JPH0614829Y2 - 薄膜の形成装置 - Google Patents
薄膜の形成装置Info
- Publication number
- JPH0614829Y2 JPH0614829Y2 JP1987194963U JP19496387U JPH0614829Y2 JP H0614829 Y2 JPH0614829 Y2 JP H0614829Y2 JP 1987194963 U JP1987194963 U JP 1987194963U JP 19496387 U JP19496387 U JP 19496387U JP H0614829 Y2 JPH0614829 Y2 JP H0614829Y2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- coating
- polarity
- thin film
- atomized
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Description
【考案の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本考案は回転している基板に塗布物質をのせ、回転の遠
心力で塗布物質を一様にして薄膜を形成する装置の改善
に関するものである。
心力で塗布物質を一様にして薄膜を形成する装置の改善
に関するものである。
［従来の技術］ 従来における薄膜の形成装置を用いて薄膜を形成する手
順の一例を第３図に示す。
順の一例を第３図に示す。
この手順では、（ａ）図に示すように、回転するチャッ
ク１に固定された基板２に、液状の塗布物質３を細管４
から滴下し、（ｂ），（ｃ）図のように不均一になった
塗布物質を遠心力で拡げ、（ｄ）図のように塗布物質を
均一な薄膜にする。
ク１に固定された基板２に、液状の塗布物質３を細管４
から滴下し、（ｂ），（ｃ）図のように不均一になった
塗布物質を遠心力で拡げ、（ｄ）図のように塗布物質を
均一な薄膜にする。
［考案が解決しようとする問題点］ しかし、この装置では次の問題点があった。
塗布物質を滴下したとき、その滴下速度が速すぎた
り、液の粘度の大小により液が基板面に飛散し、それが
原因で塗りむらができることがある。
り、液の粘度の大小により液が基板面に飛散し、それが
原因で塗りむらができることがある。
基板面に最初に滴下する場所が中心であるため、塗布
膜の膜厚分布は中心が厚く、周囲が薄くなるという不均
一性が原理的に生じる。
膜の膜厚分布は中心が厚く、周囲が薄くなるという不均
一性が原理的に生じる。
回転により塗布物質が中心から周囲に拡がっていく
が、その拡がり方は下地の状態に大きく依存する。その
ため、塗布物質を均一に２重，３重に塗ることが非常に
難しい。
が、その拡がり方は下地の状態に大きく依存する。その
ため、塗布物質を均一に２重，３重に塗ることが非常に
難しい。
基板を回転させるとき、基板の中心と回転中心が完全
に一致しないと、基板の周辺部に塗りむらができる。
に一致しないと、基板の周辺部に塗りむらができる。
基板上にごみや粒子がある場合、その場所はもちろ
ん、回転中心とごみ等を結ぶ線上で基板外周側も塗りむ
らが生じるため、わずかなごみ等でも塗布膜特性に大き
な影響を与える。
ん、回転中心とごみ等を結ぶ線上で基板外周側も塗りむ
らが生じるため、わずかなごみ等でも塗布膜特性に大き
な影響を与える。
本考案は上述した問題点を解決するためになされたもの
であり、塗布物質を霧状に噴射し、霧状の塗布物質の極
性と基板の極性を制御することにより、液状の塗布物質
を均一に塗布でき、しかも異なる複数種の物質を多層に
塗布できる薄膜の形成装置を実現することを目的とす
る。
であり、塗布物質を霧状に噴射し、霧状の塗布物質の極
性と基板の極性を制御することにより、液状の塗布物質
を均一に塗布でき、しかも異なる複数種の物質を多層に
塗布できる薄膜の形成装置を実現することを目的とす
る。
［問題点を解決するための手段］ 本考案は、 回転する基板に液状の塗布物質をのせ、回転による遠心
力で塗布物質を一様にして薄膜を形成する装置におい
て、 塗布物質を霧状にして噴射する噴射手段と、 霧状にした塗布物質を第１の電源により帯電する帯電手
段と、 前記基板を帯電させる第２の電源と、 前記第１の電源と第２の電源の駆動を制御し、基板に第
１層を形成するときは前記霧状の塗布物質の極性と基板
の極性を逆にし、静電引力で霧状の塗布物質を基板に付
着させ、基板に第２層を形成するときは霧状の塗布物質
の極性を前記第１層の極性と逆にし、以下、層を形成す
る毎に塗布物質の極性を交互に変えるコントローラと、 を具備した薄膜の形成装置である。
力で塗布物質を一様にして薄膜を形成する装置におい
て、 塗布物質を霧状にして噴射する噴射手段と、 霧状にした塗布物質を第１の電源により帯電する帯電手
段と、 前記基板を帯電させる第２の電源と、 前記第１の電源と第２の電源の駆動を制御し、基板に第
１層を形成するときは前記霧状の塗布物質の極性と基板
