ台とチャック解除部材との連動により自動的
にプローブピンの交換が行われる。

【００１３】

【実施例】図１ないし図３はプローブピン１０とこれを
着脱自在に保持するチャックユニット１１とを示すもの
である。図１に示すように、プローブピン１０には、周
方向でロック溝１２が形成されており、これにチャック
ユニット１１の保持爪１３の係止部１４（図３参照）が
係止することで、プローブピン１０をチャックユニット
１１内に固定する。また、プローブピン１０の上部の挿
入軸部１５にはその周面の一部に軸方向に沿って回動規
制溝１６が形成されており、これにはチャックユニット
１１の回動規制ピン１７が入り込み、プローブピン１０
の回転を規制する。

【００１４】チャックユニット１１は、大きく分けて、
取付ベース２１、回動規制ブラケット２２、コレット本
体２３、ロックスリーブ２４、コイルバネ２５、ターミ
ナルコネクタ２６から構成されている。

【００１５】取付ベース２１は、鉛直方向で配置される
矩形の垂直板２１ａと、これの中央部に直角に取り付け
られている水平板２１ｂとからＴ字形状に構成されてい
る。水平板２１ｂの中央には、コレット本体２３の保持
孔３０が形成されている。保持孔３０には切欠き３１が
形成されており、これにより水平板２１ｂが保持ブラケ
ット３２となるように分離される。保持ブラケット３２
には固定ネジ３４が取り付けられ、これはコレット本体
２３の上部を保持ブラケット３２により締めつけ固定す
る。

【００１６】コレット本体２３は筒状に構成されてお
り、その先端部の外周は、先端に向かうに従い太くなる
テーパー面３５が形成されている。このテーパー面３５
には、コレット本体５１の軸方向に沿って４個の割り溝
３６が形成されており、この割り溝３６により、テーパ
ー面部は４個の保持爪１３に分割されている。保持爪１
３の上側には薄肉部３８が設けられており、これのバネ
性により保持爪１３が外側に開くように構成されてい
る。

【００１７】保持爪１３の先端内側には係止部１４が内
側に向かって突出して形成されている。この係止部１４
は、プローブピン１０のロック溝１２に入り込み、プロ
ーブピン１０の軸方向での移動を規制する。また、保持
爪１３の先端外側には、ロックスリーブ２４の脱落を阻
止するフランジ３９が形成されている。

【００１８】ロックスリーブ２４は、コレット本体２３
の保持爪１３部分に軸方向で移動自在に設けられてお
り、コイルバネ２５により先端側すなわち下方に付勢さ
れている。ロックスリーブ２４の内周面は、先端に向か
うに従い開くようになるテーパー面４５とされており、
このテーパー面４５の傾斜角度はコレット本体２３の保
持爪部分のテーパー面３５のそれとほぼ同じにされてい
る。これにより、コイルバネ２５によりロックスリーブ
２４がコレット本体２３の保持爪１３上で先端側に移動
すると、テーパー面４５，３５により保持爪１３がすぼ
まるようになり、係止部１４がプローブピン１０のロッ
ク溝１２に入り込み、プローブピン１０をしっかりと保
持することができる。

【００１９】コレット本体２３には上側からターミナル
コネクタ２６が嵌め込まれる。ターミナルコネクタ２６
とコレット本体２３の上端部には、その周面の一部が切
り欠かれており、一対の面取り部２６ａ，２３ａが形成
されている。面取り部２６ａ，２３ａは互いに平行な平
面からなり、これらが回動規制ブラケット２２の回動規
制面２２ａに当接することで、コレット本体２３及びタ
ーミナルコネクタ２６が取付ベース２１に回動不能に固
定される。回動規制ブラケット２２は、２個の取付ネジ
４７により、取付ベース２１の水平板２１ｂに固定され
るもので、コネクタ本体５２を上方に突出させるための
貫通孔２２ｂを備えている。

