JPH02105304A - 磁気ヘッド - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は磁気記録媒体に対して情報の磁気記録又は再生
を行なう磁気ヘッドに関するものである。

［従来の技術］ 近年、磁気記録の分野で記録密度の向上は著しく、特に
８ｍｍＶＴＲ（ビデオテープレコーダ）やＤＡＴ　（デ
ジタルオーディオチーブレコーダ）あるいは高密度、高
容量ＦＤＤ　（フロッピーディスクドライブ）等で磁気
ヘッドと媒体の組み合わせにより記録密度の向上が図ら
れている。これらの装置では媒体として保磁力の大きな
メタル媒体が用いられている。この場合磁気ヘッドは酸
化物磁性材料のフェライトから磁気コア全体を構成した
ものでは充分に記録再生を行なえない。そこでフェライ
トから成る磁気コアの磁気ギャップを挟む突き合わせ面
に飽和磁束密度の高い磁性合金の薄膜を成膜したいわゆ
る複合型の磁気コアの構造が採用されている。

このような複合型の磁気コアは第３図（Ａ）〜（Ｆ）に
示すような工程で以下のように製造される。

即ちまずＮｉ−Ｚｎ又はＭｎ−Ｚｎ系のフェライトから
第３図（Ａ）に示すように略直方形のフェライト基板１
を形成する。

次に第３図（Ｂ）に示すようにフェライト基板１に対し
て磁気コアのトラック幅を規定するためのトラック溝１
ａをトラック幅に対応した間隔で、所定のピッチＰで形
成する。尚ここではトラック溝１ａの断面形状は略Ｖ字
形としているが、その形状はトラックピッチＰ及びトラ
ック幅に応じて外にＵ字形あるいは台形に適宜選択され
る。

次にトラック溝１ａを形成したフェライト基板１を２つ
用意し、一方のフェライト基板１に対して第３図（Ｃ）
に示すように磁気コアにコイル巻線を巻回するための巻
線逃げ溝２ａを形成し、フェライト基板２とする。

次に第３図（Ｄ）に示すように、フェライト基板１．２
の後で突き合わされる図中上面に高飽和磁束密度の磁性
合金薄膜３を薄膜形成技術により、数μｍ〜数十μｍの
厚さで成膜する。尚磁性合金薄ＩＩＩ　３の材料の磁性
合金はＦｅ系あるいはｃｏ系の磁性合金の中から用途に
応じて適当に選択する。例えばＦｅ−Ａｊ２−３ｉ合金
が好ましく用いられる。

次にフェライト基板１．２のそれぞれの磁性合金薄膜３
の表面上に磁気ギャップを形成する磁気ギャップ材の５
ｉｎ２薄膜を成膜した後、第３図（Ｅ）に示すようにフ
ェライト基板１．２を突き合わせ、溶着ガラス５の溶着
により接合する。

第３図（Ｅ）でＳｉｏ２薄膜を符号４で示しである。

次に第３図（Ｅ）のフェライト基板１．２の接合体を切
断線６に沿って切断して第３図（Ｆ）に示す磁気コア７
が得られる。第３図（Ｆ）で符号１１．１２はフェライ
ト基板１．２から切断された磁気コア半体である。又符
号Ｇは５ｉｎ２薄膜４をギャップ材として構成される磁
気ギャップである。

そしてこの磁気コア７に不図示のコイル巻線を巻装し、
不図示の基板に取り付けて磁気ヘッドが完成する。

［発明が解決しようとする課題］ ところが上述のような製造工程で製造される複合型の磁
気コアでは溶着ガラス５の溶着によりフェライト基板１
．２を接合する際に、ＳｉＯ２薄１］！　４が溶着ガラ
ス５と反応して浸食されるとともに、磁性合金薄膜３も
溶着ガラス５と反応して第４図に符号８で示すように浸
食されてしまう。いわゆるクワレが発生してしまう。そ
してこのクワレにより磁気ギャップＧの所定のトラック
幅Ｔが満足しなくなったり、クワレが磁気ギャップＧに
沿って進んでギャップ幅が広くなったりして磁気ヘッド
の特性が損なわれてしまう。

