JPH0614500B2 - 磁器コンデンサ及びその製造方法 - Google Patents

磁器コンデンサ及びその製造方法

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JPH0614500B2
JPH0614500B2 JP2163921A JP16392190A JPH0614500B2 JP H0614500 B2 JPH0614500 B2 JP H0614500B2 JP 2163921 A JP2163921 A JP 2163921A JP 16392190 A JP16392190 A JP 16392190A JP H0614500 B2 JPH0614500 B2 JP H0614500B2
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弘志 岸
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Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本発明は、誘電体磁器層を少なくとも2以上の内部電極
で挟持してなる単層または積層構造の磁器コンデンサ及
びその製造方法に関するものである。
[従来の技術] 積層磁器コンデンサは、誘電体磁器原料粉末からなる未
焼結磁器シート(グリーンシート)に導電性ペーストを
所望パターンで印刷し、これを複数枚積み重ねて圧着
し、酸化性雰囲気中において1300℃〜1600℃で
焼成させて製造されている。
この焼成により、前記未焼結磁器シートは誘電体磁器層
となり、前記導電性ペーストは内部電極となる。
ところで、従来、前記導電性ペーストとしては白金また
はパラジウム等の貴金属を主成分とするものが使用され
ていた。
これは、導電性ペーストとして白金またはパラジウム等
の貴金属を主成分とするものを使用すれば、酸化性雰囲
気中において1300℃〜1600℃という高温で焼成
させても、導電性ペーストを酸化させることなく、所望
の内部電極に変性させることができるからである。
しかし、白金やパラジウム等の貴金属は高価であるた
め、必然的に積層磁器コンデンサがコスト高になるとい
う問題があった。
この問題を解決することができるものとして、本件出願
人に係わる特公昭60−20851号公報には、{(BaxC
aySrz)O}k(TinZr1-n)O2からなる基本成分と、Li
とSiOとMO(但し、MOはBaO,CaO,及び
SrOから選択された1種または2種以上の酸化物)か
らなる添加成分とを含む誘電体磁器組成物が開示されて
いる。
また、特開昭61−147404号公報には、{(Ba
1-x-yCaxSry)O}k(Ti1-zZrz)O2からなる基本成分とB
とSiOとLiOからなる添加成分とを含む誘
電体磁器組成物が開示されている。
また、特開昭61−147405号公報には、{(Ba
1-x-yCaxSry)O}k(Ti1-zZrz)O2からなる基本成分とB
とSiOからなる添加成分とを含む誘電体磁器組
成物が開示されている。
また、特開昭61−147406号公報には、{(Ba
1-x-yCaxSry)O}k(Ti1-zZrz)O2からなる基本成分とB
とSiOとMO(但し、MOはBaO,CaO及
びSrOから選択された1種または2種以上の酸化物)
からなる添加成分とを含む誘電体磁器組成物が開示され
ている。
これらの公報に開示されている誘電体磁器組成物は、還
元性雰囲気中における1200℃以下の比較的低い温度
の焼成で得ることができるものであるが、その比誘電率
εは5000以上、抵抗率ρは1×10MΩ・cm以
上である。
[発明が解決しようとする課題] ところで、近年における電子回路の高密度化への進展は
著しく、積層磁器コンデンサの小型化の要求は非常に強
い。
このため、積層磁器コンデンサの誘電体層を構成する誘
電体磁器組成物の比誘電率εを、他の電気的特性を悪化
させることなく、上記各公報に開示されている誘電体磁
器組成物の比誘電率εよりも更に増大させることが望ま
れていた。
そこで、本発明の目的は、非酸化性雰囲気中における1
200℃以下の温度の焼成で得られるものであるにもか
かわらず、誘電体層を構成している誘電体磁器組成物の
比誘電率εが7000以上、誘電体損失tanδが2.
