JPH08107135A - キャリア運搬用ハンドル - Google Patents
キャリア運搬用ハンドルInfo
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- JPH08107135A JPH08107135A JP26454894A JP26454894A JPH08107135A JP H08107135 A JPH08107135 A JP H08107135A JP 26454894 A JP26454894 A JP 26454894A JP 26454894 A JP26454894 A JP 26454894A JP H08107135 A JPH08107135 A JP H08107135A
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- Japan
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- handle
- carrier
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- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
- Preparing Plates And Mask In Photomechanical Process (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Packaging Frangible Articles (AREA)
Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【目的】 半導体の製造に用いるウエハキャリアを運搬
可能にするキャリア運搬用ハンドルを提供する。 【構成】 複数のウエハ等の被処理物を収容する収納部
を有するキャリア本体１の端面部に形成されたハンドル
被装着部２に対して、着脱自在に挿入し得ると共に、該
キャリア本体を運搬可能にするキャリア運搬用ハンドル
Ｂであって、キャリア本体の端面部に接して該キャリア
本体を支持する受板本体と、該受板本体の上部に位置し
て上記ハンドル被装着部に挿入するための支承部と、該
支承部の上部に位置して上記ハンドル被装着部にフック
して上記ハンドルからキャリア本体が離脱するのを防止
するための離脱防止用フック部と、該受板本体の下部に
位置して上記キャリア本体の端面下方開脚部に嵌着して
該キャリア本体を支えるカギ型受部と、該受板本体の側
部に位置して該受板本体を把持して運搬可能にするため
の把持部９ａ，９ｂを有するキャリア運搬用ハンドル。
可能にするキャリア運搬用ハンドルを提供する。 【構成】 複数のウエハ等の被処理物を収容する収納部
を有するキャリア本体１の端面部に形成されたハンドル
被装着部２に対して、着脱自在に挿入し得ると共に、該
キャリア本体を運搬可能にするキャリア運搬用ハンドル
Ｂであって、キャリア本体の端面部に接して該キャリア
本体を支持する受板本体と、該受板本体の上部に位置し
て上記ハンドル被装着部に挿入するための支承部と、該
支承部の上部に位置して上記ハンドル被装着部にフック
して上記ハンドルからキャリア本体が離脱するのを防止
するための離脱防止用フック部と、該受板本体の下部に
位置して上記キャリア本体の端面下方開脚部に嵌着して
該キャリア本体を支えるカギ型受部と、該受板本体の側
部に位置して該受板本体を把持して運搬可能にするため
の把持部９ａ，９ｂを有するキャリア運搬用ハンドル。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本願発明は、半導体の製造に使用
するウエハあるいはホトマスク等の被処理物が複数枚収
納されたいわゆるウエハキャリアを各処理工程において
運搬可能な状態にするためのキャリア運搬用ハンドルに
関するものである。
するウエハあるいはホトマスク等の被処理物が複数枚収
納されたいわゆるウエハキャリアを各処理工程において
運搬可能な状態にするためのキャリア運搬用ハンドルに
関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、半導体集積回路の製造において使
用されるウエハあるいはホトマスク等の基板は、基板洗
浄、レジスト塗布、プレベーク、露光、現像、ポストベ
ーク、ディスカムエッチング、レジスト剥離等の各処理
工程を経て製造されているが、これらの各処理工程で
は、ウエハあるいはマスク基板を収納し運搬するために
各処理工程に応じた種々のタイプのウエハキャリアある
いはマスクキャリアが使用されている。
用されるウエハあるいはホトマスク等の基板は、基板洗
