JPH04163705A - 磁気ヘッド - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） この発明は、ハードディスク装置やフロッピーディスク
装置などに使用される磁気ヘッドに関するもので、より
具体的には、ギャップに飽和磁束密度の大きい磁性金属
膜を介在させたいわゆるメタルインギャップ式の磁気ヘ
ッドの改良に関するものである。

（従来の技術） 近年、磁気ディスク装置における記録の高密度化の要請
から、ギャップ部分に高飽和磁束密度の金属性薄膜を用
いたＭＩＧ（メタルインギャップ）が研究・開発されて
いる。そして、この種の磁気ヘッドの一例を示すと、第
２図のようになる。

この例では、浮動式のいわゆるモノリシックタイプの磁
気ヘッドを示している。同図に示すように、フェライト
コアからなる２略直方体状のスライダ型コア１の一側面
にやはりフェライトコアからなる略Ｃ字状のコア小片２
を装着し、両者１゜２間にギャップ３を形成する。この
ギャップ部位を第３図に拡大して示すと、スライダ型コ
ア１の表面にスパッタリングなどによってセンダストな
どの飽和密度の高い磁性金属膜４を形成しておくと共に
、この磁性金属膜４と、コア小片２との間に、非磁性材
である高融点ガラス５を介在させる。

そして、この高融点ガラス５がデータの読み書きなどを
行う実質的なギャップ部となる。さらに、スライダ型コ
ア１と、コア小片２のギヤツブ３近傍部分を低融点ガラ
スからなるボンディングガラス６でもって接着一体化さ
せている。

しかしなから、この従来の磁気ヘッドでは、ボンディン
グガラス６にて両者１，２を接着する際に、低融点ガラ
スを溶融しなければならず、その際に生じる熱によりス
ライダ型コア１と、磁性金属膜４との間に界面反応が発
生し、その界面が不安定状態となり、その部分に非磁性
材層が形成されてしまう。すると、ギャップ３内には、
磁性金属膜４を挟んでその両側に非磁性部材部位が位置
されることになり、これら両弁磁性材部位がギャップ（
性能の大小は問わず）としての機能を有してしまう。

その結果、第４図に示すように、磁気ヘッドと記憶媒体
との相対的移動に対する出力電圧の変化が綺麗な波形と
ならず、歪みを生じてしまうという問題を有する（疑似
ギャップの発生）。

この問題を解決するために、本出願人は先に第５図に示
すようにスライダ型コア１と磁性金属膜４との間に、Ｓ
ｉ或いはＳ　ｉ　Ｏ２からなるバリアメタル層７を介在
させる技術を提案した。

（発明が解決しようとする課題） しかしながら、上記の磁気ヘッドでは、疑似ギャップの
発生は抑制できるものの、バリアメタル層７と、磁性金
属１１：４との間の結合力が弱く、接合後両者（４，７
）の界面で剥離し、不良品となることがある。

特に、図示するようなモノシリツクタイプの磁気ヘッド
の場合には、コア小片２をスライダ型コア１に接合した
後で、コア小片２にコイル８を捲回するため、コア小片
２に大きな力が加わりやすく、上記剥離の問題が顕著と
なる。

この発明は、上記した背景に鑑みてなされたもので、そ
の目的とするところは、疑似ギャップの発生を抑制しつ
つ、しかも、ギャップ部位におおける強度が強く歩留ま
りの良い磁気ヘッドを提供することにある。

（課題を解決するための手段） 上記した目的を達成するため、本発明に係る磁気ヘッド
では、２つのフェライトコアを組み合わせたギャップを
ボンディングガラスで接合すると共に、該ギャップ内に
磁性金属膜を有し、がっ、その磁性金属膜と一方のフェ
ライトコアとの間にＳ１或いは５ｉ０２の少なくとも一
方からなるバリアメタル層を有する磁気ヘッドにおいて
、該バリアメタル層と該磁性金属膜との間または該バリ
アメタル層と該一方のフェライトコアとの間の少なくと
も一方にＣ「膜層を形成した。

（作　用） Ｃｒ層と磁性金属膜並びにバリアメタル層との濡れ性が
良いため、各界面相互における接合強度が向上する よって、ギャップ部における２つのフェライトコアが分
離するのが抑制され、歩留まりが向上する。

また、各界面が綺麗に接合されるため、疑似ギャップの
発生もない。

（実施例） 以下、本発明に係る磁気ヘッドの好適な実施例に付いて
添付図面を参照にして詳述する。

基本的な構成は、上記した従来のものと同一であり、第
１図に（ギャップ部位拡大図）示すように、まず、本例
ではコア小片２の表面に実質的なギャップを形成する高
融点ガラス５をスパッタリングにて形成され、その高融
点ガラス５とスライダ型コア１との間に磁性金属膜４並
びにＳｉ或いは５ｉｎ２からなるバリアメタル層７がそ
れぞれスパッタリングにて形成されている。

