JPH06162428A - 磁気ヘッド用非磁性セラミック材料及びその製造方法 - Google Patents
磁気ヘッド用非磁性セラミック材料及びその製造方法Info
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- JPH06162428A JPH06162428A JP4309973A JP30997392A JPH06162428A JP H06162428 A JPH06162428 A JP H06162428A JP 4309973 A JP4309973 A JP 4309973A JP 30997392 A JP30997392 A JP 30997392A JP H06162428 A JPH06162428 A JP H06162428A
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- JP
- Japan
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- mol
- magnetic head
- ceramic material
- magnetic
- zro
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- Pending
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- Compositions Of Oxide Ceramics (AREA)
- Adjustment Of The Magnetic Head Position Track Following On Tapes (AREA)
- Magnetic Heads (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 本発明は常圧焼成下で高緻密性を有する磁気
ヘッド用非磁性セラミック材料の提供を目的とする。 【構成】 本発明の磁気ヘッド用非磁性セラミック材料
は、ＣａＴｉＯ3 ：０〜９５ mol％，ＳｒＴｉＯ3 ：０
〜９５ mol％，ＴｉＯ2 ：０．５〜２０ mol％の３成分
の合計が１００ mol％からなる主組成物に対し、添加物
としてＰ2 Ｏ5を０．５〜２．５ mol％好ましくは１〜
２ mol％，ＳｉＯ2 を０．５〜２．５ mol％好ましくは
１〜２ mol％，ＺｒＯ2 を１．５〜４ mol％好ましくは
２〜３．５mol ％，Ａｌ2 Ｏ3 を１．１〜２．０ mol％
好ましくは０．３〜１．５ mol％かつＺｒＯ2 とＡｌ2
Ｏ3 成分の合計が５ mol％以下を含有する組成物を常圧
下で酸素を９５ vol％以上含有する大気圧雰囲気下で焼
成してなる構成を有している。
ヘッド用非磁性セラミック材料の提供を目的とする。 【構成】 本発明の磁気ヘッド用非磁性セラミック材料
は、ＣａＴｉＯ3 ：０〜９５ mol％，ＳｒＴｉＯ3 ：０
〜９５ mol％，ＴｉＯ2 ：０．５〜２０ mol％の３成分
の合計が１００ mol％からなる主組成物に対し、添加物
としてＰ2 Ｏ5を０．５〜２．５ mol％好ましくは１〜
２ mol％，ＳｉＯ2 を０．５〜２．５ mol％好ましくは
１〜２ mol％，ＺｒＯ2 を１．５〜４ mol％好ましくは
２〜３．５mol ％，Ａｌ2 Ｏ3 を１．１〜２．０ mol％
好ましくは０．３〜１．５ mol％かつＺｒＯ2 とＡｌ2
Ｏ3 成分の合計が５ mol％以下を含有する組成物を常圧
下で酸素を９５ vol％以上含有する大気圧雰囲気下で焼
成してなる構成を有している。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は各種磁気ヘッド（例えば
ハードディスクヘッド・フロッピィーディスクヘッド
等）の構成に欠くことのできないスライダーあるいはス