浄、レジスト塗布、プレベーク、露光、現像、ポストベ
ーク、ディスカムエッチング、レジスト剥離等の各処理
工程を経て製造されているが、これらの各処理工程で
は、ウエハあるいはマスク基板を収納し運搬するために
各処理工程に応じた種々のタイプのウエハキャリアある
いはマスクキャリアが使用されている。
【０００３】一般に、これらのキャリアには、取手ない
しハンドルが取り付けられ、一般に、該取手ないしハン
ドルを介してキャリアを運搬するように構成されてお
り、従来、キャリア本体、及び取手ないしハンドルの形
状、構造について、種々の提案がなされている。その代
表的なものを２〜３例示すると、例えば、従来、キャリ
ア本体の上面に取手を１箇所に固定的に設けた構成のも
の（特開昭６３−２４６７４７号公報）、が提案されて
おり、該取手を手で把持することにより、ウエハあるい
はホトマスク等の被処理物を複数枚同時に片手で運搬し
て、キャリアごと半導体装置に載置して使用することが
行われていた。
しハンドルが取り付けられ、一般に、該取手ないしハン
ドルを介してキャリアを運搬するように構成されてお
り、従来、キャリア本体、及び取手ないしハンドルの形
状、構造について、種々の提案がなされている。その代
表的なものを２〜３例示すると、例えば、従来、キャリ
ア本体の上面に取手を１箇所に固定的に設けた構成のも
の（特開昭６３−２４６７４７号公報）、が提案されて
おり、該取手を手で把持することにより、ウエハあるい
はホトマスク等の被処理物を複数枚同時に片手で運搬し
て、キャリアごと半導体装置に載置して使用することが
行われていた。
【０００４】しかしながら、このようなタイプのキャリ
アは、取手がキャリア本体の上面に１箇所のみ、かつ外
方に突出した状態に固定されており、該キャリアを異な
る方向、例えば、上下反転させた状態あるいは横倒しの
状態での使用ができないという欠点があり、また、例え
ば、ウエハあるいはホトマスク等の被処理物の被処理面
（例えばパターン面）を上に向けて使用する装置から被
処理面を下に向けて使用する装置へ、そして該装置から
被処理面を下に向けて使用する装置に移す時など、被処
理物の方向（収納方向）を変える必要がある場合には、
キャリアに収納されている被処理物を１枚、１枚反転さ
せて再収納しなければならず、その作業に手間がかか
り、時間的にも無駄となり、かつ被処理物を破損する可
能性も含まれディフェクトの原因となるゴミの発生要因
ともなると云った問題点があった。
アは、取手がキャリア本体の上面に１箇所のみ、かつ外
方に突出した状態に固定されており、該キャリアを異な
る方向、例えば、上下反転させた状態あるいは横倒しの
状態での使用ができないという欠点があり、また、例え
ば、ウエハあるいはホトマスク等の被処理物の被処理面
（例えばパターン面）を上に向けて使用する装置から被
処理面を下に向けて使用する装置へ、そして該装置から
被処理面を下に向けて使用する装置に移す時など、被処
理物の方向（収納方向）を変える必要がある場合には、
キャリアに収納されている被処理物を１枚、１枚反転さ
せて再収納しなければならず、その作業に手間がかか
り、時間的にも無駄となり、かつ被処理物を破損する可
能性も含まれディフェクトの原因となるゴミの発生要因
ともなると云った問題点があった。
【０００５】また、上記問題点を解消するものとして、
上記取手をキャリア本体の異なる面の少なくとも２箇所
の面に設けたキャリア（実開昭６３−１６５８５０号公
報）、等が提案されている。該キャリアによれば、取手
をキャリア本体の異なる面の少なくとも２箇所の面に設
けたことから、キャリアの運搬時の保持方向及び装置へ
の載置方向が適宜変えられ、被処理物をその都度１枚ず
つ入換えると云った作業は必要が無く、装置の処理能率
の向上が可能になるメリットはあるものの、該キャリア
は、保持方向等を変える場合には、取手を取り外して、
取手の取り付け位置の変更を行う必要があるものであ
り、取手の装着部の構造が複雑となり、かつその着脱操
作に多大の手間がかかるという問題点を有していた。
上記取手をキャリア本体の異なる面の少なくとも２箇所
の面に設けたキャリア（実開昭６３−１６５８５０号公
報）、等が提案されている。該キャリアによれば、取手
をキャリア本体の異なる面の少なくとも２箇所の面に設
けたことから、キャリアの運搬時の保持方向及び装置へ
の載置方向が適宜変えられ、被処理物をその都度１枚ず
つ入換えると云った作業は必要が無く、装置の処理能率
の向上が可能になるメリットはあるものの、該キャリア
は、保持方向等を変える場合には、取手を取り外して、
取手の取り付け位置の変更を行う必要があるものであ
り、取手の装着部の構造が複雑となり、かつその着脱操
作に多大の手間がかかるという問題点を有していた。