ここで本発明では、バリアメタル層７の両表面にＣｒ層
８．９をスパッタリングにて設ｊ少でいる。

すなわち、バリアメタル層７と磁性金属Ｈ４との間に第
１のＣｒ層８が、また、バリアメタル層７とスライダ型
コア１との間に第２のＣ「膜層９がそれぞれ形成されて
いる。

この様に、第１．第２のＣｒ層８．９を設けることによ
り、各Ｃｒ層８．９と磁性金属膜４並びにバリアメタル
層７との濡れ性が良く各界面相互における接合強度が向
上し、コア小片２がスライダ型コア１から離脱するのが
抑制される。

また、本発明は必ずしも上記のごとく２つのＣｒ層１８
．９を設ける必要はなく、第１．第２のＣｒの内生なく
とも一方のみを形成すれば良い。

く実験結果〉 Ｃｒ層の設置位置をパラメータとしてギャップ部におけ
る強度の実験を行った。まず、前提として、Ｃｒ層を設
ける場合には、設置位置並びに設置数に関係なくいずれ
の場合も各層の膜厚を２０人とし、また、バリアメタル
層７の膜厚を５０人とした。

＊バリアメタル層７としてＳｉを用いた場合第１の０１
層８のみを形成したギャップ部位の強度は１２５ｇ重、
第２のＣｒ層９のみを形成したギャップ部位の強度は１
３２ｇ重、第１．第２の０１層８，９を形成したギャッ
プ部位の強度は１６０ｇ重であった。

これに対し、Ｃｒ層を設けない従来のものでは、９５ｇ
重であった。

＊バリアメタル層７として５ｉｎ２を用いた項第１の０
１層８のみを形成したギャップ部位の強度は１１５ｇ重
、第２のＣｒ層９のみを形成したギャップ部位の強度は
１２０ｇ重、第１．第２の０１層８．９を形成したギャ
ップ部位の強度は１５０ｇ重であった。

これに対し、Ｃｒ層を設けない従来のものでは、８３ｆ
重であった。

これから明らかなように、本考案のものではＣｒ層の設
置状態に関係なく、従来のものに比し極めて強度が向上
した。

また、同時に各磁気ヘッドと記憶媒体との相対的移動に
対する出力電圧の変化を測定したら、本発明に係る磁気
ヘッドは、いずれも疑似ギャップの発生のない綺麗な波
形となっていた。

さらに、第１の０１層８を設けた場合には、センダスト
（磁性金属膜４）の界面付近の配向性が向上し、その電
磁変換特性が向上する。

なお、上記した実験では、Ｃｒ層を両側に設置する場合
に両者の膜厚を等しく設定したが、本発明は必ずしも等
しく設定する必要は無い。

ただし、各層があまり薄いと各層を設けた役割が十分に
発揮し得ないため、好ましくは各層とも２０Å以上とす
ることである。しかし、あまり厚すぎると、ＣｒＮＩ並
びにバリアメタル層がギャップを形成することになるた
め、各層（７，８，９）の合計厚さが２００Å以下に設
定するのが望ましい。

なおまた、上記した実施例では、モノリシック型の磁気
ヘッドに付いて説明したが、本発明はこれに限ること無
く、種々のタイプの磁気ヘッドに適用することができる
。

また、上記実施例では、コア小片２側に高融点ガラスを
形成したが、スライダ型コア１側に形成してもよいのは
言うまでもない。

（発明の効果） 以上のように、本発明に係る磁気ヘッドでは、バリアメ
タル層と磁性金属膜との間またはバリアメタル層と一方
のフェライトコアとの間の少なくとも一方にＣｒ膜層を
形成したため、Ｃｒ層を設けた界面における接合強度が
向上し、これによりギャップ部位における強度が強く歩
留まりの良い磁気ヘッドを製造することができる。

また、疑似ギャップの発生も抑制される。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の磁気ヘッドの要部を示す図、第２図は
モノリシックタイプの磁気ヘッドを示す斜視図、第３図
は従来の磁気ヘッドのギャップ部を示す図、第４図はそ
の磁気ヘッドと記憶媒体との相対的移動に対する出力電
圧の変化を示すグラフ、第５図は先提案に係る磁気ヘッ
ドのギャップ部を示す図である。 １・・・スライダ型コア　２・・・コア小片３・・・ギ
ャップ　　　　４・・・磁性金属膜７・・・バリアメタ
ル　　８・・・第１のＣｒ層９・・・第１のＣｒ層 第１図 第３図 ル 第４図 第５図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. ２つのフェライトコアを組み合わせたギャップをボンデ
   ィングガラスで接合すると共に、該ギャップ内に磁性金
   属膜を有し、かつ、その磁性金属膜と一方のフェライト
   コアとの間にＳｉ或いはＳｉＯ＿２の少なくとも一方か
   らなるバリアメタル層を有する磁気ヘッドにおいて、該
   バリアメタル層と該磁性金属膜との間または該バリアメ
   タル層と該一方のフェライトコアとの間の少なくとも一
   方にＣｒ膜層を形成してなることを特徴とする磁気ヘッ
   ド。