JPH06104330A - 円弧部有する板状物の自動芯出し装置 - Google Patents
円弧部有する板状物の自動芯出し装置Info
- Publication number
- JPH06104330A JPH06104330A JP36145791A JP36145791A JPH06104330A JP H06104330 A JPH06104330 A JP H06104330A JP 36145791 A JP36145791 A JP 36145791A JP 36145791 A JP36145791 A JP 36145791A JP H06104330 A JPH06104330 A JP H06104330A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- chuck
- sensors
- centering
- central axis
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Control Of Position Or Direction (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Manipulator (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 無段階的に種々寸法の異なるウエハなどであ
っても連続的に芯出しでき、しかもその芯出しを簡易且
つ正確に行える装置となす。 【構成】 投光手段７と受光手段８からなるビームセン
サー９を少なくとも３対設けると共に、これらのセンサ
ーは各投光手段から投射されるビームＢが仮想正円錐体
Ｈの母線をなすものとなる所要の配置となし、一方では
ウエハｗなどを把持するためのチャックＣを前記仮想正
円錐体の中心軸ｘの方向へ及びその中心軸と直交した面
上の任意位置へ移動させるものとしたアームロボットを
設けると共にこのロポットを前記センサーの検出信号に
基づいて作動させるための制御装置を設けたものとな
す。
っても連続的に芯出しでき、しかもその芯出しを簡易且
つ正確に行える装置となす。 【構成】 投光手段７と受光手段８からなるビームセン
サー９を少なくとも３対設けると共に、これらのセンサ
ーは各投光手段から投射されるビームＢが仮想正円錐体
Ｈの母線をなすものとなる所要の配置となし、一方では
ウエハｗなどを把持するためのチャックＣを前記仮想正
円錐体の中心軸ｘの方向へ及びその中心軸と直交した面
上の任意位置へ移動させるものとしたアームロボットを
設けると共にこのロポットを前記センサーの検出信号に
基づいて作動させるための制御装置を設けたものとな
す。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は円弧部有する板状物（例
えばプリント基板材料となるウエハなど）の自動芯出し
装置に関する。
えばプリント基板材料となるウエハなど）の自動芯出し
装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】ウエハの自動芯出し装置はウエハの外周
端を検出することによりウエハ芯の位置を自動的に一定
位置に移動させるようになしたもので、例えば図６に示
すようなものが存在している。図中、１は回転台であっ
て、ウエハｗを水平状態に吸着支持すると共に中心軸ｓ
回りに回転されるものとなされている。２はこの回転台
１を水平面に沿った直交二軸の方向へ移動させるＸＹテ
ーブルである。３ａ及び３ｂ及び３ｃはウエハのオリフ
ラを検出させるための半導体発光素子であり、これら素
子に対向して半導体受光素子４ａ、４ｂ、４ｃが設けて
ある。５はウエハｗの外周端を検出するための一つの半
導体発光素子であり、これに対向して同じく一つの半導
体受光素子６が設けてある。
端を検出することによりウエハ芯の位置を自動的に一定
位置に移動させるようになしたもので、例えば図６に示
すようなものが存在している。図中、１は回転台であっ
て、ウエハｗを水平状態に吸着支持すると共に中心軸ｓ
回りに回転されるものとなされている。２はこの回転台
１を水平面に沿った直交二軸の方向へ移動させるＸＹテ
ーブルである。３ａ及び３ｂ及び３ｃはウエハのオリフ
ラを検出させるための半導体発光素子であり、これら素
子に対向して半導体受光素子４ａ、４ｂ、４ｃが設けて
ある。５はウエハｗの外周端を検出するための一つの半
導体発光素子であり、これに対向して同じく一つの半導
体受光素子６が設けてある。
