JPH06156675A - 搬送機構 - Google Patents
搬送機構Info
- Publication number
- JPH06156675A JPH06156675A JP4333624A JP33362492A JPH06156675A JP H06156675 A JPH06156675 A JP H06156675A JP 4333624 A JP4333624 A JP 4333624A JP 33362492 A JP33362492 A JP 33362492A JP H06156675 A JPH06156675 A JP H06156675A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magazine
- guide
- guide wheel
- transport
- transport mechanism
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L24/00—Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
- H01L24/74—Apparatus for manufacturing arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies
- H01L24/78—Apparatus for connecting with wire connectors
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/74—Apparatus for manufacturing arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and for methods related thereto
- H01L2224/78—Apparatus for connecting with wire connectors
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/0001—Technical content checked by a classifier
- H01L2924/00014—Technical content checked by a classifier the subject-matter covered by the group, the symbol of which is combined with the symbol of this group, being disclosed without further technical details
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/01—Chemical elements
- H01L2924/01082—Lead [Pb]
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/10—Details of semiconductor or other solid state devices to be connected
- H01L2924/1015—Shape
- H01L2924/1016—Shape being a cuboid
- H01L2924/10162—Shape being a cuboid with a square active surface
Abstract
(57)【要約】
【目的】 半導体装置搭載リードフレーム収納用マガジ
ン１８を搬送するワイヤボンディング装置１用のマガジ
ン搬送機構２において、ガイド手段によってマガジン１
８の搬送路上への載置が妨げられないようにする。 【構成】 搬送路の外側に複数の案内輪１６、１６、…
を配設する。案内輪１６として上端から下側に行くに従
って大径になる上下方向案内部１６ａを有するものを用
いる。
ン１８を搬送するワイヤボンディング装置１用のマガジ
ン搬送機構２において、ガイド手段によってマガジン１
８の搬送路上への載置が妨げられないようにする。 【構成】 搬送路の外側に複数の案内輪１６、１６、…
を配設する。案内輪１６として上端から下側に行くに従
って大径になる上下方向案内部１６ａを有するものを用
いる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、搬送機構、特に例えば
半導体装置搭載リードフレーム収納用マガジンを搬送す
るワイヤボンディング装置用のマガジン搬送機構に関す
る。
半導体装置搭載リードフレーム収納用マガジンを搬送す
るワイヤボンディング装置用のマガジン搬送機構に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】ワイヤボンディング装置に対する被ワイ
ヤボンディング半導体装置搭載リードフレームの搬送
（ロード及びアンロード）は、一般に複数（例えば２０