【０００６】更に、ウエハが収納されるキャリア本体の
外側面をアーム対で挟み把むウエハ処理装置用搬送機構
（特開平４−３１６３２９号公報）、あるいは、ウエハ
を収納したウエハキャリアを載置して自動的に搬出する
自動搬送システムを用いて、搬送ロボットのアームでウ
エハキャリアを挟持して搬出する装置（特開昭６４−５
９８２８号公報）、等も開発されているが、このような
装置は、例えば、自動洗浄工程など、一部の限られた処
理工程に採用することは可能であっても、半導体集積回
路の製造工程の全ての処理工程に導入することは実際上
は難しい面があり、製造工程中の特殊処理プロセスを実
施するためのキャリアを運搬可能にするために、操作性
に優れた有用なキャリア運搬用ハンドルの利用性は高い
ものがあり、当業界において、上記従来製品に見られる
問題点を確実に解消し得る新しいタイプのキャリア及び
ハンドルを開発することが強く要請されている状況にあ
った。
外側面をアーム対で挟み把むウエハ処理装置用搬送機構
（特開平４−３１６３２９号公報）、あるいは、ウエハ
を収納したウエハキャリアを載置して自動的に搬出する
自動搬送システムを用いて、搬送ロボットのアームでウ
エハキャリアを挟持して搬出する装置（特開昭６４−５
９８２８号公報）、等も開発されているが、このような
装置は、例えば、自動洗浄工程など、一部の限られた処
理工程に採用することは可能であっても、半導体集積回
路の製造工程の全ての処理工程に導入することは実際上
は難しい面があり、製造工程中の特殊処理プロセスを実
施するためのキャリアを運搬可能にするために、操作性
に優れた有用なキャリア運搬用ハンドルの利用性は高い
ものがあり、当業界において、上記従来製品に見られる
問題点を確実に解消し得る新しいタイプのキャリア及び
ハンドルを開発することが強く要請されている状況にあ
った。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】このような状況の中
で、本発明者は、上記の如き従来のウエハキャリア及び
取手ないしハンドルに見られる各種問題点を解決すると
共に、操作効率に優れた新しいタイプのキャリア運搬用
ハンドルを開発することを目標として鋭意研究を積み重
ねた結果、キャリア本体のハンドル被装着部に着脱自在
に挿入し得ると共に、安全かつ確実に運搬することが可
能な特定の形態のハンドルを開発することに成功して、
本発明を完成するに至った。
で、本発明者は、上記の如き従来のウエハキャリア及び
取手ないしハンドルに見られる各種問題点を解決すると
共に、操作効率に優れた新しいタイプのキャリア運搬用
ハンドルを開発することを目標として鋭意研究を積み重
ねた結果、キャリア本体のハンドル被装着部に着脱自在
に挿入し得ると共に、安全かつ確実に運搬することが可
能な特定の形態のハンドルを開発することに成功して、
本発明を完成するに至った。
【０００８】すなわち、本発明は、半導体集積回路装置
における半導体基板であるウエハを処理するためのウエ
ハが複数枚収納されたキャリアを安全かつ確実に運搬可
能にするためのキャリア運搬用ハンドルを提供すること
を目的とするものである。
における半導体基板であるウエハを処理するためのウエ
ハが複数枚収納されたキャリアを安全かつ確実に運搬可
能にするためのキャリア運搬用ハンドルを提供すること
を目的とするものである。
【０００９】また、本発明は、従来の各種キャリア搬出
装置の各種問題点を解消し、易加工性で、操作効率の優
れた安全性の高いキャリア運搬用ハンドルを提供するこ
とを目的とするものである。
装置の各種問題点を解消し、易加工性で、操作効率の優
れた安全性の高いキャリア運搬用ハンドルを提供するこ
とを目的とするものである。
【００１０】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決する本発
明は、複数のウエハあるいはホトマスク等の被処理物を
収容する収納部を有するキャリア本体に形成されたハン
ドル被装着部に対して、着脱自在に挿入し得ると共に、
該キャリア本体を運搬可能にするキャリア運搬用ハンド
ルであって、キャリア本体の端面部に接して該キャリア
本体を支持する受板本体と、該受板本体の上部に位置し
て上記ハンドル被装着部に挿入するための支承部と、該
支承部の上部に位置して上記ハンドル被装着部にフック
して上記ハンドルからキャリア本体が離脱するのを防止
するための離脱防止用フック部と、該受板本体の下部に
位置して上記キャリア本体の端面下方開脚部に嵌着して
該キャリア本体を支えるカギ型受部と、該受板本体の側
部に位置して該受板本体を把持して運搬可能にするため
の把持部を有することを特徴とするキャリア運搬用ハン
ドルに係るものである。また、ハンドル被装着部に挿入
