JPH0617296Y2 - 石英ボートの判別装置 - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 産業上の利用分野 この考案は、半導体素子の製造に用いる石英ボートに関
するものである。

従来の技術 ウエハは、キャリアから石英ボートに移し替えられた
り、また、逆に、石英ボートからキャリアに移し替えた
りするが、このウエハの移し替えには自動ウエハ移し替
え機が用いられる。

この自動ウエハ移し替え機は、互いに対向する開閉自在
なウエハ爪によりウエハを着脱してその移し替えを行っ
ているが、従来は、同一のウエハ移し替え機でサイズの
異なるウエハを移し替えることはなかった。

ところが、近年、４インチ、５インチ、６インチ等とサ
イズの異なるウエハが用いられるようになると、同一ウ
エハ移し替え機でサイズの異なるウエハを移し替えなけ
ればならなくなり、そのため、ウエハのサイズに対応し
て石英ボートも該サイズに合致した正しい種類のものを
選択しウエハ移し替え機にセットすると共に自動的に該
種類を判断する必要が生じてきた。

考案が解決しようとする問題点 従来例では、石英ボートの種類を自動的に判別する手段
が無く作業員の目視による判別が行われている。

また、石英ボートをボート台に置くときに誤って逆置す
ると、ウエハの加工面が反対になるので、プロセス上問
題が生じていた。

この考案は、上記事情に鑑み石英ボートの種類を自動的
に判別すると共に石英ボートの逆置を防止することを目
的とする。

問題点を解決するための手段 この考案は、石英ボートの側板下端部に形成され、か
つ、石英ボートの種類により異なる位置に形成される切
欠部と、ボート台に設けられ、かつ、前記切欠部のすべ
てに対応する位置に夫々設けたセンサとを備えることに
より前記問題を解決せんとするものである。

作用 側板下端部の所定位置に切欠部を形成した石英ボートを
ボート台に載置すると、該切欠部に対応する位置のセン
サは、オンしないが他のセンサは、側板下端部に押圧さ
れてオンする。

また、石英ボートを逆向きに載置すると、各センサは、
側板下端部に押圧されて全部オンする。

実施例 この考案の実施例を添付図面を添付図面により説明する
と、石英ボート１の両端の側板２、２ａには、取手３が
設けられている。

一方の側板２の下端部４には、切欠部５が形成されてい
るが、この切欠部５の位置は、石英ボートの種類により
異なり、例えば、５インチウエハ用石英ボートの場合
は、第３図の様に左端に形成され、又、６インチウエハ
用石英ボート１Ａの場合は、第４図に示す様に右端に形
成されている。

ボート台６には、第１センサ８と第２センサ７が設けら
れ、第１センサ７の押圧部９は、５インチ用石英ボート
１の切欠部５に対応する位置に設けられ、又、第２セン
サ８の押圧部１０は、６インチ用石英ボート１Ａの切欠
部５ａに対応する位置に設けられている。

これらのセンサ７、８は、自動ウエハ移し替え機と連結
するコンピュータ（図示せず）に接続されている。

次に、この実施例の作動について説明するとウエハＷを
収容した５インチ用石英ボート１を第１図に示す様にボ
ート台６に載置すると、押圧部９は、切欠部５に嵌入さ
れるので、第２センサ７はオンしないが、押圧部１０
は、側板下端部４に押圧されるので、第１センサ８がオ
ンする。

このセンサ７、８の出力の有無によりコンピュータが演
算し、ボート台６上の石英ボートが５インチ用石英ボー
トであることを自動的に判断する。

又、６インチ用石英ボート１Ａをボート台６に載置する
と、押圧部１０は、切欠部５ａに嵌入されるので、第１
センサ８はオンしないが、押圧部９は、側板下端部４に
押圧されるので第２センサ７がオンする。

このセンサ７、８の出力の有無によりコンピュータが演
算し、ボート台６上の石英ボートが６インチ用石英ボー
ト１Ａであることを自動的に判断する。

又、石英ボート１を第５図に示す様に逆置、即ち、側板
２と側板２ａとが反対となるようにボート台６に置く
と、側板２ａの下端部４ａには、切欠部が無いので、セ
ンサ７、８の押圧部９、１０が該下端部４ａに押され、
全てのセンサ７、８は、オンとなる。

そのため、センサ７、８の両出力がコンピュータに入る
のでボート台６上の石英ボート１、１Ａが逆置されてい
ることがわかる。

なお、ボート台６上に石英ボート１、１Ａが載置されて
いない場合は、押圧部９、１０は、いずれも押圧されな
いので、センサ７、８は、オンしない。

従って、センサ７、８からの出力がないのでコンピュー
タは、ボート台上に石英ボートがないことを表示する。

考案の効果 この考案は、以上のように構成したので、種類の異なる
石英ボート毎に異なるセンサが作動する。

従って、このセンサにより石英ボートの種類即ち、ウエ
ハの種類を自動的に判断できる。

そのため、自動ウエハ移し替え機を用いたウエハの移し
替えを円滑に行うことが可能となる。又、石英ボートを
逆置すると、全てのセンサが作動するので、石英ボート
の逆置は、完全に防止することができる。

そのため、ウエハの加工面を逆向きにすることがないの
で、従来例のようなプロセス上の問題は、発生しない。

【図面の簡単な説明】

第１図〜第４図は、この考案の実施例を示す図で、第１
図は、使用状態を示す斜視図、第２図は、５インチ用石
英ボートの正面図、第３図は、側面図、第４図は、６イ
ンチ用石英ボートの側面図で、第３図に相当する図、第
５図は、他の使用状態を示す斜視図で第１図に相当する
図である。 １……石英ボート １Ａ……石英ボート ２……側板 ４……下端部 ５……切欠部 ５ａ……切欠部 ７……第１センサ ８……第２センサ

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】石英ボートの側板下端部に形成され、か
   つ、石英ボートの種類により異なる位置に形成される切
   欠部と；ボート台に設けられ、かつ前記切欠部のすべて
   に対応する位置に夫々設けたセンサと；からなる石英ボ
   ートの判別装置。