JPH06196545A - 運搬可能なコンテナ、標準化メカニカルインターフェースポッドおよび標準化メカニカルインターフェースシステム - Google Patents

運搬可能なコンテナ、標準化メカニカルインターフェースポッドおよび標準化メカニカルインターフェースシステム

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JPH06196545A
JPH06196545A JP5080812A JP8081293A JPH06196545A JP H06196545 A JPH06196545 A JP H06196545A JP 5080812 A JP5080812 A JP 5080812A JP 8081293 A JP8081293 A JP 8081293A JP H06196545 A JPH06196545 A JP H06196545A
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Frederick T Rosenquist
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Sudhir Jain
ジャイン スーディル
Mark R Davis
ロバート ディヴィス マーク
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 改良された輸送可能なコンテナ、ＳＭＩＦ
（標準化メカニカルインターフェース）ポッドおよびＳ
ＭＩＦシステムを提供することを目的とする。 【構成】 改良されたポッドライナーを有するシール可
能で輸送可能なコンテナであって、このコンテナは、ボ
ックス２０と、ボックスドア３２と、ボックス２０とボ
ックスドア３２との間にシールを形成するガスケット５
５を備えている。ボックスドア３２は、導電性ライナー
１２４および放電防止のための該導電性ライナーからグ
ラウンド電位への導電路を有している。ガスケットをコ
ンテナの内部領域２１から遮断するための膜１２６が、
ガスケットおよび導電性ライナーに接着されている。こ
の膜は、ガスを通さず、ガスケットのガス発生を防止し
てもよいし、或いは、ガスではなく粒子を通さず、ガス
ケットによって生成される粒状物質が、コンテナの内部
領域に入るのを防止してもよい。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、粒子による汚染を低減
する標準化メカニカルインターフェース（ＳＭＩＦ）シ
ステムに関するものであり、特に、コンテナの収容物に
及ぼされる外的要因による影響を防止するためにシール
可能であり、クリーンな内部領域を有する運搬可能なコ
ンテナ、ＳＭＩＦポッドおよびＳＭＩＦシステムに関す
るものである。
【０００２】本出願は、すべて本出願の譲受人に譲渡さ
れた下記の特許／出願に関連しており、これらの関連す
る出願／特許は、引用により、本発明と一体化されてい
る。標準メカニカルインターフェース装置用のショート
アームマニピュレータ（米国特許第 4,674,936号）、シ
ールされた標準インターフェース装置（米国特許第4,67
4,939号）、標準メカニカルインターフェース装置用の
ショートアームマニピュレータ（米国特許第 4,676,709
号）、粒子フィルターシステムを有するシール可能で運
搬可能なコンテナ（米国特許第 4,724,874号）、使い捨
てライナーを有するコンテナ（米国特許第 4,739,882
号）、ボックスドア作動型保持装置(BOXDOOR ACTUATED
RETAINER)（米国特許第 4,815,912号）、インテリジェ
ント物品トラッキングを備えた処理システム（米国特許
第 4,974,166号）、改良されたラッチ機構を有するシー
ル可能で運搬可能なコンテナ（米国特許第 4,995,430
号）、インテリジェントウェハーキャリア（米国特許第
5,097,421号）、二つの制御された環境の間に物品を搬
送する方法および装置（発明者：ボノラ他，出願番号第
07/607,898号, 1990年11月 1日出願）。
【０００３】
【従来の技術】ヒューレット・パッカード・カンパニー
によって提案された標準化メカニカルインターフェース
（以下、「ＳＭＩＦ」と略称することがある。）システ
ムは、米国特許第 4,532,970号および米国特許第 4,53
4,389号に開示されている。ＳＭＩＦシステムの目的
は、ウェハーおよび／またはレチクル（reticle)上の粒
子のフラックスを低減することにある。この目的は、移
送および収容中に、ウェハーを取り囲む（空気または窒
素のなどの）ガス媒体が、ウェハーに対して、実質的に
静止していることを機械的に保証するとともに、周囲環
境からの粒子が、隣接するウェハー環境に入り込まない
ようにすることによって、部分的に達成されている。
【０００４】ＳＭＩＦのコンセプトは、物品のための清
浄な環境を提供するために、（動き、ガス流の方向およ
び外部の汚染物質に対して）制御される小容量の粒子の
ないガスを用いることに基づいている。さらに、ミハイ
ル・パリク(Mihir Parikh)およびウルリッチ・ケンプ(U