そこでこの問題を解決するために、第５図（Ａ）、（Ｂ
）に示すように磁気コアの磁性合金薄膜３上に耐蝕性に
優れたＴａ２０５やＣｒ等から成る保護膜９を成膜し、
その上に磁気ギャップＧのギャップ材となる５ｉｎ２薄
膜４を成膜した構造が採用されている。尚第５図（Ａ）
に示した例ではトラック幅Ｔの磁気ギャップＧに面する
部分を含む磁性合金薄膜３の全面に保護膜９を成膜して
いる。又第５図（Ｂ）の例では磁性合金薄膜３において
磁気ギャップＧに面する部分を除く部分に保護膜９を成
膜している。この第５図（Ｂ）の場合はギャップ幅を狭
く設定する場合であり、製造工程ではまず第５図（Ａ）
のように磁性合金薄膜３の全面に保護膜９を成膜したの
ち、磁気ギャップＧに面する部分の保護膜９をラップ等
により除去する。

ところが第５図（Ａ）のような構造では磁気ギャップＧ
のギャップ幅が保護膜９と５ｔＯ２薄膜４の両者の膜厚
により決まるため、ギャップ幅のばらつきが大きくなっ
てしまう。またギャップ幅を狭く設定する場合は保護膜
９に充分な厚さが取れず、充分な保護が行なえずに、前
述のクワレが生じてしまうことになる。

一方第５図（Ｂ）の構造の場合は、フェライト基板１．
２に対応する磁気コア半体１１．１２の突き合わせ位置
のずれによるトラックずれがある場合には磁気ギャップ
Ｇのトラック幅方向の端部よりクワレが生じてしまう。

又第５図（Ａ）、（Ｂ）のいずれの構造でも製造工程で
保護膜９を成膜する工程を必要とし、工数の増加を招き
コストアップになるとともに、クワレを充分に効果的に
防止することができないという問題があった。

そこで本発明の課題は上述した複合型の磁気コアを有し
た磁気ヘッドにおいて、磁気コアの磁性合金薄膜のクワ
レを効果的に防止でき、かつ安価に実施できる構造の磁
気ヘッドを提供することにある。

［課題を解決するための手段］ 本発明においては上述した課題を解決するため、酸化物
磁性材からなり互いの突き合わせ面に磁性合金薄膜を成
膜した一対の磁気コア半体を磁気ギャップを介し突き合
わせガラス溶着により接合してなる磁気コアを有する磁
気ヘッドにおいて、前記磁性合金薄膜上にＣｒ２Ｏ３薄
膜を成膜し、このＣｒ２Ｏ３薄膜を磁気ギャップ材とし
た構造を採用した。

［作　用］ このような構造によれば耐蝕性に優れたＣｒ２０３薄膜
を介して磁性合金薄膜の溶着ガラスによるクワレを防止
できる。そしてその場合にＣｒ２Ｏ５薄膜は磁気ギャッ
プ材であるので、充分な厚さを取ることができ、クワレ
を効果的に防止できる。

［実施例］ 以下、第１図及び第２図を参照して本発明の実施例の詳
細を説明する。尚第１図及び第２図中において従来例の
第３図から第５図中と共通の部分には共通の符号が付し
てあり、その詳細な説明は省略する。

匪１」ｕｌ」 第１図は本発明の第１実施例の磁気ヘッドに用いられる
磁気コアの磁気記録媒体摺動面で磁気ギャップ周辺を拡
大して示している。

第１図に示すように本実施例の磁気コアの基本的な構造
は先述の従来例と同様であり、先述したフェライト基板
１．２から切り出される磁気コア半体ｉｔ、１２のそれ
ぞれの突き合わせ面に磁性合金薄膜３を成膜し、磁気ギ
ャップＧを介して突き合わせ、溶着ガラス５の溶着によ
り接合して磁気コアが構成される。

