JPH06112187A - スピンドライヤ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 回転面に直角にセットされた被乾燥物Ｗを、
排水に都合の良い姿勢に簡単な構造で傾斜させる。 【構成】 被乾燥物Ｗを収容するクレードル３０，３０
を回転機構２０に傾動自在に取り付ける。クレードル３
０，３０の各下面に重り３２，３２を取り付ける。クレ
ードル３０，３０の旋回に伴って重り３２，３２に遠心
力が生じ、この遠心力によりクレードル３０，３０が傾
斜する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、半導体ウエハ等の如き
薄板状の被乾燥物を回転乾燥させるスピンドライヤに関
する。

【０００２】

【従来の技術】従来より、半導体ウエハの乾燥には、ス
ピンドライヤが多用されている。これは、乾燥槽内の水
平な回転テーブル上の周方向複数位置にクレードルと呼
ばれるカセット保持体を設け、多数枚の半導体ウエハを
収納したカセットを各クレードルにセットする構成とな
っている。そして、回転テーブルが水平面内で高速回転
することにより、半導体ウエハの表面が遠心力と相対的
に生じる風力とにより乾燥される。

【０００３】図４はスピンドライヤの従来例を示す。１
は回転テーブル、２はクレードル、Ｗは半導体ウエハで
ある。半導体ウエハＷは、通常はカセットに収納された
状態でクレードル２に支持されることにより、回転テー
ブル１の水平な回転面の接線に直角な水平方向、即ち、
回転テーブル１の半径方向に間隔をあけて垂直に並列さ
れる。

【０００４】図４のようなスピンドライヤでは、半導体
ウエハＷの板面が回転方向に平行となり、風力による排
水性は良い。しかし、回転方向に直角に生じる遠心力が
半導体ウエハＷの板面に直角となり、遠心力による排水
性は悪い。そのため、クレードル２に半導体ウエハＷを
セットした後、半導体ウエハＷの板面が回転面に平行と
なるように、クレードル２を傾斜させる必要があり、そ
の傾動機構が実開昭６１−１７７３２号公報、実開平４
−５６３５号公報等に開示されている。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、これら
の傾動機構は、いずれも動力を用いてクレードルを強制
的に傾斜させる構成のため、その構成が複雑で高価であ
った。

【０００６】本発明の目的は、回転面に直角にセットさ
れた薄板状の被乾燥物を、動力を用いずに排水に好都合
な姿勢まで傾斜させることができる構造簡単なスピンド
ライヤを提供することにある。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本発明のスピンドライヤ
は、回転面を水平とする回転機構と、回転機構の水平な
回転面の接線に直角な方向に間隔をあけて薄板状の被乾
燥物を垂直に支持すると共に、前記回転面の接線方向に
配設された支持軸により回転機構に傾動自在に支持され
て、回転機構により旋回させるクレードルと、クレード
ルの旋回に伴う遠心力によりクレードルが支持軸回りに
傾動するようクレードルに取り付けた重りとを具備する
ことを特徴とする。

【０００８】

【作用】クレードルに被乾燥物がセットされた状態で
は、その被乾燥物が垂直であり、板面が遠心力の作用す
る方向に対して直角となる。回転機構によりクレードル
を旋回させると、クレードルに取り付けた重りに遠心力
が作用し、その遠心力によりクレードルが傾斜して、被
乾燥物が水平に近づき、遠心力の作用する方向に板面が
沿う。

【０００９】

【実施例】以下に本発明の実施例を図面に基づいて説明
する。図１は本発明のスピンドライヤの一例についてそ
の主要部を示す縦断側面図、図２は主要部の平面図、図
３は主要部の動作を説明するための縦断側面図である。

【００１０】本スピンドライヤは、円形の乾燥槽１０を
具備している。乾燥槽１０の中心部には、回転機構２０
が配設されている。回転機構２０は、乾燥槽１０の中心
に垂直に設けられた回転軸２１を有する。回転軸２１
は、乾燥槽１０の下方に設けたモータ２２により回転
し、その上端に支持した水平なフレーム２３をその中央
を中心に回転させる。