するための支承部が、キャリア本体の端面部に接する受
板本体の接着面に対して、適宜幅のクリアランスをとっ
て形成されていることを特徴とする上記キャリア運搬用
ハンドルに係るものである。また、把持部が、受板本体
の側部に、連結部を介してハ字状に形成されていること
を特徴とする上記キャリア運搬用ハンドルに係るもので
ある。更に、ハンドル被装着部に挿入するための支承部
が、ハンドル被装着部の支持部を挿入するための溝部を
有することを特徴とする上記キャリア運搬用ハンドルに
係るものである。
明は、複数のウエハあるいはホトマスク等の被処理物を
収容する収納部を有するキャリア本体に形成されたハン
ドル被装着部に対して、着脱自在に挿入し得ると共に、
該キャリア本体を運搬可能にするキャリア運搬用ハンド
ルであって、キャリア本体の端面部に接して該キャリア
本体を支持する受板本体と、該受板本体の上部に位置し
て上記ハンドル被装着部に挿入するための支承部と、該
支承部の上部に位置して上記ハンドル被装着部にフック
して上記ハンドルからキャリア本体が離脱するのを防止
するための離脱防止用フック部と、該受板本体の下部に
位置して上記キャリア本体の端面下方開脚部に嵌着して
該キャリア本体を支えるカギ型受部と、該受板本体の側
部に位置して該受板本体を把持して運搬可能にするため
の把持部を有することを特徴とするキャリア運搬用ハン
ドルに係るものである。また、ハンドル被装着部に挿入
するための支承部が、キャリア本体の端面部に接する受
板本体の接着面に対して、適宜幅のクリアランスをとっ
て形成されていることを特徴とする上記キャリア運搬用
ハンドルに係るものである。また、把持部が、受板本体
の側部に、連結部を介してハ字状に形成されていること
を特徴とする上記キャリア運搬用ハンドルに係るもので
ある。更に、ハンドル被装着部に挿入するための支承部
が、ハンドル被装着部の支持部を挿入するための溝部を
有することを特徴とする上記キャリア運搬用ハンドルに
係るものである。
【００１１】
【作用】すなわち、本発明は、キャリア本体の端面部に
形成したハンドル被装着部に着脱自在に装着可能なハン
ドルの支承部の上部と、ハンドルの受板本体の下部に、
それぞれ、離脱防止用フック部と、カギ型受部を形成し
たから、上記ハンドルをキャリアに装着する場合は、キ
ャリア本体のハンドル被装着部に上記ハンドルの支承部
を挿入して、上記離脱防止用フック部とカギ型受部をそ
れぞれキャリア本体に嵌着すれば良く、これによって、
キャリアの運搬時に不用意にキャリアが外れて脱落する
ことがなく、安定した状態でしかも安全かつ確実にキャ
リアを運搬することが可能となる。また、本発明のハン
ドルを使用することにより、キャリアの運搬時の保持方
向及び装置への載置方向を例えば反転ないし横倒し状態
に自由に変えることができ、従来のように被処理物をそ
の都度１枚ずつ入替える必要がなく、装置の処理能率、
キャリア運搬用ハンドルの操作効率を顕著に向上し得る
優れたハンドルを提供することができる。
形成したハンドル被装着部に着脱自在に装着可能なハン
ドルの支承部の上部と、ハンドルの受板本体の下部に、
それぞれ、離脱防止用フック部と、カギ型受部を形成し
たから、上記ハンドルをキャリアに装着する場合は、キ
ャリア本体のハンドル被装着部に上記ハンドルの支承部
を挿入して、上記離脱防止用フック部とカギ型受部をそ
れぞれキャリア本体に嵌着すれば良く、これによって、
キャリアの運搬時に不用意にキャリアが外れて脱落する
ことがなく、安定した状態でしかも安全かつ確実にキャ
リアを運搬することが可能となる。また、本発明のハン
ドルを使用することにより、キャリアの運搬時の保持方
向及び装置への載置方向を例えば反転ないし横倒し状態
に自由に変えることができ、従来のように被処理物をそ
の都度１枚ずつ入替える必要がなく、装置の処理能率、
キャリア運搬用ハンドルの操作効率を顕著に向上し得る
優れたハンドルを提供することができる。
【００１２】
【実施例】以下、本発明の一実施例を図面を参照して具
体的に説明する。図中、Ａはキャリアであり、Ｂは本発
明のキャリア運搬用ハンドルである。このキャリアＡ
は、図１に示すように、複数のウエハあるいはホトマス
ク等の被処理物Ｃを収容するための収容部１ａを有する
キャリア本体１からなり、該キャリア本体１は、その端
面部３に、このキャリア本体１に対して着脱自在に取付
けられ、キャリア本体１を運搬可能にするキャリア運搬
用ハンドルＢを装着するためのハンドル被装着部２と、
該キャリア運搬用ハンドルＢのカギ型受部４を嵌着する
ための端面下方開脚部４を具備した構成となっている。
体的に説明する。図中、Ａはキャリアであり、Ｂは本発
明のキャリア運搬用ハンドルである。このキャリアＡ
は、図１に示すように、複数のウエハあるいはホトマス
