JPH06151560A

JPH06151560A - 構成要素を昇降する装置を有するロードロック式縦型熱処理装置

Info

Publication number: JPH06151560A
Application number: JP4327615A
Authority: JP
Inventors: Kosuke Kyogoku; 光祐京極; Susumu Arai; 進新井
Original assignee: NIPPON EE S M KK
Current assignee: NIPPON EE S M KK
Priority date: 1992-11-13
Filing date: 1992-11-13
Publication date: 1994-05-31

Abstract

(57)【要約】【目的】処理チャンバー、構成要素を昇降する装置を
有するロードロック式縦型熱処理装置を提供する。【構成】エレベータチャンバー（１１）の側面近傍に
垂直に回転可能にボールネジ（３０）が取り付けられ
る。このボールネジに螺合し、ボールネジの回転により
昇降する取付け台（３１）に、載せ台（３２）が垂直上
向き位置と水平位置の間を摺動可能に取り付けられる。
水平になった載せ台（３２）上に、処理チャンバー
（１）、構成要素（２、３、４）が載置され、載せ台
（３２）の昇降により昇降する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、ロードロック式縦型熱
処理装置に関し、特にロードロック式縦型熱処理装置に
設けられる処理チャンバーの構成要素取り付け、取り外
す昇降装置に関する。

【０００２】

【従来技術】図４は従来のロードロック式縦型熱処理装
置の一部断面図を示す。図４に示されているように、ロ
ードロック式縦型熱処理装置は、処理チャンバー１とエ
レベーターチャンバー１１とから成る。

【０００３】処理チャンバー１内には反応管２が、さら
に反応管２内には仕切管３が備え付けられている。処理
チャンバー１の下方には、その中にガスを導入するガス
導入口９およびガスを排気する排気口１０を有するマニ
ホールド４が取り付けられている。

【０００４】仕切管３内には、複数の被処理体７、たと
えば半導体ウェファ７を縦方向に間隔をおいて配置する
被処理体支持ボート５およびそのボート５を支持するボ
ートテーブル６がマニホールド４を通って挿入、取出し
可能に設置されている。この被処理体７になされる処理
は、化学気相成長による薄膜の形成のほか、アニーリン
グなどがある。

【０００５】エレベーターチャンバー１１は、処理チャ
ンバー１の真下に、マニホールド４を介して連結されて
いる。そのエレベーターチャンバー１１内において、未
処理の被処理体が被処理体支持ボート５に配置され、あ
るいは処理後の被処理体がそのボート５から取り除かれ
る。

【０００６】ボートテーブル６の底面には、処理チャン
バー１を密封するシールフランジ８が取り付けられてい
る。そのフランジ８の下方には移動体１２が水平に延設
されて、その一端には、螺刻された穴が設けられてい
る。その穴の螺旋と螺合するボールネジ１３がその穴を
通して上下に伸びている。

【０００７】ボールネジ１３は、エレベーターチャンバ
ー１１から外に設けられたモータ１４と連結され、モー
タが回転すると、回転がボールネジ１３に伝えられ、移
動体１２が上下する。これにより、ボートテーブル６
が、被処理体支持ボート５とともにエレベーターチャン
バー１１から処理チャンバー１へ、またはその逆に移動
する。

【０００８】エレベーターチャンバー１１は、処理チャ
ンバー１の真下に備え付けられているため、チャンバー
１内に備え付けられている構成要素、およびマニホール
ド４の取り外し、取付は、そのままでは行えない。

【０００９】図５および図６は、従来のこれら構成要素
等の取付、取外しを示す。取外しは、まず、ボールネジ
１３を回転させることで、非処理体支持ボート５を有す
るボートテーブル６をエレベーターチャンバー１１内に
完全に収納する。次に、処理チャンバー１（その中に反
応管等が備え付けられたまま）およびマニホールド４
が、一体になって、移動機構（図示せず）によりエレベ
ーターチャンバー１１から取り外され（図５ａ）、キャ
スターの付いている台４１と、その一端に垂直の伸びる
ボールネジ４２とそのボールネジ４２と螺合する穴を有
する水平な載せ台４３とから成る治具４０の位置まで移
動する。

