JPH06176311A - 磁気ヘッド - Google Patents

磁気ヘッド

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Publication number
JPH06176311A
JPH06176311A JP32290392A JP32290392A JPH06176311A JP H06176311 A JPH06176311 A JP H06176311A JP 32290392 A JP32290392 A JP 32290392A JP 32290392 A JP32290392 A JP 32290392A JP H06176311 A JPH06176311 A JP H06176311A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
magnetic
film
metal
films
metal magnetic
Prior art date
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Pending
Application number
JP32290392A
Other languages
English (en)
Inventor
Ikuo Shinoda
郁夫 信太
Masahiko Fujishiro
昌彦 藤城
Takeshi Miura
岳史 三浦
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
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Publication date
Application filed by Hitachi Ltd filed Critical Hitachi Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【目的】高飽和磁束密度金属磁性膜の磁性材もしくは非
磁性材よりなるコア基体への膜形成時及びプロセス工程
にて発生するヒビ割れを防止すること。 【構成】磁気ヘッドとして主たる作用を施す金属磁性膜
を形成する前に、第1層目の金属磁性膜として前記磁性
膜よりも飽和磁束密度の小さい膜を形成する。 【効果】製造時の不良発生率を著しく低下させるばかり
でなく、高飽和密度磁性膜と磁気ヘッドを構成するコア
材の選択の自由度が高まり、量産性に優れた磁気ヘッド
が得られる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、家庭用及び業務用VT
R等の磁気ヘッドに関するものであり、特にアモルファ
ス金属等の金属磁性膜を有する磁気ヘッドに関する。
【0002】
【従来の技術】磁気記録の高密度化のために、磁気記録
媒体の保磁力を大きくすることが有利であり、メタルテ
−プ等の高保磁力の磁気記録媒体に記録再生を行うため
には、磁気ヘッド材料として高飽和磁束密度を有するこ
とが必要となる。金属磁性材料で総称されるCo−Nb
−Zr,Co−Ta−Zr,Co−To−Hf等の非晶
質合金、あるいはFe−Al−Si等の結晶質合金を用
いた磁気ヘッドは、一般にフェライト材よりも飽和磁束
密度が高くかつ摺動ノイズが低いという優れた特性を有
する。しかしながら膜厚を増加させることによる渦電流
損失の問題や耐摩耗性の点でフェライトに対して劣ると
いう欠点がある。そこで上記問題を解決するために、フ
ェライト材と磁性膜を組み合わせた複合型ヘッドが主流
となっている。さらに摺動ノイズに重きをおいたもので
は、フェライト材のかわりに非磁性基板を用いた構造の
ものもある。
【0003】従来の磁気ヘッドは、特開平3−1910
9号公報に記載のように、媒体摺動面に於いて磁性薄膜
の堆積される面ヘッドの端面とのなす角を50°〜80
°に設定することにより酸化物磁性ブロックと線膨張係
数の差に従い発生する熱応力による歪がヘッド側面に対
し平行に近い方向に動くのでヒビ割れの発生率が著しく
低下するとなっていた。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】上記従来技術は、高飽
和磁束密度金属磁性膜の磁性材もしくは非磁性材よりな
るコア基体への膜形成時及びプロセス工程にて発生する
ヒビ割れについては配慮されておらず、特に高密度記録
の為にさらに高飽和磁束材を用いようとするとこのヒビ
割れ現象が顕著となる。本発明ではこの点を解決するも
のである。
【0005】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、磁性材もしくは非磁性材よりなるコア基体の突合せ
面側に高透磁率で高飽和磁束密度の金属磁性膜を形成す
る際に、磁気ヘッドとして主たる作用を施す金属磁性膜
を形成する前に、第1層目の金属磁性膜として前記磁性
膜よりも飽和磁束密度の小さい膜を形成することにより
コア基体と形成された磁性膜との応力を緩和するもので
ある。
【0006】
【作用】上述の構成を施した磁気ヘッドによれば、前記
コア基体上に形成された第1層目の磁性膜がバッハ−材
のような働きをして応力を緩和するためヒビ割れの発生
を著しく低下させた。
【0007】
【実施例】以下、本発明の実施例について説明する。
【0008】図1は本発明の一実施例として磁気ヘッド
の媒体摺動面の構造で本図は2種の金属磁性膜2及び3
が連続して形成された場合を示す。図2に示すように1
層で形成されたものは金属磁性膜の飽和磁束密度を向上
させようとするとコア基体1との膨張係数等の物理変化
により、コア基体1にヒビ割れ7の不良が発生してしま
う場合がある。その為せっかく金属磁性膜の開発ができ
ても容易にヘッド化することが出来なかった。そこで図
1に示すようにコア基体1にまず目的の磁性膜2を形成
する前にコア基体1と膨張係数等のマッチングのとれた
金属磁性膜もしくは、過去に実績のある金属磁性膜3を
形成し、次に目的の金属磁性膜2を形成する。この様に
することにより、第1層目の金属磁性膜3は第2層目の
金属磁性膜2から見るとバッハー材の働きをしヒビ割れ
7の発生を抑えることが出来る。
【0009】ヒビ割れ7の発生モードを調査してみると
金属磁性膜形成時及び充填ガラス6の作業プロセス後に
発生する割合が高く、膨張係数の違いによるものと容易
にはんだんできる。
【0010】図3は2種の金属磁性膜2及び3間にSi
O2等の絶縁層5を形成したもの。図4は3種の金属磁
性膜2,3,4が連続して形成されたもの。図5から図
7は2種の金属磁性膜2及び3が連続して形成されたも
ので図1以外の場合の例を示すものである。
【0011】図8は形成した金属磁性膜の全体膜厚が磁
気ヘッドの実効トラック幅となる場合の1例である。
【0012】
【発明の効果】以上説明した様に本発明の磁気ヘッドの
構造によれば、製造時の不良発生率を著しく低下させる
ばかりでなく、高飽和密度磁性膜と磁気ヘッドを構成す
るコア材の選択の自由度が高まり、量産性に優れた磁気
ヘッドが得られる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例として磁気ヘッドの媒体摺動
面の構造を示すもので、2種の金属磁性膜が連続して形
成された図である。
【図2】従来形状の金属磁性膜が1種の場合でヒビ割れ
発生モードを示す図である。
【図3】2種の金属磁性膜が連続して形成されたもの
で、かつ金属磁性膜間に絶縁層がある場合を示す図であ
る。
【図4】3種の金属磁性膜が連続して形成された図であ
る。
【図5】他の形状の実施例を示す図である。
【図6】他の形状の実施例を示す図である。
【図7】他の形状の実施例を示す図である。
【図8】他の形状の実施例を示す図である。
【符号の説明】
1…コア基体、 2…コア基体の突合せ面側に形成される金属磁性膜、 3…第1層目の金属磁性膜、 4…第1層目の金属磁性膜とコア基体の突合せ面側に形
成される金属磁性膜の間に形成される金属磁性膜、 5…絶縁層、 6…充填ガラス、 7…ヒビ割れ。