lrichkaempf) による”ＳＭＩＦ：ＶＬＳＩを製造する
際にウェハーカセットを移送する技術（SMIF：A TECHNO
LOGY OF WAFER CASSETTE TRANSFER IN VLSI)”とタイト
ルの付けられたソリッド・ステート・テクノロジー（So
lid State Technology)1984年 7月号、第１１１乃至１
１５ページに、ある提案されたシステムの詳細が記載さ
れている。
【０００５】上述したタイプのシステムは、０．１μｍ
以下乃至２００μｍ以上の範囲の粒子サイズに関してい
る。半導体デバイスを製造する際には、小さなサイズの
粒子を用いるため、これらのサイズを有する粒子は、半
導体を処理する際に、大きな損傷を与える可能性があ
る。今日、典型的な改良された半導体処理には、１ミク
ロン（１μｍ）以下のサイズを用いている。０．０５μ
ｍより大きなサイズを有する好ましくない汚染粒子は、
１μｍの形状の半導体デバイスに、実質的に干渉する。
もちろん、今日、半導体処理のサイズは、次第に小さく
なる傾向にあり、開発研究所においては、０．５μｍ以
下に近づいている。将来には、このサイズがより小さく
なるにつれて、さらにより小さな汚染物質に関心が持た
れるようになるであろう。
【０００６】ＳＭＩＦシステムは、３つの主要構成要素
を有している。即ち、(1) 最小限の容積を有し、リチク
ル或いはウェハーを保持するカセットを収容するととも
に移送するために用いられるシールされたポッド；(2)
カセットポートおよび処理装置のウェハー処理領域上に
置かれたカバーであって、ポッドおよび該カバーの内部
の環境が（清浄な空気源を有した後に、）小さな清浄化
されたスペースにするカバー；(3) 外部の環境から、ウ
ェハーカセット内に、ウェハーの汚染物質が入らないよ
うにシールされたポッドから、ウェハーカセットに負荷
を与え／除荷する移送機構である。
【０００７】ウェハーは、ポッド内に収容され、搬送さ
れ、さらに、以下のように、ポッドから処理装置に移送
される。まず第一に、ポッドが、カバーの頂部上のイン
ターフェースポートに位置させられる。ポッドは、それ
ぞれ、ボックスと、処理装置のカバーのインターフェー
スポート上のドアに係合するボックスドアとを有してい
る。次いで、ラッチが、ボックスドアおよびカバーポー
トドアを、同時に、解除する。すなわち、ボックスドア
およびインターフェースポートドアが、同時に開き、外
部ドアの表面上に存在する可能性のある粒子が、ボック
スドアとインターフェースポートドアとの間に捕捉され
る（サンドイッチされる）。機械的な昇降装置が、カセ
ットがその頂部に乗った二つのドアを、カバー被覆スペ
ース内に下降させる。マニピュレータは、カセットを取
り上げて、装置のカセットポート／昇降装置の上に位置
させる。処理の後、逆の作動がなされる。
【０００８】半導体製造施設における使用および実験を
通して、ＳＭＩＦシステムが、清浄な部屋の内部および
外部において、効果的であることが立証されている。Ｓ
ＭＩＦシステムによって、清浄な部屋の内部のオープン
カセットの従来の操作に対して、少なくとも十倍の改善
がなされている。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】従来のＳＭＩＦポッド
を改良し得る部分が、いくつかある。第一に、従来のＳ
ＭＩＦポッドは、静電放電（ＥＳＤ）に対する防御手段
を備えていない。汚染を抑制することが、導電性の要求
によって生じる。即ち、成形されたプラスチック材料に
おいては、容積導電率（volumetric conductivity)を与
えるために、好ましくかつ最も一般的な配合剤は、炭素
粉末あるいは炭素繊維である。不幸にも、この材料は、
たとえ、周囲のプラスチックがそのまま残るとしても、
他の表面と摺動接触している間に、脱落する傾向があ
る。通常のカセットの移送中に、粒子は多くの場所に移
送されやすく、最終的には、ウェハーの表面に移るた
め、このような粒子の生成は好ましくない。
【００１０】第二に、射出成形品およびシールを形成す
るために用いられる材料が、ガスの発生によって、臨界
的なデバイスの製造工程に干渉する材料を放出する場合
がある。これに関して、１５０ｍｍＳＭＩＦポッドの電
流生成により、ＵＬＰＡフィルター循環エアシステムに
収容されたウェハー上よりも、ポッドに収容されたウェ
ハー上の方が、その表面汚染が、著しく小さいというこ
とがわかっている。それにもかかわらず、ポッドの形成
に用いられる材料のアプローチは、内部のガス発生源に
注意することから利益を得ることができる。第三に、粒
子の生成：通常の製造工程において、ウェハーのカセッ
トは、数百回、ＳＭＩＦポッドから負荷を受け／除荷さ
れるとともに、何度も搬送され、位置させられる操作を
受ける。これらの操作は、ポッドの開／閉と同様に、特
に、カセットとポッドドア上の支持／保持表面との間に
接触が生じる場所で、粒子を生成する可能性がある。
【００１１】第四に、シーリング：ＳＭＩＦポッドのド
アをシールする機能的な重要性は、歴史的には、ウェハ
ーに、空気が静止した環境を与える必要性に基づいてお
り、この空気が静止した環境は、一般の清浄な部屋にお