【０００３】しかして、その作動は次のように行われ
る。即ち、回転台１上に一枚のウエハｗが図示しないロ
ボットにより載置されると、回転台１はこのウエハを真
空圧により吸着固定する。次いでＸＹテーブル２及び回
転台１が半導体受光素子４ａ、４ｂ、４ｃ、６の検出信
号などに関連して作動するものとなって、回転台１に固
定されたウエハｗを先づはその外周端が半導体発光素子
３ａ、３ｂ、３ｃ、５と半導体受光素子４ａ、４ｂ、４
ｃ、６との間に位置するものとなるように移動させ、そ
の後、半導体受光素子６がその外周端を検出した瞬間に
他の３つの半導体受光素子４ａ、４ｂ、４ｃがそのオリ
フラを検出するものとなる位置、即ちウエハｗと各素子
４ａ、４ｂ、４ｃ、６が図７に示すような相対配置とな
る位置に向けて移動させる。この移動が終了するとウエ
ハｗは芯出しされた状態となり、適宜な搬出手段により
他所へ搬出されるものとなる。以後は同じことの繰り返
しである。
る。即ち、回転台１上に一枚のウエハｗが図示しないロ
ボットにより載置されると、回転台１はこのウエハを真
空圧により吸着固定する。次いでＸＹテーブル２及び回
転台１が半導体受光素子４ａ、４ｂ、４ｃ、６の検出信
号などに関連して作動するものとなって、回転台１に固
定されたウエハｗを先づはその外周端が半導体発光素子
３ａ、３ｂ、３ｃ、５と半導体受光素子４ａ、４ｂ、４
ｃ、６との間に位置するものとなるように移動させ、そ
の後、半導体受光素子６がその外周端を検出した瞬間に
他の３つの半導体受光素子４ａ、４ｂ、４ｃがそのオリ
フラを検出するものとなる位置、即ちウエハｗと各素子
４ａ、４ｂ、４ｃ、６が図７に示すような相対配置とな
る位置に向けて移動させる。この移動が終了するとウエ
ハｗは芯出しされた状態となり、適宜な搬出手段により
他所へ搬出されるものとなる。以後は同じことの繰り返
しである。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上記した従来の芯出し
装置にあっては単にウエハの片半分の外周端のみを検出
してその芯出し行うことから、外形寸法に誤差のあるウ
エハを芯出しする場合とか或いは設計寸法の異なるウエ
ハを芯出しするような場合において、これらウエハは図
２に仮想線で示したウエハｗ’の位置に位置決めされる
ものとなり、誤差などのあるウエハｗ’の芯ｐ’は寸法
誤差などのないウエハｗの芯ｐ位置と較べて距離ｅだけ
隔たった位置に位置決めされてしまうという問題があ
る。本発明は斯かる問題点を解消させるものとなすほ
か、無段階的に寸法の異なったウエハであってもこれら
を連続的且つ正確に処理できるものとした円弧部有する
板状物の自動芯出し装置を提供することを目的とする。
装置にあっては単にウエハの片半分の外周端のみを検出
してその芯出し行うことから、外形寸法に誤差のあるウ
エハを芯出しする場合とか或いは設計寸法の異なるウエ
ハを芯出しするような場合において、これらウエハは図
２に仮想線で示したウエハｗ’の位置に位置決めされる
ものとなり、誤差などのあるウエハｗ’の芯ｐ’は寸法
誤差などのないウエハｗの芯ｐ位置と較べて距離ｅだけ
隔たった位置に位置決めされてしまうという問題があ
る。本発明は斯かる問題点を解消させるものとなすほ
か、無段階的に寸法の異なったウエハであってもこれら
を連続的且つ正確に処理できるものとした円弧部有する
板状物の自動芯出し装置を提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
本発明では図１に示すように投光手段７と受光手段８か
らなるビームセンサー９を少なくとも３対設けると共
に、これらのセンサー９は各投光手段７から投射される
ビームＢが仮想正円錐体Ｈの母線をなすものとなる所要
の配置となし、一方では図２に示すような板状体（ウエ
ハｗなど）を把持するためのチャックＣを前記仮想正円
錐体Ｈの中心軸ｘの方向へ及びその中心軸ｘと交叉した
面上の任意位置へ移動させるものとしたアームロボット
を設けると共にこのロボットを前記センサーの検出信号
に基づいて作動させるための制御装置を設けたことを特
徴とする。
本発明では図１に示すように投光手段７と受光手段８か
らなるビームセンサー９を少なくとも３対設けると共
に、これらのセンサー９は各投光手段７から投射される
ビームＢが仮想正円錐体Ｈの母線をなすものとなる所要
の配置となし、一方では図２に示すような板状体（ウエ
ハｗなど）を把持するためのチャックＣを前記仮想正円
錐体Ｈの中心軸ｘの方向へ及びその中心軸ｘと交叉した