ここで従来例と異なる点として、磁気コア半体１１．１
２のそれぞれの磁性合金薄膜３上に耐蝕性に優れたＣｒ
２Ｏ３薄膜１０を成膜するものとする。Ｃｒ２Ｏ５薄膜
１０はトラック幅Ｔの磁気ギャップＧに面する部分を含
む磁性合金薄膜３の全面に成膜するものとする。そして
図示のようにＣｒ２Ｏ，薄１］ｉ１０どうしを突き合わ
せて磁気コア半体１１．１２が接合され、Ｃｒ２Ｏ５薄
膜１０を磁気ギャップ材として磁気ギャップＧが構成さ
れる。即ちＣｒ２Ｏ３薄膜１０はいわば磁性合金薄膜３
のクワレ防止のための保護膜と磁気ギャップＧを構成す
るためのギャップ材の薄膜を兼ねることになる。

このような本実施例の構造によれば、耐蝕性に優れたＣ
ｒ２Ｏ５薄膜１０を介して磁性合金薄膜３の溶着ガラス
５によるクワレを効果的に防止できる。そしてこの場合
Ｃｒ２Ｏ，薄膜１０は保護膜兼ギャップ構成用の薄膜で
あるので、第５図（Ａ）の従来例との比較から明らかな
ように磁気ギャップＧの幅を狭く設定する場合に第５図
（Ａ）の保護膜９よりもＣｒ２Ｏ５薄膜１０の厚さを充
分に取ることができ、磁性合金薄膜３のクワレを更に効
果的に防止できる。又本実施例の構造によれば第５図（
Ｂ）の従来例のようなトラック位置ずれによる磁気ギャ
ップＧのトラック幅方向の端部におけるクワレの発生の
恐れがない。

さらに本実施例の構造によれば、磁性合金薄膜３上に保
護膜９と５ｉ０２薄膜４を成膜する第５図（Ａ）、（Ｂ
）の従来例に比べて磁気コアの製造工程で成膜工程が１
つ少なくて済み、その分コストダウンが図れる。

又本実施例のＣｒ２Ｏ５薄膜１０はその色及び光沢が磁
性合金薄膜３と顕著に異なるので、光学的に磁気ギャッ
プＧのギャップ幅を確認するのに適している。

更にＣｒ２Ｏ，は第５図（Ａ）、（Ｂ）の従来例の保護
膜９の材料としてあげたＴａ２０．等より溶着ガラス５
の流れ性が良く、これを用いることによりガラス溶着を
良好に行なえ、磁気コアの歩留まりを向上できる。

第２実施例 次に第２図は本発明の第２実施例による磁気ヘットに用
いられる磁気コアの磁気ギャップ周辺を拡大して示して
いる。

図示のように本実施例では磁気コア半体１１゜１２の突
き合わせ面の断面形状と磁性合金薄膜３の配置が第１実
施例と異なっている。即ち磁気コア半体１１．１２の突
き合わせ面の断面形状は略三角形で先端部の片側が垂直
に切り欠かれた形状となっている。そして磁性合金薄膜
３は磁気コア半体１１．１２のそれぞれの突き合わせ面
で切り欠かれていない側の面上に成膜されている。そし
てそれぞれの磁性合金薄膜３．３の端面どうじが磁気ギ
ャップＧを介して突き合わされる。この場合Ｃｒ２Ｏ３
薄膜１０を磁性合金薄膜３の表面上及び磁気ギャップＧ
に面する端面上、及び磁気コア半体１１．１２の突き合
わせ面において磁性合金薄膜３を成膜していない側の上
に成膜するものとする。そして第１実施例と同様にＣｒ
２Ｏ。