【００１０】このとき、載せ台４３は、ボールネジ４２
の回転によりエレベーターチャンバー１１の上面と一致
するように上昇させておく。処理チャンバー１内の仕切
管３をその上に載置させ、ボールネジ４２を反転させ
て、載せ台４３を下降させ、仕切管３を処理チャンバー
１から取り外す（図６ａ）。同様にして、反応管２、マ
ニホールド４を取り外す（図６ｂ）。取り付けは、この
手順を逆にすることにより行える。

【００１１】

【発明が解決しようとする課題】しかし、このような取
り外し、取り付けのための治具は、このような構成要素
のメンテナンスの時にのみ必要なもので、熱処理装置の
近くに常設しておくことは、スペースを無駄にし、さら
に、熱処理装置の操作の邪魔となる。

【００１２】メンテナンスの際に、このような治具をも
って来ることで、この欠点を解消できるが、治具を移動
させるための移動通路を常に確保しなければならない。
さらに、装置の近くに治具を設置するたび毎に、移動し
た処理チャンバーと、載せ台との中心を整合させること
は、時間と労力とを必要とする。

【００１３】

【課題を解決するための手段】そこで、本発明の目的
は、エレベーターチャンバー近傍に設置でき、かつ不使
用時に熱処理装置の操作の邪魔にならない構成要素を取
り外し、取り付ける昇降装置を提供することである。

【００１４】また、本発明の他の目的は、使用時に容易
に、処理チャンバー等の中心と、処理チャンバー等を載
置する載せ台のの中心とを整合できる上記装置を提供す
ることである。

【００１５】この目的を達成する本発明のロードロック
式熱処理装置は、熱処理のための構成要素を下から取り
付け、取り外すことのできる処理チャンバーと、その中
へ非処理体を挿入、除去するためのエレベーターチャン
バーとから成り、移動機構により処理チャンバーを構成
要素とともに、エレベーターチャンバーから取り外し保
持し、移動させることができるロードロック式縦型熱処
理装置に、移動した処理チャンバー、構成要素を単独、
または個別にその上に載置し、昇降する載せ台を含む昇
降装置を取り付けて成る。

【００１６】昇降装置は、好適には、エレベーターチャ
ンバーの側面近傍で垂直に回転可能に取り付けられたボ
ールネジ、該ボールネジと螺合し、ボールネジの回転に
より昇降する取付け具、および該取付け具に取り付けら
れた載せ台から構成され、載せ台は、垂直位置と水平位
置の間を枢動可能に前記取付け具に取り付けられること
が望ましい。

【００１７】

【実施例】図１は、昇降装置がエレベーターチャンバー
の側面に取り付けられた熱処置装置を示す。螺刻された
ボールネジ３０が回転自在にエレベーターチャンバーの
側面に垂直に設置されている。そのボールネジ３０は略
Ｌ字形をした取付け具３１の螺刻された穴と螺合して伸
びている。したがって、ボールネジ３０の回転により取
付け具３１は昇降する。その取付け具３１の先端には、
載せ台３２が、垂直上向き位置（図１）から水平位置
（図２ａ）に枢動可能に取り付けれられている。もちろ
ん、水平位置で固定するようにすれば、垂直下向き位置
から枢動可能にいてもよい。

【００１８】ここで、取付け具３１が略Ｌ字形をしてい
るのは、載せ台３２を水平位置に倒したとき、その表面
と、エレベーターチャンバーの、処理チャンバー１がマ
ニホールド４を介して取り付けられる面と一致するよう
にするためである。

【００１９】処理チャンバー１内の構成要素、すなわち
仕切管３、マニホールド４に取り付けられた反応管２の
取り外しは次のように行う。処理チャンバー１１の下に
取り付けられたマニホールド４をエレベーターチャンバ
ー１１から取り外すとともに、ボールネジ３０を回転さ
せ、取付け具３１を上昇させ、載せ台３２の上面がエレ
ベーターチャンバー１１の上面と一致するように水平に
倒す（図２ａ）。

