JPH0199473U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0199473U JPH0199473U JP19496387U JP19496387U JPH0199473U JP H0199473 U JPH0199473 U JP H0199473U JP 19496387 U JP19496387 U JP 19496387U JP 19496387 U JP19496387 U JP 19496387U JP H0199473 U JPH0199473 U JP H0199473U
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- JP
- Japan
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- power source
- substance
- substrate
- coating
- thin film
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims description 4
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims 6
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims 6
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims 4
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims 3
- 239000000463 material Substances 0.000 claims 2
- 238000005507 spraying Methods 0.000 claims 2
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims 1
- 239000003595 mist Substances 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
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Landscapes
- Coating Apparatus (AREA)
Description
第1図は本考案にかかる薄膜の形成装置の一実
施例の構成図、第2図は第1図の装置の動作説明
図、第3図は従来における薄膜形成手順を示した
図である。 16……噴射手段、181,182……電極、
19……第1の電源、20……チヤンバ、21…
…基板、22……第2の基板、23……コントロ
ーラ。
施例の構成図、第2図は第1図の装置の動作説明
図、第3図は従来における薄膜形成手順を示した
図である。 16……噴射手段、181,182……電極、
19……第1の電源、20……チヤンバ、21…
…基板、22……第2の基板、23……コントロ
ーラ。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 回転基板に液状の塗布物質をのせ、回転による
遠心力で塗布物質を一様にして薄膜を形成する装
置において、 塗布物質を霧状にして噴射する噴射手段と、 霧状にした塗布物質を第1の電源により帯電す
る帯電手段と、 前記第2の電源で帯電させられ、静電引力で前
記霧状の塗布物質が付着させられる基板と、 前記霧状の塗布物質の極性と基板の最上層の極
性が逆になるように前記第1の電源と第2の電源
の駆動を制御するコントローラ、 を具備した薄膜の形成装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1987194963U JPH0614829Y2 (ja) | 1987-12-23 | 1987-12-23 | 薄膜の形成装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1987194963U JPH0614829Y2 (ja) | 1987-12-23 | 1987-12-23 | 薄膜の形成装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0199473U true JPH0199473U (ja) | 1989-07-04 |
JPH0614829Y2 JPH0614829Y2 (ja) | 1994-04-20 |
Family
ID=31485662
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1987194963U Expired - Lifetime JPH0614829Y2 (ja) | 1987-12-23 | 1987-12-23 | 薄膜の形成装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0614829Y2 (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH041649A (ja) * | 1990-04-19 | 1992-01-07 | Fuji Photo Film Co Ltd | 感光性印刷版の製造方法 |
JPH0446342A (ja) * | 1990-06-14 | 1992-02-17 | Fuji Photo Film Co Ltd | 感光性印刷版の製造方法 |
JP2007142234A (ja) * | 2005-11-21 | 2007-06-07 | Tokyo Electron Ltd | 塗布膜の成膜方法及びその装置 |
JP2015013244A (ja) * | 2013-07-04 | 2015-01-22 | カルソニックカンセイ株式会社 | 成膜装置及び成膜方法 |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5731962U (ja) * | 1980-07-31 | 1982-02-19 |
-
1987
- 1987-12-23 JP JP1987194963U patent/JPH0614829Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5731962U (ja) * | 1980-07-31 | 1982-02-19 |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH041649A (ja) * | 1990-04-19 | 1992-01-07 | Fuji Photo Film Co Ltd | 感光性印刷版の製造方法 |
JPH0446342A (ja) * | 1990-06-14 | 1992-02-17 | Fuji Photo Film Co Ltd | 感光性印刷版の製造方法 |
JP2007142234A (ja) * | 2005-11-21 | 2007-06-07 | Tokyo Electron Ltd | 塗布膜の成膜方法及びその装置 |
JP4493034B2 (ja) * | 2005-11-21 | 2010-06-30 | 東京エレクトロン株式会社 | 塗布膜の成膜方法及びその装置 |
JP2015013244A (ja) * | 2013-07-04 | 2015-01-22 | カルソニックカンセイ株式会社 | 成膜装置及び成膜方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0614829Y2 (ja) | 1994-04-20 |
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