5%以下、抵抗率ρが1×10MΩ・cm以上と、そ
の電気的特性が従来のものより更に優れた磁器コンデン
サ及びその製造方法を提供することにある。
[課題を解決するための手段] 本発明に係る磁器コンデンサは、誘電体磁器組成物から
なる誘電体磁器層と、この誘電体磁器層を教示している
少なくとも2以上の内部電極とを備えた磁器コンデンサ
において、 前記誘電体磁器組成物が、100.0重量部の基本成分
と、0.2〜5.0重量部の添加成分との混合物を焼成
したものからなり、 前記基本成分が {(Ba1-w-xCawSrx)O}k(Ti1-y-zZryRz)O2-z/2 (但し、Rは、Sc,Y,Gd,Dy,Ho,Er,Y
b,Tb,Tm及びLuから選択された1種または2種
以上の元素、 w,x,y,z,kは、 0≦w≦0.27 0<x≦0.37 0<y<0.26 0.05≦0.6x+y≦0.26 0.002≦z≦0.04 1.00≦k≦1.04 を満足する数値)であり、 前記添加成分がBとSiOとMO(但し、MO
はBaO,SrO,CaO,MgO及びZnOから選択
された1種または2種以上の酸化物)からなり、 前記Bと前記SiOと前記MOとの組成範囲
が、これらの組成をモル%で示す三角図において、 前記Bが1モル%、前記SiOが80モル%、
前記MOが19モル%の組成を示す第1の点Aと、 前記Bが1モル%、前記SiOが39モル%、
前記MOが60モル%の組成を示す第2の点Bと、 前記Bが30モル%、前記SiOが0モル%、
前記MOが70モル%の組成を示す第3の点Cと、 前記Bが90モル%、前記SiOが0モル%、
前記MOが10モル%の組成を示す第4の点Dと、 前記Bが90モル%、前記SiOが10モル
%、前記MOが0モル%の組成を示す第5の点Eと、 前記Bが20モル%、前記SiOが80モル
%、前記MOが0モル%の組成を示す第6の点Fと をこの順に結ぶ6本の直線で囲まれた領域内にあるもの
である。
ここで、基本成分の組成式中におけるCaの原子数の割
合、すなわちwの値を0≦w≦0.27としたのは、w
の値が、0≦w≦0.27の場合には、所望の電気的特
性を有するとともに、温度特性が平坦で、抵抗率ρの高
い焼結体を得ることができるが、0.27を越えた場合
には、焼成温度が1250℃を越えて高くなり、比誘電
率εも7000未満となるからである。
なお、このCaは、上述したように磁器コンデンサの温
度特性を平坦にし、また抵抗率ρの向上を図るために使
用する元素であるため、あえて含有させなくても、すな
わちwの値を零としても所望の電気的特性を有する焼結
体を得ることはできる。
また、関係式0.6x+yの値を0.05≦0.6x+
y≦0.26としたのは、関係式0.6x+yの値がこ
の範囲にある場合は、所望の電気的特性を有する焼結体
を得ることができるが、関係式0.6x+yの値が0.
05未満となったり、0.26を越えたりした場合は、
いずれも比誘導率ε 7000未満となるからであ
る。
但し、関係式0.6x+yの値が0.26以下であって
も、xの値が0.37を越えると、比誘導率εが70
00未満となる。従って、関係式0.6x+yの上限値
は0.26であるが、同時に、xの上限値は0.37と
しなければならない。
なお、x,yで割合が示されたSr,Zrはいずれもキ
ュリー点を低温側にシフトさせ、室温における比誘電率
を増大させる作用を有する元素であり、0<x≦0.3
7及び0<y<0.26を満足する範囲で、且つ、0.