いて、一分あたりに何度もなされる換気および他の瞬間
的な条件によって生成される累積された粒子および表面
の汚染を防止する。ＳＭＩＦポッドに対して行われる数
多くの試験において、”近接(proximity) ”シールが、
略０．５μｍを超える粒子サイズを排除するのに適して
いることが、確認されている。しかしながら、実際に、
より小さな粒子の高度に集中することは、小さなエアギ
ャップを横切って拡散し、最終的に、ウェハー表面の汚
染を生じさせ得る。したがって、容積圧縮シールが、従
来のポッドに一体化させられ、拡散による粒子の移送を
防止していた。したがって、ポッドおよびポートプレー
トコンポーネントのための制御された雰囲気の状態を用
いるＳＭＩＦに基づくシステムの開発により、シール性
能を、さらに要求するようになった。
【００１２】従来のシールは、基本的に、制御された多
孔性およびジュロメーターを有するポリウレタンフォー
ムからなる微孔質の容積圧縮可能な材料を用いて形成さ
れている。この材料は、ディスクドライブガスケット材
料、清浄な部屋用のフィルターおよびキャビネットアセ
ンブリなどに用いるために開発されたものである。サイ
クル試験により、この材料が、圧縮永久歪、摩擦および
パーティキュレーションに対する耐性ならびに寸法精度
の点で、良好な特性を有することがわかっている。それ
にもかかわらず、トレースガス分析結果では、あるタイ
プ（たとえば、６４Ｍｂ）の製品の応用に対して、この
シールから過度のガス発生があることが示されている。
【００１３】第五に、クリーニング：歴史的に、ＳＭＩ
Ｆポッドのクリーニングは、他の半導体処理製品に用い
られていた方法と同様の方法でなされ、これには、引き
続いて、水洗いおよび空気乾燥がなされる脱イオン化さ
れたウェハーおよび非イオン界面活性剤の組み合わせを
用いていた。今日まで、ＳＭＩＦのユーザの経験に基づ
くと、これは、粒子の生成を制御して、少なくとも０．
３μｍのレベルに低下させるための効果的な方法であ
る。
【００１４】しかしながら、将来の傾向は、より小さな
粒子のため清浄さのレベルを改善するとともに、クリー
ニング中に、有機物、粒子および残留水分などの汚染物
質が入り込む可能性を最小限にし得るクリーニング方法
の要求している。最近、ポッド部品をクリーニングする
のに、”ドライ”クリーニングプロセスが使用可能な種
々の新たな技術が出現している。また、改良されたクリ
ーニングシステムは、理論的には、ファブ領域(Fab are
a)自身に位置させるのに十分にコンパクトである。内部
ポッドエレメントおよびクリーニングシステムの適切な
デザインは、分解／再組み立てのための人手を最小限に
して、クリーニングを容易にする。
【００１５】
【発明の目的】本発明の第一の目的は、上記問題点を解
決する改良された運搬可能なコンテナを提供することに
ある。本発明の第二の目的は、改良された標準化メカニ
カルインターフェースポッドを提供することにある。
【００１６】本発明の第三の目的は、改良された標準化
メカニカルインターフェースシステムを提供することに
ある。本発明の他の目的は、ＥＳＤ制御を備えた標準化
メカニカルインターフェースに基づく処理システムを提
供することにあり、特に、収容、ポッドのオープン、グ
リッパ搬送および処理装置上への配置操作の間、導電性
カセットが、グラウンド電位に保持される環境を提供す
ることを目的とする。
【００１７】本発明の他の目的は、容積導電率特性を示
す材料から成形される標準化メカニカルインターフェー
スポッドを提供することにある。本発明の他の目的は、
ウェハーおよび／またはカセット上に存在し得るあらゆ
る電荷を、予測可能な抵抗を有する通路を用いて、グラ
ウンドに導通させる通路を提供することにある。
【００１８】本発明の他の目的は、ポッド構造の材料、
特に、カセット或いはウェハーに直接接触する材料が、
導電性を有するか、あるいは、蓄積された電荷に対する
感応性を有さない標準化メカニカルインターフェースポ
ッドを提供することにある。本発明の他の目的は、標準
化メカニカルインターフェースポッドをシールする方法
を提供することにあり、このポッドは、最終的に、以下
の要求の一つ以上を満たしている。即ち、粒子の侵入に
対する効果的な障壁があること、繰り返されるサイクル
中に粒子が生成されないこと、システムの構成要素のバ
ランスに対してガスの発生がないこと、延長された収容
或いは繰り返されるサイクルの間に、圧縮永久歪のレベ
ルが低いこと、ガスの拡散を防止するため、多孔質では
ないこと、および、気密シールが保証されることであ
る。
【００１９】
【発明の構成および作用】本発明にかかるこれらの目的
は、標準化メカニカルインターフェースポッド内のウェ
ハーカセットおよびこれに対応する支持／接触面のため
の材料を適切に選択することによって達成される。好ま
しい組み合わせは、平滑に仕上げられている比較的硬い
ポッドドアの上側表面に、高潤滑性の脱落しないカセッ
トの材料を係合させることである。ＥＳＤの防御は、ポ
ッドドア上に、導電性カセットからポッドドアへの抵抗
の低い通路を与える導電性ライナーを用いることによっ
てなされる。ポッドドアは、グラウンド電位への導電路