【００１１】フレーム２３の両端部には、一対のクレー
ドル３０，３０が取り付けられている。クレードル３０
は、フレーム２３の回転に伴って水平面内を旋回する。
一方、その旋回面の接線方向を向けた水平な支持軸３１
により傾動自在に支持されており、フレーム２３が回転
しない状態では、下面に取り付けた重り３２により、装
入口を上方に向けた垂直姿勢となる。そして、その装入
口よりウエハカセットを装入する。これにより、被乾燥
物である半導体ウエハＷが、旋回面の接線に直角な水平
方向に間隔をあけて垂直に支持される。

【００１２】クレードル３０，３０の下方には、その固
定機構４０が設けられている。固定機構４０は、一端部
が回動自在に支持された水平状の架台４１を有する。架
台４１はその中央部を回転軸２１が貫通し、他端部がシ
リンダー４２により昇降される。そして、架台４１がシ
リンダー４２により上昇された状態で、架台４１上のス
トッパー４３，４３がクレードル３０，３０の各重り３
２，３２に押圧されて、クレードル３０，３０を垂直姿
勢に固定し、架台４１が下降した状態で、クレードル３
０，３０を回転自在および傾動自在の状態にする。

【００１３】本スピンドライヤを用いて半導体ウエハＷ
の乾燥を行うには、まず、クレードル３０，３０を固定
機構４０により垂直状態に固定して、クレードル３０，
３０内に、半導体ウエハＷを収納したカセットをセット
する。次いで、クレードル３０，３０の固定状態を解除
し、回転機構２０によりクレードル３０，３０を水平面
内で旋回させる。

【００１４】クレードル３０が旋回すると、その下面に
設けた重り３２に遠心力が作用し、その下面が外周側を
向くようにクレードル３０が支持軸３１を中心に傾動す
る。その結果、クレードル３０内の半導体ウエハＷは、
水平に近づき、遠心力の作用する方向に板面が沿う。従
って、遠心力による板面の排水性が良くなる。また、板
面は旋回面の接線方向を向いたままであるので、風力に
よる排水性は低下しない。

【００１５】クレードル３０の回転が停止すると、重り
の３２の自重によりクレードル３０が再び垂直状態とな
り、この状態に固定してクレードル３０から半導体ウエ
ハＷを取り出す。

【００１６】本実施例ではクレードルにウエハカセット
をセットするが、被乾燥物をクレードルに直接セットす
ることも可能である。

【００１７】

【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
のスピンドライヤは、回転面に直角にセットされた薄板
状の被乾燥物を、動力を用いずに排水に好都合な姿勢ま
で傾斜させることができるので、傾斜のための動力源お
よびリンク等の動力伝達機構を必要とせず、傾斜構造が
非常に簡単となる。従って、製造コストが下がり、ま
た、故障が少なくメンテナンス性も向上する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明のスピンドライヤの一例についてその主
要部を示す縦断側面図である。

【図２】主要部の平面図である。

【図３】主要部の動作を説明するための縦断側面図であ
る。

【図４】本発明が対象とするスピンドライヤの概略構成
図である。

【符号の説明】

１０ 乾燥槽 ２０ 回転機構 ３０ クレードル ３１ 支持軸 ３２ 重り ４０ 固定機構 Ｗ 半導体ウエハ（被乾燥物）

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 回転面を水平とする回転機構と、回転機
   構の水平な回転面の接線に直角な方向に間隔をあけて薄
   板状の被乾燥物を垂直に支持すると共に、前記回転面の
   接線方向に配設された支持軸により回転機構に傾動自在
   に支持されて、回転機構により旋回されるクレードル
   と、クレードルの旋回に伴う遠心力によりクレードルが
   支持軸回りに傾動するようクレードルに取り付けた重り
   とを具備することを特徴とするスピンドライヤ。