枚、２５枚、５０枚等）のリードフレームを収納したマ
ガジンを単位として行われる。図８はワイヤボンディン
グを終了した半導体装置搭載リードフレームの一例を示
す斜視図である。
ヤボンディング半導体装置搭載リードフレームの搬送
（ロード及びアンロード）は、一般に複数（例えば２０
枚、２５枚、５０枚等）のリードフレームを収納したマ
ガジンを単位として行われる。図８はワイヤボンディン
グを終了した半導体装置搭載リードフレームの一例を示
す斜視図である。
【０００３】そして、マガジン単位で搬送する方式のワ
イヤボンディングシステムとして特開平４−２４５６５
１号公報により紹介されたものがある。それは、搬送路
を有する複数のワイヤボンディング装置を、全搬送路が
連通されて長い一つの搬送路を構成するように一直線上
に並設してなるものである。
イヤボンディングシステムとして特開平４−２４５６５
１号公報により紹介されたものがある。それは、搬送路
を有する複数のワイヤボンディング装置を、全搬送路が
連通されて長い一つの搬送路を構成するように一直線上
に並設してなるものである。
【０００４】そして、各ワイヤボンディング装置の搬送
路には、離間して配置された一対の回転ローラにベルト
掛けしたベルト方式のマガジン搬送機構が設けられてい
た。そして、マガジンが搬送路から逸れないようにする
ためのガイドは、搬送路の上方にそれとマガジンの高さ
分だけ離間してガイド機構を設け、マガジンの被ガイド
部材を形成し、そのガイド機構によりマガジンの被ガイ
ド部材を案内するようにすることにより行っていた。
路には、離間して配置された一対の回転ローラにベルト
掛けしたベルト方式のマガジン搬送機構が設けられてい
た。そして、マガジンが搬送路から逸れないようにする
ためのガイドは、搬送路の上方にそれとマガジンの高さ
分だけ離間してガイド機構を設け、マガジンの被ガイド
部材を形成し、そのガイド機構によりマガジンの被ガイ
ド部材を案内するようにすることにより行っていた。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】ところで、特開平４−
２４５６５１号公報に紹介された搬送機構には、搬送路
の上方にマガジンを案内するガイド機構を設けたが故
に、搬送経路上のマガジンとワイヤボンディング装置の
ワイヤボンディング部分との間の移送が難しく、移送の
ためにマガジンの上昇を可能にする必要性があり、その
ためにガイド機構を退避させるというような複雑な機構
を必要とする。
２４５６５１号公報に紹介された搬送機構には、搬送路
の上方にマガジンを案内するガイド機構を設けたが故
に、搬送経路上のマガジンとワイヤボンディング装置の
ワイヤボンディング部分との間の移送が難しく、移送の
ためにマガジンの上昇を可能にする必要性があり、その
ためにガイド機構を退避させるというような複雑な機構
を必要とする。
【０００６】また、オペレータがマガジンを搬送路上に
載せることがガイド機構によって阻まれるのでそれが難
しいという問題があった。即ち、マガジンは一般に全自
動により搬送されるが、特別に試作品をつくる必要性が
あるというような場合には、強制的に搬送路の任意の部
分にマガジンを入れてそのマガジン内のもののワイヤボ
ンディングを行わせ、ワイヤボンディングが終るとその
マガジンを搬送路から取り出すという謂わば割込みをか
ける必要があった。しかし、ガイド機構がマガジンの上
面の被ガイド部材を案内する搬送機構では、そのガイド
機構が邪魔になるのでそれが難しかったのである。
載せることがガイド機構によって阻まれるのでそれが難
しいという問題があった。即ち、マガジンは一般に全自
動により搬送されるが、特別に試作品をつくる必要性が
あるというような場合には、強制的に搬送路の任意の部
分にマガジンを入れてそのマガジン内のもののワイヤボ
ンディングを行わせ、ワイヤボンディングが終るとその
マガジンを搬送路から取り出すという謂わば割込みをか
ける必要があった。しかし、ガイド機構がマガジンの上
面の被ガイド部材を案内する搬送機構では、そのガイド
機構が邪魔になるのでそれが難しかったのである。
【０００７】本発明はこのような問題点を解決すべく為
されたものであり、ガイド手段によって被搬送物の搬送
路上への載置が妨げられれない新規な搬送機構を提供
し、更には被搬送物の搬送経路上への載置が円滑且つ正
確に行われ得るようにすることを目的とする。
されたものであり、ガイド手段によって被搬送物の搬送
路上への載置が妨げられれない新規な搬送機構を提供
し、更には被搬送物の搬送経路上への載置が円滑且つ正
確に行われ得るようにすることを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】請求項１の搬送機構は、
搬送路の外側に複数の案内輪を配設したことを特徴とす
る。請求項２の搬送機構は、請求項１の搬送機構におい
て、案内輪が上端から下側に行くに従って大径になる上
下方向案内部を外周面の少なくとも上部に有することを
特徴とする。
搬送路の外側に複数の案内輪を配設したことを特徴とす
