JPH05266835A - チップイングラス蛍光表示パネル - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】グラフィックタイプのチップイングラス蛍光表
示パネルを実現するためのグリッド接続構造を提供す
る。 【構成】グリッドの端部に平坦部を設け、この平坦部を
ガラス基板上に面接触させると共に、その隣にグリッド
電極端子を設け、両者を同一中心線上に二つのツメを有
する金属条でそれぞれ接触させて電気的導通をとるよう
にする。 【効果】グリッド表面の特殊処理が不必要であり、従来
の製造技術の応用で確実にグラフィックタイプの蛍光表
示パネルをチップイングラス化することができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は駆動用半導体素子を真空
外囲器内に内蔵するチップイングラス蛍光表示パネルに
関し、特にグリッドとグリッド駆動用半導体素子との間
を接続する構造に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、駆動用半導体素子を真空外囲器内
に内蔵するチップイングラス蛍光表示パネルにおいて
は、ガラス基板上の陽極配線はアルミニウム薄膜で形成
されており、陽極配線と陽極駆動用半導体素子との間を
アルミニウム極細線を用いるワイヤボンディング法で接
続する方法が取らめていた。即ち、陽極配線はアルミニ
ウムであるためワイヤボンディグが容易に実施できた。

【０００３】一方、図４（ａ）に示すようにグリッド１
はガラス製スペーサ３の上に張架し、結晶化ガラス１６
で固定したガラス基板２２上の立体構造物であり、グリ
ッド１とグリッド駆動用半導体素子２との間にはアルミ
ニウム薄膜から成るグリッド配線４を設け、各々の間を
ボンディングワイヤ５で接続していた。

【０００４】ところで、グリッドの材料は鉄・ニッケル
・クロム合金が使われているために、そのままではワイ
ヤボンディングが出来ず、図４（ｂ）に示すように予
め、グリッド材の表面にスパッタリング、イオンプレー
ティング、真空蒸着等の方法を用いてアルミニウム被膜
６を形成し、ワイヤボンディングが出来るようにする必
要があった。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】上述したように、従来
の真空外囲器内に駆動用半導体素子を内蔵するチップイ
ングラス蛍光表示パネルにおいては、グリッドとグリッ
ド駆動用半導体素子とを電気的に接続するためにワイヤ
ボンディング法が用いられていたが、信頼性の高いワイ
ヤボンディングを実現するためには、同一材質どうしの
接合が不可欠であり、このためにはグリッドの表面にア
ルミニウム被膜を形成しなければならなかった。

【０００６】特にグラフィック蛍光表示パネルに用いる
グリッドは鉄・ニッケル・クロム合金の極く薄い板をエ
ッチング加工して作っており、こうして作られたグリッ
ドの所定の部分にアルミニウム被膜を形成することは、
部品の取扱いの点からも大変であり、加工費用がかなり
高くつくという欠点があった。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本発明のチップイングラ
ス蛍光表示パネルは、線状または梯子状のグリッドの端
部に矩形の平坦部を設け、平坦部がガラス基板上に面接
触するように固定することと、所定の間隔で並んだ矩形
の平坦部の延長線状のガラス基板上にアルミニウム薄膜
から成りグリッド電極端子を矩形の平坦部に隣接するよ
うに形成し、グリッド電極端子から伸びるグリッド配線
の一方の端部をグリッド駆動用半導体素子の出力にワイ
ヤボンディング法で接続することと、先端部がへの字に
整形された第１の爪を有し、先端部より所定の距離だけ
離れた内側にくり抜かれてへの字に整形された第２の爪
を有する金属条を形成し、この金属条の第１の爪をグリ
ッド端部の矩形の平坦部に接続させ、第２の爪を隣接す
るグリッド電極端子に接触するように配置し、金属条を
ガラス基板とカバーガラスの間に挟み込んで低融点ガラ
スで固定することを特徴とする。

【０００８】

【実施例】次に本発明について図面を用いて説明する。
図１は本発明の第１の実施例を示す図面であり、図２は
本発明に用いる金属条を示す斜視図である。ガラス基板
２２上にアルミニウム薄膜から成る所定の間隔の線状の
表示部とそれに続く陽極駆動用半導体素子７搭載部のボ
ンディングパット８までの陽極配線９、所定の位置にグ
リッド電極端子１０とそれに続くグリッド駆動用半導体
素子２搭載部のボンディングパッド８までのグリッド配
線４及び所定の外部引き出し用電極端子１１とそれに続
く両駆動用半導体素子搭載部のボンディングバッド８ま
での信号・電源用配線１２をスパッタリング、フォトリ
ソグラフ法で形成する。