薄膜１０が磁気ギャップＧのギャップ材となる。

このような構造によっても第１実施例の場合と全く同様
の作用効果が得られる。即ち磁気コア半体１１，１２の
突き合わせ面の断面形状及び磁性合金薄膜３の配置は特
に限定されるものではなく、Ｃｒ２Ｏ３薄膜１０は磁性
合金薄膜３において少なくとも磁気ギャップＧに面する
部分の上に成膜すれば良い。

尚第２図の構造の場合、磁気コア半体１１１２の突き合
わせ面（トラック溝１ａにより形成される）において、
Ｃｒ２Ｏ３薄膜１０が成膜される部分には垂直部１ｂが
あり、この部分にはＣｒ、Ｏ，薄膜１０が薄くしか付着
しないが、Ｃｒ、Ｏ，薄膜１０の耐蝕性は極めて優れて
おり、その厚さｂ月０λ以上あれば、クワレを防止でき
るので、問題はない。

又他の構造として、従来例の第５図（Ｂ）の構造におい
て、５ｉ０２薄膜４の代りにＣｒ２Ｏ３薄膜を成膜して
磁気ギャップ材とする構造が考えられる。この場合製造
工程で磁性合金薄膜３上にあらかじめ保護膜９を成膜し
ておくことにより、加工途中の磁性合金薄ｌｌＵ３の酸
化を防止できる。

［発明の効果コ 以上の説明から明らかなように、本発明によれば、酸化
物磁性材からなり互いの突き合わせ面に磁性合金薄膜を
成膜した一対の磁気コア半体を磁気ギャップを介し突き
合わせガラス溶着により接合してなる磁気コアを有する
磁気ヘッドにおいて、前記磁性合金薄膜上にＣｒ２０ｇ
薄膜を成膜し、このＣｒ２Ｏ３薄膜を磁気ギャップ材と
した構造を採用したので、安価に実施できる構造により
磁性合金薄膜の溶着ガラスによる浸食を効果的に防止で
き、磁気ヘッドの磁気コアの磁気特性を向上できること
、製造工程で磁気ギャップのギャップ幅を容易に確認で
きること、及び磁気コアのガラス溶着の作業性が良く磁
気コアの歩留まりを向上できること等の優れた効果が得
られる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の第１実施例による磁気ヘッドの磁気コ
アの構造を示す磁気記録媒体摺動面の磁気ギャップ周辺
の拡大した平面図、第２図は第２実施例による磁気コア
の磁気ギャップ周辺の平面図、第３図（Ａ）から（Ｆ）
はそれぞれ従来の磁気ヘッドの複合型の磁気コアの製造
工程の説明図、第４図は従来の磁気コアにおける磁性合
金薄膜のクワレを示す磁気ギャップ周辺の平面図、第５
図（Ａ）、（Ｂ）はそれぞれ異なる従来の磁気ヘッドの
磁気コアの構造を示す磁気ギャップ周辺の拡大平面図で
ある。 １．２・・・フェライト基板 ３・・・磁性合金薄膜 ４・・・５ｉｎ２薄膜　　　５・・・溶着ガラス７・・
・磁気コア　　　　　９・・・保護膜ＩＣｌ−Ｃｒ２Ｏ
３薄膜 １１．１２・・・磁気コア半体 Ｇ・・・磁気ギャップ 鍼未の製置工程θ説便汀君 第３図（Ｆ）

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １）酸化物磁性材からなり互いの突き合わせ面に磁性合
   金薄膜を成膜した一対の磁気コア半体を磁気ギャップを
   介し突き合わせガラス溶着により接合してなる磁気コア
   を有する磁気ヘッドにおいて、前記磁性合金薄膜上にＣ
   ｒ＿２Ｏ＿３薄膜を成膜し、このＣｒ＿２Ｏ＿３薄膜を
   磁気ギャップ材としたことを特徴とする磁気ヘッド。