JPH06111738A - チップイングラス蛍光表示パネル - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】グラフィックタイプのチップイングラス蛍光表
示パネルを実現するための構造を提供する。 【構成】グリッドの端部に平坦部を設け、この平坦部を
ガラス基板上に面接触させると共に、隣にグリッド電極
端子を設け、先端が長短二つに分割された金属条の短い
側を平坦部に、長い側をグリッド電極端子に接触させる
ことによって電気的導通をとるようにする。 【効果】グリッド表面の特殊処理が不必要であり、従来
の製造技術の応用で、確実にグラフィックタイプの蛍光
表示パネルをチップイングラス化することができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、駆動用半導体素子を真
空外囲器内に内蔵するチップイングラス蛍光表示パネル
に関し、特にグリッドとグリッド駆動用半導体素子との
間を接続する構造に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、駆動用半導体素子を真空外囲器内
に内蔵するチップイングラス蛍光表示パネルにおいて
は、ガラス基板上の陽極配線はアルミニウム薄膜で形成
されており、陽極配線と陽極駆動用半導体素子との間を
アルミニウム極細線を用いるワイヤボンディング法で接
続する方法が取られていた。即ち、陽極配線はアルミニ
ウムであるためワイヤボンディングが容易に実施でき
た。

【０００３】一方、図４（ａ）に示すようにグリッド１
はガラス製スペーサ３の上に張架し、結晶化ガラス１６
で固定したガラス基板２２上の立体構造物であり、グリ
ッド１とグリッド駆動用半導体素子２との間にはアルミ
ニウム薄膜から成るグリッド配線４を設け、各々の間を
ボンディングワイヤ５で接続していた。

【０００４】ところで、グリッドの材料は鉄・ニッケル
・クロム合金が使われているために、そのままではワイ
ヤボンディングが出来ず、図４（ｂ）に示すように予
め、グリッド材の表面にスパッタリング、イオンプレー
ティング、真空蒸着等の方法を用いてアルミニウム被膜
６を形成し、ワイヤボンディングが出来るようにする必
要があった。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】上述したように、従来
の真空外囲器内に駆動用半導体素子を内蔵するチップイ
ングラス蛍光表示パネルにおいては、グリッドとグリッ
ド駆動用半導体素子とを電気的に接続するためにワイヤ
ボンディング法が用いられていたが、信頼性の高いワイ
ヤボンディングを実現するためには、同一材質どうしの
接合が不可欠であり、このためにはグリッドの表面にア
ルミニウム被膜を形成しなければならなかった。

【０００６】特にグラフィック蛍光表示パネルに用いる
グリッドは鉄・ニッケル・クロム合金の極薄い板をエッ
チング加工して作っており、こうして作られたグリッド
の所定の部分にアルミニウム被膜を形成することは、部
品の取扱の点からも大変であり、加工費用がかなり高く
つくという欠点があった。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本発明のチップイングラ
ス蛍光表示パネルは、線状または梯子上のグリッドの端
部に矩形の平坦部を設け、平坦部がガラス基板上に面接
触するように固定することと、所定の間隔で並んだ矩形
の平坦部の間のガラス基板上にアルミニウム薄膜から成
るグリッド電極端子を矩形の平坦部に隣接するように形
成し、グリッド電極端子から伸びるグリッド配線の一方
の端部をグリッド駆動用半導体素子の出力にワイヤボン
ディング法で接続することと、先端部が長短二つに分割
され且つ、への字に整形された金属条の短い側をグリッ
ド端部の矩形の平坦部に接触させ、長い側を隣接するグ
リッド電極端子に接触するように配置し、二股の金属条
をガラス基板とカバーガラスの間に挟み込んで低融点ガ
ラスで固定することを特徴とする。

【０００８】

【実施例】次に本発明について図面を用いて説明する。
図１は本発明の第１の実施例を示す平面図であり、図２
は本実施例に用いる金属条を示す斜視図である。ガラス
基板２２上にアルミニウム薄膜から成る所定の間隔の線
状の表示部とそれに続く陽極駆動用半導体素子７搭載部
のボンディングバッド８までの陽極配線９、所定の位置
にグリッド電極端子１０とそれに続くグリッド駆動用半
導体素子２搭載部のボンディングパッド８までのグリッ
ド配線４及び所定の外部引き出し用電極端子１１とそれ
に続く両駆動用半導体素子搭載部のボンディングパッド
８までの信号・電源用配線１２をスパッタリング、フォ
トリソグラフ法で形成する。