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】磁性材もしくは非磁性材よりなるコア基体
    の突合せ面側に高透磁率で高飽和磁束密度の金属磁性膜
    を形成した1対のコア半体同志を、前記金属磁性膜のギ
    ャップ突合せ面同志がギャップ規制薄膜を介して接合し
    てなる磁気ヘッドにおいて、 前記金属磁性膜が2種類以上の金属磁性膜で構成された
    ことを特徴とする磁気ヘッド。
  2. 【請求項2】請求項1記載において、2種類以上で構成
    された金属磁性膜は各々の磁性膜間が連続して形成され
    たことを特徴とする磁気ヘッド。
  3. 【請求項3】請求項1記載において、2種類以上で構成
    された金属磁性膜は各々の磁性膜間にSiO2等の絶縁
    層が少なくとも1層以上あることを特徴とする磁気ヘッ
    ド。
  4. 【請求項4】請求項1記載において、2種類以上で構成
    された金属磁性膜の第1層目の金属磁性膜は第2層目以
    降の金属磁性膜の飽和磁束密度よりも小さく設定されて
    いることを特徴とする磁気ヘッド。
JP32290392A 1992-12-02 1992-12-02 磁気ヘッド Pending JPH06176311A (ja)

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JP32290392A JPH06176311A (ja) 1992-12-02 1992-12-02 磁気ヘッド

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JP32290392A JPH06176311A (ja) 1992-12-02 1992-12-02 磁気ヘッド

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JPH06176311A true JPH06176311A (ja) 1994-06-24

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