ク等の被処理物Ｃを収容するための収容部１ａを有する
キャリア本体１からなり、該キャリア本体１は、その端
面部３に、このキャリア本体１に対して着脱自在に取付
けられ、キャリア本体１を運搬可能にするキャリア運搬
用ハンドルＢを装着するためのハンドル被装着部２と、
該キャリア運搬用ハンドルＢのカギ型受部４を嵌着する
ための端面下方開脚部４を具備した構成となっている。
【００１３】また、上記ハンドル被装着部２は、図１に
示すように、略中央部及び両端部において、ハンドル被
装着部の支持部２ａ、２ｂ、２ｃを介してキャリア本体
１の端面部３に一体に形成されており、キャリア運搬用
ハンドルＢを着脱自在に取付けられるように構成されて
いる。
示すように、略中央部及び両端部において、ハンドル被
装着部の支持部２ａ、２ｂ、２ｃを介してキャリア本体
１の端面部３に一体に形成されており、キャリア運搬用
ハンドルＢを着脱自在に取付けられるように構成されて
いる。
【００１４】上記キャリア運搬用ハンドルＢは、図２に
示すように、キャリア本体１の端面部３に接してキャリ
ア本体１を支える受板本体５と、該受板本体５の上部に
位置して上記ハンドル被装着部の支持部２ａに挿入する
ための溝部６ｂと、該ハンドル被装着部２の上面にフッ
クして該ハンドルからキャリア本体が離脱するのを防止
する離脱防止用フック部６ａ、６ｂを具備した支承部６
と、受板本体５の下部に位置して上記キャリア本体１の
端面下方開脚部４に嵌着して該キャリア本体１を支持す
るカギ型受部７と、該受板本体５の側部に連結部８を介
して設けられた該受板本体５を把持して運搬可能にする
ための把持部９ａ、９ｂとから構成されている。
示すように、キャリア本体１の端面部３に接してキャリ
ア本体１を支える受板本体５と、該受板本体５の上部に
位置して上記ハンドル被装着部の支持部２ａに挿入する
ための溝部６ｂと、該ハンドル被装着部２の上面にフッ
クして該ハンドルからキャリア本体が離脱するのを防止
する離脱防止用フック部６ａ、６ｂを具備した支承部６
と、受板本体５の下部に位置して上記キャリア本体１の
端面下方開脚部４に嵌着して該キャリア本体１を支持す
るカギ型受部７と、該受板本体５の側部に連結部８を介
して設けられた該受板本体５を把持して運搬可能にする
ための把持部９ａ、９ｂとから構成されている。
【００１５】また、上記受板本体５の上部に位置する支
承部６は、キャリア本体１の端面部３に接する受板本体
５の接着面に対して、適宜幅のクリアランス１０をとっ
て形成されている。該クリアランス１０をとることによ
って、キャリアＡにキャリア運搬用ハンドルＢを装着し
た際に、キャリア本体１の端面部３と支承部６の間に一
定の間隔が保持され、支承部６の上記キャリア本体１の
ハンドル被装着部２に対する着脱操作を容易に行うこと
が可能となる。ハンドルＢの支承部６の上部に形成され
た離脱防止用フック部６ａ、６ｂと、該ハンドルＢの受
板本体５の下部に形成されたカギ型受部７の形状、構造
は、それぞれ、ハンドルＢの離脱防止機能及びキャリア
本体１の端面下方開脚部４に対する嵌着機能を有するも
のであれば如何なるものであっても良く、特に限定され
るものではない。
承部６は、キャリア本体１の端面部３に接する受板本体
５の接着面に対して、適宜幅のクリアランス１０をとっ
て形成されている。該クリアランス１０をとることによ
って、キャリアＡにキャリア運搬用ハンドルＢを装着し
た際に、キャリア本体１の端面部３と支承部６の間に一
定の間隔が保持され、支承部６の上記キャリア本体１の
ハンドル被装着部２に対する着脱操作を容易に行うこと
が可能となる。ハンドルＢの支承部６の上部に形成され
た離脱防止用フック部６ａ、６ｂと、該ハンドルＢの受
板本体５の下部に形成されたカギ型受部７の形状、構造
は、それぞれ、ハンドルＢの離脱防止機能及びキャリア
本体１の端面下方開脚部４に対する嵌着機能を有するも
のであれば如何なるものであっても良く、特に限定され
るものではない。
【００１６】しかして、キャリアＡにハンドルＢを装着
する場合には、まず、ハンドルＢの把持部９ａ、９ｂを
両手で把持して、該ハンドルＢの支承部６を、キャリア
本体１の端面部３の上方に位置するハンドル被装着部２
に対してその下方より挿入する。次いで、ハンドル被装
着部２のハンドル被装着部の支持部２ａに、ハンドルＢ
の支承部６に形成された溝部６ｃを挿入するようにして
装着し、ハンドル被装着部２の上面に、該ハンドルＢの
支承部６の上部に形成された離脱防止用フック部６ａ、
６ｂをフックするようにして装着する。次いで、ハンド
ルＢの装着の最終段階で、ハンドルＢの受板本体５の下
部に位置するカギ型受部７をキャリア本体１の端面下方
開脚部４にフックさせることにより装着操作は完了す
る。一方、ハンドルＢを取り外す場合には、上記の操作