面上の任意位置へ移動させるものとしたアームロボット
を設けると共にこのロボットを前記センサーの検出信号
に基づいて作動させるための制御装置を設けたことを特
徴とする。
【０００６】いま、仮想正円錐体Ｈをその中心軸ｘに直
交した面で切断すると図３に示すようになるが、少なく
とも３対のビームセンサー９は投光手段７から投射され
た少なくとも３本のビームＢが同図において次のような
配置となるように設定しなければならないのであって、
即ち仮想正円錐体Ｈの周面を表示する円ｍ上に在る三本
のビームＢ、Ｂ、Ｂを直線ｍ１、ｍ２、ｍ３で結んだ場
合に仮想正円錐体Ｈの中心軸Ｘ位置がをこれら直線ｍ
１、ｍ２、ｍ３で形成された三角形の内方に位置するよ
うになす。
交した面で切断すると図３に示すようになるが、少なく
とも３対のビームセンサー９は投光手段７から投射され
た少なくとも３本のビームＢが同図において次のような
配置となるように設定しなければならないのであって、
即ち仮想正円錐体Ｈの周面を表示する円ｍ上に在る三本
のビームＢ、Ｂ、Ｂを直線ｍ１、ｍ２、ｍ３で結んだ場
合に仮想正円錐体Ｈの中心軸Ｘ位置がをこれら直線ｍ
１、ｍ２、ｍ３で形成された三角形の内方に位置するよ
うになす。
【０００７】
【作用】各ビームセンサー９の投光手段７からビームＢ
が投射されると、これらの少なくとも３本のビームＢは
仮想正円錐体Ｈの母線を形成するものとなる。一方、ア
ームロボットは制御装置からの作動指令によりチャック
Ｃでウエハｗを把持し、続いてこれを図２に仮想想線で
示したように前記仮想円錐体Ｈの内方でしかもその比較
的上方個所に移動させ、その後、降下させるように作動
する。このさいビームＢがウエハｗにより遮断されると
ビームセンサー９はそのことを受光手段８により検出し
て検出信号を発すると共に制御装置へ伝達する。これら
の検出信号を伝達された制御装置はアームロボットに作
動指令を発するのであり、アームロボットはこの作動指
令によりチャックＣを移動させてウエハｗが各ビームＢ
を遮断するものとならない位置を探し出すように作動
し、これが探し出されるとさらにウエハｗを降下させる
ように作動するものとなり、以後これを繰り返すことに
よりウエハｗの外周端が３本のビームＢを同時に遮断す
る瞬間のウエハｗの位置、即ち図２に実線で示したウエ
ハｗ”の位置まで降下させるのであり、これによりその
ウエハｗ”の芯出しは終了する。なお芯出しされたウエ
ハｗ”は適宜な支持手段で一時的に支持された後、適宜
な搬出手段により他所へ搬出される。
が投射されると、これらの少なくとも３本のビームＢは
仮想正円錐体Ｈの母線を形成するものとなる。一方、ア
ームロボットは制御装置からの作動指令によりチャック
Ｃでウエハｗを把持し、続いてこれを図２に仮想想線で
示したように前記仮想円錐体Ｈの内方でしかもその比較
的上方個所に移動させ、その後、降下させるように作動
する。このさいビームＢがウエハｗにより遮断されると
ビームセンサー９はそのことを受光手段８により検出し
て検出信号を発すると共に制御装置へ伝達する。これら
の検出信号を伝達された制御装置はアームロボットに作
動指令を発するのであり、アームロボットはこの作動指
令によりチャックＣを移動させてウエハｗが各ビームＢ
を遮断するものとならない位置を探し出すように作動
し、これが探し出されるとさらにウエハｗを降下させる
ように作動するものとなり、以後これを繰り返すことに
よりウエハｗの外周端が３本のビームＢを同時に遮断す
る瞬間のウエハｗの位置、即ち図２に実線で示したウエ
ハｗ”の位置まで降下させるのであり、これによりその
ウエハｗ”の芯出しは終了する。なお芯出しされたウエ
ハｗ”は適宜な支持手段で一時的に支持された後、適宜
な搬出手段により他所へ搬出される。
【０００８】本発明ではウエハｗが仮想正円錐体Ｈ内に
入ることのできる大きさであればその大きさが無段階的
に異なった種々のものであっても仮想正円錐体Ｈの中心
軸方向への移動により何れかの高さ位置で芯出しされる
ものとなるのであり、ビームセンサー９をウエハｗの大
きさの種類毎に増設したり或いはウエハｗの大きさの変
化に対応して移動させたりする必要は全く生じない。ま
た芯出しにさいしてはウエハｗは少なくとも３本のビー
ムＢによりその片半分の外周端みならず他側の片半分の
外周囲端をも位置決めされることからたとえウエハｗが
種々異なる寸法であったとしてもその芯である中心位置
は必ず仮想正円錐体Ｈの中心軸ｘ位置に移動されるもの
となる。
入ることのできる大きさであればその大きさが無段階的
に異なった種々のものであっても仮想正円錐体Ｈの中心