05≦0.6x+y≦0.26を満足させる範囲で使用
することができる。
また、基本成分の組成式中におけるRの原子数の割合、
すなわちzの値を0.002≦z≦0.04としたの
は、zの値が、0.002≦z≦0.04の場合には所
望の電気的特性を有する焼結体を得ることができるが、
0.002未満になった場合には、誘電体損失tanδ
が大幅に悪化し、抵抗率ρも1×10MΩ・cm未満
となり、また、0.04を越えた場合には、焼成温度が
1250℃であっても緻密な焼結体を得ることができな
いからである。
なお、R成分のSc,Y,Gd,Dy,Ho,Er,Y
b,Tb,Tm及びLuはほゞ同様に働き、これ等から
選択された1つを使用しても、または複数を使用しても
同様な結果が得られる。
基本成分の組成式中における {(Ba1-w-xCawSrx)O} の割合、すなわちkの値を1.00≦k≦1.04とし
たのは、kの値が、1.00≦k≦1.04の場合に
は、所望の電気的特性を有する焼結体を得ることができ
るが、1.00未満になった場合には、抵抗率ρが1×
10MΩ・cm未満と、大幅に低くなり、1.04を
越えた場合には、緻密な焼結体を得ることができないか
らである。
なお、基本成分の組成式中におけるR成分のうちで、T
b,Tm及びLuは後記する第1表中に記載しなかった
が、これらも他のR成分と同様の作用効果を有するもの
である。
また、基本成分の中には、本発明の目的を阻害しない範
囲で微量のMnO(好ましくは(0.05〜0.1重
量%)等の鉱化剤を添加し、焼結性を向上させてもよ
い。また、その他の物質を必要に応じて添加してもよ
い。
また、基本成分を得るための出発原料としては、実施例
で示した以外の酸化物を使用してもよいし、水酸化物ま
たはその他の化合物を使用してもよい。
次に、添加成分の添加量を、100重量部の基本成分に
対して0.2〜5.0重量部としたのは、添加成分の添
加量がこの範囲内にある場合は1180〜1190℃の
焼成で所望の電気的特性を有する焼結体を得ることがで
きるが、0.2重量部未満になると、焼成温度が125
0℃であっても緻密な焼結体を得ることができないし、
また、5.0重量部を越えると、比誘導率εが700
0未満となるからである。
添加成分の組成を、BとSiOとMOとの組成
をモル%で示す三角図において、前記した点A〜Fをこ
の順に結ぶ6本の直線で囲まれた範囲内としたのは、添
加成分の組成をこの範囲内のものとすれば、所望の電気
的特性を有する焼結体を得ることができるが、添加成分
の組成をこの範囲外とすれば、緻密な焼結体を得ること
ができないからである。
なお、MO成分は、BaO,SrO,CaO,MgO,
ZnOのいずれか1つであってもよいし、または適当な
比率としてもよい。
次に、本発明に係る磁器コンデンサの製造方法は、前記
の基本成分と添加成分とからなる未焼結の磁器粉末から
なる混合物を調製する工程と、前記混合物からなる未焼
結磁器シートを形成する工程と、前記未焼結磁器シート
を少なくとも2以上の導電性ペースト膜で挟持させた積
層物を形成する工程と、前記積層物を非酸化性雰囲気中
において熱処理する工程と、前記熱処理を受けた積層物
を酸化性雰囲気中において熱処理する工程とを備えたも
のである。
ここで、非酸化性雰囲気としては、HやCOなどの還
元性雰囲気のみならず、NやArなどの中性雰囲気で
あってもよい。
また、非酸化性雰囲気中における熱処理の温度は、電極
材料を考慮して種々変更することができる。ニッケルを
内部電極とする場合には、1050℃〜1200℃の範
囲でニッケル粒子の凝集をほとんど生じさせることなく
熱処理することができる。
また、酸化性雰囲気中における熱処理の温度は、焼結温
度より低い温度であればよく、500〜1000℃の範
囲が好ましい。どのような温度にするかは、電極材料
(ニッケル等)の酸化と誘電体磁器層の酸化とを考慮し
て種々変更する必要がある。後述する実施例ではこの熱
処理の温度を600℃としたが、この温度に限定される
ものではない。
なお、本発明は積層磁器コンデンサ以外の一般的な単層
の磁器コンデンサにも勿論適用可能である。
[実施例] まず、第1表中の資料No.1の場合について説明す
る。
基本成分の調製 配合1の化合物を各々秤量し、これらの化合物をポット
ミルに、複数個のアルミナボール及び2.5の水とと
もに入れ、15時間撹拌混合して、混合物を得た。
