JP2665354B2 - 磁気ヘッド - Google Patents

磁気ヘッド

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JP2665354B2 JP25589588A JP25589588A JP2665354B2 JP 2665354 B2 JP2665354 B2 JP 2665354B2 JP 25589588 A JP25589588 A JP 25589588A JP 25589588 A JP25589588 A JP 25589588A JP 2665354 B2 JP2665354 B2 JP 2665354B2
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Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本発明は磁気記録媒体に対して情報の磁気記録又は再
生を行なう磁気ヘッドに関するものである。
[従来の技術] 近年、磁気記録の分野で記録密度の向上は著しく、特
に8mmVTR(ビデオテープレコーダ)やDAT(デイタルオ
ーディオテープレコーダ)あるいは高密度、高容量FDD
(フロッピーディスクドライブ)等で磁気ヘッドと媒体
の組み合わせにより記録密度の向上が図られている。こ
れらの装置では媒体として保磁力の大きなメタル媒体が
用いられている。この場合磁気ヘッドは酸化物磁性材料
のフェライトから磁気コア全体を構成したものでは充分
に記録再生を行なえない。そこでフェライトから成る磁
気コアの磁気ギャップを挟む突き合わせ面に飽和磁束密
度の高い磁性合金の薄膜を成膜したいわゆる複合型の磁
気コアの構造が採用されている。
このような複合型の磁気コアは第3図(A)〜(F)
に示すような工程で以下のように製造される。
即ちまずNi−Zn又はMn−Zn系のフェライトから第3図
(A)に示すように略直方形のフェライト基板1を形成
する。
次に第3図(B)に示すようにフェライト基板1に対
して磁気コアのトラック幅を規定するためのトラック溝
1aをトラック幅に対応した間隔で、所定のピッチPで形
成する。尚ここではトラック溝1aの断面形状は略V字形
としているが、その形状はトラックピッチP及びトラッ
ク幅に応じて外にU字形あるいは台形に適宜選択され
る。
次にトラック溝1aを形成したフェライト基板1を2つ
用意し、一方のフェライト基板1に対して第3図(C)
に示すように磁気コアにコイル巻線を巻回するための巻
線逃げ溝2aを形成し、フェライト基板2とする。
次に第3図(D)に示すように、フェライト基板1,2
の後で突き合わされる図中上面に高飽和磁束密度の磁性
合金薄膜3を薄膜形成技術により、数μm〜数十μmの
厚さで成膜する。尚磁性合金薄膜3の材料の磁性合金は
Fe系あるいはCo系の磁性合金の中から用途に応じて適当
に選択する。例えばFe−Al−Si合金が好ましく用いられ
る。
次にフェライト基板1,2のそれぞれの磁性合金薄膜3
の表面上に磁気ギャップを形成する磁気ギャップ材のSi
O2薄膜を成膜した後、第3図(E)に示すようにフェラ
イト基板1,2を突き合わせ、溶着ガラス5の溶着により
接合する。第3図(E)でSiO2薄膜を符号4で示してあ
る。
次に第3図(E)のフェライト基板1,2の接合体を切
断線6に沿って切断して第3図(F)に示す磁気コア7
が得られる。第3図(F)で符号11,12はフェライト基
板1、2から切断された磁気コア半体である。又符号G
はSiO2薄膜4をギャップ材として構成される磁気ギャッ
プである。
そしてこの磁気コア7に不図示のコイル巻線を巻装
し、不図示の基板に取り付けて磁気ヘッドが完成する。
[発明が解決しようとする課題] ところが上述のような製造工程で製造される複合型の
磁気コアでは溶着ガラス5の溶着によりフェライト基板
1,2を接合する際に、SiO2薄膜4が溶着ガラス5と反応
して浸食されるとともに、磁性合金薄膜3も溶着ガラス
5と反応して第4図に符号8で示すように浸食されてし
まう。いわゆるクワレが発生してしまう。そしてこのク
ワレにより磁気ギャップGの所定のトラック幅Tが満足
しなくなったり、クワレが磁気ギャップGに沿って進ん
でギャップ幅が広くなったりして磁気ヘッドの特性が損
なわれてしまう。
そこでこの問題を解決するために、第5図(A),
(B)に示すように磁気コアの磁性合金薄膜3上に耐蝕
性に優れたTa2O5やCr等から成る保護膜9を成膜し、そ
の上に磁気ギャップのギャップ材となるSiO2薄膜4を成