【００２０】ターミナルコネクタ２６は、金属性のホル
ダ５０と、これに絶縁性のスリーブ５１を介し軸方向に
移動自在に取り付けたコネクタ本体５２とから構成され
ている。コネクタ本体５２はスリーブ５１に内蔵させた
コイルバネ（図示せず）により下方に付勢されており、
プローブピン１０のコネクタ部５３に常に接触するよう
にされている。また、この付勢により、ロックスリーブ
２４を上方に持ち上げてプローブピン１０を外す場合
に、プローブピン１０が簡単にコレット本体２３から初
期排出される。したがって、プローブピン１０の自重に
よる落下と相まってプローブピン１０がチャックユニッ
ト１１から確実に外れるようになる。

【００２１】図４に示すように、コネクタ本体５２はホ
ルダ５０に周方向で９０°ピッチで４個取り付けられて
おり、２個のコネクタ部５４ａ，５４ｂ，５５ａ，５５
ｂを持つＸ方向用又はＹ方向用部品チップ用プローブピ
ン５６，５７の両方に接触することができるようにされ
ている。そして、図５に示すように、コネクタ本体５２
の上端部に接続コード５８が接続され、これによりプロ
ーブピン１０からの電気信号が測定器側に送られる。

【００２２】次に、上記チャックユニット１１を用いた
プローブピンの自動交換装置を説明する。図５におい
て、基台６０には、１対の直線軸受６１，６２により、
プローブホルダ台６３とチャック解除板６４とが平行移
動自在に取り付けられている。基台６０は、矩形板から
構成されており、その両端部にブラケット６５を介し前
記直線軸受６１，６２が鉛直方向で取り付けられてい
る。

【００２３】直線軸受６１，６２は、レール７０と、こ
れに案内されるスライダ７１，７２とから構成されてお
り、基台６０に対し、プローブホルダ台６３とチャック
解除板６４とを平行移動する。

【００２４】プローブホルダ台６３はブラケット７３を
介しスライダ７１に固定されている。プローブホルダ台
６３には、多数のホルダ取付孔が所定ピッチで１列に形
成されている。これらの取付孔には、プローブホルダ７
５，７６がネジにより着脱自在に取り付けられている。
プローブホルダ７５，７６には、プローブピンの収納穴
７５ａ，７６ａが軸方向に形成されている。本実施例で
は、用いるプローブピンの形状により、２種類のプロー
ブホルダ７５，７６が取り付けられているが、これらプ
ローブホルダは使用するプローブピンに合わせて適宜変
更される。

【００２５】チャック解除板６４は、プローブホルダ台
６３の上方で、ブラケット８０を介しスライダ７２に固
定されている。チャック解除板６４には、プローブホル
ダ台６３の各ホルダ７５，７６に対応する位置で、チャ
ック解除孔８１が形成されている。チャック解除孔８１
は、プローブピン１０の最大直径より大きくチャックユ
ニット１１のロックスリーブ２４の直径よりも小さい径
の丸孔から構成されており、この解除孔８１を介してプ
ローブピン１０がプローブホルダ７５，７６から出し入
れされる。

【００２６】前記基台６０には取付ブラケット８４を介
し、２個のエアシリンダ８５，８６が取り付けられてい
る。一方のエアシリンダ（以下Ａシリンダという）８５
のロッド８５ａはプローブホルダ台６３の孔８７を貫通
し、その先端が、チャック解除板６４に固定されてい
る。また、他方のエアシリンダ（以下Ｂシリンダとい
う）のロッド８６ａの先端は、ホルダ台６３に固定され
ている。各エアシリンダ８５，８６は、基台６０に形成
した開口８８から下方に突出しており、エアシリンダ８
５，８６をコンパクトに収納するようになっている。

【００２７】更に、基台６０には、センサ取付ブラケッ
ト９０が取り付けられており、これの上部にはプローブ
センサ９１が取り付けられている。プローブセンサ９１
は、プローブホルダ７５，７６にプローブピン１０が入
っているか否かを検出する。このため、プローブセンサ
９１は、各プローブホルダ７５，７６に収納されたプロ
ーブピン１０を検出する位置で取り付けられており、投
光器及び受光器からなる反射型の光センサが用いられて
いる。なお、反射型の光センサに代えて、光線を遮断す
ることで検出する透過型の光センサや、他の機械的なセ
ンサや磁気センサ等を用いてもよい。