ここで、配合1の各化合物の重量(g)は、前記基本成
分の組成式 {(Ba1-w-xCawSrx)O}k(Ti1-y-zZryRz)O2-z/2が、 {(Ba0.85Ca0.07Sr0.08)O}1.01 (Ti0.88Zr0.10HO0.02)O1.99…(1) となるように計算して求めた値である。
次に、前記混合物をステンレスポットに入れ、熱風式乾
燥器を用い、150℃で4時間乾燥し、この乾燥した混
合物を粗粉砕し、この粗粉砕した混合物をトンネル炉を
用い、大気中において約1200℃で2時間仮焼し、前
記組成式(1)で表わされる組成の基本成分の粉末を得
た。
添加成分の調製 また、配合2の化合物を各々秤量し、これらの化合物を
ポリエチレンポットに、複数個のアルミナボール及び3
00mlのアルコールとともに加え、10時間撹拌混合
して、混合物を得た。
ここで、配合2の各化合物の重量(g)は、B
1モル%、SiOが80モル%、MOが19モル%
{B(3.8モル%)+CaO(9.5モル%)
+MgO(5.7モル%)}の組成となるように計算し
て求めた値である。
また、MOのうちでBaO,CaO及びMgOの占める
割合は、BaOが20モル%、CaOが50モル%、M
gOが30モル%である。
次に、前記混合物を大気中において約1000℃の温度
で2時間仮焼し、これをアルミナポットに複数個のアル
ミナボール及び300mlの水とともに入れ、15時間
粉砕し、その後、150℃で4時間乾燥させ、前記組成
の添加成分の粉末を得た。
スラリーの調製 次に、100重量部(1000g)の前記基本成分と、
2重量部(20g)の前記添加成分とをボールミルに入
れ、更に、これらの基本成分と添加成分との合計重量に
対して15重量%の有機バインダーと50重量%の水を
入れ、これらを混合及び粉砕して誘電体磁器組成物の原
料となるスラリーを得た。
ここで、有機バインダーとしては、アクリル酸エステル
ポリマー、グリセリン及び縮合リン酸塩の水溶液からな
るものを使用した。
未焼結磁器シートの形成 次に、上記スラリーを真空脱泡機に入れて脱泡処理し、
この脱泡処理したスラリーをポリエステルフィルム上に
リバースコータを用いて所定の厚さで塗布し、この塗布
されたスラリーをこのポリエステルフィルムとともに1
00℃で加熱して乾燥させ、厚さ約25μmの長尺な未
焼結磁器シートを得た。そして、この長尺な未焼結磁器
シートを裁断して10cm角の未焼結磁器シートを得た。
導電性ペーストの調製と印刷 また、粒径平均1.5μmのニッケル粉末10gと、エ
チルセルロース0.9gをブチルカルビトール9.1g
に溶解させたものとを撹拌機に入れて10時間撹拌し、
内部電極用の導電性ペーストを得た。 そして、前記未
焼結磁器シートの片面にこの導電性ペーストからなるパ
ターン(長さ14mm、幅7mm)を50個、スクリー
ン印刷法によって形成させ、乾燥させた。
未焼結磁器シートの積層 次に、この未焼結磁器シートを、導電性ペーストからな
るパターンが形成されている側を上にして2枚積層し
た。この積層の際、隣接する上下の未焼結磁器シート間
において、導電性ペーストからなるパターンが長手方向
に半分程ずれるようにした。
そして、更に上記のようにして積層したものの上下両面
に厚さ60μmの未焼結磁器シートを各々4枚ずつ積層
して積層物を得た。
積層物の圧着と裁断 次に、約50℃の温度下において、この積層物に厚さ方
向から約40トンの荷重を加えて、この積層物を構成し
ている未焼結磁器シート相互を圧着させた。そして、こ
の積層物を格子状に裁断して、50個の積層体チップを
得た。
積層体チップの焼成 次に、この積層体チップを雰囲気焼成が可能な炉に入
れ、この炉内を大気雰囲気にし、100℃/hの速度で
600℃まで昇温させ、未焼結磁器シート中の有機バイ
ンダーを燃焼除去させた。
その後、炉内の雰囲気を大気雰囲気から還元雰囲気{H
(2体積%)+N(98体積%)}に変え、炉内の
温度を600℃から1160℃まで、100℃/hの速
度で昇温させ、1160℃の温度を3時間保持し、その
後、100℃/hの速度で降温させ、炉内の雰囲気を大
気雰囲気(酸化性雰囲気)に変え、600℃の温度を3
0分間保持して酸化処理を行い、その後、室温まで冷却
して積層焼結体チップを得た。
外部電極の形成 次に、この積層焼結体チップの対向する側面のうちで、