る。請求項２の搬送機構は、請求項１の搬送機構におい
て、案内輪が上端から下側に行くに従って大径になる上
下方向案内部を外周面の少なくとも上部に有することを
特徴とする。
【０００９】請求項３の搬送機構は、請求項２又は搬送
機構において、案内輪の少なくとも外周部が弾性樹脂か
らなることを特徴とする。請求項４の搬送機構は、請求
項１、２又は３の搬送機構において、案内輪の少なくと
も外周部が導電性樹脂からなることを特徴とする。
機構において、案内輪の少なくとも外周部が弾性樹脂か
らなることを特徴とする。請求項４の搬送機構は、請求
項１、２又は３の搬送機構において、案内輪の少なくと
も外周部が導電性樹脂からなることを特徴とする。
【００１０】
【作用】請求項１の搬送機構によれば、被搬送物を案内
する案内輪が搬送路の外側に設けられたので、搬送路上
に被搬送物を置いたり搬送路上から被搬送物を持ちあげ
て取り去ることが容易である。請求項２の搬送機構によ
れば、案内輪が上下方向の案内部を有するので、搬送路
上に被搬送物を載せるときに案内輪によって上下方向に
被搬送物を案内することができ、搬送路上への被搬送物
のスムーズ且つ正確な載置ができる。
する案内輪が搬送路の外側に設けられたので、搬送路上
に被搬送物を置いたり搬送路上から被搬送物を持ちあげ
て取り去ることが容易である。請求項２の搬送機構によ
れば、案内輪が上下方向の案内部を有するので、搬送路
上に被搬送物を載せるときに案内輪によって上下方向に
被搬送物を案内することができ、搬送路上への被搬送物
のスムーズ且つ正確な載置ができる。
【００１１】請求項３の搬送機構によれば、案内輪の少
なくとも表面部が弾力性樹脂からなるので、案内輪が接
触により被搬送物に対して与える振動、衝撃を小さくす
ることができる。請求項４の搬送機構によれば、案内輪
の少なくとも表面部が導電性材料からなるので、被搬送
物が案内輪との接触により帯電するのを防止することが
でき、延いては静電破壊の問題が生じるのを防止するこ
とができる。
なくとも表面部が弾力性樹脂からなるので、案内輪が接
触により被搬送物に対して与える振動、衝撃を小さくす
ることができる。請求項４の搬送機構によれば、案内輪
の少なくとも表面部が導電性材料からなるので、被搬送
物が案内輪との接触により帯電するのを防止することが
でき、延いては静電破壊の問題が生じるのを防止するこ
とができる。
【００１２】
【実施例】以下、本発明搬送機構を図示実施例に従って
詳細に説明する。図１乃至図６は本発明マガジン搬送機
構の一つの実施例を説明するためのもので、図１はその
マガジン搬送機構を備えたワイヤボンディングシステム
の全体を示す斜視図であり、先ず図１に従ってワイヤボ
ンディングシステムの概略を説明する。
詳細に説明する。図１乃至図６は本発明マガジン搬送機
構の一つの実施例を説明するためのもので、図１はその
マガジン搬送機構を備えたワイヤボンディングシステム
の全体を示す斜視図であり、先ず図１に従ってワイヤボ
ンディングシステムの概略を説明する。
【００１３】１、１、…は略同じ構造、機能を有するワ
イヤボンディング装置で、各々正面側にマガジン搬送機
構２を有している。ワイヤボンディング装置１、１、…
はそれぞれのマガジン搬送機構２、２、…が整合して一
本の搬送路をつくるように並設されている。３は各ワイ
ヤボンディング装置１のマガジンをワイヤボンディング
部近傍に取込むマガジン取込部である。該マガジン搬送
機構２、２、…はそれぞれカバーで覆われている。
イヤボンディング装置で、各々正面側にマガジン搬送機
構２を有している。ワイヤボンディング装置１、１、…
はそれぞれのマガジン搬送機構２、２、…が整合して一
本の搬送路をつくるように並設されている。３は各ワイ
ヤボンディング装置１のマガジンをワイヤボンディング
部近傍に取込むマガジン取込部である。該マガジン搬送
機構２、２、…はそれぞれカバーで覆われている。
【００１４】４ａはワイヤボンディング装置１、１、…
のマガジン搬送機構２、２、…からなるマガジン搬送路
へその一端部からマガジンを供給する自動ロード用ステ
ーション、５はワイヤボンディング工程を終了したマガ
ジンのリードフレームのワイヤリング形状を検査する自
動ワイヤリング検査装置、４ｂは自動ワイヤリング検査
装置５による検査工程を終えたマガジンを取り出す自動
アンロード用ステーションである。
のマガジン搬送機構２、２、…からなるマガジン搬送路
へその一端部からマガジンを供給する自動ロード用ステ
ーション、５はワイヤボンディング工程を終了したマガ
ジンのリードフレームのワイヤリング形状を検査する自
動ワイヤリング検査装置、４ｂは自動ワイヤリング検査
装置５による検査工程を終えたマガジンを取り出す自動
アンロード用ステーションである。
【００１５】図２はマガジン搬送機構の拡大斜視図であ
り、次に図２に従ってマガジン搬送機構２を具体的に説
明する。６はローラ支持体で、断面形状がコ字状に形成
され、一対の側片６ａ、６ｂが上を向き、中間片が底部
を成すようにして略水平に設けられており、一対の側片