軸方向への移動により何れかの高さ位置で芯出しされる
ものとなるのであり、ビームセンサー９をウエハｗの大
きさの種類毎に増設したり或いはウエハｗの大きさの変
化に対応して移動させたりする必要は全く生じない。ま
た芯出しにさいしてはウエハｗは少なくとも３本のビー
ムＢによりその片半分の外周端みならず他側の片半分の
外周囲端をも位置決めされることからたとえウエハｗが
種々異なる寸法であったとしてもその芯である中心位置
は必ず仮想正円錐体Ｈの中心軸ｘ位置に移動されるもの
となる。
【０００９】
【実施例】図４は本発明に係る自動芯出し装置の平面
図、そして図５は同装置の正面図である。図に示すよう
に、本発明装置はウエハ位置決め装置Ｅ１、ウエハ供給
台装置Ｅ２及びアームロボットＥ３からなっている。
図、そして図５は同装置の正面図である。図に示すよう
に、本発明装置はウエハ位置決め装置Ｅ１、ウエハ供給
台装置Ｅ２及びアームロボットＥ３からなっている。
【００１０】しかして、ウエハ位置決め装置Ｅ１は上部
平面枠１０と下部平面枠１１を適当寸法離して対向させ
ると共に下部平面枠１０の下方にはウエハ支持装置１２
を設け、且つ上部平面枠１０には６個の半導体発光素子
７ａを設けると共に、下部平面枠１１には上記した各半
導体発光素子７ａに対向させて同じく６個の半導体受光
素子８ａを設けたものとなしてある。このさい上下で対
向した一対の半導体発光素子７ａ及び半導体受光素子８
ａが一つのビームセンサー９を形成するものとなし、ま
た各発光素子７ａから投射されるビームＢは何れも仮想
正円錐体Ｈの母線をなすものとなす。ウエハ支持装置１
２は水平上面にウエハｗを真空吸着し得るものとした真
空吸着形支持台１３及び、この台１３を縦軸１４回りに
回転させると共に水平方向及び上下方向へも移動させる
ものとした駆動装置１５を具備したものとなす。
平面枠１０と下部平面枠１１を適当寸法離して対向させ
ると共に下部平面枠１０の下方にはウエハ支持装置１２
を設け、且つ上部平面枠１０には６個の半導体発光素子
７ａを設けると共に、下部平面枠１１には上記した各半
導体発光素子７ａに対向させて同じく６個の半導体受光
素子８ａを設けたものとなしてある。このさい上下で対
向した一対の半導体発光素子７ａ及び半導体受光素子８
ａが一つのビームセンサー９を形成するものとなし、ま
た各発光素子７ａから投射されるビームＢは何れも仮想
正円錐体Ｈの母線をなすものとなす。ウエハ支持装置１
２は水平上面にウエハｗを真空吸着し得るものとした真
空吸着形支持台１３及び、この台１３を縦軸１４回りに
回転させると共に水平方向及び上下方向へも移動させる
ものとした駆動装置１５を具備したものとなす。
【００１１】ウエハ供給台装置Ｅ２は起立フレーム１６
にアームロボットＥ３と連動される昇降台１７を張り出
し状に設けると共に同フレーム１６の頂部にウエハｗの
高さ位置検出手段１８を設けたものとなしてある。この
さい高さ位置検出手段１８は起立フレーム１６に張り出
し状の枠体１８ａを設け、その基端及び先端に一対の発
光素子１９と受光素子２０を設け、発光素子１９の投射
したビームＢ１を受光素子２０が受けるものとなし、且
つビームＢが遮断されたさいの受光素子２０の検出信号
と関連して昇降台１７が上下作動されるものとなす。
にアームロボットＥ３と連動される昇降台１７を張り出
し状に設けると共に同フレーム１６の頂部にウエハｗの
高さ位置検出手段１８を設けたものとなしてある。この
さい高さ位置検出手段１８は起立フレーム１６に張り出
し状の枠体１８ａを設け、その基端及び先端に一対の発
光素子１９と受光素子２０を設け、発光素子１９の投射
したビームＢ１を受光素子２０が受けるものとなし、且
つビームＢが遮断されたさいの受光素子２０の検出信号
と関連して昇降台１７が上下作動されるものとなす。
【００１２】アームロボットＥ３は、上下変位されると
共に縦軸２１回りに回転変位される第一アーム２２と、
このアーム２２の先端の縦軸２３回りに回転変位される
第二アーム２４と、このアーム２４の先端の縦軸２５回
りに回転変位される真空吸引チャック２６からなり、図
示しない制御装置により適宜に作動されるものなされて
いる。上記した図示しない制御装置はウエハ位置決め装
置Ｅ１のビームセンサー９から発せられる検出信号を伝
達され、この信号に基づいてアームロボットＥ３に所要
の作動指令を発するものとなしてある。
共に縦軸２１回りに回転変位される第一アーム２２と、
このアーム２２の先端の縦軸２３回りに回転変位される
第二アーム２４と、このアーム２４の先端の縦軸２５回