膜した構造が採用されている。尚第5図(A)に示した
例ではトラック幅Tの磁気ギャップGに面する部分を含
む磁性合金薄膜3の全面に保護膜9を成膜している。又
第5図(B)の例では磁性合金薄膜3において磁気ギャ
ップGに面する部分を除く部分に保護膜9を成膜してい
る。この第5図(B)の場合はギャップ幅を狭く設定す
る場合であり、製造工程ではまず第5図(A)のように
磁性合金薄膜3の全面に保護膜9を成膜したのち、磁気
ギャップGに面する部分の保護膜9をラップ等により除
去する。
ところが第5図(A)のような構造では磁気ギャップ
Gのギャップ幅が保護膜9とSiO2薄膜4の両者の膜厚に
より決まるため、ギャップ幅のばらつきが大きくなって
しまう。またギャップ幅を狭く設定する場合は保護膜9
に充分な厚さが取れず、充分な保護が行なえずに、前述
のクワレが生じてしまうことになる。
一方第5図(B)の構造の場合は、フェライト基板1,
2に対応する磁気コア半体11,12の突き合わせ位置のずれ
によるトラックずれがある場合には磁気ギャップGのト
ラック幅方向の端部よりクワレが生じてしまう。
又第5図(A),(B)のいずれの構造でも製造工程
で保護膜9を成膜する工程を必要とし、工数の増加を招
きコストアップになるとともに、クワレを充分に効果的
に防止することができないという問題があった。
そこで本発明の課題は上述した複合型の磁気コアを有
した磁気ヘッドにおいて、磁気コアの磁性合金薄膜のク
ワレを効果的に防止でき、かつ安価に実施できる構造の
磁気ヘッドを提供することにある。
[課題を解決するための手段] 本発明においては上述した課題を解決するため、酸化
物磁性材からなり互いの突き合わせ面に磁性合金薄膜を
成膜した一対の磁気コア半体を磁気ギャップを介し突き
合わせガラス溶着により接合してなる磁気コアを有する
磁気ヘッドにおいて、前記磁性合金薄膜上にCr2O3薄膜
を成膜し、このCr2O3薄膜を磁気ギャップ材とした構造
を採用した。
[作 用] このような構造によれば耐蝕性に優れたCr2O3薄膜を
介して磁性合金薄膜の溶着ガラスによるクワレを防止で
きる。そしてその場合にCr2O3薄膜は磁気ギャップ材で
あるので、充分な厚さを取ることができ、クワレを効果
的に防止できる。
[実施例] 以下、第1図及び第2図を参照して本発明の実施例の
詳細を説明する。尚第1図及び第2図中において従来例
の第3図から第5図中と共通の部分には共通の符号が付
してあり、その詳細な説明は省略する。
第1実施例 第1図は本発明の第1実施例の磁気ヘッドに用いられ
る磁気コアの磁気記録媒体摺動面で磁気ギャップ周辺を
拡大して示している。
第1図に示すように本実施例の磁気コアの基本的な構
造は先述の従来例と同様であり、先述したフェライト基
板1,2から切り出される磁気コア半体11,12のそれぞれの
突き合わせ面に磁性合金薄膜3を成膜し、磁気ギャップ
Gを介して突き合わせ、溶着ガラス5の溶着により接合
して磁気コアが構成される。
ここで従来例と異なる点として、磁気コア半体11,12
のそれぞれの磁性合金薄膜3上に耐蝕性に優れたCr2O3
薄膜10を成膜するものとする。Cr2O3薄膜10はトラック
幅Tの磁気ギャップGに面する部分を含む磁性合金薄膜
3の全面に成膜するものとする。そして図示のようにCr
2O3薄膜10どうしを突き合わせて磁気コア半体11,12が接
合され、Cr2O3薄膜10を磁気ギャップ材として磁気ギャ
ップGが構成される。即ちCr2O3薄膜10はいわば磁性合
金薄膜3のクワレ防止のための保護膜と磁気ギャップG
を構成するためのギャップ材の薄膜を兼ねることにな
る。
このような本実施例の構造によれば、耐蝕性に優れた
Cr2O3薄膜10を介して磁性合金薄膜3の溶着ガラス5に
よるクワレを効果的に防止できる。そしてこの場合Cr2O
3薄膜10は保護膜兼ギャップ構成用の薄膜であるので、
第5図(A)の従来例との比較から明らかなように磁気
ギャップGの幅を狭く設定する場合に第5図(A)の保
護膜9よりもCr2O3薄膜10の厚さを充分に取ることがで
き、磁性合金薄膜3のクワレを更に効果的に防止でき
る。又本実施例の構造によれば第5図(B)の従来例の
ようなトラック位置ずれによる磁気ギャップGのトラッ
ク幅方向の端部におけるクワレの発生の恐れがない。
さらに本実施例の構造によれば、磁性合金薄膜3上に
保護膜9とSiO2薄膜4を成膜する第5図(A),(B)
の従来例に比べて磁気コアの製造工程で成膜工程が1つ
少なくて済み、その分コストダウンが図れる。
又本実施例のCr2O3薄膜10はその色及び光沢が磁性合