６ａ、６ｂの上部には複数の回転軸７、７、…が略一定
の間隔を置いて回転自在に取り付けられている。この間
隔は少なくともマガジンの長さよりは小さく設定されて
いる。
り、次に図２に従ってマガジン搬送機構２を具体的に説
明する。６はローラ支持体で、断面形状がコ字状に形成
され、一対の側片６ａ、６ｂが上を向き、中間片が底部
を成すようにして略水平に設けられており、一対の側片
６ａ、６ｂの上部には複数の回転軸７、７、…が略一定
の間隔を置いて回転自在に取り付けられている。この間
隔は少なくともマガジンの長さよりは小さく設定されて
いる。
【００１６】各回転軸７、７、…の一端はローラ支持体
６の側片６ａを貫通して外側（正面側）に突出せしめら
れており、その突出端部にはそれぞれプーリー８が固定
されている。そして、各回転軸７、７、…の側片６ａ・
６ｂ間の部分における両端部には表面が例えばウレタン
の如き弾力性のある樹脂で覆われた搬送ローラ９、９が
固定されている。
６の側片６ａを貫通して外側（正面側）に突出せしめら
れており、その突出端部にはそれぞれプーリー８が固定
されている。そして、各回転軸７、７、…の側片６ａ・
６ｂ間の部分における両端部には表面が例えばウレタン
の如き弾力性のある樹脂で覆われた搬送ローラ９、９が
固定されている。
【００１７】１０は回動支持体で、ローラ支持体６の一
端（右側の端）に回動自在取り付けられている。該回動
支持体１０にもローラ支持体６と同様に、回転軸７、
７、…、プーリー８、８、…及び搬送ローラ９、９、…
が設けられており、回動支持体１０は図示されたところ
の倒された状態ではローラ支持体６とで一つの搬送路を
構成するが、略９０度回動して向きになると搬送路の一
部を切断して手や人体が入り込んでメンテナンス等を行
うことができるようになっている。１１、１１は回動支
持体１０の回動角度を規定するストッパーである。
端（右側の端）に回動自在取り付けられている。該回動
支持体１０にもローラ支持体６と同様に、回転軸７、
７、…、プーリー８、８、…及び搬送ローラ９、９、…
が設けられており、回動支持体１０は図示されたところ
の倒された状態ではローラ支持体６とで一つの搬送路を
構成するが、略９０度回動して向きになると搬送路の一
部を切断して手や人体が入り込んでメンテナンス等を行
うことができるようになっている。１１、１１は回動支
持体１０の回動角度を規定するストッパーである。
【００１８】１２、１２はローラ支持体６及び回転支持
体１０の各回転軸７、７、…の一端に固定されたプーリ
ー８、８、…に掛けられたベルトで、このベルト１２、
１２が回転せしめられることによって各搬送ローラ９、
９、…が回転してマガジンを搬送することができる。
尚、１３、１３、…は遊び車である。１４はモータで、
その回転がベルト１２ａ、伝達ローラ１５及びベルト１
２ｂを介してローラ支持体６ａ側のベルト１２に伝達さ
れ、ベルト１２ａ、伝達ローラ１５及びベルト１２ｃを
介して回動支持体１０側のベルト１２に伝達される。
体１０の各回転軸７、７、…の一端に固定されたプーリ
ー８、８、…に掛けられたベルトで、このベルト１２、
１２が回転せしめられることによって各搬送ローラ９、
９、…が回転してマガジンを搬送することができる。
尚、１３、１３、…は遊び車である。１４はモータで、
その回転がベルト１２ａ、伝達ローラ１５及びベルト１
２ｂを介してローラ支持体６ａ側のベルト１２に伝達さ
れ、ベルト１２ａ、伝達ローラ１５及びベルト１２ｃを
介して回動支持体１０側のベルト１２に伝達される。
【００１９】従って、ローラ支持体６及び回動支持体１
０の搬送ローラ９、９、…はモータ１４が回転すると、
すべて同じ方向に回転することができ、延いてはマガジ
ンを搬送することができる。１６、１６、…は案内輪
（カムホロア）で、それぞれ支持軸［（２０）図４参
照］に回転自在に取り付けられており、表面は例えばウ
レタンの如き弾力性のある材料で覆われている。そし
て、各案内輪１６、１６、…の支持軸はローラ支持体６
及び回動支持体１０の側片６ａ、６ｂ及び１０ａ、１０
ｂの上端面に適宜な間隔をおいて植設されている。
０の搬送ローラ９、９、…はモータ１４が回転すると、
すべて同じ方向に回転することができ、延いてはマガジ
ンを搬送することができる。１６、１６、…は案内輪
（カムホロア）で、それぞれ支持軸［（２０）図４参
照］に回転自在に取り付けられており、表面は例えばウ
レタンの如き弾力性のある材料で覆われている。そし
て、各案内輪１６、１６、…の支持軸はローラ支持体６
及び回動支持体１０の側片６ａ、６ｂ及び１０ａ、１０
ｂの上端面に適宜な間隔をおいて植設されている。
【００２０】案内輪１６、１６、…は搬送ローラ９、
９、…によって搬送されるマガジンを脇に逸れないよう
にガイドする役割を果す。尚、図４（Ａ）、（Ｂ）に示
すように案内輪１６は上下方向案内部１６ａを有するが
この点については後で詳述する。
９、…によって搬送されるマガジンを脇に逸れないよう
にガイドする役割を果す。尚、図４（Ａ）、（Ｂ）に示
すように案内輪１６は上下方向案内部１６ａを有するが