【００２８】次に、本実施例の作用を説明する。プロー
ブピン１０の交換時には、図５に示すように、Ｘ−Ｙユ
ニット９６により、収納すべきプローブホルダ７６と同
軸上にチャックユニット１１が位置決めされ、Ｚ軸ユニ
ット９５により、図６に示すように、チャックユニット
１１が交換位置までＺ軸方向に下降する。

【００２９】次に、図７に示すように、Ｂシリンダ８６
によりホルダ台６３を上昇させて、ホルダ７６の収納穴
７６ａ内にプローブピン１０を収納する。

【００３０】次に、図８に示すように、Ａシリンダ８５
によりチャック解除板６４を上昇させて、ロックスリー
ブ２４を上方に持ち上げて、チャックユニット１１のロ
ックを解除する。チャック解除板６４を上昇させてロッ
クスリーブ２４を上方にシフトさせると、図３に示すよ
うに、保持爪１３が開いてロック溝１２から係止部１４
が退避するため、プローブピン１０のロックが解除さ
れ、プローブピン１０がチャックユニット１１から排出
される。

【００３１】そして、図９に示すように、Ｂシリンダ８
６によりホルダ台６３を下降させる。これにより、プロ
ーブピン１０がチャックユニット１１から取り外され、
ホルダ７６内に収納される。

【００３２】しかる後、図１０に示すように、Ａシリン
ダ８５によりチャック解除板６４を下降させるととも
に、チャックユニット１１を水平移動して新たに取り付
けるプローブピン７９と同軸上にセットする。

【００３３】次に、図１１に示すように、Ａシリンダ８
５によりチャック解除板６４を上昇させてロックスリー
ブ２４を持ち上げ、チャックユニット１１をロック解除
状態にしてプローブピン７９の挿入待機状態にする。

【００３４】そして、図１２に示すように、Ｂシリンダ
８６によりプローブ台６３を上昇させて、ホルダ７６内
のプローブピン７９の上部をチャックユニット１１内に
挿入する。この挿入時に、図１に示すように、プローブ
ピン１０の回動規制溝１６にコレット本体２３の回動規
制ピン１７が入り込むため、プローブピン１０の回動は
不能になる。

【００３５】次に、図１３に示すように、Ａシリンダ８
５によりチャック解除板６４を下降させる。この状態で
は、図２，図３に示すように、ロックスリーブ２４がコ
イルバネ２５の付勢で下方にシフトされるため、ロック
スリーブ２４のテーパー面４５で保持爪１３のテーパー
面３５が押され、保持爪１３はすぼまるようになる。こ
れにより、保持爪１３の係止部１４がプローブピン７９
のロック溝１２内に入り込み、プローブピン７９はコレ
ット本体２３の保持爪１３により軸方向で移動すること
の無いようにしっかりと固定される。

【００３６】次に、図１４に示すように、Ｂシリンダ８
６によりチャック解除板６４を下降させてホルダ７６か
らプローブピン７９を抜き取る。この後、図５に示すよ
うに、Ｚ軸ユニット９５によりチャックユニット１１が
上昇され、Ｘ−Ｙユニット９６により所定の測定部位の
上方に位置決めされ、Ｚ軸ユニット９５によりプローブ
ピンが下降され、測定部位にプローブピンの先端が接触
して、電気信号が測定器に送られる。また、次のプロー
ブピンに交換する場合には、上記同様の操作が繰り返さ
れる。

【００３７】なお、上記実施例では、エアシリンダ８
５，８６でホルダ台６３，チャック解除板６４を上下動
させたが、この他に、リンクやクランク機構、更にはラ
ック・ピニオン等を用いてこれらを上下動させてもよ
い。

【００３８】また、上記実施例では、ホルダ７６はホル
ダ台６３に１列で配置されたが、これは複数列配置して
もよい。

【００３９】また、上記実施例では、ターミナルコネク
タ２６のコネクタ本体５３のコイルバネ（図示せず）に
より、プローブピン１０の初期排出を行うようにした
が、この他に、コレット本体２３内に排出用のコイルバ
ネを配置するようにしてもよい。