りに回転変位される真空吸引チャック２６からなり、図
示しない制御装置により適宜に作動されるものなされて
いる。上記した図示しない制御装置はウエハ位置決め装
置Ｅ１のビームセンサー９から発せられる検出信号を伝
達され、この信号に基づいてアームロボットＥ３に所要
の作動指令を発するものとなしてある。
【００１３】上記した実施例装置の作用を説明する。装
置の作動に先立ってウエハ供給台装置Ｅ２の昇降台１７
上に多数のウエハｗを積層状に載置し、その後に装置を
作動させる。これにより昇降台１７は上昇するものとな
り、これに載置されたウエハｗの最上層位置のものが発
光素子１９の投射したビームＢ１を遮断すると、受光素
子２０がこれを検出してその上昇を停止させる。かくし
て最上層位置のウエハｗは一定高さ位置に保持された状
態となされる。
置の作動に先立ってウエハ供給台装置Ｅ２の昇降台１７
上に多数のウエハｗを積層状に載置し、その後に装置を
作動させる。これにより昇降台１７は上昇するものとな
り、これに載置されたウエハｗの最上層位置のものが発
光素子１９の投射したビームＢ１を遮断すると、受光素
子２０がこれを検出してその上昇を停止させる。かくし
て最上層位置のウエハｗは一定高さ位置に保持された状
態となされる。
【００１４】一方、アームロボットＥ３は図５に仮想線
ｎで示す位置に移動してチャックＣを前記最上層位置の
ウエハｗの上側中央に位置させ、続いてそのウエハｗを
チャックＣ下面に付与される真空圧で吸引することによ
り把持状態となし、次いでそのチャックＣを移動させる
ことによりこれに把持したウエハｗを上部平面枠１０と
下部平面枠１１の相互間でしかも６本のビームＢの内方
位置、即ちこれらビームＢが母線をなす仮想正円錐体Ｈ
の内方であってその比較的上部位置に挿入し、この後ウ
エハｗをチャックＣと共に降下移動させると共に必要に
応じて水平方向へも移動させ、ウエハｗの外周端が全て
のビームＢを同時に遮断する位置に達した瞬間にその移
動を停止し、この位置を一時的に保持するものとなる。
このさいウエハｗはその芯である中央位置を仮想正円錐
体Ｈの中心軸ｘ位置と合致された状態となり、そのウエ
ハｗの芯出しは終了する。
ｎで示す位置に移動してチャックＣを前記最上層位置の
ウエハｗの上側中央に位置させ、続いてそのウエハｗを
チャックＣ下面に付与される真空圧で吸引することによ
り把持状態となし、次いでそのチャックＣを移動させる
ことによりこれに把持したウエハｗを上部平面枠１０と
下部平面枠１１の相互間でしかも６本のビームＢの内方
位置、即ちこれらビームＢが母線をなす仮想正円錐体Ｈ
の内方であってその比較的上部位置に挿入し、この後ウ
エハｗをチャックＣと共に降下移動させると共に必要に
応じて水平方向へも移動させ、ウエハｗの外周端が全て
のビームＢを同時に遮断する位置に達した瞬間にその移
動を停止し、この位置を一時的に保持するものとなる。
このさいウエハｗはその芯である中央位置を仮想正円錐
体Ｈの中心軸ｘ位置と合致された状態となり、そのウエ
ハｗの芯出しは終了する。
【００１５】これに関連してそれまで比較的低い位置に
退避していた支持台１３は適宜水平方向へも移動されつ
つ上昇変位され、チャックＣに保持されているウエハｗ
の中心位置を下方から支持すると共にそのウエハｗをチ
ャックＣから受け取って吸着支持する。ウエハｗを離し
たチャックＣは次のウエハｗを把持するため供給台装置
Ｅ２へ向けて移動され、また支持台１３に吸着支持され
たウエハｗは図示しない搬出手段により他所へ搬出され
ると共に、支持台１３は再び比較的低い位置に退避され
る。以後は同じ作動の繰り返しである。
退避していた支持台１３は適宜水平方向へも移動されつ
つ上昇変位され、チャックＣに保持されているウエハｗ
の中心位置を下方から支持すると共にそのウエハｗをチ
ャックＣから受け取って吸着支持する。ウエハｗを離し
たチャックＣは次のウエハｗを把持するため供給台装置
Ｅ２へ向けて移動され、また支持台１３に吸着支持され
たウエハｗは図示しない搬出手段により他所へ搬出され
ると共に、支持台１３は再び比較的低い位置に退避され
る。以後は同じ作動の繰り返しである。
【００１６】
【発明の効果】上記した本発明よれば、ウエハは片半分
の外周端のみならず他の片半分の外周端をも少なくとも
３本のビームで同時に位置決めされるため単にウエハの
片半分の外周端を一定位置に合致させるだけの従来のよ
うな芯出しを行うのではなくてウエハの中心位置である
芯を仮想正円錐体の中心軸位置に合致させるという本質