この点については後で詳述する。
【００２１】図３はマガジン搬送機構２とワイヤボンデ
ィング装置のワイヤボンディング部との間のマガジンの
移送を説明するものである。１７、１７はマガジン持ち
上げ部材で、図示しない昇降機溝により駆動されマガジ
ン搬送機構２上のマガジン１８を持ち上げることによっ
て前進後退可能な搬送アーム１９、１９に渡したり、逆
に搬送アーム１９、１９からマガジン１８を受け取って
マガジン搬送機構２上にソフトランディングする役割を
果す。尚、通常時においては搬送ローラ９、９、…より
も低いところに退避している。
ィング装置のワイヤボンディング部との間のマガジンの
移送を説明するものである。１７、１７はマガジン持ち
上げ部材で、図示しない昇降機溝により駆動されマガジ
ン搬送機構２上のマガジン１８を持ち上げることによっ
て前進後退可能な搬送アーム１９、１９に渡したり、逆
に搬送アーム１９、１９からマガジン１８を受け取って
マガジン搬送機構２上にソフトランディングする役割を
果す。尚、通常時においては搬送ローラ９、９、…より
も低いところに退避している。
【００２２】図４は図３の矢印Ａに沿って視た案内輪１
６の働きを説明するための矢視図である。尚、２０は案
内輪１６を回転自在に支持する支持軸で、その下端部が
ローラ支持体６及び回転支持体１０の側片６ａ、６ｂ、
１０ａ、１０ｂの上端面に植設されている。
６の働きを説明するための矢視図である。尚、２０は案
内輪１６を回転自在に支持する支持軸で、その下端部が
ローラ支持体６及び回転支持体１０の側片６ａ、６ｂ、
１０ａ、１０ｂの上端面に植設されている。
【００２３】案内輪１６は上端の外径が小さく、上下方
向における中間部に行く程外径が大きくなるように形成
され、上半部が上下方向案内部１６ａとされている。即
ち、上端における直径ｄH 、下端における直径ｄL 、中
間における直径ｄM との間にはｄL ＝ｄM ＜ｄM の関係
が成立する。従って、案内輪１６、１６、…は単にマガ
ジン１８を搬送経路から逸れないように左右方向におけ
る位置を規定するのみならず、搬送路を形成する搬送ロ
ーラ９、９、…上にマガジン１８を載置するときにその
上下方向案内部１６ａが図４（Ａ）に示すように搬送路
上に案内し、図４（Ｂ）に示すように左右方向における
位置決めをする。即ち、マガジン１８を搬送路上に逸れ
ないように正確に案内して置くことができる。
向における中間部に行く程外径が大きくなるように形成
され、上半部が上下方向案内部１６ａとされている。即
ち、上端における直径ｄH 、下端における直径ｄL 、中
間における直径ｄM との間にはｄL ＝ｄM ＜ｄM の関係
が成立する。従って、案内輪１６、１６、…は単にマガ
ジン１８を搬送経路から逸れないように左右方向におけ
る位置を規定するのみならず、搬送路を形成する搬送ロ
ーラ９、９、…上にマガジン１８を載置するときにその
上下方向案内部１６ａが図４（Ａ）に示すように搬送路
上に案内し、図４（Ｂ）に示すように左右方向における
位置決めをする。即ち、マガジン１８を搬送路上に逸れ
ないように正確に案内して置くことができる。
【００２４】案内輪１６、１６、…の表面はウレタンの
如き弾力性のある樹脂で覆われているので、マガジン１
８を案内するとき接触してもそのマガジン１８に対して
与える振動、衝撃は小さくすることができ、延いてはマ
ガジン１８内の半導体素子搭載リードフレームが振動、
衝撃により不良になる虞れをなくすことができる。尚、
案内輪１６、１６、…を金属で形成し、表面部を弾力性
のある樹脂で覆うのではなく、案内輪１６、１６、…そ
のものを弾力性のある材料で形成するようにしても良い
ことはいうまでもない。
如き弾力性のある樹脂で覆われているので、マガジン１
８を案内するとき接触してもそのマガジン１８に対して
与える振動、衝撃は小さくすることができ、延いてはマ
ガジン１８内の半導体素子搭載リードフレームが振動、
衝撃により不良になる虞れをなくすことができる。尚、
案内輪１６、１６、…を金属で形成し、表面部を弾力性
のある樹脂で覆うのではなく、案内輪１６、１６、…そ
のものを弾力性のある材料で形成するようにしても良い
ことはいうまでもない。
【００２５】また、案内輪１６、１６、…の表面を例え
ばカーボン系樹脂からなる導電性樹脂により覆うように
しても良い。このようにすると、マガジン１８と案内輪
１６、１６、…との摩擦により静電気が発生してマガジ
ン１８が帯電し、その結果、リードフレームに搭載され
た半導体素子に静電破壊が生じるという問題を回避する
ことができる。勿論、案内輪１６、１６、…を金属によ
り形成し、その表面を導電性樹脂、例えばカーボン系樹
脂で覆うのではなく、案内輪１６、１６、…そのものを
導電性樹脂で形成するようにしても良い。
ばカーボン系樹脂からなる導電性樹脂により覆うように
しても良い。このようにすると、マガジン１８と案内輪
１６、１６、…との摩擦により静電気が発生してマガジ
ン１８が帯電し、その結果、リードフレームに搭載され
た半導体素子に静電破壊が生じるという問題を回避する
ことができる。勿論、案内輪１６、１６、…を金属によ