ペーサーとして使用される磁気ヘッド用非磁性セラミッ
ク材料及びその製造方法に関するものである。
ハードディスクヘッド・フロッピィーディスクヘッド
等）の構成に欠くことのできないスライダーあるいはス
ペーサーとして使用される磁気ヘッド用非磁性セラミッ
ク材料及びその製造方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】近年、特に進歩が著しい磁気記録の高密
度化・高信頼化に伴いスライダー材料に対して高緻密化
が要請されている。
度化・高信頼化に伴いスライダー材料に対して高緻密化
が要請されている。
【０００３】しかしながら、従来磁気ヘッドを製作する
場合、Ｍｎ−Ｚｎフェライトコアとスライダーをガラス
で接着する方法が一般的に用いられており、ガラスとし
て、特開昭５２−３０１６２号公報等に開示されている
ように、スライダーとの熱膨張係数の違いに起因する接
着時のコアクラック及びコア歪みによる磁気特性の劣化
を防止するため、２５〜３５０℃での熱膨張係数１１０
〜１１７（×１０-7／℃）を有するＣａＴｉＯ3 ・Ｓｒ
ＴｉＯ3 を主成分とするチタニア系セラミックが用いら
れている。
場合、Ｍｎ−Ｚｎフェライトコアとスライダーをガラス
で接着する方法が一般的に用いられており、ガラスとし
て、特開昭５２−３０１６２号公報等に開示されている
ように、スライダーとの熱膨張係数の違いに起因する接
着時のコアクラック及びコア歪みによる磁気特性の劣化
を防止するため、２５〜３５０℃での熱膨張係数１１０
〜１１７（×１０-7／℃）を有するＣａＴｉＯ3 ・Ｓｒ
ＴｉＯ3 を主成分とするチタニア系セラミックが用いら
れている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記従来
のチタニア系セラミック等の磁気ヘッド用非磁性セラミ
ック材料は常圧焼成下では十分な緻密化を図ることがで
きないという問題点を有していた。そこで、約１０００
（kgf/cm2)の高圧ガス下によるＨＩＰ焼成法が採用され
たが、ＨＩＰ焼成法ではＡｒ等の不活性ガスを用いるた
め焼成時に還元反応が起こり磁気ヘッド用セラミック材
料にとって不可欠な絶縁性が損なわれるという問題点が
あった。これを改善するため常圧下一次焼成しある程度
緻密な焼結体を得た後にＨＩＰ焼成法で焼成し更に酸化
雰囲気下で再焼成をする方法が採用されているが、これ
では多大の生産工数を要し、量産性に欠けるという問題
点を有していた。また焼成設備も高圧用のため大がかり
となり原価を上げるという問題点があった。
のチタニア系セラミック等の磁気ヘッド用非磁性セラミ
ック材料は常圧焼成下では十分な緻密化を図ることがで
きないという問題点を有していた。そこで、約１０００
（kgf/cm2)の高圧ガス下によるＨＩＰ焼成法が採用され
たが、ＨＩＰ焼成法ではＡｒ等の不活性ガスを用いるた
め焼成時に還元反応が起こり磁気ヘッド用セラミック材
料にとって不可欠な絶縁性が損なわれるという問題点が
あった。これを改善するため常圧下一次焼成しある程度
緻密な焼結体を得た後にＨＩＰ焼成法で焼成し更に酸化
雰囲気下で再焼成をする方法が採用されているが、これ
では多大の生産工数を要し、量産性に欠けるという問題
点を有していた。また焼成設備も高圧用のため大がかり
となり原価を上げるという問題点があった。
【０００５】本発明は上記従来の問題点を解決するもの
で、常圧焼成下で高緻密性を有する磁気ヘッド用非磁性
セラミック材料及びその製造方法を提供することを目的
とする。
で、常圧焼成下で高緻密性を有する磁気ヘッド用非磁性
セラミック材料及びその製造方法を提供することを目的
とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に本発明の磁気ヘッド用非磁性セラミック材料は、Ｃａ
ＴｉＯ3 ：０〜９５ mol％，ＳｒＴｉＯ3 ：０〜９５ m
ol％，ＴｉＯ2 ：０．５〜２０ mol％の３成分の合計が