【０００９】アルミニウム薄膜配線の上には所定の開口
部等のパターンを有する絶縁層１３を厚膜プリント法で
形成し、この後、所定の部位にセグメント電極（図示せ
ず）、蛍光体層１４、封止用のフリットガラス層（図示
せず）を形成する。次に、表示部を形成する線状の蛍光
体層１４の両側に所定の厚さを有するガラス製スペーサ
３を配置し結晶化ガラス１６で固定した。

【００１０】次に、本発明の主たる部分の一つであるグ
リッド１を暑さ０．１ｔのステンレス板からフォトエッ
チング法で、０．８ｍｍのピッチで並ぶ線状の部分と両
端に交互に矩形の平坦部１５を形成した。このグリッド
１をガラス製スペーサ３上に線状の蛍光体層１４に対し
て直角に張架し、グリッド端部の矩形の平坦部１５がガ
ラス基板２２上に面接触し且つ、グリッド電極端子１０
と交互に並ぶように配置し、結晶化ガラス１６で固定し
た。

【００１１】次に、陽極駆動用半導体素子７及びグリッ
ド駆動用半導体素子２を絶縁層１３の上の所定の搭載部
にダイボンディングし、次に、ワイヤボンディング法に
より両駆動用半導体素子と周囲のボンディングパッド８
との間をボンディングワイヤ５で接続した。

【００１２】一方、外部引き出しリード１７や図２に示
すように本発明のもう一つの主たる部分となる先端部が
長短二つに分割された金属上１８を有し、真空外囲器内
に搭載設置する電極部品などを取り付けるためのフレー
ムを厚さ０．３ｔの４２６合金板からフォトエッチング
法により形成した。

【００１３】ここで、外部引き出しリード１７群は周囲
の枠部分（図示せず）まで伸びて繋がり、先端部が長短
二つに分割された金属条１８群もまた同様に伸びて周囲
の枠部分で繋がっていて、このフレームの外部引き出し
リード１７と二股の金属条１８の先端部をへの字に整形
し、フィラメントやその他の電極部品を取り付ける部分
の整形加工する。この、への字に整形された外部引き出
しリード１７の先端をガラス基板２２上の外部引き出し
用電極端子１１に接触させる。

【００１４】ところで、グリッド端部の矩形の平坦部１
５の上面はグリッド材自身の板厚相当分だけガラス基板
２２より上にある。一方、グリッド電極端子１０はガラ
ス基板２２上に形成され、その周囲には絶縁層１３があ
る。従って、平坦部１５の上面とグリッド電極端子１０
との高低差は約０．１〜０．２ｍｍにも達する。この高
低差を吸収するには接触させるべき爪の長さに差を持た
せて、整形後の先端の位置に高低差を持たせる必要があ
る。それ故、への字に整形された二股の金属条１８の短
い側の先端をグリッド端部の矩形の平坦部１５に接触さ
せ、長い側を隣接するグリッド電極端子１０に接触する
ように配置し、更に電極部品（図示せず）を所定の位置
に載せ、金属条１８と外部引き出しリード１７を同時に
ガラス基板２２とカバーガラス２１の間に挟み込んで低
融点ガラスを用いて約４５０℃で封着し、次いで真空排
気した。

【００１５】この後、外部引き出しリード１７を周囲で
繋いでいる枠部分（図示せず）から切り離し各々を独立
させ、グリッド電極端子接続用の金属条１８は真空外囲
器の周囲で切り落とすことで各々を独立させ、チップイ
ングラス蛍光表示パネルを完成させた。

【００１６】こうして完成したグラフィックタイプのチ
ップイングラス蛍光表示パネルは外部引き出しリードが
陽極及びグリッド駆動用半導体素子に信号と電源を供給
するため及びフィラメントに電源を供給するためだけの
リードで済むことになり、実装し易く、使い易いという
利点があった。

【００１７】また、先端部が長短二つに分割され且つ、
への字に整形された金属条の短い側をグリッド端部の矩
形の平坦部に接触させ、長い側を隣接する電極端子に接
触させることでグリッドとグリッド駆動用半導体素子と
をより完全に電気的に接続することが可能になり、従来
のようにワイヤボンディング法を用いる必要がなく、従
ってグリッドの表面にアルミニウム被膜を形成するとい
う余計な加工工程が不要であり、作り易くて安価なチッ
プイングラス蛍光表示パネルを提供できる。