【００２０】移動機構（図示せず）により、処理チャン
バー１をマニホールド４とともに、載せ台３２の所定の
位置、すなわち処理チャンバー１の中心と載せ台３２の
中心とが一致する位置まで水平に移動させ、載せ台３２
上に載置する（図２ｂ）。移動機構による水平移動は、
処理チャンバー１の中心と載せ台３２の中心の中心とが
一致するように一度設定することで、水平に倒したとき
の載せ台３２の中心が常に一定であることから、次回に
取り付け、取り外しの際、容易に中心同士を一致させる
ことができる。

【００２１】そして、ボールネジ３０を反転させ、仕切
管３を載置した載せ台３２を下降させ、処理チャンバー
１より引き出す（図３ａ）。その間、処理チャンバー
１、反応管２は引き続き保持しておく。同様にして、反
応管２を処理チャンバー１より引き出す（図３ｂ）。こ
れら取り外しは同時にも行える。これら構成要素を取り
付けるときは、上記手順を逆に行う。

【００２２】このような取り付け取り外しが終了したと
きは、載せ台３２は垂直位置に持ち上げることにより、
熱処理装置の操作の邪魔にならない（図１）。

【００２３】

【発明の効果】本発明の昇降装置を有するロードロック
式縦型熱処理装置は、エレベーターチャンバーに取り付
けられ、かつ不使用時には折り畳むことができるので、
不必要な空間を占めることもなく、処理装置の操作の邪
魔とならない。

【００２４】また、昇降装置の中心は、常に一定である
ので、処理チャンバー、その内に備え付けられた反応管
等、マニホールドの中心と容易に一致させることがで
き、これら構成要素の取付け、取り外しが容易に行え
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の昇降装置が備え付けられエレベーター
チャンバーを有する熱処理装置の部分断面図を示す。

【図２】図２ａは、昇降装置の載せ台を最上位に配置
し、かつ水平にした状態を示し、図２ｂは、水平になっ
た載せ台上に仕切管等を載置した状態を示す。

【図３】図３ａは、載せ台上に載置された仕切管を下方
に下げた状態を示し、図３ｂはさらに載せ台上にさらに
反応管等を下方に下げた状態を示す。

【図４】従来の、エレベーターチャンバーを真下に備え
た熱処理装置の部分断面図である。

【図５】図５ａは、処理チャンバーをエレベーターチャ
ンバーから取り外した状態を示し、図５ｂは取り外した
処理チャンバーを水平に移動させた状態を示す。

【図６】図６ａは、取付け取り外し治具の真上に水平に
移動した処理チャンバーを配置し、処理チャンバー内の
仕切管を治具の載せ台上に載置して取り出した状態を示
し、図６ｂはさらに反応管を載せ台上に載置して取り出
した状態を示す。

【符号の説明】

１処理チャンバー２反応管３仕切管１１エレベーターチャンバー３０ボールネジ３１取付け具３２載せ台

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】熱処理のための構成要素を下から取り付
け、取り外すことのできる処理チャンバーと、その中へ
非処理体を挿入、除去するためのエレベーターチャンバ
ーとから成り、移動機構により前記処理チャンバーを構
成要素とともに、前記エレベーターチャンバーから取り
外し保持し、移動させることができるロードロック式縦
型熱処理装置において、移動した処理チャンバー、構成要素を単独、または個別
にその上に載置し、昇降する載せ台を含む昇降装置を有
する、ことを特徴とするロードロック式縦型熱処理装
置。
【請求項２】請求項１に記載のロードロック式縦型熱
処理装置であって、前記昇降装置が、前記エレベーター
チャンバーの側面近傍で垂直に回転可能に取り付けられ
たボールネジ、該ボールネジと螺合し、ボールネジの回
転により昇降する取付け具、および該取付け具に取り付
けられた載せ台から成る、ところのロードロック式縦型
熱処理装置。
【請求項３】請求項２に記載のロードロック式縦型熱
処理装置であって、前記載せ台が、垂直位置と水平位置
の間を枢動可能に前記取付け具に取り付けられる、とこ
ろのロードロック式縦型熱処理装置。