１００ mol％からなる主組成物に対し、添加物として、
Ｐ，Ｓｉ，Ｚｒ，ＡｌをＰ2 Ｏ5 ，ＳｉＯ2 ，ＺｒＯ
2 ，Ａｌ2 Ｏ3 換算で各々Ｐ2 Ｏ5 を０．５〜２．５ m
ol％好ましくは１〜２ mol％，ＳｉＯ2 を０．５〜２．
５ mol％好ましくは１〜２ mol％，ＺｒＯ2 を１．５〜
４ mol％好ましくは２〜３．５ mol％，Ａｌ2 Ｏ3 を
０．１〜２．０ mol％好ましくは０．３〜１．５ mol％
かつＺｒＯ2 とＡｌ2 Ｏ3 成分の合計が５ mol％以下を
含有する組成物を焼成してなる構成を有している。
に本発明の磁気ヘッド用非磁性セラミック材料は、Ｃａ
ＴｉＯ3 ：０〜９５ mol％，ＳｒＴｉＯ3 ：０〜９５ m
ol％，ＴｉＯ2 ：０．５〜２０ mol％の３成分の合計が
１００ mol％からなる主組成物に対し、添加物として、
Ｐ，Ｓｉ，Ｚｒ，ＡｌをＰ2 Ｏ5 ，ＳｉＯ2 ，ＺｒＯ
2 ，Ａｌ2 Ｏ3 換算で各々Ｐ2 Ｏ5 を０．５〜２．５ m
ol％好ましくは１〜２ mol％，ＳｉＯ2 を０．５〜２．
５ mol％好ましくは１〜２ mol％，ＺｒＯ2 を１．５〜
４ mol％好ましくは２〜３．５ mol％，Ａｌ2 Ｏ3 を
０．１〜２．０ mol％好ましくは０．３〜１．５ mol％
かつＺｒＯ2 とＡｌ2 Ｏ3 成分の合計が５ mol％以下を
含有する組成物を焼成してなる構成を有している。
【０００７】磁気ヘッド用非磁性セラミック材料の製造
方法は上記磁気ヘッド用非磁性セラミック組成物を常圧
下で酸素を９０ vol％以上好ましくは９５ vol％以上含
有する大気圧雰囲気下で焼成する構成からなっている。
方法は上記磁気ヘッド用非磁性セラミック組成物を常圧
下で酸素を９０ vol％以上好ましくは９５ vol％以上含
有する大気圧雰囲気下で焼成する構成からなっている。
【０００８】
【作用】この構成によって、Ｐ，Ｓｉ，Ｚｒ，Ａｌ等の
酸化物を所定の割合で含有させることにより焼成時の液
相によってαＣａＴｉＯ3 ＋βＳｒＴｉＯ3 ＋γＴｉＯ
2 （α＋β＋γ＝１００，α≦９９．５，β≦９９．
５，０．５≦γ≦２０）相当のＣａＴｉＯ3 とＳｒＴｉ
Ｏ3 の固溶体とＴｉＯ2 の混合相からなる主組成物の緻
密化を高めることができる。
酸化物を所定の割合で含有させることにより焼成時の液
相によってαＣａＴｉＯ3 ＋βＳｒＴｉＯ3 ＋γＴｉＯ
2 （α＋β＋γ＝１００，α≦９９．５，β≦９９．
５，０．５≦γ≦２０）相当のＣａＴｉＯ3 とＳｒＴｉ
Ｏ3 の固溶体とＴｉＯ2 の混合相からなる主組成物の緻
密化を高めることができる。
【０００９】またＰ，Ｓｉ，Ｚｒ，Ａｌ等の酸化物等の
添加物の存在により液相化を容易に達成できるので常圧
下で高緻密性の磁気ヘッド用セラミック材料を得ること
ができる。
添加物の存在により液相化を容易に達成できるので常圧
下で高緻密性の磁気ヘッド用セラミック材料を得ること
ができる。
【００１０】
【実施例】以下、本発明を実施例により詳細に説明す
る。
る。
【００１１】（試料の調整）原料としてＣａＣＯ3 やＳ
ｒＣＯ3 ，ＴｉＯ2 は市販されている平均粒径が０．５
μｍ以下で純度が９９％以上の粉末を用いた。Ｐ化合物
としては（ＮＨ4 ） 3 ＰＯ4 の１級試薬を用いた。Ｓｉ
Ｏ2 は市販されている平均粒径が０．０２μｍ以下で純
度が９９．９％以上の粉末を用いた。ＺｒＯ2 ・Ａｌ2
Ｏ3 は市販されている平均粒径が０．１μｍ以下で純度
が９９％以上の粉末を用いた。これらの原料を（表１）
に示す組成に秤量し、ボールミルで水による湿式混合を
６時間行った。
ｒＣＯ3 ，ＴｉＯ2 は市販されている平均粒径が０．５
μｍ以下で純度が９９％以上の粉末を用いた。Ｐ化合物
としては（ＮＨ4 ） 3 ＰＯ4 の１級試薬を用いた。Ｓｉ
Ｏ2 は市販されている平均粒径が０．０２μｍ以下で純
度が９９．９％以上の粉末を用いた。ＺｒＯ2 ・Ａｌ2
