JPH058680Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 産業上の利用分野 この考案は、集積回路等の被測定物の電極部に
探針を押し当てて、前記被測定物の電気的特性を
測定するときに用いられるプローブカードの保持
装置に関する。

従来の技術 最近のプローブカードは、その製造、取扱の便
から、或いは設計に自由度を持たせるという観点
から、一般的にはプリント基板と探針を具備する
プローブカードとは別体のプローブカード取付基
板に着脱可能に取付けられる。即ち、プローブカ
ードを設けた雄ピンとプローブカード取付基板に
設けた雌ピンを嵌合することにより、プローブカ
ードとプローブカード取付基板が一体化される一
方、雌ピンから雄ピンを抜脱することにより両者
は別体に分離される、いわば着脱自在な型式をと
るものが多くなつている。

考案が解決しようとする問題点 しかしながら、近時の集積回路における集積度
の増大傾向のため、プローブカードも必然的に多
探針化してきており、従つて前記雄ピンおよび雌
ピンの数も多くなつており、これら雄ピンと雌ピ
ンが摺動接触しながら嵌入抜脱する構造では嵌入
抜脱時に多大の外力を必要とし、、しかも均一な
外力でもつて嵌入抜脱することは困難であり、局
部的に過大の力を加えた場合にはプローブカード
の変形、或いは破損を招くおそれがあり、また嵌
入抜脱を何度も繰り返すうちに、雄ピンに変形が
生じ、両ピン間に接触不良が生じて集積回路の特
性の正確な測定が不可能になることがある。

このような不便を解消するために、我々はこれ
に工夫をこらして電子部品用ソケツト実願昭61−
125426を実用新案登録出願した。第４図に図示す
る雌ピンは前記出願の電子部品用ソケツトおよび
本考案のプローブカード保持装置に使用されるも
のである。第４図はプローブカード３００に植設
された雄ピン３３０の雄ピン先端３３１が雌ピン
１３０に挿入されており押圧される前の状態を示
す。

ソケツトアセンブリ１２０に植設されており、
雄ピン３３０と嵌入抜脱する雌ピン１３０は、電
気導体からなるホルダ１３１とホルダ１３１の孔
１３２内に軸方向に摺動可能に設けた電気導体か
らなる可動端子１３３と、ホルダ１３１の孔１３
２内に設けられホルダ１３１と可動端子１３３と
を電気的に接続するとともに可動端子１３３を前
記雄ピン３３０側に弾発付勢するスプリング１３
４とを具備しており、かつ可動端子１３３には雄
ピン先端部の外径よりも大きい雄ピン先端部挿入
用の凹部１３５が開設されている。

従つて前記のような雌ピンと雄ピンを採用した
場合には雌ピンと雄ピンとの間の摺動接触がほと
んどないので、プローブカードをプローブカード
取付基板から抜脱する場合には、多数の雄ピンを
有するプローブカードであつても少ない外力でプ
ローブカードをプローブカード取付基板から抜脱
できる。しかしながら、前記スプリング１３４の
弾発付勢力は約50〜160グラムであるので、例え
ば100個の雄ピンを有するプローブカードをプロ
ーブカード取付基板に嵌入する場合には、５〜16
キログラムの外力を必要とする。

従来は、このような場合であつてもすべての雄
ピンをそれぞれ対応する雌ピンの入口に挿入した
後、プローブカードの周辺部に配置された複数の
ネジを順次締め付けてゆくことによつてプローブ
カードのプローブカード取付基板への嵌入を終了
した。しかしながら、多数の雄ピンを有するプロ
ーブカードはその形状も大形化しておること、お
よび前記の弾発付勢力５〜16キログラムに対して
プローブカードをプローブカード取付基板に押圧
する必要があるため多数のネジを必要とし、従つ
てこれらのネジを締め付けるために多大の時間を
要するという問題点がある。更にプローブカード
のすべての雄ピンに均一に外力がかかるように、
これらネジを順次締め付けるのは極めて熟練を要
するという問題点もある。

問題点を解決するための手段 雄ピンが植設されたプローブカードを保持する
プローブカード保持装置であつて、プローブカー
ド取付基板とプローブカード保持リングとより構
成されており、前記プローブカード保持リングの
下端部には複数の切欠きを有する下側フランジが
また前記プローブカード保持リングの上端部には
プローブカード保持リングの内側に向かつて上側
フランジが形成されており、前記プローブカード
取付基板には雌ピンが植設されたソケツトアセン
ブリ、前記ソケツトアセンブリが取付けられたソ
ケツトアセンブリ取付基板および前記ソケツトア
センブリに装着される前記プローブカードに載置
される前記プローブカード保持リングの前記下側
フランジを、前記ソケツトアセンブリ取付基板に
加圧解除自在に押圧し前記下側フランジの切欠と
同数のプローブカード固定装置とよりなつてお
り、且つ前記プローブカード固定装置は一端が前
記ソケツトアセンブリ取付基板に固定された板バ
ネと前記板バネの他端をてこレバーにより前記下
側フランジに加圧解除自在に押圧する手段とより
なり、また前記雌ピンは前記雄ピンに弾発付勢さ
れて接触する可動端子を有する雌ピンであること
を構成の要旨とする。

作 用 ソケツトアセンブリに載置されたプローブカー
ドに、プローブカード保持リングの前記切欠がプ
ローブカード固定装置の板バネの前記他端に対応
するように載置し、載置した状態で前記切欠が前
記他端からはずれる位置までプローブカード保持
リングを回転させ、プローブカード固定装置のて
こレバーを操作して前記他端を前記下側フランジ
に押圧する。押圧を解除しプローブカードをプロ
ーブカード取付基板より取り外す場合には、上記
と逆の順序で操作する。