内部電極の端部が露出している側面に一対の外部電極を
形成し、第1図に示すような、3層の誘電体磁器層1
2,12,12と2層の内部電極14,14とからなる
積層焼結体チップ15の端部に一対の外部電極16,1
6が形成された積層磁とコンデンサ10が得られた。
ここで、外部電極16は、前記側面に亜鉛のガラスフリ
ット(glass frit)とビヒクル(vehicle)とからなる
導電性ペーストを塗布し、この導電性ペーストを、乾燥
後、大気中において550℃の温度で15分間焼き付け
て亜鉛電極層18とし、更にこの亜鉛電極層18の上に
無電解メッキ法で銅層20を形成し、さらにこの銅層2
0の上に電気メッキ法でPb−Sn半田層22を設ける
ことによって形成した。
なお、この積層磁器コンデンサ10の誘電体磁器層12
の厚さは0.02mm、一対の内部電極14,14の対
向面積は5mm×5mm=25mmである。また、焼
結後の誘電体磁器層12の組成は、焼結前の基本成分及
び添加成分の混合物の組成と実質的に同じである。
電気的特性の測定 次に、積層磁器コンデンサ10の電気的特性を測定し、
その平均値を求めたところ、第1表に示すように、比誘
導率εが155 00、tanδが1.2%、抵抗率
ρが3.09×10MΩ・cmであった。
なお、電気的特性は次の要領で測定した。
(A)比誘導率εは、温度20℃、周波数1kHz、電
圧(実効値)1.0Vの条件で静電容量を測定し、この
測定値と、一対の内部電極14,14の対向面積(25
mm)と一対の内部電極14,14間の誘電体磁器層
12の厚さ(0.02mm)から計算で求めた。
(B)誘電体損失tanδ(%)は、上記した比誘導率ε
の測定の場合と同一の条件で測定した。
(C)抵抗率ρ(MΩ・cm)は、温度20℃においてD
C100Vを1分間印加した後に、一対の外部電極1
6,16間の抵抗値を測定し、この測定値と寸法とに基
づいて計算で求めた。
以上、No.1の試料について述べたが、No.2〜8
9の試料についても、基本成分及び添加成分の組成を第
1表の左欄に示すように変え、還元性雰囲気中における
焼成温度を第1表の右欄に示すように変えた他は、N
o.1の試料と全く同一の方法で積層磁器コンデンサを
作成し、同一の方法で電気的特性を測定した。No.1
〜89の試料の焼成温度及び電気的特性は第1表の右欄
に示す通りとなった。
第1表において、1−w−xの欄には基本成分の組成式
におけるBaの原子数の割合が、wの欄には基本成分の
組成式におけるCaの原子数の割合が、xの欄には基本
成分の組成式におけるSrの原子数の割合が、1−y−
zの欄には基本成分の組成式におるTiの原子数の割合
が、yの欄には基本成分の組成式におけるZrの原子数
の割合が、zの欄には基本成分の組成式におけるRの原
子数の割合が、kの欄には基本成分の組成式における
{(Ba1-xCawSrx)O}の割合が示されている。
また、zの欄のSc,Y,Gd,Dy,Ho,Er,Y
bは基本成分の組成式中におけるRの内容を示し、これ
等の元素の各欄にはこれ等の元素の原子数の割合が示さ
れ、合計の欄にはこれ等の元素の原子数の割合の合計値
(z値)が示されている。
また、添加成分の内容の欄の添加量は基本成分100重
量部に対する重量部で示され、MOの内容の欄にはBa
O,SrO,CaO,MgO,ZnOの割合がモル%で
示されている。
また、No.1〜13の試料による実験は添加成分であ
るガラスの適正範囲を明らかにし、No.14〜19の
試料による実験はMOの種類の違いによる影響を明らか
にし、No.20〜31の試料による実験は添加成分で
あるガラスの添加量の適正範囲を明らかにし、No.3
2〜43の試料による実験はCaの原子数の割合である
w値の適正範囲を明らかにし、No.44〜59の試料
による実験はSrの原子数の割合であるx値と、Zrの
原子数の割合であるy値の適正範囲を明らかにし、N
o.66〜68の試料による実験はRの種類の違いによ
る影響の明らかにし、No.69〜79の試料による実
験はRの原子数の割合であるz値の適正範囲を明らかに
し、No.80〜89の試料による実験は{(Ba1-xCawSr
x)O}の割合であるkの適正範囲を明らかにするものであ
る。
第1表から明らかなように、本発明に従う試料によれば
非酸化性雰囲気中における1200℃以下の焼成で、比
誘導率εが7000以上、誘電体損失tanδが2.