を有している。
【００２０】膜が、導電性ライナー上に設けられ、従来
のシールガスケットに接着されている。この膜は、開口
部を有し、ウェハーカセットを、導電性ライナー上に置
くことができる。膜は、ガスケットを、ポッド内部から
遮断し、それによって、汚染源としてのガスケットを排
除している。好ましくは、ステンレス鋼から形成された
導電性ライナーが、従来の真空成形されたＰＶＣライナ
ーに取り換えられ、これにより、従来のプラスチックラ
イナーからのガスの発生が低減される。導電性ライナー
の平滑で硬い仕上げによって、カセットに接触する領域
における粒子の発生が最小限となる。
【００２１】特に、本発明の第一の目的は、シール可能
で運搬可能なコンテナを、内部領域およびシール面を有
するポッドと、内面を有するポッドドアと、前記ポッド
ドアの前記内面上に設けられた導電性ライナーと、前記
ポッドドア上に設けられ、前記ポッドの前記シール面の
構造に対応する構造を有するガスケットと、前記導電性
ライナーおよび前記ガスケットの上に置かれて、接着さ
れる膜であって、前記導電性ライナーを露出させる開口
部を有する膜と、前記ポッドドアを、前記ポッドに固定
するラッチ手段とを備えて構成することによって達成さ
れる。
【００２２】
【実施例】以下、添付図面に基づいて、本発明の実施例
につき、詳細に説明を加える。ＳＭＩＦポッドの概略的
な構造およびＳＭＩＦポッドと処理装置との組み合わせ
は、引用することにより、本発明と一体化されている米
国特許第 4,724,874号に記載されている。しかしなが
ら、完全を期すために、以下に、簡単にその開示を説明
する。
【００２３】図１（Ａ）および図１（Ｂ）には、処理装
置１２のウェハー処理機構を覆う容易に取り外し可能な
遮蔽体であるカバー１０を有する処理ステーション８が
示されている。処理装置１２は、例えば、フォトレジス
トアプリケータ、マスクアライナ（mask aligner) 、検
査ステーション、或いは、いかなる同様な処理装置であ
ってもよい。カバー１０内における視覚による検査およ
び／またはカバー１０内のメンテナンスを容易にするた
めに、カバー１０は、アクリルなどの透明なプラスチッ
クから構成され、処理装置１２の処理機構およびウェハ
ー１６を保持するウェハーカセットなどのホルダー１４
を覆っている。処理装置１２内の環境は、独立してメン
テナンスされ、独立して清浄される。したがって、処理
装置１２を、清浄な部屋内で据えつける必要はない。
【００２４】シール可能で運搬可能なコンテナ１８は、
内部領域２１を有するボックス（あるいは、ボックスト
ップまたはポッドとして特定される）２０およびボック
スドア（またはポッドドア）３２を有している。コンテ
ナ１８は、ポートアセンブリ２４によって、カバー１０
の水平表面２２上に取り付けられている。ポートアセン
ブリ２４は、ポートプレート２６、ポートドア２８およ
び昇降機構３０を有している。昇降機構３０は、集積回
路のウェハー１６を収容したウェハーカセット１４を、
ボックス２０の内部領域２１からカバー１０の下方の領
域に移送する。図１（Ｂ）においては、ポートドア２８
およびボックスドア３２が接近した位置にある状態が、
点線によって示されている。移動アセンブリ３４は、プ
ラットホーム３６、シャフト係合装置３８および駆動モ
ータ４０を有している。昇降機構３０から延びるプラッ
トホーム３６は、ポートドア２８、ボックスドア３２お
よびカセット１４を、鉛直方向に支持している。プラッ
トホーム３６は、係合装置３８によって、昇降機構３０
の鉛直方向のガイド４２に取り付けられている。
【００２５】典型的には、ガイド４２は、親ねじ（図示
せず）を有し、駆動モータ４０は、この親ねじに係合し
て、プラットホーム３６を上下に駆動するギア（図示せ
ず）を駆動する。プラットホーム３６が、近接位置に駆
動させられたときに、ポートドア２８は、カバー１０の
ポート開口部を閉じる。同様に、参照番号４４により示
されるマニピュレータアセンブリが、鉛直方向のガイド
４２に係合する係合手段４８を有するプラットホーム４
６に固定されている。マニピュレータアセンブリ４４
は、マニピュレータアーム５０およびカセット１４に係
合可能な係合ヘッド５２を有している。プラットホーム
３６、４６の鉛直方向の作動およびマニピュレータアセ
ンブリ４４の作動によって、カセット１４は、破線によ
って示されるように、ボックスドア３２の上の位置か
ら、供給ステーション１３上の位置に、移動される。
【００２６】図２には、処理装置１２のポートアセンブ
リ２４に係合されるコンテナ１８が示されている。コン
テナ１８は、ポートアセンブリ２４とシール可能に係合
するように設計されており、そのため、ボックス２０
は、第１のボックス頂部のシール面５４および第２のボ
ックス頂部のシール面５６を有している。ボックスドア
３２は、第１のボックス頂部のシール面５４とシール可
能に係合する第１のボックスドアのシール面５８を有
し、シール面５４とシール面５８との間のガスケット５
５により、シールがなされる。ポートプレート２６は、
第１のポートプレートのシール面６０および第２のポー
トプレートのシール面６２を有している。第１のポート