以下本考案の一実施例について説明する。第１
図はプローブカードと本考案に係るプローブカー
ド保持装置の分解斜視図、第２図はプローブカー
ドを本考案係るプローブカード保持装置によつて
保持した状態を示す縦断正面図、第３図は本考案
に係るプローブカード固定装置の斜視図を、第４
図は雄ピンが雌ピンに挿入され押圧される前の状
態を示す縦断正面図である。

プローブカード３００は、合成樹脂製のプリン
ト基板３１０、プリント基板３１０の植設された
雄ピン３３０、プリント基板３１０の中央部に固
着されたセラミツク製のリング３２０に載置固定
された探針３７０、前記探針３７０の下端部がハ
ンダ付けされ探針３７０と雄ピン３３０とを電気
的に接続するプリント配線３８０とより構成され
ている。

金属製のプローブカード保持リング２００は、
浅い円筒状であり、且つ周辺部２３０の下端部に
は切欠き２１１を有する下側フランジ２１０が、
また前記周辺部の上端には内側に向かつて上側フ
ランジ２２０が形成されている。

プローブカード取付基板１００は、合成樹脂製
リング状のソケツト組立部１２１、ソケツト組立
部１２１の下端部に固着された回路接続板１２２
およびソケツト組立部１２１と回路接続板１２２
とを貫通植設された雌ピン１３０とより構成され
るソケツトアセンブリ１２０と、中央に開口窓を
有し前記開口窓にソケツトアセンブリ１２０が嵌
着固定された合成樹脂製円板状のソケツトアセン
ブリ取付基板１１０と、プローブカード固定装置
１４０とより構成される。

前記プローブカード固定装置１４０は、板バネ
１４１、てこレバー１４２およびてこレバー引止
金具１４７より構成されている。前記プローブカ
ード保持リング２００の下側フランジ２１０の切
欠２１１の幅より小さい幅を有する金属製の板バ
ネ１４１は、一端がネジ１４１Ａによつてソケツ
トアセンブリ取付基板１１０に固着され他端がソ
ケツトアセンブリ取付基板１１０の中心に向けら
れている。てこレバー１４２は、板バネ１４１の
前記他端近辺でソケツトアセンブリ取付基板１１
０に植設固定された棒片１４５の先端近辺を横貫
する軸１４６にて回転自在に支持されたてこ板１
４２Ｂと、てこ板１４２Ｂにネジ１４２Ａにて固
着され、頭部１４２Ｅを有するＬ形凸片１４２Ｄ
が側部に形成された板１４２Ｃとより構成されて
いる。頂部１４７Ｂを有し、コ字型に形成されコ
字型の両脚部に折曲部１４７Ｂを有するてこレバ
ー引止金具１４７は、ネジ１４７Ａによつてソケ
ツトアセンブリ取付基板１１０に固定されてい
る。

なお回路接続板１２２の下端部に突出した雌ピ
ンの先端には、集積回路の特性を測定する計器へ
のリード線がハンダ付けされる。

次に、プローブカード３００の保持方法につい
て説明する。プローブカード３００の位置決め孔
３１０がソケツトアセンブリ１２０の位置決め突
起１２１に合うようにプローブカード３００をソ
ケツトアセンブリ１２０に載置し、次にプローブ
カード保持リング２００の切欠２１１が板バネ１
４１の前記他端に対応するようにプローブカード
保持リング２００をプローブカード３００に載置
し、載置した状態で切欠２１１が板バネ１４１の
前記他端に対応しない位置までプローブカード保
持リング２００を回転させる。この後対向するプ
ローブカード固定装置１４０を順次操作してプロ
ーブカード保持リングをソケツトアセンブリ取付
基板１１０に押圧する。各プローブカード固定装
置１４０の操作は、てこレバー１４２を押し下げ
て板１４２Ｃに形成された頭部１４２Ｅをてこレ
バー引止金具１４７の頂部１４７Ｂに係止すれば
よい。

プローブカード３００をプローブカード取付基
板から取り外す場合には、前記と逆の順序の操作
を行えばよい。

考案の効果 以上説明したように、本考案によればソケツト
アセンブリにプローブカードとプローブカード保
持リングを載置し、プローブカード保持リングの
下側フランジを、てこの作用を利用したプローブ
カード固定装置によつてソケツトアセンブリ取付
基板に押圧するので、従来多大の時間と熟練を要
したプローブカードをプローブカード取付基板に
て保持する作業を大幅に簡単化し、且つ作業時間
も短縮することができた。

【図面の簡単な説明】

第１図はプローブカードと本考案に係るプロー
ブカード保持装置の分解斜視図、第２図はプロー
ブカードを本考案係るプローブカード保持装置に
よつて保持した状態を示す縦断正面図、第３図は
本考案に係るプローブカード固定装置の斜視図
を、第４図は雄ピンが雌ピンに挿入され押圧され
る前の状態を示す縦断正面図である。 １００……プローブカード取付基板、１１０…
…ソケツトアセンブリ取付基板、１２０……ソケ
ツトアセンブリ、１３０……雌ピン、１４０……
プローブカード固定装置、１４２……てこレバ
ー、１４７……てこレバー引止金具、２００……
プローブカード保持リング、２１０……下側フラ
ンジ、２１１……切欠、３００……プローブカー
ド、３３０……雄ピン。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. ソケツトアセンブリにプローブカードとプロー
   ブカード保持リングを載置し、プローブカード保
   持リングの下側フランジを、てこの作用を利用し
   たプローブカード固定装置によつてソケツトアセ
   ンブリ取付基板に押圧することを特徴とするプロ
   ーブカード保持装置。