Ｏ3 は市販されている平均粒径が０．１μｍ以下で純度
が９９％以上の粉末を用いた。これらの原料を（表１）
に示す組成に秤量し、ボールミルで水による湿式混合を
６時間行った。
【００１２】
【表１】
【００１３】乾燥後石英の角槽と電気炉を用いて、略１
１４０℃の温度、大気雰囲気下で６時間の仮焼を行っ
た。仮焼により次の反応式１）乃至３）により仮焼粉末
生成物が得られる。
１４０℃の温度、大気雰囲気下で６時間の仮焼を行っ
た。仮焼により次の反応式１）乃至３）により仮焼粉末
生成物が得られる。
【００１４】 １）４８ＣａＣＯ3 ＋５２ＴｉＯ2 →４８ＣａＴｉＯ3 ＋４ＴｉＯ2 ＋４８ＣＯ2 ↑ ≡９２．３ＣａＴｉＯ3 ＋７．７ＴｉＯ2 ２）２２．３ＣａＣＯ3 ＋２２．３ＳｒＣＯ3 ＋５５．４ＴｉＯ2 →２２．３ＣａＴｉＯ3 ＋２２．３ＳｒＴｉＯ3 ＋１０．８ＴｉＯ2 ＋４４．６ＣＯ2 ↑ ≡４０．２ＣａＴｉＯ3 ＋４０．２ＳｒＴｉＯ3 ＋１９．６ＴｉＯ2 ３）４８ＳｒＣＯ3 ＋５２ＴｉＯ2 →４８ＳｒＴｉＯ3 ＋２．５ＴｉＯ2 ＋４９．５ＣＯ2 ↑ ≡９２．３ＳｒＴｉＯ3 ＋７．７ＴｉＯ2 これらの仮焼粉をジェットミル粉砕機によって平均粒度
０．８μｍ以下にまで粉砕し、この粉砕粉をボールミル
でアニオン分散剤とＰＶＡバインダーと水により８時間
粉砕し、遠心噴霧タイプの造粒機にて乾燥、造粒を行っ
た。更にこの造粒粉を圧力１．０(ton／cm2)で成形し試
料を得た。
０．８μｍ以下にまで粉砕し、この粉砕粉をボールミル
でアニオン分散剤とＰＶＡバインダーと水により８時間
粉砕し、遠心噴霧タイプの造粒機にて乾燥、造粒を行っ
た。更にこの造粒粉を圧力１．０(ton／cm2)で成形し試
料を得た。
【００１５】（試料の焼成）焼成は、上記試料をセット
した管状炉中に大気、酸素ガスボンベ（純度９９％以
上）を用いて酸素ガスを循環させた雰囲気にて昇温速度
１５０（℃／hr）で１３４０℃まで加熱した後３時間保
持し、降温速度２００（℃／hr）以下で１００℃まで冷
却するという方法で行った。なお、酸素ガスの濃度は９
０ vol％以上になるように調整して行った。
した管状炉中に大気、酸素ガスボンベ（純度９９％以
上）を用いて酸素ガスを循環させた雰囲気にて昇温速度
１５０（℃／hr）で１３４０℃まで加熱した後３時間保
持し、降温速度２００（℃／hr）以下で１００℃まで冷
却するという方法で行った。なお、酸素ガスの濃度は９
０ vol％以上になるように調整して行った。
【００１６】（試料の緻密性の評価）試料の緻密性の評
価は、切り出した試料の３μｍダイヤモンド粉を用いた
湿式ラップ仕上げの研磨面における気孔の分布量より求
めた気孔率で評価した。その結果を（表２）に示す。
価は、切り出した試料の３μｍダイヤモンド粉を用いた
湿式ラップ仕上げの研磨面における気孔の分布量より求
めた気孔率で評価した。その結果を（表２）に示す。
【００１７】
【表２】
【００１８】この（表２）から明らかなように、添加物
として（ＮＨ4 ）3 ＰＯ4 ，ＳｉＯ 2 ，ＺｒＯ2 ，Ａｌ
2 Ｏ3 と主組成物原料ＣａＣＯ3 ，ＳｒＣＯ3 ，ＴｉＯ
2 の混合物を仮焼した組成物を原料とし、かつ酸素雰囲
気を用いれば常圧焼成によっても非常に緻密な焼結体が
得られることがわかった。
として（ＮＨ4 ）3 ＰＯ4 ，ＳｉＯ 2 ，ＺｒＯ2 ，Ａｌ
2 Ｏ3 と主組成物原料ＣａＣＯ3 ，ＳｒＣＯ3 ，ＴｉＯ
2 の混合物を仮焼した組成物を原料とし、かつ酸素雰囲
気を用いれば常圧焼成によっても非常に緻密な焼結体が
得られることがわかった。
【００１９】なお、各添加物の量としては、Ｐについて
は上記主組成物に対しＰ2 Ｏ5 換算で１ mol％以下、Ｓ
ｉについてＳｉＯ2 換算で１ mol％以下であると液相が
少なく緻密化効果が劣り、２ mol％以上であると強度が
低下（加工時での脆さ）が認められた。更に前記添加量
の場合においても、磁気ヘッド製造工程に必要なアルカ