金薄膜3と顕著に異なるので、光学的に磁気ギャップG
のギャップ幅を確認するのに適している。
更にCr2O3は第5図(A)、(B)の従来例の保護膜
9の材料としてあげたTa2O5等より溶着ガラス5の流れ
性が良く、これを用いることによりガラス溶着を良好に
行なえ、磁気コアの歩留まりを向上できる。
第2実施例 次に第2図は本発明の第2実施例による磁気ヘッドに
用いられる磁気コアの磁気ギャップ周辺を拡大して示し
ている。
図示のように本実施例では磁気コア半体11,12の突き
合わせ面の断面形状と磁性合金薄膜3の配置が第1実施
例と異なっている。即ち磁気コア半体11,12の突き合わ
せ面の断面形状は略三角形で先端部の片側が垂直に切り
欠かれた形状となっている。そして磁性合金薄膜3は磁
気コア半体11,12のそれぞれの突き合わせ面で切り欠か
れていない側の面上に成膜されている。そしてそれぞれ
の磁性合金薄膜3,3の端面どうしが磁気ギャップGを介
して突き合わされる。この場合Cr2O3薄膜10を磁性合金
薄膜3の表面上及び磁気ギャップGに面する端面上、及
び磁気コア半体11,12の突き合わせ面において磁性合金
薄膜3を成膜していない側の上に成膜するものとする。
そして第1実施例と同様にCr2O3薄膜10が磁気ギャップ
Gのギャップ材となる。
このような構造によっても第1実施例の場合と全く同
様の作用効果が得られる。即ち磁気コア半体11,12の突
き合わせ面の断面形状及び磁性合金薄膜3の配置は特に
限定されるものではなく、Cr2O3薄膜10は磁性合金薄膜
3において少なくとも磁気ギャップGに面する部分の上
に成膜すれば良い。
尚第2図の構造の場合、磁気コア半体11,12の突き合
わせ面(トラック溝1aにより形成される)において、Cr
2O3薄膜10が成膜される部分には垂直部1bがあり、この
部分にはCr2O3薄膜10が薄くしか付着しないが、Cr2O3
膜10の耐蝕性は極めて優れており、その厚さが10Å以上
あれば、クワレを防止できるので、問題はない。
又他の構造として、従来例の第5図(B)の構造にお
いて、SiO2薄膜4の代りにCr2O3薄膜を成膜して磁気ギ
ャップ材とする構造が考えられる。この場合製造工程で
磁性合金薄膜3上にあらかじめ保護膜9を成膜しておく
ことにより、加工途中の磁性合金薄膜3の酸化を防止で
きる。
[発明の効果] 以上の説明から明らかなように、本発明によれば、酸
化物磁性材からなり互いの突き合わせ面に磁性合金薄膜
を成膜した一対の磁気コア半体を磁気ギャップを介し突
き合わせガラス溶着により接合してなる磁気コアを有す
る磁気ヘッドにおいて、前記磁性合金薄膜上にCr2O3
膜を成膜し、このCr2O3薄膜を磁気ギャップ材とした構
造を採用したので、安価に実施できる構造により磁性合
金薄膜の溶着ガラスによる浸食を効果的に防止でき、磁
気ヘッドの磁気コアの磁気特性を向上できること、製造
工程で磁気ギャップのギャップ幅を容易に確認できるこ
と、及び磁気コアのガラス溶着の作業性が良く磁気コア
の歩留まりを向上できること等の優れた効果が得られ
る。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の第1実施例による磁気ヘッドの磁気コ
アの構造を示す磁気記録媒体摺動面の磁気ギャップ周辺
の拡大した平面図、第2図は第2実施例による磁気コア
の磁気ギャップ周辺の平面図、第3図(A)から(F)
はそれぞれ従来の磁気ヘッドの複合型の磁気コアの製造
工程の説明図、第4図は従来の磁気コアにおける磁性合
金薄膜のクワレを示す磁気ギャップ周辺の平面図、第5
図(A),(B)はそれぞれ異なる従来の磁気ヘッドの
磁気コアの構造を示す磁気ギャップ周辺の拡大平面図で
ある。 1,2……フェライト基板 3……磁性合金薄膜 4……SiO2薄膜、5……溶着ガラス 7……磁気コア、9……保護膜 10……Cr2O3薄膜 11,12……磁気コア半体 G……磁気ギャップ

Claims (1)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】酸化物磁性材からなり互いの突き合わせ面
    に磁性合金薄膜を成膜した一対の磁気コア半体を磁気ギ
    ャップを介し突き合わせガラス溶着により接合してなる
    磁気コアを有する磁気ヘッドにおいて、前記磁性合金薄
    膜上にCr2O3薄膜を成膜し、このCr2O3薄膜を磁気ギャッ
    プ材としたことを特徴とする磁気ヘッド。
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