り形成し、その表面を導電性樹脂、例えばカーボン系樹
脂で覆うのではなく、案内輪１６、１６、…そのものを
導電性樹脂で形成するようにしても良い。
【００２６】図５は案内輪１６の変形例を示す正面図で
あり、本案内輪１６は、上端から下端へ行くに従って直
径が大きくなるようにされ、外周面全体が上下方向案内
部１６ａとされている。即ち、上端における直径ｄH
と、下端における直径ｄL とはｄH ＜ｄL の関係にな
る。案内輪１６は、上部に、下に行く程径が大径になる
部分があれば上下方向案内部１６ａとしての役割を果
す。従って、案内輪１６には種々のバリエーションが考
えられ得る。
あり、本案内輪１６は、上端から下端へ行くに従って直
径が大きくなるようにされ、外周面全体が上下方向案内
部１６ａとされている。即ち、上端における直径ｄH
と、下端における直径ｄL とはｄH ＜ｄL の関係にな
る。案内輪１６は、上部に、下に行く程径が大径になる
部分があれば上下方向案内部１６ａとしての役割を果
す。従って、案内輪１６には種々のバリエーションが考
えられ得る。
【００２７】図６はマガジン持ち上げ機構の変形例を示
すものである。本マガジン持ち上げ機構は、ローラ支持
体６の側片６ｂ（奥側、即ちワイヤボンディング部側の
側片）に、一対の搬送アーム１９、１９が前進、後退及
び上下でき得る一対の溝６ｃ、６ｃを設け、搬送アーム
１９、１９をその溝６ｃ、６ｃに通してローラ支持体６
内に進入させ、該搬送アーム１９、１９上方にマガジン
１８が位置したとき該搬送アーム１９、１９を上昇させ
てマガジン１８を載置した状態にし、更に持ち上げてワ
イヤボンディング部近傍にロードするようにしたもの
で、搬送機構２にはマガジン持ち上げ部材を設けないよ
うにしたものである。
すものである。本マガジン持ち上げ機構は、ローラ支持
体６の側片６ｂ（奥側、即ちワイヤボンディング部側の
側片）に、一対の搬送アーム１９、１９が前進、後退及
び上下でき得る一対の溝６ｃ、６ｃを設け、搬送アーム
１９、１９をその溝６ｃ、６ｃに通してローラ支持体６
内に進入させ、該搬送アーム１９、１９上方にマガジン
１８が位置したとき該搬送アーム１９、１９を上昇させ
てマガジン１８を載置した状態にし、更に持ち上げてワ
イヤボンディング部近傍にロードするようにしたもの
で、搬送機構２にはマガジン持ち上げ部材を設けないよ
うにしたものである。
【００２８】図７はマガジン１８の底面に置かれている
情報を読み取ることができるマガジン情報読み取り器２
１を示すもので、搬送機構２のマガジン持ち上げ部に設
けるとこれからワイヤボンディングされるマガジン１８
あるいはワイヤボンディングを終えたマガジン１８につ
いての情報を認識できる。
情報を読み取ることができるマガジン情報読み取り器２
１を示すもので、搬送機構２のマガジン持ち上げ部に設
けるとこれからワイヤボンディングされるマガジン１８
あるいはワイヤボンディングを終えたマガジン１８につ
いての情報を認識できる。
【００２９】
【発明の効果】請求項１の搬送機構は、搬送路の外側に
複数の案内輪を配設したことを特徴とするものである。
従って、請求項１の搬送機構によれば、被搬送物を案内
する案内輪が搬送路の外側に設けられたので、搬送路上
に被搬送物を置いたり搬送路上から被搬送物を持ちあげ
て取り去ることが容易である。
複数の案内輪を配設したことを特徴とするものである。
従って、請求項１の搬送機構によれば、被搬送物を案内
する案内輪が搬送路の外側に設けられたので、搬送路上
に被搬送物を置いたり搬送路上から被搬送物を持ちあげ
て取り去ることが容易である。
【００３０】請求項２の搬送機構は、上端から下側に行
くに従って大径になる上下方向案内部を外周面の少なく
とも上部に有することを特徴とするものである。従っ
て、請求項２の搬送機構によれば、案内輪が上下方向の
案内部を有するので、搬送路上に被搬送物を載せるとき
に案内輪によって上下方向に被搬送物を案内することを
もでき、スムーズな搬送路上への被搬送物の載置ができ
る。
くに従って大径になる上下方向案内部を外周面の少なく
とも上部に有することを特徴とするものである。従っ
て、請求項２の搬送機構によれば、案内輪が上下方向の
案内部を有するので、搬送路上に被搬送物を載せるとき
に案内輪によって上下方向に被搬送物を案内することを
もでき、スムーズな搬送路上への被搬送物の載置ができ
る。
【００３１】請求項３の搬送機構は、案内輪の少なくと
も外周部が弾性樹脂からなることを特徴とするものであ
る。従って、請求項３の搬送機構によれば、案内輪の少
なくとも表面部が弾力性樹脂からなるので、案内輪が接
触により被搬送物に対して与える振動、衝撃を小さくす
ることができる。
も外周部が弾性樹脂からなることを特徴とするものであ
る。従って、請求項３の搬送機構によれば、案内輪の少
なくとも表面部が弾力性樹脂からなるので、案内輪が接
触により被搬送物に対して与える振動、衝撃を小さくす
ることができる。
【００３２】請求項４の搬送機構は、案内輪の少なくと
も外周部が導電性樹脂からなることを特徴とするもので