プレートのシール面６０は、第２のボックス頂部のシー
ル面５６と、シール可能に係合し、ガスケット５７が圧
縮されるにしたがって、第２のシールを生成する。
【００２７】ポートドア２８は、第２のポートプレート
のシール面６２と係合する第１のポートドアのシール面
６４を有しており、ガスケット５９によって、第３のシ
ールがなされる。ボックス頂部２０は、バルブ５２とボ
ックス２０の内部領域２１との間の通路を画定する導管
（通路）６３を有している。通路６３の一端に、フィル
ター６９を設けられ、そこを通る流体（例えば、ガス）
を濾過している。
【００２８】第１、第２および第３のシールが生成され
るときに、交互に、ボックス２０の内部領域２１から流
体を排出し、ボックス２０の内部領域２１に、流体を逆
充填することによって、清浄化することができる。ボッ
クス２０およびボックスドア３２がシールされ、雰囲気
条件から、ボックス２０の内部領域２１が遮断されると
きに、交互に、コンテナ１８に、流体を逆充填し、或い
は、コンテナ１８から、流体を排出することができる。
【００２９】引用することによってここに組み込まれて
いる1990年11月１日に出願された係属中の米国特許出願
番号第07/607,898号には、ＳＭＩＦポッドから処理ステ
ーションまで、或いは、処理ステーションからＳＭＩＦ
ポッドまで、物体を搬送する装置および方法が開示さ
れ、ＳＭＩＦポッドの内部環境が、処理ステーションの
内部の雰囲気に露出される前に、内部環境がパージされ
ている。ＳＭＩＦポッドをパージする一つの方法とし
て、処理ステーションのポートドアを、少し開くことに
よって、非接触ガスシールを生成するとともに、ＳＭＩ
Ｆポッド内の圧力に対して異なる圧力を生成する方法が
ある。この異なる圧力は、ＳＭＩＦポッド、処理ステー
ション、処理ステーションのポートアセンブリへのガス
の入口およびポートアセンブリからのガスの出口におけ
る相対圧力の関係として画定される。この異なる圧力に
よって、処理装置の内部のガスが、ポートドアと処理ス
テーションとの間の小孔を通って漏れ、それによって、
ガスが、非接触ガスシールを通って、処理ステーション
の内部領域に入り込むことを防止することができる。ポ
ッドが開かれるにつれて、ポッドドアおよびポッドの内
部領域から、汚染物質およびガスを除去するために、ガ
スシールを生成されるとともに、処理装置のポート領域
内に減圧が生成される。ガスシールは、ＳＭＩＦポッド
の内部環境のパージが完了するまで、保持される。ポッ
ドに対する負荷或いは除荷は、ポッドドアを第１の位置
まで下降させて、ポッドを開き、ポッドドア内部の大気
をパージさせ、ポッドドアを第２の位置まで下降させ
て、ポッドの内部領域をパージさせ、さらに、材料をポ
ッドに移送し、或いは、材料をポッドから移送する第３
の位置に、ポッドを下降させるプロセスを含んでいる。
【００３０】ポートプレート２６は、ガス搬送バルブ５
２で、同軸の噴射器／抽出器５０に接続可能となってい
る。内部領域２１から、流体を排出するために、噴射器
／抽出器５０は駆動され、内部領域２１から流体を排出
する。流体が排出されるとき、流体は、フィルタ６９、
通路６３および噴射器／抽出器５０の同軸バルブ（図示
せず）を通過する。
【００３１】図３を参照すると、ボックス２０は、ドー
ム状のハウジング９０およびリング状の係合部９２を有
している。ハウジング９０および係合部９２は、例え
ば、射出成形によって一体成形されていてもよいし、或
いは、独立部品として、形成され、ボックス２０を形成
するようになっていてもよい。ボックス２０とボックス
ドア３２との間にシールを形成するガスケット１２０
は、ボックスドア３２内のガスケット保持スロット１２
２に配置されている。ラッチ機構（図示せず）が、ベー
ス３２内に収容され、ラッチ機構８０が、ボックスドア
３２から、窓９４を通って突出し、ボックス２０のラッ
チ係合面１１２と係合している。
【００３２】図３および図４を参照して、本発明の実施
例に係るＳＭＩＦポッドのライナー構造を説明する。ポ
ッドドア３２は、ポッド２０の内部領域２１に露出され
るポッドドア３２の部分を画定する内面３２ａを有して
いる。導電性ライナー１２４が、ポッドドア３２の内面
３２ａ上に設けられている。この導電性ライナー１２４
は、例えば、ステンレス鋼或いは導電性プラスチックか
ら形成することができる。導電性ライナー１２４によっ
て、クリーンな（ガスの発生量が少なく、粒子の生成量
が低く、腐食のない）カセット１４用の導電性支持面が
与えられる。ステンレス鋼の導電性ライナー１２４は、
良好な導性を示すとともに、粒子の生成が低く、ガスの
発生量が少ないという特性を有している。導電性ライナ
ー１２４は、ポッドドア３２に電気的に接続され、ポッ
ドドア３２は、たとえば、グラウンド電位などのポッド
２０の外部の固定電位に接続された導電路を有してい
る。ポッドドア３２を通る導電路は、ポッドドア３２を
導電材料から形成することによって作られてもよいし、
ポッド３２内に、例えば、ワイヤのような導体を設ける
ことによって作られてもよい。
【００３３】ガスケット１２０を、ポッド２０の内部領
域２１から遮断するため、膜１２６が、ガスケット１２