的な芯出しが行えるものとなるのであり、またたとえ無
段階的に種々異なる寸法のウエハであっても仮想正円錐
体の母線をなす少なくとも３本のビームによりその芯位
置が特定されるためそれらを連続的に芯出しすることが
でき、しかもそのさいセンサーを増設したり移動させた
りするようなことは一切不要であり芯出しを簡易且つ正
確に行えるものとなる。
の外周端のみならず他の片半分の外周端をも少なくとも
３本のビームで同時に位置決めされるため単にウエハの
片半分の外周端を一定位置に合致させるだけの従来のよ
うな芯出しを行うのではなくてウエハの中心位置である
芯を仮想正円錐体の中心軸位置に合致させるという本質
的な芯出しが行えるものとなるのであり、またたとえ無
段階的に種々異なる寸法のウエハであっても仮想正円錐
体の母線をなす少なくとも３本のビームによりその芯位
置が特定されるためそれらを連続的に芯出しすることが
でき、しかもそのさいセンサーを増設したり移動させた
りするようなことは一切不要であり芯出しを簡易且つ正
確に行えるものとなる。
【図１】本発明に係る説明図である。
【図２】本発明に係る説明図である。
【図３】同仮想円錐体をその中心軸と直交した面で切断
した場合の断面を示す説明図である。
した場合の断面を示す説明図である。
【図４】本発明に係る自動芯出し装置の平面図である。
【図５】同芯出し装置の正面図である。
【図６】従来例に係るウエハの自動芯出し装置の図であ
る。
る。
【図７】従来例の説明図である。
７ 投光手段 ８ 受光手段 ９ ビームセンサー Ｂ ビーム ｗ ウエハ Ｃ チャック ｘ 中心軸
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.5 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｇ０５Ｄ 3/12 Ｊ 9179−3Ｈ
Claims (1)
- 【請求項１】 投光手段と受光手段からなるビームセン
サーを少なくとも３対設けると共に、これらのセンサー
は各投光手段から投射されるビームが仮想正円錐体の母
線をなすものとなる所要の配置となし、一方では板状体
を把持するためのチャックを前記仮想正円錐体の中心軸
の方向へ及びその中心軸と交叉した面上の任意位置へ移
動させるものとなしたアームロボットを設けると共にこ
のロボットを前記センサーの検出信号に基づいて作動さ
せるための制御装置を設けたことを特徴とする円弧部有
する板状物の自動芯出し装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP36145791A JPH06104330A (ja) | 1991-12-30 | 1991-12-30 | 円弧部有する板状物の自動芯出し装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP36145791A JPH06104330A (ja) | 1991-12-30 | 1991-12-30 | 円弧部有する板状物の自動芯出し装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06104330A true JPH06104330A (ja) | 1994-04-15 |
Family
ID=18473669
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP36145791A Pending JPH06104330A (ja) | 1991-12-30 | 1991-12-30 | 円弧部有する板状物の自動芯出し装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06104330A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH088328A (ja) * | 1994-06-16 | 1996-01-12 | Nec Yamagata Ltd | ウェーハ位置決め装置 |
| WO2002023623A1 (fr) * | 2000-09-14 | 2002-03-21 | Olympus Optical Co., Ltd. | Appareil d'alignement |
| JP2008300798A (ja) * | 2007-06-04 | 2008-12-11 | Ulvac Japan Ltd | 基板搬送方法、及び基板搬送装置 |