【００４０】また、図１５に示すように、取付ベース１
００の下部を延ばして、この延ばした部分に水平にガイ
ドプレート１０１を設けてチャックユニット１０２を構
成してもよい。なお、上記実施例と同一構成部材には同
一符号が付してあり、重複した説明を省略している。こ
の場合には、ガイドプレート１０１の中央部に、ロック
スリーブ２４をガイドするガイド孔１０３を形成してお
く。これにより、ロックスリーブ２４が上下方向で円滑
にガイドされ、ロックスリーブ２４のシフトを確実に行
うことができる。しかも、ロックスリーブ２４がガイド
孔１０３でしっかりと保持されるため、プローブピン１
０が軸方向でぶれることがなくなり、プローブピンの位
置決め精度を向上することができる。

【００４１】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
筒状のコレット本体と、コレット本体の先端部の外周に
形成した複数個の保持爪と、この保持爪上で移動自在に
取り付けたロックスリーブと、これを下方に付勢する付
勢手段とから、チャックユニットを構成したから、構成
簡単にしてプローブピンをワンタッチ式に着脱すること
ができる。しかも、保持爪の先端内側に形成した係止部
を、プローブピンのロック溝に入れてプローブピンを保
持するため、チャックユニット内でプローブピンを軸方
向で移動することのないようにしっかりと固定すること
ができる。

【００４２】また、プローブホルダをプロープピンの挿
入向きを合わせて複数個取り付けたホルダ台と、チャッ
クユニットのロック解除部材に係合してロックスリーブ
を退避位置にするチャック解除部材とを、互いに平行移
動自在に設け、これらを進退動させたから、プローブピ
ンをチャックユニットから取り外すとともに、新たにプ
ローブピンをチャックユニットに取り付けることが自動
的に可能になる。また、多数のホルダをホルダ台に取り
付けることで、多数のプローブピンの交換が可能にな
る。しかも、移動手段を各プローブピンの交換時に共用
することができ、構成を簡単にすることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明を実施した回路基板検査機のプローブピ
ン取付装置を示す分解斜視図である。

【図２】チャックユニットによるプローブピンの保持状
態を示す斜視図である。

【図３】（Ａ）はチャックユニットによるプローブピン
の保持状態を示す側面図、（Ｂ）はチャックユニットか
らプローブピンが解除された状態を示す側面図である。

【図４】Ｘ方向及びＹ方向での取り付け向きが異なるプ
ローブピンのコネクタ接続状態を示す斜視図である。

【図５】同チャックユニットを用いたプローブピン交換
装置を示す斜視図である。

【図６】プローブピンの交換手順を説明するためのもの
で、プローブピンを収納するためにプローブホルダにプ
ローブピンを位置決めした状態を示す正面図である。

【図７】ホルダ台を持ち上げてプローブピンをプローブ
ホルダに収納した状態を示す正面図である。

【図８】ロック解除板を持ち上げて、チャックユニット
を開放した状態を示す正面図である。

【図９】ホルダ台を下降させてチャックユニットからプ
ローブピンを取り外した状態を示す正面図である。

【図１０】新たなプローブピンの上方位置にチャックユ
ニットを平行移動させた状態を示す正面図である。

【図１１】ロック解除板を持ち上げてチャックユニット
を開放させ、プローブピンの挿入待機の状態を示す正面
図である。

【図１２】ホルダ台を持ち上げてプローブピンをチャッ
クユニット内に挿入した状態を示す正面図である。

【図１３】ロック解除板を下降させてチャックユニット
をロックさせた状態を示す正面図である。

【図１４】ホルダー台を下降させてチャックユニットに
取り付けられたプローブピンをプローブホルダから取り
外した状態を示す正面図である。

【図１５】別のチャックユニットを示す斜視図である。

【符号の説明】

１０，７９ プローブピン １１ チャックユニット １２ ロック溝 １６ 回動規制溝 １７ 回動規制ピン ２１ 取付ベース ２３ コレット本体 ２４ ロックスリーブ ２５ コイルバネ ２６ ターミナルコネクタ ３５，４５ テーパー面 ６０ 基台 ６１，６２ 直線軸受 ６３ プローブホルダ台 ６４ チャック解除板 ７５，７６ プローブホルダ ８１ チャック解除孔 ８５ Ａシリンダ ８６ Ｂシリンダ ９０ センサ取付ブラケット ９１ プローブセンサ ９５ Ｚ軸ユニット ９６ Ｘ−Ｙユニット