5%以下、抵抗率ρが1×10MΩ・cm以上の電気
的特性を有する誘電体磁器組成物を備えた磁器コンデン
サを得ることができるものである。
これに対し、No.11〜13,20,25,26,3
1,37,43,44,49,57,59,69,7
4,75,79,80,84,85及び89の試料によ
れば、所望の電気的特性を有する磁器コンデンサを得る
ことができない。従って、これらのNo.の試料は本発
明の範囲外のものである。
次に、本発明に係る磁器コンデンサに用いられている誘
電体磁器組成物の組成範囲の限定理由について、第1表
に示す実験結果を参照しながら説明する。
まず、基本成分の組成式中におけるCaの原子数の割
合、すなわちwの値について説明する。
wの値が、試料No.36及び42に示すように、0.
27の場合には、所望の電気的特性を有する焼結体を得
ることができるが、試料No.37及び43に示すよう
に、0.30の場合には、焼成温度が1250℃と高く
なり、比誘導率εも7000未満となる。従って、w
の上限値は0.27である。
また、Caは温度特性を平坦にする作用及び抵抗率gρ
を向上させる作用を有するが、wの値が零であっても所
望の電気的特性の焼結体を得ることができる。従って、
wの下限値は零である。
次に、基本成分の組成式中におけるSrの原子数の割合
であるxの値と、Zrの原子数の割合であるyの値を、
関係式0.6x+yの値で表わした場合について説明す
る。
関係式0.6x+yの値が、試料No.50に示すよう
に、0.05の場合には、所望の電気的特性を有する焼
結体を得ることができるが、試料No.44に示すよう
に、0.03の場合には、比誘電率εが7000未満
となる。従って、関係式0.6x+yの下限値は0.0
5である。
一方、関係式0.6x+yの値が、試料No.56,5
8に示すように、0.260,0.258の場合は、所
望の電気的特性を有する焼結体を得ることができるが、
試料No.57,59に示すように、0.26を越えて
0.290,0.285になった場合には、比誘電率ε
が7000未満となる。従って、関係式0.6x+y
の上限値は0.26である。
但し、関係式0.6x+yの値が0.26以下であって
も、試料No.49に示すように、xの値が0.37を
越えて0.40になった場合は、比誘電率εが700
0未満となる。従って、関係式0.6x+yの上限値は
0.26であるが、同時に、xの上限値は0.37とし
なければらない。
なお、x,yで示されるSr,Zrはキュリー点を低温
側にシフトさせ、室温における比誘導率を増大させる同
様の作用を有し、0<x≦0.37及び0<y<0.2
6を満足する範囲で、且つ、0.05≦0.6x+y≦
0.26を満足させる範囲で使用することができる。
次に、基本成分の組成式中におけるRの原子数の割合、
すなわちzの値について説明する。
zの値が、試料No.70及び76に示すように、0.
002の場合には所望の電気的特性を有する焼結体を得
ることができるが、試料No.69及び75に示すよう
に、0.001の場合には、誘電体損失tanδが大幅
に悪化し、抵抗率ρも1×10MΩ・cm未満とな
る。従って、zの下限値は0.002である。
一方、zの値が、試料No.73及び78に示すよう
に、0.04の場合には所望の電気的特性を有する焼結
体を得ることができるが、試料No.74及び79に示
すように、0.06の場合には、焼成温度が1250℃
であっても緻密な焼結体を得ることができない。従っ
て、zの上限値は0.04である。
なお、R成分のSc,Y,Dy,Ho,Er,Ybはほ
ゞ同様に働き、これ等から選択された1つを使用して
も、または複数を使用しても同様な結果が得られる。
次に、基本成分の組成式中における {(Ba1-w-xCawSrx)O} の割合、すなわちkの値について説明する。
kの値が、試料No.81及び86に示すように、1.
