JPS6439638U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6439638U JPS6439638U JP13526187U JP13526187U JPS6439638U JP S6439638 U JPS6439638 U JP S6439638U JP 13526187 U JP13526187 U JP 13526187U JP 13526187 U JP13526187 U JP 13526187U JP S6439638 U JPS6439638 U JP S6439638U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- quartz boat
- boat
- sensor
- identification device
- quartz
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000010453 quartz Substances 0.000 claims description 10
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 10
Description
第１図〜第４図は、この考案の実施例を示す図
で、第１図は、使用状態を示す斜視図、第２図は
、５インチ用石英ボートの正面図、第３図は、側
面図、第４図は、６インチ用石英ボートの側面図
で、第３図に相当する図、第５図は、他の使用状
態を示す斜視図で第１図に相当する図である。 １……石英ボート、１Ａ……石英ボート、２…
…側板、４……下端部、５……切欠部、５ａ……
切欠部、７……第１センサ、８……第２センサ。
で、第１図は、使用状態を示す斜視図、第２図は
、５インチ用石英ボートの正面図、第３図は、側
面図、第４図は、６インチ用石英ボートの側面図
で、第３図に相当する図、第５図は、他の使用状
態を示す斜視図で第１図に相当する図である。 １……石英ボート、１Ａ……石英ボート、２…
…側板、４……下端部、５……切欠部、５ａ……
切欠部、７……第１センサ、８……第２センサ。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 石英ボートの側板下端部に形成され、かつ
、石英ボートの種類により異なる位置に形成され
る切欠部と、ボート台に設けられ、かつ、前記各
切欠部に対応する位置に夫々設けたセンサとから
なる石英ボートの判別装置。 (2) センサが、押圧部を備えたスイツチである
ことを特徴とする実用新案登録請求の範囲第１項
記載の石英ボートの判別装置。 (3) 夫々のセンサが、コンピユータに接続され
ていることを特徴とする実用新案登録請求の範囲
第１項記載の石英ボートの判別装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13526187U JPH0617296Y2 (ja) | 1987-09-04 | 1987-09-04 | 石英ボートの判別装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13526187U JPH0617296Y2 (ja) | 1987-09-04 | 1987-09-04 | 石英ボートの判別装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6439638U true JPS6439638U (ja) | 1989-03-09 |
| JPH0617296Y2 JPH0617296Y2 (ja) | 1994-05-02 |
Family
ID=31394729
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13526187U Expired - Lifetime JPH0617296Y2 (ja) | 1987-09-04 | 1987-09-04 | 石英ボートの判別装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0617296Y2 (ja) |
-
1987
- 1987-09-04 JP JP13526187U patent/JPH0617296Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0617296Y2 (ja) | 1994-05-02 |