【０００９】アルミニウム薄膜配線の上には所定の開口
部等のパターンを有する絶縁層１３を厚膜プリント法で
形成し、この後、所定の部位にセグメント電極（図示せ
ず）、蛍光体層１４、封止用のフリットガラス層（図示
せず）を形成する。次に、表示部を形成する線状の蛍光
体層１４の両側に所定の厚さを有するガラス製スペーサ
３を配置し結晶化ガラス１６で固定した。

【００１０】次に、本発明の主たる部分の一つであるグ
リッド１を厚さ０．１ｔのステンレス板からフォトエッ
チング法で、０．８ｍｍのピッチで並ぶ線状の部分と片
側端部に矩形の平坦部１５を形成した。このグリッド１
をガラス製スペーサ３上に線状の蛍光体層１４に対して
直角に張架し、グリッド端部の矩形の平坦部１５がガラ
ス基板２２上に面接触し且つグリッド電極端子１０に並
ぶように配置し、結晶化ガラス１６で固定した。

【００１１】次に、陽極駆動用半導体素子７及びグリッ
ド駆動用半導体素子２を絶縁層１３の上の所定の搭載部
にダイボンディングし、次に、ワイヤボンディング法に
より両駆動用半導体素子と周囲のボンディングバッド８
との間をボンディングワイヤ５で接続した。

【００１２】一方、外部引き出しリード１７や図２に示
す本発明のもう一つの主たる部分となる先端部とその少
し内側に二つの爪が形成された金属条１８を有し、真空
外囲器内に搭載、設置する電極部品などを取り付けるた
めのフレームを厚さ０．３ｔの４２６合金板からフォト
エッチング法により形成した。

【００１３】ここで、外部引き出しリード１７群は周囲
の枠部分（図示せず）まで伸びて繋がり、二つの層があ
る金属条１８群もまた同様に伸びて周囲の膜部分で繋が
っていて、このフレームの外部引き出しリード１７と金
属条１８の二つの爪をへの字に整形し、フィラメントや
その他の電極部品を取り付ける部分の整形加工する。

【００１４】この、への字に整形された外部引き出しリ
ード１７の先端をガラス基板２２上の外部引き出し用電
極端子１１に接触させ、への字に整形された二つの爪を
有する金属上１８の第１の爪の先端をグリッド端部の矩
形の平坦部１５に接触させ、第２の爪を隣接するグリッ
ド電極端子１０に接触するように配置し、更に電極部品
（図示せず）を所定の位置に載せ、金属条１８と外部引
き出しリード１７を同時にガラス基板２２とカバーガラ
ス２１の間に挟み込んで低融点ガラスを用いて膜４５０
℃で封着し、次いで真空排気した。

【００１５】この後、外部引き出しリード１７を周囲で
繋いでいる枠部分（図示せず）から切り放し各々を独立
させ、グリッド電極端子接続用の金属条１８は真空外囲
器の周囲で切り落とすことで各々を独立させ、チップイ
ングラス蛍光表示パネルを完成させた。

【００１６】こうして完成したグラフィックタイプのチ
ップイングラス蛍光表示パネルは外部引き出しリードが
陽極及びグリッド駆動用半導体素子に信号と電源を供給
するため及びフィラメントに電源を供給するためだけの
リードで済むことになり、実装し易く使い易いという利
点があった。

【００１７】また、先端部がへの字に整形された第１の
爪を有し、先端部より所定の距離だけ離れた内側にくり
抜かれてへの字に整形された第２の爪を有する金属条を
形成し、この金属条の第１の爪をグリッド端部の平坦部
に接触させ、第２の爪を隣接するグリッド電極端子に接
触させることでグリッドとグリッド駆動用半導体素子と
を電気的に接続することが可能になり、従来のようにワ
イヤボンディング法を用いる必要がなく、従ってグリッ
ドの表面にアルミニウム被膜を形成するという余計な加
工工程が不要であり、作り易くて安価なチップイングラ
ス蛍光表示パネルを提供できる。