00の場合には、所望の電気的特性を有する焼結体を得
ることができるが、試料No.80及び85に示すよう
に、0.99の場合には、抵抗率ρが1×10MΩ・
cm未満と、大幅に低くなる。従って、kの下限値は
1.00である。
一方、kの値が、試料No.83及び88に示すよう
に、1.04の場合には所望の電気的特性の焼結体を得
ることができるが、試料No.84及び89に示すよう
に、1.05の場合には、緻密な焼結体を得ることがで
きない。従って、kの上限値は1.04である。
次に、添加成分の添加量について説明する。
添加成分の添加量が、試料No.21及び27に示すよ
うに、100重量部の基本成分に対して0.2重量部の
場合には、1180〜1190℃の焼成で所望の電気的
特性を有する焼結体を得ることができるが、添加成分の
添加量が零の場合には、試料No.20及び26に示す
ように、焼成温度が1250℃であっても緻密な焼結体
を得ることができない。従って、添加成分の下限値は、
100重量部の基本成分に対して0.2重量部である。
一方、添加成分の添加量が、試料No.24及び30に
示すように、100重量部の基本成分に対して5重量部
の場合には、所望の電気的特性を有する焼結体を得るこ
とができるが、添加成分の添加量が、試料No.25及
び31に示すように、100重量部の基本成分に対して
7重量部の場合には、比誘電率εが7000未満とな
る。従って、添加成分の添加量の上限値は、100重量
部の基本成分に対して5重量部である。
次に添加成分の好ましい組成範囲について説明する。
添加成分の好ましい組成範囲は、第2図のB−S
iO−MOの組成比を示す三角図に基づいて決定する
ことができる。
三角図の第1の点Aは、試料No.1のBが1モ
ル%、SiOが80モル%、前記MOが19モル%の
組成を示し、第2の点Bは、試料No.2のB
1モル%、SiOが39モル%、MOが60モル%の
組成を示し、第3の点Cは、試料No.3のB
30モル%、SiOが0モル%、MOが70モル%の
組成を示し、第4の点Dは、試料No.4のB
90モル%、前記SiOが0モル%、MOが10モル
%の組成を示し、第5の点Eは、試料No.5のB
が90モル%、SiOが10モル%、MOが0モル
%の組成を示し、第6の点Fは、試料No.6のB
が20モル%、SiOが80モル%、MOが0モル
%の組成を示す。
本発明の組成範囲に属する試料の添加成分は、第2図に
示す三角図の第1〜6の点A〜Fをこの順に結ぶ6本の
直線で囲まれた範囲内となっている。
添加成分の組成をこの範囲内のものとすれば、所望の電
気的特性を有する焼結体を得ることができる。一方、試
料No.11〜13のように、添加成分の組成を本発明
で特定した範囲外とすれば、緻密な焼結体を得ることが
できない。
なお、MO成分は、例えば試料No.14〜18に示す
ように、BaO,SrO,CaO,MgO,ZnOのい
ずれか1つであってもよいし、または他の試料に示すよ
うに適当な比率としてもよい。
[発明の効果] 本発明によれば、磁器コンデンサの誘電体層を構成して
いる誘電体磁器組成物の組成を前述したように構成した
ので、非酸化性雰囲気中における1200℃以下の焼成
であるにもかかわらず、その比誘電率εを7000〜
19400と飛躍的に向上させることができ、従って、
磁器コンデンサの小型化大容量化を図ることが可能にな
った。
そして、磁器コンデンサの小型大容量化を図ることがで
きるようになったので、ニッケル等の卑金属の導電性ペ
ーストを内部電極の形成に用いることと相まって、磁器
コンデンサの低コスト化を図ることが可能になった。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の実施例に係る積層型磁器コンデンサの
断面図、第2図は添加成分の組成範囲を示す三角図であ
る。 12……誘電体磁器層、14……内部電極 15……積層焼結体チップ、16……外部電極 18……亜鉛電極層、20……銅層 22……Pb−Sn半田層

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】誘電体磁器組成物からなる誘電体磁器層
    と、この誘電体磁器層を挟持している少なくとも2以上
    の内部電極とを備えた電磁コンデンサにおいて、 前記誘電体磁器組成物が、100.0重量部の基本成分