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 被検査回路基板と平行な平面に沿ってＸ
   −Ｙ軸方向に移動する可動部と、この可動部に取り付け
   られ、Ｚ軸方向に進退動可能なＺ軸ユニットと、Ｚ軸ユ
   ニットに取り付けられ、被検査回路基板の測定部位に電
   気的に接触するプローブピンとを備えた回路基板検査機
   のプローブピン取付装置において、前記Ｚ軸ユニットと
   プローブピンとの間にチャックユニットを設けて、この
   チャックユニットによりプローブピンをＺ軸ユニットに
   取り付け、プローブピンには、その挿入軸部に、周方向
   にロック溝を形成し、チャックユニットを、プローブピ
   ンの挿入軸部が挿入される筒状のコレット本体と、コレ
   ット本体をＺ軸ユニットに固定する取付ベースと、コレ
   ット本体の先端部の外周に形成した先端に向かうに従い
   太くなるテーパー面と、このテーパー面に軸方向に沿っ
   て形成した複数条の割り溝と、割り溝で分割され、外側
   に開くように付勢された複数個の保持爪と、保持爪の先
   端内側に形成され、前記ロック溝に係止する係止部と、
   コレット本体の保持爪部分に軸方向で移動自在に設けた
   ロックスリーブと、ロックスリーブの内周に形成され先
   端に向かうに従い開くようになるテーパー面と、ロック
   スリーブをコレット本体の保持爪上で先端側に付勢し
   て、ロックスリーブのテーパー面により保持爪を内側に
   押圧する付勢手段とから構成したことを特徴とする回路
   基板検査機のプローブピン取付装置。
2. 【請求項２】 請求項１記載の回路基板検査機のプロー
   ブピン取付装置において、ユニット本体には、プローブ
   ピンを排出する方向に付勢する手段を設けたことを特徴
   とする回路基板検査機のプローブピン取付装置。
3. 【請求項３】 請求項１又は２記載の回路基板検査機の
   プローブピン取付装置において、前記ロックスリーブの
   移動をガイドするガイドプレートを取付ベースに設けた
   ことを特徴とする回路基板検査機のプローブピン取付装
   置。
4. 【請求項４】 請求項１又は２又は３記載の回路基板検
   査機のプローブピン取付装置を用いたプローブピンの交
   換装置において、前記プローブピンが先端から挿入され
   る収納穴を有するプローブホルダと、このプローブホル
   ダをプロープピンの挿入向きを合わせて複数個取り付け
   たホルダ台と、ホルダ台をプローブピンの軸方向で移動
   させる第１の移動部と、前記ロックスリーブに係合して
   これをロック解除位置にするチャック解除部材と、この
   チャック解除部材をプローブピンの軸方向で移動させる
   第２の移動部と、第１及び第２の移動部を作動させてプ
   ローブピンを交換するコントローラとを備えたことを特
   徴とする回路基板検査機のプローブピン交換装置。
5. 【請求項５】 請求項４記載の回路基板検査機のプロー
   ブピン交換装置において、収納すべきプローブホルダの
   位置にチャックユニットを合わせ、第１の移動部を前進
   させホルダ台を上昇させてプローブピンをコレット本体
   内に挿入させた後に、第２の移動部を前進させチャック
   解除部材を上昇させてチャックユニットからプローブピ
   ンを外し、次に第１及び第２の移動部を順に後退させ
   て、プローブ台及びチャック解除部材を下降させ、この
   後、使用するプローブピンが収納されたプローブホルダ
   の位置にチャックユニットを合わせ、第２の移動部を前
   進させチャック解除部材を上昇させてチャックユニット
   をプローブピンの挿入可能状態にした後に、第１の移動
   部を前進させてチャックユニットの収納穴にプローブピ
   ンを挿入し、次に、第２の移動部を後退させてチャック
   解除部材を下降させた後に、第１の移動部を後退させて
   ホルダ台を下降させるようにして、前記コントローラを
   構成したことを特徴とする回路基板検査機のプローブピ
   ン交換装置。