【００１８】図３は本発明の第２の実施例のグリッド部
分を示す図面であり、その他の部分は図１の第１の実施
例と同じである。この実施例のグリッド１’は、厚さ
０．１ｔのステンレス板からフォトエッチング法で、
１．５ｍｍのピッチで並ぶ梯子状１９の部分と片側端部
にベタの平坦部１５を形成した構造を有している。ここ
で平坦部１５は梯子状１９の部分よりやや小さくし、グ
リッド電極端子１０ときれいに並ぶようにしてある。こ
のようなグリッドを用いても第１の実施例と同様の効果
が得られる。

【００１９】

【発明の効果】以上説明したように、本発明の主たる部
分の一つである互いに所定の間隔で並ぶ梯子状または線
状の部分と端部に矩形の平坦部を有するグリッドを形成
したことと、先端部が長短二つに分割され且つ、への字
に整形された金属条の短い側をグリッド端部の矩形の平
坦部に接触させ、長い側を隣接するガラス基板上のグリ
ッド電極端子に接触させることでグリッドとグリッド駆
動用半導体素子とを電気的に接続することが可能にな
り、従来のようにグリッドとグリッド駆動用半導体素子
とを電気的に接続するためにワイヤボンディング法を用
いる必要がなく、従ってグリッドの表面にアルミニウム
被膜を形成するという余計な加工工程が不要であり、作
り易くて安価なチップイングラス蛍光表示パネルを提供
できる。

【００２０】また、グリッド端部の矩形の平坦部の上面
とグリッド電極端子とに高低差があり、この高低差を吸
収するには接触させるべき爪の長さに差を持たせて、整
形後の先端の位置に高低差を持たせる必要がある故、へ
の字に整形された二股の金属条の短い側の先端をグリッ
ド端部の矩形の平坦部に接触させ、長い側を隣接するグ
リッド電極端子に接触するように配置することは、より
完全な電気的接続が可能であった。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施例を示す平面図である。

【図２】本発明に用いる金属条を示す斜視図である。

【図３】本発明の第２の実施例のグリッド部分を示す平
面図である。

【図４】（ａ）は、従来のチップイングランス蛍光表示
パネルに於けるグリッドとグリッド駆動用半導体素子と
を電気的に接続する構造を示す図、（ｂ）は従来のグリ
ッドを示す斜視図である。

【符号の説明】

１，１’ グリッド ２ グリッド駆動用半導体素子 ３ ガラス製スペーサ ４ グリッド配線 ５ ボンディングワイヤ ６ アルミニウム被膜 ７ 陽極駆動用半導体素子 ８ ポンディングパッド ９ 陽極配線 １０ グリッド電極端子 １１ 外部引き出し用電極端子 １２ 信号、電源用配線 １３ 絶縁層 １４ 蛍光体層 １５ 平坦部 １６ 結晶化ガラス １７ 外部引き出しリード １８ 金属条 １９ 梯子状部分 ２１ カバーガラス ２２ ガラス基板

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 表示部がガラス基板上に所定の間隔で形
   成されたアルミニウム薄膜配線上に形成された線状、ま
   たはドット状の蛍光体層から成り、このアルミニウム薄
   膜配線に対し直角にグリッドが互いに所定の間隔で並び
   且つ、前記ガラス基板上に所定の空間を保つためのガラ
   ス製スペーサを介して張架固定され、駆動用半導体素子
   を真空外囲器内に内蔵するチップイングラス蛍光表示パ
   ネルにおいて、前記グリッドが線状または梯子状でその
   端部に矩形の平坦部を有し、平坦部がガラス基板上に面
   接触するように固定することと、所定の間隔で並んだ前
   記矩形の平坦部の間のガラス基板上にアルミニウムから
   成るグリッド電極端子を矩形の平坦部に隣接するように
   形成することと、ガラス基板上に形成されたグリッド電
   極端子から伸びる配線の一方の端部をグリッド駆動用半
   導体素子の出力にワイヤボンディング法で接続すること
   と、蛍光体層が形成されたガラス基板上のアルミニウム
   薄膜配線の一方の端部を陽極駆動用半導体素子の出力に
   ワイヤボンディング法で接続することと、先端部が長短
   二つの爪に分割され且つ、への字に整形された金属条の
   分割された短い側をグリッド端部の矩形の平坦部に接触
   させ、長い側を隣接するグリッド電極端子に接触するよ
   うに配置し、金属条をガラス基板とカバーガラスの間に
   挟み込んで低融点ガラスで固定することを特徴とするチ
   ップイングラス蛍光表示パネル。