リ洗浄工程における耐アルカリ性（PH12）において、図
１（ａ），（ｂ）に示すように洗浄前の図１（ａ）に比
べて洗浄後の図１（ｂ）では新たな気孔の発生が３〜４
％増加することが認められた。これは、リン分を中心と
する相（化合物）の溶出によるものと考えられる。そこ
でＰ，Ｓｉの添加量において、ＺｒＯ2とＡｌ2 Ｏ3 を
添加し耐アルカリ性を調べた。この結果耐アルカリ性の
向上と緻密化の低下が認められた。そこで、種々配合量
を変えて検討した結果、ＺｒＯ2を２〜３．５ mol％、
Ａｌ2 Ｏ3 を０．３〜１．５ mol％かつＺｒＯ2 とＡｌ
2Ｏ3 成分の合計が５ mol％以下となるように添加する
ことで前記問題点及び添加に伴う緻密化の低下を解決す
ることができることがわかった。即ち、添加量において
ＺｒＯ2 は２ mol％以下であると耐アルカリ性が劣り、
３．５ mol％以上であると緻密化低下が発生した。同様
にＡｌ2 Ｏ3 は０．３ mol％以下であると耐アルカリ性
が劣り、１．５ mol％以上であると緻密化効果が劣るこ
とが認められた。
は上記主組成物に対しＰ2 Ｏ5 換算で１ mol％以下、Ｓ
ｉについてＳｉＯ2 換算で１ mol％以下であると液相が
少なく緻密化効果が劣り、２ mol％以上であると強度が
低下（加工時での脆さ）が認められた。更に前記添加量
の場合においても、磁気ヘッド製造工程に必要なアルカ
リ洗浄工程における耐アルカリ性（PH12）において、図
１（ａ），（ｂ）に示すように洗浄前の図１（ａ）に比
べて洗浄後の図１（ｂ）では新たな気孔の発生が３〜４
％増加することが認められた。これは、リン分を中心と
する相（化合物）の溶出によるものと考えられる。そこ
でＰ，Ｓｉの添加量において、ＺｒＯ2とＡｌ2 Ｏ3 を
添加し耐アルカリ性を調べた。この結果耐アルカリ性の
向上と緻密化の低下が認められた。そこで、種々配合量
を変えて検討した結果、ＺｒＯ2を２〜３．５ mol％、
Ａｌ2 Ｏ3 を０．３〜１．５ mol％かつＺｒＯ2 とＡｌ
2Ｏ3 成分の合計が５ mol％以下となるように添加する
ことで前記問題点及び添加に伴う緻密化の低下を解決す
ることができることがわかった。即ち、添加量において
ＺｒＯ2 は２ mol％以下であると耐アルカリ性が劣り、
３．５ mol％以上であると緻密化低下が発生した。同様
にＡｌ2 Ｏ3 は０．３ mol％以下であると耐アルカリ性
が劣り、１．５ mol％以上であると緻密化効果が劣るこ
とが認められた。
【００２０】以上のように、本発明の実施例である試料
No. ５〜１１，１６〜２２，２７〜３３は、ＣａＴｉＯ
3 ，ＳｒＴｉＯ3 及びＴｉＯ2 の固溶体あるいは混合体
の系における緻密化がＰ，Ｓｉ，Ｚｒ，Ａｌ酸化物の存
在によって耐アルカリ性を損なうことなく高められてい
ることがわかる。また、焼成時に酸素ガスを９０ vol％
以上加えることにより試料中のガスを減少させその分緻
密化していることがわかる。
No. ５〜１１，１６〜２２，２７〜３３は、ＣａＴｉＯ
3 ，ＳｒＴｉＯ3 及びＴｉＯ2 の固溶体あるいは混合体
の系における緻密化がＰ，Ｓｉ，Ｚｒ，Ａｌ酸化物の存
在によって耐アルカリ性を損なうことなく高められてい
ることがわかる。また、焼成時に酸素ガスを９０ vol％
以上加えることにより試料中のガスを減少させその分緻
密化していることがわかる。
【００２１】
【発明の効果】以上のように本発明はＣａＴｉＯ3 ，Ｓ
ｒＴｉＯ3 ，ＴｉＯ2 からなる主成分にＰ2 Ｏ5 ，Ｓｉ
Ｏ2 ，ＺｒＯ2 ，Ａｌ2 Ｏ3 の添加物を所定量添加する
ことにより、高緻密で機械的強度や化学的性質の著しく
改善され加工性を飛躍的に向上させるとともに製品歩留
りの高い磁気ヘッド用非磁性セラミック材料を実現する
ことができる。また、その製造方法は少ない廉価な設備
で機械的強度に優れ化学的に安定な磁気ヘッド用材料を
低原価で量産することができる。