０および導電性ライナー１２４にラミネートされ、或い
は、接着されている。好ましくは、膜１２６は、フッ素
プラスチックから形成され、ガスケット１２０およびポ
ッドドア３２の周囲の形状に対応する形状を有し、開口
部１２８を通じて、導電性ライナー１２４の中央部を露
出させている。フッ素プラスチックの膜１２６は、ガス
を通さず、ポッド２０の内部領域２１へガスケットで発
生したガスが入り込むのを防止している。膜１２６を製
造するのに使用可能な材料としては、例えば、テトラフ
ルオロエチレンまたはポリテトラフルオロエチレン（テ
フロン（登録商標））、ポリアミド（カプトン（登録商
標））、ポリエステル（マイラー（登録商標））、ポリ
プロピレン、或いは、発泡フッ素プラスチック（ゴア−
テックス（登録商標））がある。発泡フッ素プラスチッ
クの膜１２６は、粒子を通さず、ガスを通すため、ガス
ケット１２０によって生成される粒状物質が、コンテナ
の内部領域２１に入り込むのを防止する。
【００３４】カセット保持ブロック１３０が、固定ねじ
１３２によって、ポートドア３２に取り付けられてい
る。カセット保持ブロック１３０によって、固定ねじ１
３２を介して、クランプ力が与えられ、このクランプ力
により、導電性ライナー１２４が所定の位置に保持され
る。カセット保持ブロック１３０は、カセット１４が導
電性ライナー１２４上に置かれている間、カセット１４
を位置決めする働きをする。
【００３５】図５を参照すると、ハウジング９０は、ポ
ッド２０とポッドドア３２との間にシールを与えるため
に、膜１２６およびガスケット１２０を圧縮するナイフ
状エッジ９６を有している。膜１２６は、通常、微孔質
材料から形成されるガスケット１２０が、ポッド２０の
内部領域２１にガスが発生するのを防止している。実施
例および図面を説明することによって、この技術分野の
当業者にとって、本発明の多くの特徴および利点が明ら
かになるであろう。本発明は、以上の実施例に限定され
ることなく、特許請求の範囲に記載された発明およびそ
れと均等な発明の範囲内で、種々の変更が可能であり、
それらも本発明の範囲内に包含されるものであることは
いうまでもない。
【００３６】たとえば、前記実施例においては、本発明
は、ウェハーおよび／またはリチクルを、収容し、搬送
する標準化メカニカルインターフェースシステムとの関
係において説明されているが、本発明にかかるシール可
能で運搬可能なコンテナは、他の種々の無生物および研
究用の動物などの生物を収容し、搬送するためにも使用
可能である。
【００３７】
【発明の効果】本発明によれば、改良された運搬可能な
コンテナ、標準化メカニカルインターフェースポッドお
よび標準化メカニカルインターフェースシステムを提供
することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】 図１（Ａ）は、本発明の実施例にかかるＳＭ
ＩＦポッドを受け入れるキャノピーを有する処理ステー
ションの略等角図であり、図１（Ｂ）は、図１（Ａ）の
処理ステーションの略横断面図である。
【図２】 本発明の実施例にかかるＳＭＩＦポッドおよ
びＳＭＩＦポッドを受け入れるポートアセンブリの一部
分の略横断面図である。
【図３】 本発明の実施例にかかるＳＭＩＦポッドの略
分解図である。
【図４】 本発明の実施例にかかるポッドドアの略分解
断面図である。
【図５】 本発明の実施例にかかるＳＭＩＦポッド内の
ポッドおよびポッドドアのインターフェースを示す部分
略断面図である。
【符号の説明】
８ 処理ステーション １０ カバー １２ 処理装置 １４ ホルダー １６ ウェハー １８ コンテナ ２０ ボックス ２１ 内部領域 ２４ ポートアセンブリ ２６ ポートプレート ２８ ポートドア ３０ 昇降機構 ３２ ボックスドア ３４ 移動アセンブリ ３６ プラットホーム ３８ シャフト係合装置 ４０ 駆動モータ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 フレデリック セオドア ローゼンキスト アメリカ合衆国 カリフォルニア州 94062 レッドウッド シティー キャニ オン ロード 738 (72)発明者 スーディル ジャイン アメリカ合衆国 カリフォルニア州 95035 ミルピタス ノース ミルピタス ブールヴァード 313−2021 (72)発明者 マーク ロバート ディヴィス アメリカ合衆国 カリフォルニア州 95008 キャンベル ４ ゴメス コート 292

Claims (21)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 シール可能で運搬可能なコンテナであっ
    て、 内部領域およびシール面を有するポッドと、 内面を有するポッドドアと、 前記ポッドドアの前記内面上に設けられた導電性ライナ
    ーと、 前記ポッドドア上に設けられたガスケットと、 前記導電性ライナーおよび前記ガスケットの上に置か
    れ、接着される膜であって、前記導電性ライナーの部分
    を露出させる開口部を有する膜と、 前記ポッドドアを、前記ポッドに固定するラッチ手段と
    を備えたことを特徴とする運搬可能なコンテナ。