の逆操作を行って取り外すようにすれば良い。
する場合には、まず、ハンドルＢの把持部９ａ、９ｂを
両手で把持して、該ハンドルＢの支承部６を、キャリア
本体１の端面部３の上方に位置するハンドル被装着部２
に対してその下方より挿入する。次いで、ハンドル被装
着部２のハンドル被装着部の支持部２ａに、ハンドルＢ
の支承部６に形成された溝部６ｃを挿入するようにして
装着し、ハンドル被装着部２の上面に、該ハンドルＢの
支承部６の上部に形成された離脱防止用フック部６ａ、
６ｂをフックするようにして装着する。次いで、ハンド
ルＢの装着の最終段階で、ハンドルＢの受板本体５の下
部に位置するカギ型受部７をキャリア本体１の端面下方
開脚部４にフックさせることにより装着操作は完了す
る。一方、ハンドルＢを取り外す場合には、上記の操作
の逆操作を行って取り外すようにすれば良い。
【００１７】図３に、キャリアＡに対してハンドルＢの
装着を完了した状態のキャリアＡ及びハンドルＢの斜視
図を示す。また、図４に、キャリア本体１の端面部３の
上方に位置するハンドル被装着部２の略中央に形成され
たハンドル被装着部の支持部２ａの中心線に沿った断面
図を示す。
装着を完了した状態のキャリアＡ及びハンドルＢの斜視
図を示す。また、図４に、キャリア本体１の端面部３の
上方に位置するハンドル被装着部２の略中央に形成され
たハンドル被装着部の支持部２ａの中心線に沿った断面
図を示す。
【００１８】しかして、このような構成のキャリアＡ及
びハンドルＢにあっては、ハンドルＢをキャリアＡのハ
ンドル被装着部２に装着して、ハンドルＢをキャリア本
体１の端面に位置させた状態で、そのまま両手で把持し
て水平方向に運搬することが可能であり、また、必要に
応じて、反転ないし横倒し状態にして運搬及び装置へ載
置することが可能となる。すなわち、各処理工程の装置
間でウエハあるいはホトマスク等の被処理物Ｃを反転し
たり横倒し状態にしたりする必要がある場合、収容され
ている被処理物Ｃを１枚、１枚別の専用キャリアに移し
変えることなく、収納されている全ての被処理物Ｃを同
時に反転あるいは横倒し状態にしたりすることが適宜可
能であり、そうした状態で安定に運搬したり載置したり
することが可能である。
びハンドルＢにあっては、ハンドルＢをキャリアＡのハ
ンドル被装着部２に装着して、ハンドルＢをキャリア本
体１の端面に位置させた状態で、そのまま両手で把持し
て水平方向に運搬することが可能であり、また、必要に
応じて、反転ないし横倒し状態にして運搬及び装置へ載
置することが可能となる。すなわち、各処理工程の装置
間でウエハあるいはホトマスク等の被処理物Ｃを反転し
たり横倒し状態にしたりする必要がある場合、収容され
ている被処理物Ｃを１枚、１枚別の専用キャリアに移し
変えることなく、収納されている全ての被処理物Ｃを同
時に反転あるいは横倒し状態にしたりすることが適宜可
能であり、そうした状態で安定に運搬したり載置したり
することが可能である。
【００１９】また、上記ハンドル被装着部２は、キャリ
ア本体１の端面部３の一箇所に設ければ良く、キャリア
Ａの該ハンドル被装着部２の構造を簡便かつ必要最小限
のものにすることができ、キャリア本体を易加工性とす
ることができる。また、ハンドルＢは、キャリア本体１
に形成されたハンドル被装着部２に対して簡単に着脱で
きるため、その操作効率は極めて優れたものである。更
に、ハンドルＢは、上記離脱防止用フック部６ａ、６ｂ
と、カギ型受部７を具備していることから、キャリアＡ
を運搬する際に、ハンドルＢからキャリアＡが不用意に
外れて脱落する危険性がなく、キャリアＡの運搬操作を
安定した状態でしかも安全かつ確実に行なうことができ
る。
ア本体１の端面部３の一箇所に設ければ良く、キャリア
Ａの該ハンドル被装着部２の構造を簡便かつ必要最小限
のものにすることができ、キャリア本体を易加工性とす
ることができる。また、ハンドルＢは、キャリア本体１
に形成されたハンドル被装着部２に対して簡単に着脱で
きるため、その操作効率は極めて優れたものである。更
に、ハンドルＢは、上記離脱防止用フック部６ａ、６ｂ
と、カギ型受部７を具備していることから、キャリアＡ
を運搬する際に、ハンドルＢからキャリアＡが不用意に
外れて脱落する危険性がなく、キャリアＡの運搬操作を
安定した状態でしかも安全かつ確実に行なうことができ
る。
【００２０】なお、本発明は、上記一実施例に限られる
ものではなく、次のような構成としても良い。すなわ
ち、例えば、ハンドル被装着部２の略中央に位置する支
持部２ａを複数形成することも適宜可能であり、それに
対応して、ハンドルＢの支承部６に形成された溝部６ｃ
を複数形成することが可能である。また、ハンドルＢの
上部、又は下部に位置する離脱防止用フック部６ａ、６