ある。従って、請求項４の搬送機構によれば、案内輪の
少なくとも表面部が導電性樹脂からなるので、被搬送物
が案内輪との接触により帯電するのを防止することがで
き、延いては静電破壊の問題が生じるのを防止すること
ができる。
も外周部が導電性樹脂からなることを特徴とするもので
ある。従って、請求項４の搬送機構によれば、案内輪の
少なくとも表面部が導電性樹脂からなるので、被搬送物
が案内輪との接触により帯電するのを防止することがで
き、延いては静電破壊の問題が生じるのを防止すること
ができる。
【図１】本発明搬送機構の一つの実施例を有した複数の
ワイヤボンディング装置からなるワイヤボンディングシ
ステムの全体を示す斜視図である。
ワイヤボンディング装置からなるワイヤボンディングシ
ステムの全体を示す斜視図である。
【図２】本発明搬送機構の一つの実施例を示す斜視図で
ある。
ある。
【図３】マガジン搬送機構とワイヤボンディング部側と
の間のマガジンの移送を説明する斜視図である。
の間のマガジンの移送を説明する斜視図である。
【図４】（Ａ）、（Ｂ）は案内輪の上下方向案内部のマ
ガジンを搬送路上に上下方向における案内をする働きを
説明するための図３の矢印Ａに沿って視た矢視図で、
（Ａ）は案内途中を示し、（Ｂ）は案内が終了した状態
を示す。
ガジンを搬送路上に上下方向における案内をする働きを
説明するための図３の矢印Ａに沿って視た矢視図で、
（Ａ）は案内途中を示し、（Ｂ）は案内が終了した状態
を示す。
【図５】案内輪の変形例を示す正面図である。
【図６】マガジン持ち上げ機構の別の例を示す断面図で
ある。
ある。
【図７】マガジン情報読み取り器を示す斜視図である。
【図８】被搬送マガジン内に収納されるところのワイヤ
ボンディングされたリードフレームを示す斜視図であ
る。
ボンディングされたリードフレームを示す斜視図であ
る。
２ 搬送機構 １６ 案内輪 １６ａ 上下方向案内部 １８ 被搬送物（マガジン）
【手続補正書】
【提出日】平成５年５月２７日
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】変更
【補正内容】
【００２３】案内輪１６は上端の外径が小さく、上下方
向における中間部に行く程外径が大きくなるように形成
され、上半部が上下方向案内部１６ａとされている。即
ち、上端における直径ｄH 、下端における直径ｄL 、中
間における直径ｄM との間にはｄL ＝ｄH ＜ｄM の関係
が成立する。従って、案内輪１６、１６、…は単にマガ
ジン１８を搬送経路から逸れないように左右方向におけ
る位置を規定するのみならず、搬送路を形成する搬送ロ
ーラ９、９、…上にマガジン１８を載置するときにその
上下方向案内部１６ａが図４（Ａ）に示すように搬送路
上に案内し、図４（Ｂ）に示すように左右方向における
位置決めをする。即ち、マガジン１８を搬送路上に逸れ
ないように正確に案内して置くことができる。
向における中間部に行く程外径が大きくなるように形成
され、上半部が上下方向案内部１６ａとされている。即
ち、上端における直径ｄH 、下端における直径ｄL 、中
間における直径ｄM との間にはｄL ＝ｄH ＜ｄM の関係
が成立する。従って、案内輪１６、１６、…は単にマガ
ジン１８を搬送経路から逸れないように左右方向におけ
る位置を規定するのみならず、搬送路を形成する搬送ロ
ーラ９、９、…上にマガジン１８を載置するときにその
上下方向案内部１６ａが図４（Ａ）に示すように搬送路
上に案内し、図４（Ｂ）に示すように左右方向における
位置決めをする。即ち、マガジン１８を搬送路上に逸れ
ないように正確に案内して置くことができる。
【手続補正２】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図３
【補正方法】変更
【補正内容】
【図３】
Claims (4)
- 【請求項１】 搬送路の外側に、該搬送路上を搬送され
る被搬送物が該搬送路から逸れるのを阻む複数の回転自
在の案内輪を配設したことを特徴とする搬送機構 - 【請求項２】 案内輪が、上端から下側に行くに従って
大径になる上下方向案内部を外周面の少なくとも上部に
有することを特徴とする請求項１記載の搬送機構 - 【請求項３】 案内輪の少なくとも外周部が弾性樹脂か
らなることを特徴とする請求項１又は２記載の搬送機構 - 【請求項４】 案内輪の少なくとも外周部が導電性樹脂
からなることを特徴とする請求項１又は２記載の搬送機
構
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4333624A JPH06156675A (ja) | 1992-11-18 | 1992-11-18 | 搬送機構 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4333624A JPH06156675A (ja) | 1992-11-18 | 1992-11-18 | 搬送機構 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06156675A true JPH06156675A (ja) | 1994-06-03 |