| CN112670228A (zh) * | 2020-12-30 | 2021-04-16 | 芯钛科半导体设备(上海)有限公司 | 一种用于晶圆中心自动定位的线接触晶圆台盘、装置 |
-
1991
- 1991-12-30 JP JP36145791A patent/JPH06104330A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH088328A (ja) * | 1994-06-16 | 1996-01-12 | Nec Yamagata Ltd | ウェーハ位置決め装置 |
| WO2002023623A1 (fr) * | 2000-09-14 | 2002-03-21 | Olympus Optical Co., Ltd. | Appareil d'alignement |
| US6549825B2 (en) | 2000-09-14 | 2003-04-15 | Olympus Optical Co., Ltd. | Alignment apparatus |
| JP2008300798A (ja) * | 2007-06-04 | 2008-12-11 | Ulvac Japan Ltd | 基板搬送方法、及び基板搬送装置 |
| CN112670228A (zh) * | 2020-12-30 | 2021-04-16 | 芯钛科半导体设备(上海)有限公司 | 一种用于晶圆中心自动定位的线接触晶圆台盘、装置 |
| CN112670228B (zh) * | 2020-12-30 | 2023-09-01 | 芯钛科半导体设备(上海)有限公司 | 一种用于晶圆中心自动定位的线接触晶圆台盘、装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4695215A (en) | Device for automatically transporting disk shaped objects | |
| US4615093A (en) | Method and an apparatus for the positioning of components with reference to a workpiece | |
| US20090016857A1 (en) | Substrate-replacing apparatus, substrate-processing apparatus, and substrate-inspecting apparatus | |
| CN108855962A (zh) | 一种用于压入电陶瓷微粒电容的治具板的检测机 | |
| JP4509411B2 (ja) | 搬出入装置 | |
| CN111477558B (zh) | 一种产品的视觉检测设备 | |
| JP2005114882A (ja) | 処理ステージの基板載置方法、基板露光ステージおよび基板露光装置 | |
| TWI664515B (zh) | Processing device | |
| JPH06104330A (ja) | 円弧部有する板状物の自動芯出し装置 | |
| JPS61278149A (ja) | ウエハ位置決め装置 | |
| JP3209116B2 (ja) | スライスベース剥離装置 | |
| JP2000103031A (ja) | ウェハ用半田印刷装置 | |
| US8097966B2 (en) | Adjustable film frame aligner | |
| JPH10335420A (ja) | ワークのアライメント装置 | |
| JPH07105432B2 (ja) | 基板の自動位置合せ装置 | |
| JP2002319559A (ja) | 研削装置 | |
| KR100756585B1 (ko) | 패널제조장치 | |
| JP2571017Y2 (ja) | ディスタッカ | |
| JPS5886739A (ja) | ウエハの自動位置決め方法 | |
| JP2894467B2 (ja) | 物品位置検出装置 | |
| CN209758485U (zh) | 一种自适应的板材上下料装置 | |
| JPH08203987A (ja) | ４分割ウエハにおける扇形ウエハ片の位置決め方法，マウント方法及びマウント装置 | |
| JP2002151896A (ja) | 電子部品装着装置 | |
| JPH09246357A (ja) | 半導体ウエハの一斉方向合わせ方法及びその装置 | |
| JPH07297264A (ja) | ウェハ位置検出装置 |