JPH0599691A - エンコーダ - Google Patents

エンコーダ

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JPH0599691A
JPH0599691A JP9005491A JP9005491A JPH0599691A JP H0599691 A JPH0599691 A JP H0599691A JP 9005491 A JP9005491 A JP 9005491A JP 9005491 A JP9005491 A JP 9005491A JP H0599691 A JPH0599691 A JP H0599691A
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JP
Japan
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output
phase
light receiving
signal
code plate
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Pending
Application number
JP9005491A
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English (en)
Inventor
Fusao Kosaka
扶佐夫 幸坂
Kunio Kazami
邦夫 風見
Hiroshi Nakayama
博史 中山
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Yokogawa Electric Corp
Original Assignee
Yokogawa Electric Corp
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Publication date
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  • Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
  • Optical Transform (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 光学式エンコーダの位相検出回路を集積回路
化できるようにする。 【構成】 従来装置で行っていた光源の強度変調に代わ
り、受光アレイから出力される90°位相の異なる2つの
光電変換出力をsin ωt 、cos ωt の90°位相の異なる
2つの信号でそれぞれ変調して、位相出力φ(θ)を取
り出す。 【効果】 従来装置で用いられていた大容量コンデンサ
を必要するハイパスフィルタをディジタル回路に置き換
えることができ、集積回路化ができる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、エンコーダの位相検出
方式に関する。本発明は特に光学式エンコーダでのコー
ド板スリットの位置検出を行う位相検出回路を集積回路
化するのに適する。
【0002】
【従来の技術】スリットと光の遮蔽部が交互に配列され
たコード板に、光源から散乱光を照射すると、コード板
の裏側に、スリットの周期ごとにこれに対応した周期の
正弦波の光強度分布が生じる。この正弦波の位相φは、
コード板が移動するとこれにつれて変化する。この原理
を利用して、コード板の裏側に受光アレイを固定して、
この正弦波状の信号の位相φを検出することでコード板
の角度(または位置)を測定する光学的エンコーダが知
られている。
【0003】出願人は、このような光学式エンコーダに
おいて、光源からの光強度をsin ωt とcos ωt で変調
し、受光アレイの出力をスイッチングすることなく、ハ
イパスフィルタを用いることにより、高精度で高速変化
する位置情報を測定できる発明を行い、これを特願昭62
−70078 号として、また3トラックの光学式エンコーダ
として平成1年7月6日に実願平1− 79739号として出
願した。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】これらの先行発明のエ
ンコーダでは、光源となるLEDを変調し、コード板の
スリットの位相φをsin(ωt +θ) の形で得ることによ
り、角度情報を演算するものであった。すなわち、LE
D変調方式での位相出力φは φ=sin(ωt +θ) +sin θ の式で与えられて、 sinωt 、sin θなどで表される非
位相変調項が光電変換出力として同時に出力されるた
め、これらの項、上式ではsin θの項を除去する目的で
差動アンプ、広域通過フィルタが必要であった。このた
め、回路を集積回路化しようとすると、フィルタに大容
量のコンデンサが必要となり高集積回路化が難しい問題
があった。
【0005】本発明は、エンコーダの位相検出器にフィ
ルタを用いる必要がなく集積回路化が可能なエンコーダ
を提供することを目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】本発明は、光源と、スリ
ットと遮光部とが交互に設けられたコード板と、このコ
ード板の裏側に生ずる光強度分布の一周期を4等分する
ように配列された4個の光電変換素子を備えた受光アレ
イと、この受光アレイのそれぞれの光電変換素子の出力
する信号を入力して上記コード板の位置に応じて生ずる
位相を検出する位相検出回路とを備えたエンコーダにお
いて、上記位相検出回路は、位相が90°異なる第一の信
号と第二の信号を出力する発振器と、上記受光アレイの
出力する第一の信号を上記発振器の第一の信号で変調す
る第一変調手段と、上記受光アレイの出力する第一の信
号と90°位相の異なる第二の信号を上記発振器の第二の
信号で変調する第二変調手段と、この第一変調手段と第
二変調手段の出力を加算または減算する加減算手段とを
含むことを特徴とする。
【0007】なお、コード板が回転軸に結合され、この
回転軸に対して軸対称の位置に二つの受光アレイが設け
られ、この回転軸に対して軸対称の位置に設けられた二
つの受光アレイの出力信号を加算または減算する加減算
手段を備えることが好ましい。
【0008】
【作用】コード板のスリットを透過した光を受光した4
つの光電変換素子の光電変換出力は、理想的な正弦波照
度分布を生じるものとすると、 A1 =(sinθ+1) A2 =(cosθ+1) A3 =(-sin θ+1) A4 =(-cos θ+1) …(1) となる。A1 の出力からA3 を引き、A2 の出力からA
4 を引くと、 A1 −A3 =2sin θ A2 −A4 =2cos θ …(2) が得られる。この出力を2相発振器の出力によって変調
すると (A1 −A3 )cos ωt =2sin θcos ωt (A2 −A4 )sin ωt =2cos θsin ωt …(3) となり、さらに α(θ) =2sin(ωt +θ) β(θ) =2sin(ωt +θ) …(4) が得られる。 出力φ(θ)=α(θ)+β(θ)=2sin(ωt +θ) …(5) が得られるので、sin ωt と位相比較することにより、
位相角θを求めることができる。
【0009】なお、ロータリエンコーダで、偏心誤差を
δとすると、この偏心誤差δは対角位置で逆相で出るた
め、誤差を含めて(4)式を書き換えると、 α(θ) =2sin(ωt +θ+δ) β(θ) =2sin(ωt +θ−δ)) …(6) となり、位相出力φは φ(θ)=2sin(ωt +θ)cosδ+2cos(ωt +θ)sinδ +2sin(ωt +θ)cosδ−2cos(ωt +θ)sinδ =4 cosδsin(ωt +θ) …(7) となり、偏心誤差を相殺することができる。
【0010】
【実施例】以下図面を参照して本発明の実施例を説明す
る。
【0011】図1は本発明第一実施例の光学式エンコー
ダの構成を示す図である。この光学式エンコーダは、ロ
ータリエンコーダの例であり、偏心誤差を打ち消す構成
となっている。
【0012】まず、図1に基づいて説明する。光源1お
よび光源2は図示されない光源ドライバによって制御さ
れてコード板3の裏側に設けられた4つの光電変換素子
1 〜A4 を備えた受光アレイ4または光電変換素子B
1 〜B4 を備えた受光アレイ5に光を照射する。コード
板3は、スリットと遮光部とが交互に一定間隔で繰り返
し配列されたものであり、このコード板のスリットと遮
光部の裏側にはほぼ正弦波状の光強度分布が得られる。
光源1と受光アレイ4とはコード板3と対向した位置に
配置されており、また光源2と受光アレイ5ともコード
板3と対向した位置に配置されている。また、光源1、
受光アレイ4の配置位置と、光源2と受光アレイ5の配
置位置とは、コード板3が結合する回転軸の軸対称の位
置になっている。受光アレイ4は4個の光電変換素子A
1 〜A4 、受光アレイ5は4個の光電変換素子B1 〜B
4 を備えており、この光電変換素子A1 〜A4 、B1
4 は正弦波の1周期を4等分するように配置されてい
る。コード板3の形状は、ロータリエンコーダの場合は
円盤状であり、リニアエンコーダの場合は直線状であ
る。円盤状の場合には得られる位置情報は、コード板3
の回転角度θである。なお、本実施例の説明ではロータ
リエンコーダの例で説明するが、リニアエンコーダの場
合も同様に実施できる。
【0013】受光アレイ4の出力は二つの減算器6、7
に入力されており、減算器6は、光電変換素子A1 の出
力から光電変換素子A3 の出力を減算する。減算器7
は、光電変換素子A2 の出力から光電変換素子A4 の出
力を減算する。減算器6の出力は乗算器11に入力され、
減算器7の出力は乗算器12に入力される。また、受光ア
レイ4と回転軸対称にある受光アレイ5の出力は二つの
減算器8、9に入力されており、減算器8は、光電変換
素子B1 の出力から光電変換素子B3 の出力を減算す
る。減算器9は光電変換素子B2 の出力から光電変換素
子B4 の出力を減算する。減算器8の出力は乗算器13に
入力され、減算器9の出力は乗算器14に入力される。
【0014】本実施例エンコーダでは、sin ωt とcos
ωt の90°位相の異なる2相の正弦波信号を発生する2
相発振器10を備えており、この2相発振器10のcos ωt
の出力は乗算器11と乗算器13に変調入力として入力さ
れ、sin ωt の出力は乗算器12と乗算器14に変調入力と
して入力される。乗算器11と乗算器12との出力は減算器
15に入力され、乗算器11の出力から乗算器12の出力を減
算する。また乗算器13の出力と乗算器14の出力は減算器
16に入力され、乗算器13の出力から乗算器14の出力を減
算する。そして、減算器15の出力と減算器16の出力とは
加算器17に入力されて加算される。この加算器17の出力
が位相出力φ(θ)となる。また2相発振器10からはsi
nωt の出力が位相角演算用に接続される演算回路に与
えられる。
【0015】本実施例の特徴とする点は、従来は光源1
および2の光強度をsin ωt, cosωt で変調し、非位
相変調項を除去するために広帯域のハイパスフィルタを
用いていたのに対して、2相発振器10と乗算器11〜14と
を設け、この2相発振器10の出力するsin ωt ,cos ω
t の出力で光電変換素子の出力を乗算器11〜14で変調す
ることにより、コンデンサを用いるフィルタを不要とし
て集積回路化を可能としたところに特徴がある。
【0016】次に本第一実施例の動作を説明する。
【0017】光源1、2の拡散光源を発した光はコード
板3のスリットを透過して、光電変換素子A1 〜A4
1 〜B4で理想的な正弦波照度分布が生じるものとす
る。このときの光電変換素子A1 〜A4 、B1 〜B4
光電出力は、 A1 =B1 =(sinθ+1) A2 =B2 =(cosθ+1) A3 =B3 =(-sin θ+1) A4 =B4 =(-cos θ+1) …(1)´ となる。ここで受光アレイ4の出力について、A1 の出
力からA3 を引き、A2 の出力からA4 を引くと、 A1 −A3 =2sin θ A2 −A4 =2cos θ …(2) が得られる。この出力を2相発振器10の出力によって乗
算器11、12で変調すると (A1 −A3 )cos ωt =2sin θcos ωt (A2 −A4 )sin ωt =2cos θsin ωt …(3) となる。減算器15、減算器16の出力をα、βとすると、 α(θ) =2sin(ωt +θ) β(θ) =2sin(ωt +θ) …(4) が得られる。従って 出力φ(θ)=α(θ)+β(θ)=2sin(ωt +θ) …(5) が得られるので、2相発振器10の出力するsin ωt と位
相比較することにより、位相角θを求めることができ
る。
【0018】なお、ロータリエンコーダで、回転軸によ
る偏心誤差をδとすると、このδは対角位置で逆相で出
るため、光電変換素子B1 〜B4 の出力についても考慮
し誤差を含めて(4)式を書き換えると、 α(θ) =2sin(ωt +θ+δ) β(θ) =2sin(ωt +θ−δ)) …(6) となり、回転軸対称の位置にある受光アレイ5の出力を
加算器17で加算した結果の位相出力φは φ(θ)=2sin(ωt +θ)cosδ+2cos(ωt +θ)sinδ +2sin(ωt +θ)cosδ−2cos(ωt +θ)sinδ =4 cosδsin(ωt +θ) …(7) となり、偏心誤差δを相殺することができる。
【0019】この偏心誤差δの補正は、原理式(6)
式、(7)式において、α(θ)、β(θ)の振幅が同
一であるときに有効である。ところが、一般には絶対値
で表される|α(θ)|≠|β(θ)|であるため、両
信号の振幅補正が必要である。このため、図2に示すよ
うに、減算器16の出力にその振幅制御を行う自動振幅制
御回路18を挿入し、対角位置にある受光アレイ4、5の
出力を処理した信号の振幅を等しくするように調整する
ことにより、さらに偏心誤差δの補正をさらに高精度に
行うことが可能である。
【0020】なお、上記第一実施例では、ロータリエン
コーダでの偏心誤差を補正する構成を含むものである
が、高精度を要求しない位相検出のエンコーダの場合に
は、受光アレイ5側の構成を省略することができる。ま
た、リニアエンコーダの場合には偏心誤差に相当する誤
差が発生しないので、一つの受光アレイの構成とすれば
よい。
【0021】次に本発明の別の実施例を説明する。
【0022】図3は、偏心誤差補正を行うための第二実
施例の構成を示すものである。この図においては光源
1、2、コード板3の構成は省略している。この第二実
施例の構成では、光電変換素子A1 の出力から光電変換
素子B3 の出力を減算器19で減算し、光電変換素子A2
の出力から光電変換素子B4 の出力を減算器20で減算
し、減算器19の出力を乗算器21でcos ωt で変調し、減
算器20の出力を乗算器22でsin ωt で変調し、この乗算
器21、22の出力を加算器17で加算する構成としている。
この第二実施例では、第一実施例に比べて減算器および
乗算器の数を少なくしている。
【0023】その動作について説明する。減算器19、20
では、 A1 −B3 =2sin θ A2 −B4 =2cos θ の出力を得る。この出力を乗算器21、22で変調すること
により、乗算器21の出力として2sin θcos ωt 、乗算
器22の出力として2cos θsin ωt を得る。この両出力
を加算器17で加算することにより位相出力φ(θ)とし
て2sin(ωt +θ) を得ることができる。本第二実施例
では減算器19、20での減算処理の際に偏心誤差δが相殺
される構成となっている。
【0024】次に図4に偏心誤差補正を行うための第三
実施例の構成を示す。この第三実施例は、原理的には第
二実施例と同じであるが、光電変換素子A1、A2 、B
3 、B4 のそれぞれの光電変換出力を乗算器11、12、1
3、14で2相発振器10の出力によって変調する。そし
て、減算器23で乗算器11の出力から乗算器13の出力を減
算し、減算器24で乗算器12の出力から乗算器14の出力を
減算し、この減算器23と減算器24の両出力を加算器17で
加算する構成である。加算器17で得られる位相出力φ
(θ)は4sin(ωt +θ) で表される。
【0025】さらに図5に偏心誤差補正を行うための第
四実施例の構成を示す。この実施例では偏心誤差補正を
行うための対角位置にある受光アレイ4、5の出力の加
算をそれぞれ光電変換素子A1 〜A4 、B1 〜B4 の後
に接続される加算器25、26、27、28で行った後、減算器
6、7による減算処理、乗算器11、12による変調、加算
器17による加算処理を行っている。この第三実施例では
加算器17で得られる位相出力φ(θ)は2sin(ωt +
θ) で表される。
【0026】なお、ピッチの異なる複数スリット列のコ
ード板を用いる場合には、それぞれのスリット列の位相
出力φ1 、φ2 、φ3 に基づいてφ1 −φ2 、φ2 −φ
3 を演算し、このトラック間の位相出力差に基づいて、 回転角度=β(i−1)+α(j−1)+φ1 /N1 の式に基づいて回転角度演算を行うことができる。
【0027】
【発明の効果】以上説明したように、本発明は、光学式
エンコーダの位相検出器で光源の光強度をsin ωt 、co
s ωt で変調する代わりに、乗算器を用いて変調を行う
ため、光源変調方式に現れるような非位相変調項がなく
なり、フィルタを必要としなくなった。このため、位相
検出器を集積回路することが可能となった。
【0028】また、偏心誤差補正用の回路を分離するこ
とができるため、配線の引回しが少なくなり、S/N比
を向上させることができ、位相計測時にドプラシフト補
正を行う必要もなくなった。さらに、乗算器による高速
変調が容易であるため、多スリットのコード板を高速回
転させる高速応答検出が可能である。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明第一実施例の構成を示すブロック図。
【図2】 コード板の偏心誤差補正を高精度化するため
の振幅調整機構を示す図。
【図3】 本発明第二実施例の構成を示す図。
【図4】 本発明第三実施例の構成を示す図。
【図5】 本発明第四実施例の構成を示す図。
【符号の説明】
1、2 光源 3 コード板 4、5 受光アレイ 6、7、8、9、15、16、19、20、23、24 減算器 10 2相発振器 11、12、13、14、21、22 乗算器 17、25、26、27、28 加算器 18 自動振幅制御回路

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 光源(1)と、 スリットと遮光部とが交互に設けられたコード板(3)
    と、 このコード板の裏側に生ずる光強度分布の一周期を4等
    分するように配列された4個の光電変換素子を備えた受
    光アレイ(4)と、 この受光アレイのそれぞれの光電変換素子の出力する信
    号を入力して上記コード板の位置に応じて生ずる位相を
    検出する位相検出回路とを備えたエンコーダにおいて、 上記位相検出回路は、 位相が90°異なる第一の信号と第二の信号を出力する発
    振器(10)と、 上記受光アレイの出力する第一の信号を上記発振器の第
    一の信号で変調する第一変調手段(11)と、 上記受光アレイの出力する第一の信号とは90°位相の異
    なる第二の信号を上記発振器の第二の信号で変調する第
    二変調手段(12)と、 この第一変調手段と第二変調手段の出力を加算または減
    算する加減算手段(15)とを含むことを特徴とするエン
    コーダ。
  2. 【請求項2】 コード板が回転軸に結合され、 この回転軸に対して軸対称の位置に二つの受光アレイ
    (4、5)が設けられ、 この回転軸に対して軸対称の位置に設けられた二つの受
    光アレイの出力信号を加算または減算する加減算手段
    (17)を備える請求項1記載のエンコーダ。
JP9005491A 1991-03-27 1991-03-27 エンコーダ Pending JPH0599691A (ja)

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO1996028707A1 (fr) * 1995-03-10 1996-09-19 Seft Development Laboratory Co., Ltd. Instrument de mesure de positions
EP1923671A2 (en) 2006-11-15 2008-05-21 Mitutoyo Corporation Optical encoder

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO1996028707A1 (fr) * 1995-03-10 1996-09-19 Seft Development Laboratory Co., Ltd. Instrument de mesure de positions
EP1923671A2 (en) 2006-11-15 2008-05-21 Mitutoyo Corporation Optical encoder
US7592584B2 (en) 2006-11-15 2009-09-22 Mitutoyo Corporation Crosstalk preventing optical encoder

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