ｂ、又はカギ型受部７は、同効の機能を有するものであ
れば如何なる形状、構造のものであっても良く、特に限
定されるものではない。また、ハンドルＢの把持部９
ａ、９ｂは、図２に示されるように、受板本体５に対し
て連結部８を介して八字状に形成されたものが好適なも
のとして例示されるが、これに限らず、連結部８を省略
したもの、把持部９ａ、９ｂの下方端部を受板本体５に
連結してリング状に形成したもの、連結部８と把持部９
ａ、９ｂを一体化したもの、あるいは把持部９ａ、９ｂ
を一体化して一本の取手構造にしたもの等、適宜の形
状、構造のものに改変することができる。また、ハンド
ルＢの各部材及び全体の形状は、上記各部材及び全体の
機能を変えることなく適宜の形状に改変し得ることは云
うまでもない。本発明のハンドルＢの材質は、鉄、ステ
ンレス等の金属材料、合成樹脂材料等が好適なものとし
て例示されるが、これに限らず、キャリアＡの材質（Ｐ
ＦＡ等）に対応した一定の強度を有する材質であれば、
その種類を問わず使用することができる。
ものではなく、次のような構成としても良い。すなわ
ち、例えば、ハンドル被装着部２の略中央に位置する支
持部２ａを複数形成することも適宜可能であり、それに
対応して、ハンドルＢの支承部６に形成された溝部６ｃ
を複数形成することが可能である。また、ハンドルＢの
上部、又は下部に位置する離脱防止用フック部６ａ、６
ｂ、又はカギ型受部７は、同効の機能を有するものであ
れば如何なる形状、構造のものであっても良く、特に限
定されるものではない。また、ハンドルＢの把持部９
ａ、９ｂは、図２に示されるように、受板本体５に対し
て連結部８を介して八字状に形成されたものが好適なも
のとして例示されるが、これに限らず、連結部８を省略
したもの、把持部９ａ、９ｂの下方端部を受板本体５に
連結してリング状に形成したもの、連結部８と把持部９
ａ、９ｂを一体化したもの、あるいは把持部９ａ、９ｂ
を一体化して一本の取手構造にしたもの等、適宜の形
状、構造のものに改変することができる。また、ハンド
ルＢの各部材及び全体の形状は、上記各部材及び全体の
機能を変えることなく適宜の形状に改変し得ることは云
うまでもない。本発明のハンドルＢの材質は、鉄、ステ
ンレス等の金属材料、合成樹脂材料等が好適なものとし
て例示されるが、これに限らず、キャリアＡの材質（Ｐ
ＦＡ等）に対応した一定の強度を有する材質であれば、
その種類を問わず使用することができる。
【００２１】また、本発明においては、上記キャリア本
体１にハンドル被装着部２を１箇所形成したものを好適
なものとして例示したが、該ハンドル被装着部２は、必
要に応じて、上記キャリア本体１の適宜の位置に複数形
成することも適宜可能である。その他、本発明は、本発
明の要旨を変えない範囲で種々の変更を付加して実施し
得ることは云うまでもない。
体１にハンドル被装着部２を１箇所形成したものを好適
なものとして例示したが、該ハンドル被装着部２は、必
要に応じて、上記キャリア本体１の適宜の位置に複数形
成することも適宜可能である。その他、本発明は、本発
明の要旨を変えない範囲で種々の変更を付加して実施し
得ることは云うまでもない。
【００２２】
【発明の効果】以上詳述したように、本発明によれば、
キャリア本体の端面部に形成したハンドル被装着部に着
脱自在に装着可能なハンドルの支承部の上部と、ハンド
ルの受板本体の下部に、それぞれ、離脱防止用フック部
と、カギ型受部を形成したから、上記ハンドルをキャリ
アに装着する場合は、キャリア本体のハンドル被装着部
に上記ハンドルの支承部を挿入して、上記離脱防止用フ
ック部とカギ型受部をそれぞれキャリア本体に嵌着すれ
ば良く、これによって、キャリアの運搬時に不用意にキ
ャリアが外れて脱落することがなく、安定した状態でし
かも安全かつ確実にキャリアを運搬することが可能とな
る。また、本発明のハンドルを使用することにより、キ
ャリアの運搬時の保持方向及び装置への載置方向を自由
に変えることができ、装置の処理能率、キャリア運搬用
ハンドルの操作効率を顕著に向上し得る優れたハンドル
を提供することができる。
キャリア本体の端面部に形成したハンドル被装着部に着
脱自在に装着可能なハンドルの支承部の上部と、ハンド
ルの受板本体の下部に、それぞれ、離脱防止用フック部
と、カギ型受部を形成したから、上記ハンドルをキャリ
アに装着する場合は、キャリア本体のハンドル被装着部
に上記ハンドルの支承部を挿入して、上記離脱防止用フ
ック部とカギ型受部をそれぞれキャリア本体に嵌着すれ
ば良く、これによって、キャリアの運搬時に不用意にキ
ャリアが外れて脱落することがなく、安定した状態でし
かも安全かつ確実にキャリアを運搬することが可能とな
る。また、本発明のハンドルを使用することにより、キ