    と、0.2〜5.0重量部の添加成分との混合物を焼成
    したものからなり、 前記基本成分が、 {(Ba1-w-xCawSrx)O}k(Ti1-y-zZryRz)O2-z/2 (但し、Rは、Sc,Y,Gd,Dy,Ho,Er,Y
    b,Tb,Tm及びLuから選択された1種または2種
    以上の元素、 w,x,y,z,kは、 0≦w≦0.27 0<x≦0.37 0<y<0.26 0.05≦0.6x+y≦0.26 0.002≦z≦0.04 1.00≦k≦1.04 を満足する数値)であり、 前記添加成分がBとSiOとMO(但し、MO
    はBaO,SrO,CaO,MgO及びZnOから選択
    された1種または2種以上の酸化物)からなり、 前記Bと前記SiOと前記MOとの組成範囲
    が、これらの組成をモル%で示す三角図において、 前記Bが1モル%、前記SiOが80モル%、
    前記MOが19モル%の組成を示す第1の点Aと、 前記Bが1モル%、前記SiOが39モル%、
    前記MOが60モル%の組成を示す第2の点Bと、 前記Bが30モル%、前記SiOが0モル%、
    前記MOが70モル%の組成を示す第3の点Cと、 前記Bが90モル%、前記SiOが0モル%、
    前記MOが10モル%の組成を示す第4の点Dと、 前記Bが90モル%、前記SiOが10モル
    %、前記MOが0モル%の組成を示す第5の点Eと、 前記Bが20モル%、前記SiOが80モル
    %、前記MOが0モル%の組成を示す第6の点Fと をこの順に結ぶ6本の直線で囲まれた領域内にあること
    を特徴とする磁器コンデンサ。
  2. 【請求項2】未焼結の磁器粉末からなる混合物を調製す
    る工程と、前記混合物からなる未焼結磁器シートを形成
    する工程と、前記未焼結磁器シートを少なくとも2以上
    の導電性ペースト膜で挟持させた積層物を形成する工程
    と、前記積層物を非酸化性雰囲気中において熱処理する
    工程と、 前記熱処理を受けた積層物を酸化性雰囲気中において熱
    処理する工程とを備え、 前記未焼結の磁器粉末からなる混合物が、100.0重
    量部の基本成分と、0.2〜5重量部の添加成分とから
    なり、 前記基本成分が、 {(Ba1-w-xCawSrx)O}k(Ti1-y-zZryRz)O2-z/2 (但し、Rは、Sc,Y,Gd,Dy,Ho,Er,Y
    b,Tb,Tm及びLuから選択された1種または2種
    以上の元素、 w,x,y,z,kは、 0≦w≦0.27 0<x≦0.37 0<y<0.26 0.05≦0.6x+y≦0.26 0.002≦z≦0.04 1.00≦k≦1.04 を満足する数値)であり、 前記添加成分がBとSiOとMO(但し、MO
    はBaO,SrO,CaO,MgO及びZnOから選択
    された1種または2種以上の酸化物)からなり、 前記Bと前記SiOと前記MOとの組成範囲
    が、これらの組成をモル%で示す三角図において、 前記Bが1モル%、前記SiOが80モル%、
    前記MOが19モル%の組成を示す第1の点Aと、 前記Bが1モル%、前記SiOが39モル%、
    前記MOが60モル%の組成を示す第2の点Bと、 前記Bが30モル%、前記SiOが0モル%、
    前記MOが70モル%の組成を示す第3の点Cと、 前記Bが90モル%、前記SiOが0モル%、
    前記MOが10モル%の組成を示す第4の点Dと、 前記Bが90モル%、前記SiOが10モル
    %、前記MOが0モル%の組成を示す第5の点Eと、 前記Bが20モル%、前記SiOが80モル
    %、前記MOが0モル%の組成を示す第6の点Fと をこの順に結ぶ6本の直線で囲まれた領域内にあること
    を特徴とする磁器コンデンサの製造方法。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61101459A (ja) * 1984-10-20 1986-05-20 京セラ株式会社 非還元性高誘電率系誘電体磁器組成物
JPS61147406A (ja) * 1984-12-18 1986-07-05 太陽誘電株式会社 誘電体磁器組成物

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