JP2015013244A - 成膜装置及び成膜方法 - Google Patents
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Abstract
Description
図1を参照して、本発明の第1実施形態に係わる成膜装置の構成を説明する。成膜装置は、成膜される物質が溶液として供給され、当該物質を所定の基体支持台に載置された基体の上に成膜する装置である。このような成膜装置は、図1に示すように、成膜される物質を含む溶液LQを微粒子MPとして霧化させる霧化装置11と、霧化された微粒子MPを導体メッシュ13に向けて送り、且つ、導体メッシュ13の間を通過させる輸送部12と、微粒子MPがその間を通過する際に微粒子MPを帯電させる導体メッシュ13と、帯電した微粒子MPに静電引力を作用させて、基体Sb上に微粒子MPを堆積する基体支持台14とを備える。
図3を参照して、本発明の第2実施形態に係わる成膜装置の構成を説明する。第2実施形態に係わる成膜装置は、図1の成膜装置と比較して、以下の点が相違する。図1の成膜装置では基体Sbに接地電位を印加したが、第2実施形態に係わる成膜装置では、基体Sbに、第1の極性とは異なる第2の極性の電圧、即ち正の電圧29を印加する。その他の点については、図1の成膜装置と同じであり説明を省略する。
図5、表1及び表2を参照して、発明者が行った実験の結果を説明する。表1は、基体Sbに印加する電圧29を接地電位(0kV)に保持し、導体メッシュ13に印加する電圧28を変化させた場合の基体Sb上に成膜される薄膜の膜厚を示す。成膜時間は一定としている。導体メッシュ13に印加する電圧28を、0kV、−1kV、−3kV、−5kVに変化させた場合、薄膜の膜厚は、0nm、0nm、15.6nm、15.2nmとなった。電圧28の絶対値の上昇とともに、成膜速度が増加して膜厚も増加するが、膜厚は電圧28が−3kVの時に最大値(15.6nm)を取り、電圧28の絶対値の更なる上昇により膜厚は増加しない。
12…輸送部
13…導体メッシュ
14…基体支持台
LQ…溶液
MP…微粒子
Sb…基体
Claims (4)
- 成膜される物質を含む溶液(LQ)を微粒子(MP)として霧化させる霧化装置(11)と、
キャリアガスを導入し、導入されたキャリアガスの運動エネルギを用いて、霧化された前記微粒子(MP)を導体メッシュ(13)に向けて送り、且つ、前記導体メッシュ(13)の間を通過させる輸送部(12)と、
第1の極性の電圧(28)が印加されることにより、前記微粒子(MP)がその間を通過する際に前記微粒子(MP)を帯電させる前記導体メッシュ(13)と、
帯電した前記微粒子(MP)に静電引力を作用させて、基体(Sb)上に前記微粒子(MP)を堆積する基体支持台(14)と、
を備えることを特徴とする成膜装置。 - 前記基体支持台(14)は、基体(Sb)、或いは帯電した前記微粒子(MP)から見て前記基体(Sb)の後方に位置する導体板に、前記第1の極性とは異なる第2の極性の電圧(29)を印加することを特徴とする請求項1に記載の成膜装置。
- 前記導体メッシュ(13)に印加する電圧(28)の絶対値よりも、前記基体(Sb)或いは導体板に印加する電圧(29)の絶対値を大きくすることを特徴とする請求項2に記載の成膜装置。
- 成膜される物質を含む溶液(LQ)を微粒子(MP)として霧化させ、
導体メッシュ(13)に向かって流れるキャリアガスの運動エネルギを用いて、導体メッシュ(13)の間を霧化した前記微粒子(MP)を通過させ、
前記導体メッシュ(13)に電圧を印加することにより、前記導体メッシュ(13)の間を前記微粒子(MP)が通過する際に前記微粒子(MP)を帯電させ、
帯電した前記微粒子(MP)に静電引力を作用させて基体(Sb)上に前記微粒子(MP)を堆積する
ことを特徴とする成膜方法。
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