【００１８】図３は本発明の第２の実施例のグリッド部
分を示す図面であり、その他の部分は図１の第１の実施
例と同じである。

【００１９】本実施例のグリッド１’は、厚さ０．１ｔ
のステンレス板からフォトエッチング法で、１．５ｍｍ
のピッチで並ぶ梯子状１９の部分と片側端部にベタの平
坦部１５を形成した構造を有する。このグリッド１’を
用いても第１の実施例と同様の効果を得ることができ
る。

【００２０】

【発明の効果】以上説明したように、本発明の主たる部
分の一つである互いに所定の間隔で並ぶ梯子状または線
状の部分と端部に矩形の平坦部を有するグリッドを形成
したことと、先端部がへの字に整形された第１の爪を有
し、先端部より所定の距離だけ離れた内側にくり抜かれ
てへの字に形成された第２の爪を有する金属条を形成
し、この金属条の第１の爪をグリッド端部の矩形の平坦
部に接触させ、第２の爪を隣接するガラス基板上のグリ
ッド電極端子に接触させることでグリッドとグリッド駆
動用半導体素子とを電気的に接続することが可能にな
り、従来のように、グリッドとグリッド駆動用半導体素
子とを電気的に接続するためにワイヤボンディング法を
用いる必要がなく、従ってグリッドの表面にアルミニウ
ム被膜を形成するという余計な加工工程が不要であり、
作り易くて安価なチップイングラス蛍光表示パネルを提
供できる。また、第１の爪と第２の爪がグリッドの延長
線上にあり、横に広がらないため、グリッドのピッチが
小さいものでも金属状を片側に並べることができる利点
がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施例を示す平面図である。

【図２】本発明に用いる金属条を示す斜視図である。

【図３】本発明の第２の実施例のグリッド部分を示す平
面図である。

【図４】（ａ）は従来のチップイングラス蛍光表示パネ
ルに於けるグリッドとグリッド駆動用半導体素子とを電
気的に接続する方法を示す斜視図，（ｂ）は従来のグリ
ッドを示す斜視図である。

【符号の説明】

１，１’ グリッド ２ グリッド駆動用半導体素子 ３ ガラス製スペーサ ４ グリッド配線 ５ ポンディングワイヤ ６ アルミニウム被膜 ７ 陽極駆動用半導体素子 ８ ボンディングバッド ９ 陽極配線 １０ グリッド電極端子 １１ 外部引き出し用電極端子 １２ 信号、電源用配線 １３ 絶縁層 １４ 蛍光体層 １５ 平坦部 １６ 結晶化ガラス １７ 外部引き出しリード １８ 金属条 １９ 梯子状部分 ２１ カバーガラス ２２ ガラス基板

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 表示部がガラス基板上に所定の間隔で形
   成されたアルミニウム薄膜配線上に形成された線状、ま
   たはドット状の蛍光体層から成り、このアルミニウム薄
   膜配線に対し直角にグリッドが互いに所定の間隔で並び
   且つ、前記ガラス基板上に所定の空間を保つためのガラ
   ス製スペーサを介して張架固定され、駆動用半導体素子
   を真空外囲器内に内蔵するチップイングラス蛍光表示パ
   ネルにおいて、前記グリッドが線状でその端部に矩形の
   平坦部を有し、平坦部がガラス基板上に面接触するよう
   に固定することと、所定の間隔で並んだ前記矩形の平坦
   部の延長線上のガラス基板上にアルミニウムから成るグ
   リッド電極端子を矩形の平坦部に隣接するように形成す
   ることと、ガラス基板上に形成されたグリッド電極端子
   から伸びる配線の一方の端部をグリッド駆動用半導体素
   子の出力にワイヤボンディング法で接続することと、蛍
   光体層が形成されたガラス基板上のアルミニウム薄膜配
   線の一方の端部を陽極駆動用半導体素子の出力にワイヤ
   ボンディング法で接続することと、先端部がへの字に整
   形された第１の爪を有し、先端部より所定の距離だけ離
   れた内側にくり抜かれてへの字に整形された第２の爪を
   有する金属条を形成し、この金属条の第１の爪をグリッ
   ド端部の矩形の平坦部に接触させ、第２の爪を隣接する
   グリッド電極端子に接触するように配置し、金属条をガ
   ラス基板とカバーガラスの間に挟み込んで低融点ガラス
   で固定することを特徴とするチップイングラス蛍光表示
   パネル。