の極性を逆にし、静電引力で霧状の塗布物質を基板に付
着させ、基板に第２層を形成するときは霧状の塗布物質
の極性を前記第１層の極性と逆にし、以下、層を形成す
る毎に塗布物質の極性を交互に変えるコントローラと、 を具備した薄膜の形成装置である。
［実施例］ 以下、図面を用いて本考案を説明する。
第１図は本考案にかかる薄膜の形成装置の一実施例の構
成図である。
成図である。
図で、１０は内部で薄膜が形成されるチャンバ、１１〜
１４はチャンバ１０内の気体の出入りを調整して薄膜形
成の雰囲気を作るバルブ、１５はバルブ１３の開閉状態
に応じてチャンバ１０内の気体を引くポンプである。
１４はチャンバ１０内の気体の出入りを調整して薄膜形
成の雰囲気を作るバルブ、１５はバルブ１３の開閉状態
に応じてチャンバ１０内の気体を引くポンプである。
１６は塗布液入口１７から流入する塗布液をチャンバ１
０内で霧状に噴射する噴射手段である。噴射手段１６と
塗布液入口１７は、多層薄膜を形成する場合は、形成す
る薄膜の種類に応じた数だけ設けられている。すなわ
ち、薄膜の種類数だけの噴射手段１６1〜１６nと塗布液
入口１７1〜１７nが図面と直交する方向に配列されてい
る。
０内で霧状に噴射する噴射手段である。噴射手段１６と
塗布液入口１７は、多層薄膜を形成する場合は、形成す
る薄膜の種類に応じた数だけ設けられている。すなわ
ち、薄膜の種類数だけの噴射手段１６1〜１６nと塗布液
入口１７1〜１７nが図面と直交する方向に配列されてい
る。
１８1，１８2は第１の電源１９で電界が生じさせられ、
この電界で噴射された塗布液を帯電する対向した平行平
板電極、２０は基板２１を固定した状態で回転するチャ
ック、２２は基板を帯電させる第２の電源、２３は第１
の電源１９と第２の電源２２の駆動を制御することによ
って噴射された塗布液の極性と基板の極性を制御するコ
ントローラである。
この電界で噴射された塗布液を帯電する対向した平行平
板電極、２０は基板２１を固定した状態で回転するチャ
ック、２２は基板を帯電させる第２の電源、２３は第１
の電源１９と第２の電源２２の駆動を制御することによ
って噴射された塗布液の極性と基板の極性を制御するコ
ントローラである。
請求範囲でいう帯電手段は平行平板電極１８1，１８2に
相当する。
相当する。
次に、このような装置の動作を説明する。
塗布液入口１７から流入した塗布液は、噴射手段１６を
通過した後、基板２１に向かって霧状に噴射させられ
る。このとき、平行平板電極１８1，１８2の電界により
霧状の塗布液は帯電させられ、帯電したまま基板２１に
塗布される。
通過した後、基板２１に向かって霧状に噴射させられ
る。このとき、平行平板電極１８1，１８2の電界により
霧状の塗布液は帯電させられ、帯電したまま基板２１に
塗布される。
基板２１にも第２の電源２２を通して電荷が与えられて
いる。
いる。
コントローラ２３は、第１の電源１９と第２の電源２２
の駆動を制御し、基板２１に第１層を形成するときは、
霧状の塗布液の極性を基板の極性と逆にする。また、第
２層を形成するときは、霧状の塗布液の極性を第１層の
極性と逆にする。以下、同様に霧状の塗布液の極性を交
互に変えて多層を形成していく。このようにして形成さ
れた層を第２図に示す。
の駆動を制御し、基板２１に第１層を形成するときは、
霧状の塗布液の極性を基板の極性と逆にする。また、第
２層を形成するときは、霧状の塗布液の極性を第１層の
極性と逆にする。以下、同様に霧状の塗布液の極性を交
互に変えて多層を形成していく。このようにして形成さ
れた層を第２図に示す。
チャンバ１０内の雰囲気は、塗布特性に応じて、真空で
も大気圧でも、また窒素を混入した気体の雰囲気であっ
てもよい。
も大気圧でも、また窒素を混入した気体の雰囲気であっ
てもよい。
多層の薄膜を形成する場合には、形成したい薄膜の材料
に応じて噴射手段１６1〜１６nを使い分ける。
に応じて噴射手段１６1〜１６nを使い分ける。
基板２１は塗布液の噴射を受けている間はチヤック２０
に固定されて回転させられ、塗布液の均一化が行なわれ
ている。
に固定されて回転させられ、塗布液の均一化が行なわれ
ている。
なお、噴射手段１６と基板２１の上下関係は図と逆にす
ることもできる。
ることもできる。
［効果］ 本考案によれば次の効果が得られる。
霧状になった塗布物質は基板に均一に塗布されるた
め、中央が厚く周辺部が薄いという膜の不均一性が本質
的になくなる。
め、中央が厚く周辺部が薄いという膜の不均一性が本質
的になくなる。
霧状の塗布物質は一度基板に吸着したら、均一な塗布
膜を形成するため、基板上をほとんど動く必要がない。
このため、塗布膜特性は下地についたごみ，粒子等の影
響を受けにくくなる。
膜を形成するため、基板上をほとんど動く必要がない。
このため、塗布膜特性は下地についたごみ，粒子等の影
響を受けにくくなる。
下地となっているを塗布膜の上に新たに塗布膜を重ね
る場合、下地の塗布膜の極性と、霧状の塗布物質（新た
な塗布膜を形成する物質）の極性を逆にし、静電引力で
霧状の塗布物質を下地の塗布膜上に付着させる。更に新