ャリアの運搬時の保持方向及び装置への載置方向を自由
に変えることができ、装置の処理能率、キャリア運搬用
ハンドルの操作効率を顕著に向上し得る優れたハンドル
を提供することができる。
【図１】ウエハあるいはホトマスク等の被処理物を収納
したキャリアの斜視図を示す。
したキャリアの斜視図を示す。
【図２】本発明のキャリア運搬用ハンドルの一実施例を
示す。
示す。
【図３】キャリア本体にキャリア運搬用ハンドルを装着
した状態のキャリア及びキャリア運搬用ハンドルの斜視
図を示す。
した状態のキャリア及びキャリア運搬用ハンドルの斜視
図を示す。
【図４】キャリア本体にキャリア運搬用ハンドルを装着
した状態のキャリア及びキャリア運搬用ハンドルの部分
断面図を示す。
した状態のキャリア及びキャリア運搬用ハンドルの部分
断面図を示す。
【符合の説明】 Ａ キャリア Ｂ キャリア運搬用ハンドル Ｃ ウエハあるいはホトマスク等の被処理物 １ キャリア本体 １ａ 収容部 ２ ハンドル被装着部 ２ａ ハンドル被装着部の支持部 ３ 端面部 ４ 端面下方開脚部 ５ 受板本体 ６ 支承部 ６ａ 離脱防止用フック部 ６ｂ 離脱防止用フック部 ６ｃ 溝部 ７ カギ型受部 ８ 連結部 ９ａ 把持部 ９ｂ 把持部 １０ クリアランス
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｈ０１Ｌ 21/027 // Ｂ６５Ｄ 85/86
Claims (4)
- 【請求項１】 複数のウエハあるいはホトマスク等の被
処理物を収容する収納部を有するキャリア本体の端面部
に形成されたハンドル被装着部に対して、着脱自在に挿
入し得ると共に、該キャリア本体を運搬可能にするキャ
リア運搬用ハンドルであって、キャリア本体の端面部に
接して該キャリア本体を支持する受板本体と、該受板本
体の上部に位置して上記ハンドル被装着部に挿入するた
めの支承部と、該支承部の上部に位置して上記ハンドル
被装着部にフックして上記ハンドルからキャリア本体が
離脱するのを防止するための離脱防止用フック部と、該
受板本体の下部に位置して上記キャリア本体の端面下方
開脚部に嵌着して該キャリア本体を支えるカギ型受部
と、該受板本体の側部に位置して該受板本体を把持して
運搬可能にするための把持部を有することを特徴とする
キャリア運搬用ハンドル。 - 【請求項２】 ハンドル被装着部に挿入するための支承
部が、キャリア本体の端面部に接する受板本体の接着面
に対して、適宜幅のクリアランスをとって形成されてい
ることを特徴とする請求項１記載のキャリア運搬用ハン
ドル。 - 【請求項３】 把持部が、受板本体の側部に、連結部を
介して八字状に形成されていることを特徴とする請求項
１記載のキャリア運搬用ハンドル。 - 【請求項４】 ハンドル被装着部に挿入するための支承
部が、ハンドル被装着部の支持部を挿入するための溝部
を有することを特徴とする請求項１記載のキャリア運搬
用ハンドル。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26454894A JP2891454B2 (ja) | 1994-10-04 | 1994-10-04 | キャリア運搬用ハンドル |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26454894A JP2891454B2 (ja) | 1994-10-04 | 1994-10-04 | キャリア運搬用ハンドル |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08107135A true JPH08107135A (ja) | 1996-04-23 |
| JP2891454B2 JP2891454B2 (ja) | 1999-05-17 |
Family
ID=17404807
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26454894A Expired - Fee Related JP2891454B2 (ja) | 1994-10-04 | 1994-10-04 | キャリア運搬用ハンドル |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2891454B2 (ja) |
-
1994
- 1994-10-04 JP JP26454894A patent/JP2891454B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2891454B2 (ja) | 1999-05-17 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |