JPH07105432B2 - 基板の自動位置合せ装置 - Google Patents
基板の自動位置合せ装置Info
- Publication number
- JPH07105432B2 JPH07105432B2 JP61240877A JP24087786A JPH07105432B2 JP H07105432 B2 JPH07105432 B2 JP H07105432B2 JP 61240877 A JP61240877 A JP 61240877A JP 24087786 A JP24087786 A JP 24087786A JP H07105432 B2 JPH07105432 B2 JP H07105432B2
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- chuck
- fork
- spindle chuck
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- Supply And Installment Of Electrical Components (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Feeding Of Workpieces (AREA)
- Special Conveying (AREA)
- Control Of Conveyors (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 本発明は基板（ウエハ、ガラスなど）の位置合せ装置に
係り、特に回転処理装置（レジスト塗布機、スクラバ
ー、現像機、表面検査機など）に必要な基板の位置合せ
と基板の搬送を傷付や破損などを起生させることなく、
またごみの発生や基板周縁部の衝突なしに正確に行われ
るようになすことを目的とする。
係り、特に回転処理装置（レジスト塗布機、スクラバ
ー、現像機、表面検査機など）に必要な基板の位置合せ
と基板の搬送を傷付や破損などを起生させることなく、
またごみの発生や基板周縁部の衝突なしに正確に行われ
るようになすことを目的とする。
従来、基板搬送機構としてはエアー搬送、Ｏ−リング搬
送、メカニカル搬送などが採用されており、エアー搬送
では供給側における可動テーブル上の位置合せガイドに
基板が送り込まれるときはガイド前縁部で、またスピン
ドルチヤツク上の基板が可動テーブル上に移されるとき
はガイド前縁部で夫々れ衝突が起るのであり、従つて該
衝突による基板周縁部の傷付や破損及びゴム発生の原因
となつている。
送、メカニカル搬送などが採用されており、エアー搬送
では供給側における可動テーブル上の位置合せガイドに
基板が送り込まれるときはガイド前縁部で、またスピン
ドルチヤツク上の基板が可動テーブル上に移されるとき
はガイド前縁部で夫々れ衝突が起るのであり、従つて該
衝突による基板周縁部の傷付や破損及びゴム発生の原因
となつている。
一方、Ｏ−リング搬送は搬送が駆動ベルトに変わるだけ
で、同じ位置決め方法が採用されているため上例同様に
基板周縁部の傷付、破損やゴミ発生による基板の汚れが
あるのであり、更にこれにはベルトの摩耗及びこれによ
つて発生するゴミなどによる基板の歩溜低下を生じさせ
ると言う問題がある。
で、同じ位置決め方法が採用されているため上例同様に
基板周縁部の傷付、破損やゴミ発生による基板の汚れが
あるのであり、更にこれにはベルトの摩耗及びこれによ
つて発生するゴミなどによる基板の歩溜低下を生じさせ
ると言う問題がある。
他方、ゴミの発生が少なく確実な基板搬送と位置合せを
可能とした本出願人になる特開昭58-118125号のメカニ
カル搬送方式がある。
可能とした本出願人になる特開昭58-118125号のメカニ
カル搬送方式がある。
これは第１図に示す如きものでベース板上の中央位置に
於いて、スピンドルチヤツク１を一定高さ位置で昇降す
るように設けしめると共に、スピンドルチヤツク１を中
心とする左右対称位置方向にこれと関連して移動する１
対のフオーク３、３′をベース板10上の一定高さ位置に
設け、且つ各フオークはフオークを支持してなる水平支
持アーム４、４′との間をスピンドルチヤツク１上に保
持した基板が通過するに充分な立体空間との構成とな
し、またフオーク３は基板２の周縁の一部と一致する切
欠円を有する位置決めフツク５を設け、且つフオーク
３、３′及びスピンドルチヤツク１には真空孔を穿設し
て基板を吸引止着する構成である。
於いて、スピンドルチヤツク１を一定高さ位置で昇降す
るように設けしめると共に、スピンドルチヤツク１を中
心とする左右対称位置方向にこれと関連して移動する１
対のフオーク３、３′をベース板10上の一定高さ位置に
設け、且つ各フオークはフオークを支持してなる水平支
持アーム４、４′との間をスピンドルチヤツク１上に保
持した基板が通過するに充分な立体空間との構成とな
し、またフオーク３は基板２の周縁の一部と一致する切
欠円を有する位置決めフツク５を設け、且つフオーク
３、３′及びスピンドルチヤツク１には真空孔を穿設し
て基板を吸引止着する構成である。
ところで、この作用について説明すると、供給側キヤリ
ア11に収納されている基板２は供給側搬送チヤツク９に
より基板受け台６まで搬送されてその位置で待機してい
る。この状態のときスピンドルチヤツク１は基板２を保
持して回転処理が行われているのであり、今スピンドル
チヤツク１上の基板２の処理が終了するとスピンドルチ
ヤツク１は基板２を保持した状態で上限まで上昇する。
しかして、次にシリンダ７を作動させることにより摺動
匣８全体の移動でフオーク支持手段を供給側へ移動させ
るのであり、この時フオーク３は供給側搬送チヤツクに
保持された基板の下方を通つて移動し、またスピンドル
チヤツク１に保持された基板２を挾むように収納側フオ
ーク３′と収納側アーク４′が通過するものとなる。次
に供給側搬送チヤツク９の真空を切り下方へ降下させる
と共に、スピンドルチヤツク１の真空も切つて同時に下
降させるのであり、この時供給側搬送チヤツク９上の基
板は、受け台６上へ、またスピンドルチヤツク１上の基
板は収納側フオーク３′上へ移る。このときフオーク真
空孔で吸引して基板２を固定する。しかして、シリンダ
７を移動させると供給側フオーク３の位置決めフツク５
により受け台６上の基板は位置決めフツク５に引つかけ
られて受け台６上を滑りながらスピンドルチヤツク１側
へ搬送されるのであり、基板２が受け台６より離れると
位置決めフツク５により位置決めされた状態で基板２は
真空孔によつて供給側フオーク３に保持されスピンドル
チヤツク上まで搬送されるものとなる。
ア11に収納されている基板２は供給側搬送チヤツク９に
より基板受け台６まで搬送されてその位置で待機してい
る。この状態のときスピンドルチヤツク１は基板２を保
持して回転処理が行われているのであり、今スピンドル
チヤツク１上の基板２の処理が終了するとスピンドルチ
ヤツク１は基板２を保持した状態で上限まで上昇する。
しかして、次にシリンダ７を作動させることにより摺動
匣８全体の移動でフオーク支持手段を供給側へ移動させ
るのであり、この時フオーク３は供給側搬送チヤツクに
保持された基板の下方を通つて移動し、またスピンドル
チヤツク１に保持された基板２を挾むように収納側フオ
ーク３′と収納側アーク４′が通過するものとなる。次
に供給側搬送チヤツク９の真空を切り下方へ降下させる
と共に、スピンドルチヤツク１の真空も切つて同時に下
降させるのであり、この時供給側搬送チヤツク９上の基
板は、受け台６上へ、またスピンドルチヤツク１上の基
板は収納側フオーク３′上へ移る。このときフオーク真
空孔で吸引して基板２を固定する。しかして、シリンダ
７を移動させると供給側フオーク３の位置決めフツク５
により受け台６上の基板は位置決めフツク５に引つかけ
られて受け台６上を滑りながらスピンドルチヤツク１側
へ搬送されるのであり、基板２が受け台６より離れると
位置決めフツク５により位置決めされた状態で基板２は
真空孔によつて供給側フオーク３に保持されスピンドル
チヤツク上まで搬送されるものとなる。
一方収納側フオーク３′上の基板は収納側エレベーター
（図示していない）中に入つた状態となるのであり、こ
の状態でフオーク３、３′の真空孔の真空を切りスピン
ドルチヤツク１を上限まで上昇させると共に収納側キヤ
リア12を１ピツチ上昇せしめ、フオーク３、３′上の各
基板をスピンドルチヤツク１および収納側キヤリア12上
へ移動せしめる。このさいスピンドルチヤツク１上の基
板は上昇中に真空孔にて保持されてなる。
（図示していない）中に入つた状態となるのであり、こ
の状態でフオーク３、３′の真空孔の真空を切りスピン
ドルチヤツク１を上限まで上昇させると共に収納側キヤ
リア12を１ピツチ上昇せしめ、フオーク３、３′上の各
基板をスピンドルチヤツク１および収納側キヤリア12上
へ移動せしめる。このさいスピンドルチヤツク１上の基
板は上昇中に真空孔にて保持されてなる。
シリンダ７を再移動させフオーク待機位置まで戻してそ
の位置で停止させるのであり、スピンドルチヤツク１は
下限まで下降させて回転処理し、以後は同様にして繰り
返えされるのである。
の位置で停止させるのであり、スピンドルチヤツク１は
下限まで下降させて回転処理し、以後は同様にして繰り
返えされるのである。
上記のメカ式搬送機構による搬送位置決め方法は、従来
方式のエアー及びＯ−リング搬送の欠点をカバーし、安
定性が高くゴミの発生量が少ないなど大幅な改善がなさ
れるものの、受け台６上の基板を搬送フオーク３上に設
けた位置決めフツク５にて引つかけながら受けとり、こ
れにより位置決めするため基板の後縁部で衝突が起るの
であり、従つて依然衝突による基板周縁部の傷付きや破
損が起り得るものとなる。
方式のエアー及びＯ−リング搬送の欠点をカバーし、安
定性が高くゴミの発生量が少ないなど大幅な改善がなさ
れるものの、受け台６上の基板を搬送フオーク３上に設
けた位置決めフツク５にて引つかけながら受けとり、こ
れにより位置決めするため基板の後縁部で衝突が起るの
であり、従つて依然衝突による基板周縁部の傷付きや破
損が起り得るものとなる。
本発明は上記の如き従来技術の欠点を全面的に解決せん
とするものであつて、即ち本発明によれば基板の周縁部
に対する接触および衝突が皆無となり傷付や破損を完全
防止できるのであり、その特徴とするところは、スピン
ドルチャックを一定高さ位置で昇降するように設けしめ
ると共に、該スピンドルチャックを中心としてベース板
の長さ方向へ移動する一対の位置決めフックを有しない
フォークをベース板上の一定高さ位置に設け、且つ各フ
ォークはフォークを支持してなる水平支持アームとの間
をスピンドルチャック上に保持した基板が通過するに充
分な立体空間に構成し、一方ベース板の供給側キャリア
とスピンドルチャック間に於ける供給側キャリア寄り位
置に案内溝を穿設し、該案内溝上に基板を真空吸着して
上下動を可能とする搬送チャックを突出させると共に、
搬送チャック下方は基板の搬送方向と平行配置した台盤
上で前後左右の水平方向へ夫々れ単独に移動出来るよう
になしたＸ、Ｙテーブルを介して支承させ、更に上記搬
送チャックがスピンドルチャックへ到る案内溝に対し該
案内溝と直交し且つ基板周縁部を非接触の上下方向で挟
むようにした２個のセンサーと光源とをスピンドルチャ
ックの中心を通り案内溝と平行する軸線に対して対称と
なる位置で、且つ各種基板の大きさに対して基板周縁部
が横切ることを満足する位置に配設し、他方該センサー
検出位置を基板が通過する時の基板周縁部に関する検出
信号を入力すると共に該検出信号に基づいて搬送チャッ
ク軸芯の座標とフォーク基準点のずれ量を算出して制御
信号を出力するコントローラーを備え、該コントローラ
ーの制御信号を介し前記Ｘ、Ｙテーブルがフォークの基
準座標位置へ向け移動されるようになされることを特徴
とする。
とするものであつて、即ち本発明によれば基板の周縁部
に対する接触および衝突が皆無となり傷付や破損を完全
防止できるのであり、その特徴とするところは、スピン
ドルチャックを一定高さ位置で昇降するように設けしめ
ると共に、該スピンドルチャックを中心としてベース板
の長さ方向へ移動する一対の位置決めフックを有しない
フォークをベース板上の一定高さ位置に設け、且つ各フ
ォークはフォークを支持してなる水平支持アームとの間
をスピンドルチャック上に保持した基板が通過するに充
分な立体空間に構成し、一方ベース板の供給側キャリア
とスピンドルチャック間に於ける供給側キャリア寄り位
置に案内溝を穿設し、該案内溝上に基板を真空吸着して
上下動を可能とする搬送チャックを突出させると共に、
搬送チャック下方は基板の搬送方向と平行配置した台盤
上で前後左右の水平方向へ夫々れ単独に移動出来るよう
になしたＸ、Ｙテーブルを介して支承させ、更に上記搬
送チャックがスピンドルチャックへ到る案内溝に対し該
案内溝と直交し且つ基板周縁部を非接触の上下方向で挟
むようにした２個のセンサーと光源とをスピンドルチャ
ックの中心を通り案内溝と平行する軸線に対して対称と
なる位置で、且つ各種基板の大きさに対して基板周縁部
が横切ることを満足する位置に配設し、他方該センサー
検出位置を基板が通過する時の基板周縁部に関する検出
信号を入力すると共に該検出信号に基づいて搬送チャッ
ク軸芯の座標とフォーク基準点のずれ量を算出して制御
信号を出力するコントローラーを備え、該コントローラ
ーの制御信号を介し前記Ｘ、Ｙテーブルがフォークの基
準座標位置へ向け移動されるようになされることを特徴
とする。
以下、本発明実施の一例を第２図以下の添附図面にもと
づいて説明する。
づいて説明する。
第２図は本発明装置の部分破断斜視図であつて、第１図
のものに比べてフオーク３に位置決めフツク５を有さな
いこと、及び該図で搬送チヤツク９及び基板受け台６の
代りに自動位置合せ装置15が設けられることを除いては
同一の構成である。
のものに比べてフオーク３に位置決めフツク５を有さな
いこと、及び該図で搬送チヤツク９及び基板受け台６の
代りに自動位置合せ装置15が設けられることを除いては
同一の構成である。
第３図は自動位置合せ装置15を側面から見た略式図であ
つて、以下これについて説明する。
つて、以下これについて説明する。
自動位置合せ装置15は基板供給キャリアとスピンドルチ
ャック間に於ける供給キャリア寄り位置に案内溝Ｓを穿
設し、該案内溝上に基板を真空吸着して上下動を可能と
する搬送チャック18を突出させるのであり、該搬送チャ
ック18下方は基板の搬送方向と平行配置した台盤22上で
夫々れ単独に前後左右宝庫へ移動するＸテーブル16、Ｙ
テーブル17を介して支承させ、又上記搬送チャック18が
スピンドルチャック１へ到る案内溝Ｓと直交し且つ離間
した位置には基板周縁部を非接触の上下方向で挟むよう
にした２個のセンサー19、19′と光源20、20′をベース
板10の片端側に取付けたコ字状の腕杆Ｈによって配設し
てある。こゝにＸテーブル16は台盤22上に搭載された駆
動用モーター23が順方向又は逆方向に回動させるに伴い
前後（＋ｘ、−ｘ）方向に移動するのである。Ｙテーブ
ル17は上記Ｘテーブル16上に搭載されており、Ｘテーブ
ル上に取付けられた駆動用モーター24が順方向又は逆方
向に回転されるに伴い左右（＋ｙ、−ｙ）方向に移動す
るのである。
ャック間に於ける供給キャリア寄り位置に案内溝Ｓを穿
設し、該案内溝上に基板を真空吸着して上下動を可能と
する搬送チャック18を突出させるのであり、該搬送チャ
ック18下方は基板の搬送方向と平行配置した台盤22上で
夫々れ単独に前後左右宝庫へ移動するＸテーブル16、Ｙ
テーブル17を介して支承させ、又上記搬送チャック18が
スピンドルチャック１へ到る案内溝Ｓと直交し且つ離間
した位置には基板周縁部を非接触の上下方向で挟むよう
にした２個のセンサー19、19′と光源20、20′をベース
板10の片端側に取付けたコ字状の腕杆Ｈによって配設し
てある。こゝにＸテーブル16は台盤22上に搭載された駆
動用モーター23が順方向又は逆方向に回動させるに伴い
前後（＋ｘ、−ｘ）方向に移動するのである。Ｙテーブ
ル17は上記Ｘテーブル16上に搭載されており、Ｘテーブ
ル上に取付けられた駆動用モーター24が順方向又は逆方
向に回転されるに伴い左右（＋ｙ、−ｙ）方向に移動す
るのである。
一方、搬送チヤツク18はＹテーブル17上で上下動可能と
したシリンダー25を介し設けてあり、且つ搬送チヤツク
18は基板２の裏面を載置しこれを真空吸着によつて保持
するようになつている。
したシリンダー25を介し設けてあり、且つ搬送チヤツク
18は基板２の裏面を載置しこれを真空吸着によつて保持
するようになつている。
他方、センサー19、19′にはレーザーデイテクター等が
使用されるのであり、且つ光源20、20′にはレーザーダ
イオード等が使用される。しかして、これらセンサー1
9、19′と光源20、20′は光源20、20′はベース板10の
片端側に取付けたコ字状の腕杆Ｈを介して基板を挟む上
下方向で、且つスピンドルチャック２の中心を通る軸線
ｐに対して対称となる状態で、しかも使用する各種基板
の大きさに対して基板の周縁部が上記２つのセンサー19
19′と光源20、20′間を横切ることを満足するように設
置されている。
使用されるのであり、且つ光源20、20′にはレーザーダ
イオード等が使用される。しかして、これらセンサー1
9、19′と光源20、20′は光源20、20′はベース板10の
片端側に取付けたコ字状の腕杆Ｈを介して基板を挟む上
下方向で、且つスピンドルチャック２の中心を通る軸線
ｐに対して対称となる状態で、しかも使用する各種基板
の大きさに対して基板の周縁部が上記２つのセンサー19
19′と光源20、20′間を横切ることを満足するように設
置されている。
しかして、センサー19、19′は基板の周縁部により遮光
されるとデジタル出力をコントローラー21へ送り込むよ
うになつており、該コントローラー21はセンサー19、1
9′からデジタル出力を取り込み、このデジタル出力に
応じた直交方向（Ｘ−Ｙ座標）の位置を求め、そのＸ−
Ｙ座標点より演算処理を行つて基板の中心座標Ow及び基
板半径Ｒωを算出するのであり、該算出結果に基づいて
基準点Ｏに対するＸ、Ｙ方向のずれ量を夫々れ算出する
と共に、Ｘテーブル16、Ｙテーブル17の駆動モーター2
3、24に制御信号を送つて制御するようになすのであ
る。このさいコントローラー21には予め使用する各種基
板の半径が入力されている。
されるとデジタル出力をコントローラー21へ送り込むよ
うになつており、該コントローラー21はセンサー19、1
9′からデジタル出力を取り込み、このデジタル出力に
応じた直交方向（Ｘ−Ｙ座標）の位置を求め、そのＸ−
Ｙ座標点より演算処理を行つて基板の中心座標Ow及び基
板半径Ｒωを算出するのであり、該算出結果に基づいて
基準点Ｏに対するＸ、Ｙ方向のずれ量を夫々れ算出する
と共に、Ｘテーブル16、Ｙテーブル17の駆動モーター2
3、24に制御信号を送つて制御するようになすのであ
る。このさいコントローラー21には予め使用する各種基
板の半径が入力されている。
次に上記構成の位置合せ作用について説明する。第４図
（イ）〜（ヘ）は基板の位置ずれ検出方法の説明図であ
る。（イ）に於いて搬送チヤツク18が基板２を供給キヤ
リアから受け取る時の搬送チヤツク18の中心座標を
（Ｏ、Ｏ）とし、且つ基板の中心を位置合せすべき基準
点Ｏの座標を（ｌ、Ｏ）とする。また、センサー1919′
は搬送チヤツク18と基準点Ｏの間の定位置で基板搬送方
向軸（Ｘ軸）に対しＬの一定距離離して設けてある。
（イ）〜（ヘ）は基板の位置ずれ検出方法の説明図であ
る。（イ）に於いて搬送チヤツク18が基板２を供給キヤ
リアから受け取る時の搬送チヤツク18の中心座標を
（Ｏ、Ｏ）とし、且つ基板の中心を位置合せすべき基準
点Ｏの座標を（ｌ、Ｏ）とする。また、センサー1919′
は搬送チヤツク18と基準点Ｏの間の定位置で基板搬送方
向軸（Ｘ軸）に対しＬの一定距離離して設けてある。
今、搬送チヤツク18が基板２を吸引止着して位置合せす
べき基準点Ｏ方向に対し（ロ）（ハ）（ニ）（ホ）の如
く移動すると、センサー19、19′は基板周縁部Ａ、Ｂ、
Ｃ、Ｄによつて遮光されるものとなり、この時発生する
センサー出力をコントローラー21に入力し、その出力に
応じた直交方向位置を夫々れ求め、該４点の座標位置か
ら基準の中心位置Owの座標位置（ab）と半径Rwを次述に
より演算処理して求めるのである。
べき基準点Ｏ方向に対し（ロ）（ハ）（ニ）（ホ）の如
く移動すると、センサー19、19′は基板周縁部Ａ、Ｂ、
Ｃ、Ｄによつて遮光されるものとなり、この時発生する
センサー出力をコントローラー21に入力し、その出力に
応じた直交方向位置を夫々れ求め、該４点の座標位置か
ら基準の中心位置Owの座標位置（ab）と半径Rwを次述に
より演算処理して求めるのである。
(X-a)2＋(Y-b)2＝R2w…… このさい、使用する基板が円の場合及び（イ）図の点線
で示す２′のように位置している場合には、基板２′の
全円周縁部にてセンサー19、19′が遮光されるため、
式に対し求めた４つの座標位置から任意の３点の座標位
置（Ａ、BC或はＢ、Ｃ、Ｄ或はＡ、Ｂ、Ｄ）を代入する
ことにより求められる。
で示す２′のように位置している場合には、基板２′の
全円周縁部にてセンサー19、19′が遮光されるため、
式に対し求めた４つの座標位置から任意の３点の座標位
置（Ａ、BC或はＢ、Ｃ、Ｄ或はＡ、Ｂ、Ｄ）を代入する
ことにより求められる。
ところで、実線のように切欠された基板２が位置してい
る場合にはセンサー19は基板切欠部Ａ点にて遮光される
ことなり、Ａ点の座標位置を含む３点の座標位置より求
めた（Ａ、Ｂ、ＣとＡ、Ｃ、ＤとＡ、Ｂ、Ｃの組合せ）
ａ、ｂ、Rwの値は誤差を含むことになり、Ｂ、Ｃ、D3点
の組合せより求めたａ、ｂ、Rw値は基板２の真の中心座
標位置（ａ、ｂ）とRw値を示す。
る場合にはセンサー19は基板切欠部Ａ点にて遮光される
ことなり、Ａ点の座標位置を含む３点の座標位置より求
めた（Ａ、Ｂ、ＣとＡ、Ｃ、ＤとＡ、Ｂ、Ｃの組合せ）
ａ、ｂ、Rwの値は誤差を含むことになり、Ｂ、Ｃ、D3点
の組合せより求めたａ、ｂ、Rw値は基板２の真の中心座
標位置（ａ、ｂ）とRw値を示す。
従つて、各点の組合せより（こゝでは４種類）夫々れ
ａ、ｂ、Rw値を求めた後、前記予め入力されている各種
基板のＲ値とを比較することによつて基板２の切欠部を
除く３点の組合せを容易に選ぶことができる。
ａ、ｂ、Rw値を求めた後、前記予め入力されている各種
基板のＲ値とを比較することによつて基板２の切欠部を
除く３点の組合せを容易に選ぶことができる。
こうして求めた基板中心座標位置（ａ、ｂ）と基準点座
標（ｌ、Ｏ）より、Ｘ、Ｙ軸方向のずれ量Δｘ、Δｙを
夫々れ算出する。
標（ｌ、Ｏ）より、Ｘ、Ｙ軸方向のずれ量Δｘ、Δｙを
夫々れ算出する。
Δｘ＝ｌ−ａ…… Δｙ−ｂ………… 上記算出結果に基づいて図（ヘ）に示す如くＸ軸方向に
Δｘ、Ｙ軸方向にΔｙだけ各Ｘテーブル16、Ｙテーブル
17を移動させることにより、基準点Ｏと基準中心点Owを
合致させることができるのである。
Δｘ、Ｙ軸方向にΔｙだけ各Ｘテーブル16、Ｙテーブル
17を移動させることにより、基準点Ｏと基準中心点Owを
合致させることができるのである。
斯くして、位置合せされた基板はフオーク３上に載置さ
れて処理部へ導かれ処理されるものとなるのであり、こ
れについては特開昭58-118125号で説明した通りであ
る。
れて処理部へ導かれ処理されるものとなるのであり、こ
れについては特開昭58-118125号で説明した通りであ
る。
本発明は以上の如く基板の搬送途中で基板周縁部の座標
位置を求めて位置合せが行われるようになすのであつ
て、これには位置決めフオークなどが接触するものでは
なく、全く非接触の状態で行われる。従つて、特に脆弱
な基板であつても傷付きや破損などのトラブルを生じさ
せないのであり、基板処理の歩留り向上と高精度処理の
図れる上で著効を奏するものである。
位置を求めて位置合せが行われるようになすのであつ
て、これには位置決めフオークなどが接触するものでは
なく、全く非接触の状態で行われる。従つて、特に脆弱
な基板であつても傷付きや破損などのトラブルを生じさ
せないのであり、基板処理の歩留り向上と高精度処理の
図れる上で著効を奏するものである。
なお、本発明によれば直径の呼び寸法の異なる基板に対
しても機構の調整、変更なしに搬送及び位置合せを可能
となすことができるものである。
しても機構の調整、変更なしに搬送及び位置合せを可能
となすことができるものである。
第１図は従来技術のメカニカル搬送に係る搬送位置決め
装置の全体斜視図、第２図は本発明に係る位置決め装置
の全体斜視図、第３図は同装置の側面図、第４図（イ）
〜（ヘ）は基板の位置ずれ検出方法の説明図である。 １……スピンドルチヤツク、２……基板 ３、３′……フオーク、４、４′……水平支持アーム ５……位置決めブツク、６……基板受け台 ７……シリンダ、８……摺動匣 ９……供給側搬送チヤツク、11……供給側キヤリア 12……収納側キヤリア、15……自動位置合せ装置 16……Ｘテーブル、17……Ｙテーブル 18……搬送チヤツク、19、19′……センサー 20、20′……光源、21……コントローラー 23……駆動用モーター、24……駆動用モーター
装置の全体斜視図、第２図は本発明に係る位置決め装置
の全体斜視図、第３図は同装置の側面図、第４図（イ）
〜（ヘ）は基板の位置ずれ検出方法の説明図である。 １……スピンドルチヤツク、２……基板 ３、３′……フオーク、４、４′……水平支持アーム ５……位置決めブツク、６……基板受け台 ７……シリンダ、８……摺動匣 ９……供給側搬送チヤツク、11……供給側キヤリア 12……収納側キヤリア、15……自動位置合せ装置 16……Ｘテーブル、17……Ｙテーブル 18……搬送チヤツク、19、19′……センサー 20、20′……光源、21……コントローラー 23……駆動用モーター、24……駆動用モーター
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｈ０５Ｋ 13/04 Ｐ
Claims (1)
- 【請求項１】左右端縁箇所に供給側キャリアと収納側キ
ャリアとを備えたベース板上の中央位置に、スピンドル
チャックを一定高さ位置で昇降するように設けしめると
共に、該スピンドルチャックを中心としてベース板の長
さ方向へ移動する一対の位置決めフックを有しないフォ
ークをベース板上の一定高さ位置に設け、且つ各フォー
クはフォークを支持してなる水平支持アームとの間をス
ピンドルチャック上に保持した基板が通過するに充分な
立体空間に構成し、一方ベース板の供給側キャリアとス
ピンドルチャック間に於ける供給側キャリア寄り位置に
案内溝を穿設し、該案内溝上に基板を真空吸着して上下
動を可能とする搬送チャックを突出させると共に、搬送
チャック下方は基板の搬送方向と平行配置した台盤上で
前後左右の水平方向へ夫々れ単独に移動出来るようにな
したＸ、Ｙテーブルを介して支承させ、更に上記搬送チ
ャックがスピンドルチャックへ到る案内溝に対し該案内
溝と直交し且つ基板周縁部を非接触の上下方向で挟むよ
うにした２個のセンサーと光源とをスピンドルチャック
の中心を通り案内溝と平行する軸線に対して対称となる
位置で、且つ各種基板の大きさに対して基板周縁部が横
切ることを満足する位置に配設し、他方該センサー検出
位置を基板が通過する時の基板周縁部検出信号を入力す
ると共に、該検出信号に基づいて搬送チャック軸芯の座
標とフォーク基準点のずれ量を算出して制御信号を出力
するコントローラーを備え、該コントローラーの制御信
号を入力し前記Ｘ、Ｙテーブルがフォークの基準座標位
置へ向け移動される構成を特徴とした基板の自動位置合
せ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61240877A JPH07105432B2 (ja) | 1986-10-09 | 1986-10-09 | 基板の自動位置合せ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61240877A JPH07105432B2 (ja) | 1986-10-09 | 1986-10-09 | 基板の自動位置合せ装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6394653A JPS6394653A (ja) | 1988-04-25 |
| JPH07105432B2 true JPH07105432B2 (ja) | 1995-11-13 |
Family
ID=17066024
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61240877A Expired - Lifetime JPH07105432B2 (ja) | 1986-10-09 | 1986-10-09 | 基板の自動位置合せ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07105432B2 (ja) |
Families Citing this family (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4697192B2 (ja) | 2007-06-12 | 2011-06-08 | 東京エレクトロン株式会社 | 位置ずれ検出装置及びこれを用いた処理システム |
| JP5368440B2 (ja) * | 2008-06-02 | 2013-12-18 | 株式会社アドバンテスト | 試験システム |
| WO2012127530A1 (ja) | 2011-03-23 | 2012-09-27 | 平田機工株式会社 | 停止装置及び停止解除方法 |
| WO2013144997A1 (ja) | 2012-03-27 | 2013-10-03 | 平田機工株式会社 | 停止装置及び一時停止方法 |
| KR101385594B1 (ko) * | 2012-09-28 | 2014-04-15 | 삼성디스플레이 주식회사 | 자동보정 및 티칭로딩이 가능한 자동반송시스템 및 제어방법 |
| CN108760628B (zh) * | 2018-04-02 | 2020-08-28 | 迈克医疗电子有限公司 | 一种试纸条测试位置定位方法及尿液干化学分析仪 |
| US11335578B2 (en) | 2020-02-13 | 2022-05-17 | Kawasaki Jukogyo Kabushiki Kaisha | Substrate transfer apparatus and method of measuring positional deviation of substrate |
-
1986
- 1986-10-09 JP JP61240877A patent/JPH07105432B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6394653A (ja) | 1988-04-25 |
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