  2. 【請求項２】 さらに、前記導電性ライナーを、前記ポ
    ッドの前記内部領域の外部の固定電位に、電気的に相互
    接続する手段を備えたことを特徴とする請求項１に記載
    の運搬可能なコンテナ。
  3. 【請求項３】 前記導電性ライナーが、ステンレス鋼か
    ら構成されるとともに、前記ガスケットが、微孔質材料
    から構成され、前記膜が、フッ素プラスチックから構成
    されることを特徴とする請求項１に記載の運搬可能なコ
    ンテナ。
  4. 【請求項４】 前記導電性ライナーが、ステンレス鋼か
    ら構成されるとともに、 前記ガスケットが、微孔質材
    料から構成され、前記膜が、ポリアミドから構成される
    ことを特徴とする請求項１に記載の運搬可能なコンテ
    ナ。
  5. 【請求項５】 さらに、前記ポッドドアに接続され、前
    記導電性ライナーの上に置かれるカセットガイドを備え
    たことを特徴とする請求項１に記載の運搬可能なコンテ
    ナ。
  6. 【請求項６】 さらに、前記ポッドドアに接続され、前
    記導電性ライナーの上に置かれるカセットガイドを備え
    たことを特徴とする請求項３に記載の運搬可能なコンテ
    ナ。
  7. 【請求項７】 さらに、前記導電性ライナーの上に置か
    れるカセット位置決めガイドと、前記位置決めガイド
    を、前記ポッドドアに固定する手段とを備えたことを特
    徴とする請求項１に記載の運搬可能なコンテナ。
  8. 【請求項８】 前記ラッチ手段が、前記ポッドの前記シ
    ール面が、前記ガスケットの上に置かれる膜の部分に係
    合するとともに、前記ガスケットを圧縮して、前記内部
    領域を、雰囲気圧力条件から遮断するシールを与えるよ
    うに、前記ポッドドアを、前記ポッドに対してシールす
    る方向に移動させる手段を備えたことを特徴とする請求
    項１に記載の運搬可能なコンテナ。
  9. 【請求項９】 物品を収容したカセットを受け入れるた
    めのシール可能で運搬可能なコンテナであって、 カセットおよびシール面を収容する内部領域を有するポ
    ッドと、 内面を有するポッドドアと、 前記ポッドドアの前記内面上に設けられ、カセット受入
    れ領域を有する導電性ライナーと、 前記ポッドドアの前記内面の部分の上に置かれるガスケ
    ットと、 前記導電性ライナーおよび前記ガスケットの上に置か
    れ、接着される膜であって、前記導電性ライナーの前記
    カセット受入れ領域を露出させる開口部を有する膜と、 前記導電性ライナーの前記カセット受入れ領域の上に置
    かれるカセットガイドと、 前記カセットガイドを、前記ポッドドアに固定する手段
    と、 前記ポッドの前記シール面が、前記ガスケットの上に置
    かれる前記膜の部分に係合するとともに、ガスケットを
    圧縮して、前記内部領域を、雰囲気条件から遮断するシ
    ールを与えるように、前記ポッドドアを、前記ポッドに
    対してシールする方向に移動させる手段を有するラッチ
    手段とを備えたことを特徴とする運搬可能なコンテナ。
  10. 【請求項１０】 さらに、前記導電性ライナーを、前記
    ポッドの前記内部領域の外部の導電路に、電気的に相互
    接続する手段を備えたことを特徴とする請求項９に記載
    の運搬可能なコンテナ。
  11. 【請求項１１】 前記ポッドドアが、前記導電性ライナ
    ーを、前記ポッドの前記内部領域の外部のグラウンド電
    位に、電気的に相互接続する手段を備えたことを特徴と
    する請求項９に記載の運搬可能なコンテナ。
  12. 【請求項１２】 前記導電性ライナーが、ステンレス鋼
    から構成されるとともに、前記ガスケットが、微孔質材
    料から構成され、前記膜が、フッ素プラスチックから構
    成されることを特徴とする請求項９に記載の運搬可能な
    コンテナ。
  13. 【請求項１３】 前記導電性ライナーが、ステンレス鋼
    から構成されるとともに、前記ガスケットが、微孔質材
    料から構成され、前記膜が、ポリアミドから構成される
    ことを特徴とする請求項９に記載の運搬可能なコンテ
    ナ。
  14. 【請求項１４】 前記導電性ライナーが、ステンレス鋼
    から構成されるとともに、前記ガスケットが、微孔質材
    料から構成され、前記膜が、ポリエステルから構成され
    ることを特徴とする請求項９に記載の運搬可能なコンテ
    ナ。
  15. 【請求項１５】 前記導電性ライナーが、ステンレス鋼
    から構成されるとともに、前記ガスケットが、微孔質材
    料から構成され、前記膜が、ポリプロピレンから構成さ
    れることを特徴とする請求項９に記載の運搬可能なコン
    テナ。
  16. 【請求項１６】 標準化メカニカルインターフェースポ
    ッドであって、 内部領域、第１のシール面および少なくとも二つのラッ
    チ係合面を有するボックスと、 第２のシール面を有するボックスドアと、 前記ボックスドアの前記シール面上に設けられた導電性