Family
ID=18268137
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4333624A Pending JPH06156675A (ja) | 1992-11-18 | 1992-11-18 | 搬送機構 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06156675A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH11349107A (ja) * | 1998-06-08 | 1999-12-21 | Toyota Autom Loom Works Ltd | 自動倉庫の荷受台 |
| JP2017530072A (ja) * | 2014-07-23 | 2017-10-12 | コロボ ソシエタ ペル アチオニ コン ソシオ ウニコＣｏｒｏｂ Ｓ．Ｐ．Ａ．Ｃｏｎ Ｓｏｃｉｏ Ｕｎｉｃｏ | 容器を移動させるための装置 |
| CN107512520A (zh) * | 2017-09-26 | 2017-12-26 | 江苏中企瑞驰工业机器人自动化有限公司 | 型材输送机构 |
| CN107777217A (zh) * | 2017-09-11 | 2018-03-09 | 北方工业大学 | 一种自适应厚度板材进给装置 |
| CN112802787A (zh) * | 2021-04-13 | 2021-05-14 | 四川旭茂微科技有限公司 | 一种用于引线框架组装的送料装置 |
-
1992
- 1992-11-18 JP JP4333624A patent/JPH06156675A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH11349107A (ja) * | 1998-06-08 | 1999-12-21 | Toyota Autom Loom Works Ltd | 自動倉庫の荷受台 |
| JP2017530072A (ja) * | 2014-07-23 | 2017-10-12 | コロボ ソシエタ ペル アチオニ コン ソシオ ウニコＣｏｒｏｂ Ｓ．Ｐ．Ａ．Ｃｏｎ Ｓｏｃｉｏ Ｕｎｉｃｏ | 容器を移動させるための装置 |
| CN107777217A (zh) * | 2017-09-11 | 2018-03-09 | 北方工业大学 | 一种自适应厚度板材进给装置 |
| CN107512520A (zh) * | 2017-09-26 | 2017-12-26 | 江苏中企瑞驰工业机器人自动化有限公司 | 型材输送机构 |
| CN112802787A (zh) * | 2021-04-13 | 2021-05-14 | 四川旭茂微科技有限公司 | 一种用于引线框架组装的送料装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH06156675A (ja) | 搬送機構 | |
| JPH06156723A (ja) | マガジン搬送機構 | |
| JP4203314B2 (ja) | 搬送装置及び搬送方法 | |
| JP4185446B2 (ja) | プレス間用搬送装置 | |
| JPH06156656A (ja) | マガジン搬送機構 | |
| JPH06156655A (ja) | マガジン搬送機構 | |
| KR20090072626A (ko) | 컨베이어벨트 | |
| JP2607185B2 (ja) | パレットの旋回装置 | |
| KR100819787B1 (ko) | 탄 이송장치 | |
| JP3539989B2 (ja) | 搬送装置 | |
| JPH1087060A (ja) | 仕分けコンベヤ | |
| JPH1143219A (ja) | 廃ガラスびんの整列装置 | |
| JP3691232B2 (ja) | 農産物の移送供給装置 | |
| JP3054724B2 (ja) | ケースピッキング装置 | |
| JP2000109013A (ja) | 梱包機のベルトコンベア装置 | |
| JPH05255899A (ja) | 自動めっき装置 | |
| JPH1045211A (ja) | 物品保管装置 | |
| KR20150064323A (ko) | 경사 이송 시스템 | |
| JPH10316232A (ja) | 搬送装置 | |
| JP3375836B2 (ja) | 基板処理装置および基板処理方法 | |
| JP3325940B2 (ja) | 搬送装置 | |
| JPH09230575A (ja) | 写真処理装置用搬送路ユニット | |
| JPH06163627A (ja) | ワイヤボンディングシステム | |
| JPH1179149A (ja) | 容器反転装置 | |
| JP2002316711A (ja) | 案内装置 |