たに塗布膜を重ねる場合は、霧状の塗布物質の極性をそ
れまでの極性と逆にする。このようにして、塗布膜を重
ねる毎に霧状の塗布物質の極性を交互に変えている。こ
れによって、異なる複数種の物質を基板上に多層に塗布
できる。
る場合、下地の塗布膜の極性と、霧状の塗布物質（新た
な塗布膜を形成する物質）の極性を逆にし、静電引力で
霧状の塗布物質を下地の塗布膜上に付着させる。更に新
たに塗布膜を重ねる場合は、霧状の塗布物質の極性をそ
れまでの極性と逆にする。このようにして、塗布膜を重
ねる毎に霧状の塗布物質の極性を交互に変えている。こ
れによって、異なる複数種の物質を基板上に多層に塗布
できる。
第１図は本考案にかかる薄膜の形成装置の一実施例の構
成図、第２図は第１図の装置の動作説明図、第３図は従
来における薄膜形成手順を示した図である。 １６……噴射手段、１８1，１８2……帯電手段、１９…
…第１の電源、２０……チャンバ、２１……基板、２２
……第２の基板、２３……コントローラ。
成図、第２図は第１図の装置の動作説明図、第３図は従
来における薄膜形成手順を示した図である。 １６……噴射手段、１８1，１８2……帯電手段、１９…
…第１の電源、２０……チャンバ、２１……基板、２２
……第２の基板、２３……コントローラ。
Claims (1)
- 【請求項１】回転する基板（２１）に液状の塗布物質を
のせ、回転による遠心力で塗布物質を一様にして薄膜を
形成する装置において、 塗布物質を霧状にして噴射する噴射手段（１６）と、 霧状にした塗布物質を第１の電源（１９）により帯電す
る帯電手段（１８1），（１８2）と、 前記基板（２１）を帯電させる第２の電源（２２）と、 前記第１の電源（１９）と第２の電源（２２）の駆動を
制御し、基板（２１）に第１層を形成するときは前記霧
状の塗布物質の極性と基板（２１）の極性を逆にし、静
電引力で霧状の塗布物質を基板（２１）に付着させ、基
板（２１）に第２層を形成するときは霧状の塗布物質の
極性を前記第１層の極性と逆にし、以下、層を形成する
毎に塗布物質の極性を交互に変えるコントローラ（２
３）と、 を具備した薄膜の形成装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987194963U JPH0614829Y2 (ja) | 1987-12-23 | 1987-12-23 | 薄膜の形成装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987194963U JPH0614829Y2 (ja) | 1987-12-23 | 1987-12-23 | 薄膜の形成装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0199473U JPH0199473U (ja) | 1989-07-04 |
| JPH0614829Y2 true JPH0614829Y2 (ja) | 1994-04-20 |
Family
ID=31485662
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1987194963U Expired - Lifetime JPH0614829Y2 (ja) | 1987-12-23 | 1987-12-23 | 薄膜の形成装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0614829Y2 (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2630487B2 (ja) * | 1990-06-14 | 1997-07-16 | 富士写真フイルム株式会社 | 感光性印刷版の製造方法 |
| JP2622769B2 (ja) * | 1990-04-19 | 1997-06-18 | 富士写真フイルム株式会社 | 感光性印刷版の製造方法 |
| JP4493034B2 (ja) * | 2005-11-21 | 2010-06-30 | 東京エレクトロン株式会社 | 塗布膜の成膜方法及びその装置 |
| JP2015013244A (ja) * | 2013-07-04 | 2015-01-22 | カルソニックカンセイ株式会社 | 成膜装置及び成膜方法 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5832702Y2 (ja) * | 1980-07-31 | 1983-07-20 | 明世企業株式会社 | 吊り下げ人形用展示具 |
-
1987
- 1987-12-23 JP JP1987194963U patent/JPH0614829Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0199473U (ja) | 1989-07-04 |
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