    ライナーと、 前記ボックスドア上に設けられたガスケットと、 前記導電性ライナーおよび前記ガスケットの上に置かれ
    て、接着され、前記導電性ライナーを露出させる開口部
    を有する膜であって、前記ボックスドアが、前記ボック
    スに対してシールする方向に動かされたときに、前記ガ
    スケットの上に置かれた前記膜の部分および前記ガスケ
    ットが、前記第１のシール面および前記第２のシール面
    のそれぞれ一方と係合し、前記内部領域を、雰囲気条件
    から遮断するシールを与える膜と、 前記ボックスドア内に設けられ、それぞれが、二つのボ
    ックス係合部を有するとともに、係合の解除された位
    置、係合する位置および係合された位置との間で移動可
    能な第１のラッチ部材および第２のラッチ部材であっ
    て、前記ボックスに接触することなしに、前記係合の解
    除された位置から前記係合された位置まで移動可能で、
    前記係合する位置から前記係合された位置まで移動する
    ことにより、そのボックス係合部が、前記ラッチ部材
    を、前記ラッチ係合面に対して擦らせることなしに、前
    記ラッチ係合面に接触可能になるとともに、前記ボック
    スドアがシールする方向に移動可能になるように構成さ
    れた第１のラッチ部材および第２のラッチ部材と、 前記ボックスドアの中央に位置させられ、第１の独立し
    た作動ステージにおいて、前記ラッチ部材を、前記係合
    の解除された位置から前記係合する位置まで移動させる
    とともに、第２の独立した作動ステージにおいて、前記
    ラッチ部材を、前記係合する位置から前記係合された位
    置まで移動させる２段階カム手段とを備えたことを特徴
    とする標準化メカニカルインターフェースポッド。
  17. 【請求項１７】 前記導電性ライナーが、ステンレス鋼
    から構成されるとともに、前記ガスケットが、微孔質材
    料から構成され、前記膜が、フッ素プラスチックから構
    成されることを特徴とする請求項１６に記載の標準化メ
    カニカルインターフェースポッド。
  18. 【請求項１８】 前記導電性ライナーが、ステンレス鋼
    から構成されるとともに、前記ガスケットが、微孔質材
    料から構成され、前記膜が、ポリアミドから構成される
    ことを特徴とする請求項１６に記載の標準化メカニカル
    インターフェースポッド。
  19. 【請求項１９】 処理されるべき物品を清浄に維持する
    標準化メカニカルインターフェースシステムであって、 前記物品を収容する内部領域を画定する標準化メカニカ
    ルインターフェースポッドであって、第１のボックス頂
    部のシール面および第２のボックス頂部のシール面を有
    するボックスと、ボックスドアのシール面を有するボッ
    クスドアと、前記ボックスドアの前記内面上に設けられ
    た導電性ライナーと、前記ボックスドア上に設けられた
    ガスケットと、前記導電性ライナーおよび前記ガスケッ
    トの上に置かれて、接着され、前記導電性ライナーを露
    出する開口部を有する膜であって、前記ボックスドア
    が、前記ボックスに対して、シールする方向に動かされ
    たときに、前記ガスケットの上に置かれた前記膜の部分
    および前記ガスケットが、前記第１のシール面および前
    記第２のシール面に係合し、前記内部領域を、雰囲気条
    件から遮断するシールを与える膜とを備えた標準化メカ
    ニカルインターフェースポッドと、 第２のシールを生成するために、前記第２のボックス頂
    部のシール面とシール可能に係合する第１のポートプレ
    ートのシール面と、第２のポートプレートのシール面と
    を有するポートプレートと、 前記第２の手段を作動する手段を備え、第３のシールを
    生成するために、前記第２のポートプレートのシール面
    と、シール可能に係合する第１のポートドアのシール面
    とを有するポートドアとを備えたことを特徴とする標準
    化メカニカルインターフェースシステム。
  20. 【請求項２０】 前記導電性ライナーが、ステンレス鋼
    から構成されるとともに、前記ガスケットが、微孔質材
    料から構成され、前記膜が、フッ素プラスチックから構
    成されることを特徴とする請求項１９に記載の標準化メ
    カニカルインターフェースシステム。
  21. 【請求項２１】 前記導電性ライナーが、ステンレス鋼
    から構成されるとともに、前記ガスケットが、微孔質材
    料から構成され、前記膜が、ポリアミドから構成される
    ことを特徴とする請求項１９に記載の標準化メカニカル
    インターフェースシステム。
JP5080812A 1992-04-08 1993-04-07 運搬可能なコンテナ、標準化メカニカルインターフェースポッドおよび標準化メカニカルインターフェースシステム Pending JPH06196545A (ja)

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