ｒＴｉＯ3 ，ＴｉＯ2 からなる主成分にＰ2 Ｏ5 ，Ｓｉ
Ｏ2 ，ＺｒＯ2 ，Ａｌ2 Ｏ3 の添加物を所定量添加する
ことにより、高緻密で機械的強度や化学的性質の著しく
改善され加工性を飛躍的に向上させるとともに製品歩留
りの高い磁気ヘッド用非磁性セラミック材料を実現する
ことができる。また、その製造方法は少ない廉価な設備
で機械的強度に優れ化学的に安定な磁気ヘッド用材料を
低原価で量産することができる。
【図１】（ａ）は試験片のアルカリ洗浄前の表面状態を
表わす模式図 （ｂ）は試験片のアルカリ洗浄後の表面状態を表わす模
式図
表わす模式図 （ｂ）は試験片のアルカリ洗浄後の表面状態を表わす模
式図
Claims (2)
- 【請求項１】ＣａＴｉＯ3 ：０〜９５ mol％，ＳｒＴｉ
Ｏ3 ：０〜９５ mol％，ＴｉＯ2 ：０．５〜２０ mol％
の３成分の合計が１００ mol％からなる主組成物に対
し、添加物として、Ｐ，Ｓｉ，Ｚｒ，ＡｌをＰ2 Ｏ5 ，
ＳｉＯ2 ，ＺｒＯ 2 ，Ａｌ2 Ｏ3 換算で各々Ｐ2 Ｏ5 を
０．５〜２．５ mol％好ましくは１〜２ mol％，ＳｉＯ
2 を０．５〜２．５ mol％好ましくは１〜２ mol％，Ｚ
ｒＯ2 を１．５〜４ mol％好ましくは２〜３．５ mol
％，Ａｌ2 Ｏ3 を０．１〜２．０ mol％好ましくは０．
３〜１．５ mol％かつＺｒＯ2 とＡｌ2 Ｏ3 成分の合計
が５ mol％以下を含有する組成物を焼成してなることを
特徴とする磁気ヘッド用非磁性セラミック材料。 - 【請求項２】請求項１に記載された磁気ヘッド用非磁性
セラミック組成物を常圧下で酸素を９０ vol％以上好ま
しくは９５ vol％以上含有する大気圧雰囲気下で焼成す
ることを特徴とする磁気ヘッド用非磁性セラミック材料
の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4309973A JPH06162428A (ja) | 1992-11-19 | 1992-11-19 | 磁気ヘッド用非磁性セラミック材料及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4309973A JPH06162428A (ja) | 1992-11-19 | 1992-11-19 | 磁気ヘッド用非磁性セラミック材料及びその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06162428A true JPH06162428A (ja) | 1994-06-10 |
Family
ID=17999598
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4309973A Pending JPH06162428A (ja) | 1992-11-19 | 1992-11-19 | 磁気ヘッド用非磁性セラミック材料及びその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06162428A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007112689A (ja) * | 2005-10-24 | 2007-05-10 | Tdk Corp | 誘電体粉末の製造方法、複合電子部品およびその製造方法 |
-
1992
- 1992-11-19 JP JP4309973A patent/JPH06162428A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007112689A (ja) * | 2005-10-24 | 2007-05-10 | Tdk Corp | 誘電体粉末の製造方法、複合電子部品およびその製造方法 |
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