JPH06100635B2

JPH06100635B2 - 配線板の検査装置のテストヘッド

Info

Publication number: JPH06100635B2
Application number: JP1053897A
Authority: JP
Inventors: 直樹宮根; 大典山田
Original assignee: RIKA DENSHI CO.,LTD.
Current assignee: RIKA DENSHI CO.,LTD.
Priority date: 1989-03-08
Filing date: 1989-03-08
Publication date: 1994-12-12
Anticipated expiration: 2009-12-12
Also published as: JPH02257075A

Description

【発明の詳細な説明】［産業上の利用分野］本発明は配線板を検査する検査装置のテストヘッドの構
造に関する。

［従来の技術］近時、電子業界は半導体や配線板（ガラスエポキシ等の
樹脂板、ガラス板及びセラミック板等に配線を施したも
の）を中心に益々微細化する傾向にあり、半導体等の製
造メーカーや検査装置メーカーは、微細化する被検査物
に対応する検査治具、中でも被検査物の試験点との接触
部があるテストヘッド部の開発に困難を来している。

特に、上記配線板の業界では、最も多く使用されている
コンタクトプローブを使用した検査装置のテストヘッド
も各試験点のピッチ及び試験点であるパッド巾とも微細
化する中、微細プローブ等と称する形状を細密化したプ
ローブで何とか対応はしているものの、各種の問題点が
存在する。

第４図は従来の配線板の検査装置のテストヘッドを示す
ものである。第４図において、１は被検査物である配線
板の試験点位置に対応してレセプタクル挿入孔２が貫通
してあけられた絶縁ボード（メインボード）、３はレセ
プタクル挿入孔２内に接着剤を用いて固定されるコンタ
クトプローブ、４はコンタクトプローブ３のレセプタク
ルの後端部に接続するリード線、５はレセプタクルとリ
ード線４の接続端部に被着する絶縁チューブである。

また、コンタクトプローブ３は、第３図に図示するよう
に、大略、レセプタクル８、バレル10及びプランジャ1
2、あるいは加えてスプリング11とで構成されており、
先端をバレル10より突出させてバレル10内に摺動自在に
プランジャ12が配設され、バレル10内のプランジャ12の
後端部とバレル10の底部にはプランジャ12のその先端に
向け付勢するスプリング11が弾装されている。13はプラ
ンジャ12の摺動のストロークを決めるストッパー突起、
７は絶縁ボード１のレセプタクル挿入孔２の縁部に係止
するレセプタクル８のフランジである。

従来の配線板の検査装置のテストヘッドでは、絶縁ボー
ド１に、レセプタクル挿入孔２を穴明加工する一方、リ
ード線４の端部で被覆を剥してレセプタクル８の端部に
カシメないし半田等で接続する。このようにしたレセプ
タクル８を絶縁ボード１のレセプタクル挿入孔２に挿入
するとともに接着剤を用いて固定し、さらにレセプタク
ル８内にプランジャ12とバレル10との組立体を装着し、
レセプタクル８とリード線４との接続端部に絶縁チュー
ブ５を被着する。

なお、このテストヘッドで使用するコンタクトプローブ
３は、レセプタクル８と、バレル10及びプランジャ12等
の組立体とが脱着可能な分離型構造であり、使用による
経時変化でスプリング11のバネ性が劣化したとき、ある
いはプランジャ12の摩耗や折損が生じたときに、レセプ
タクル８を絶縁ボード１側に残して組立体のみを抜き出
し新たなものと交換できるようにしている。

コンタクトプローブには、このような分離型の他に第３
図のレセプタクル８とバレル10との機能を一つのレセプ
タクルにまとめた一体型構造のものもある。

［発明が解決しようとする課題］しかしながら、前述の従来の配線板の検査装置のテスト
ヘッドは、次なる問題点が存在した。

すなわち、コンタクトプローブは、プランジャ、バレル、レセプ
タクル等の結合によって構成されているが、微細化した
試験点に対応するために形状を小型化すると、各部品の
寸法精度が要求され、歩留りが悪くなってコスト高とな
る。逆に各部品の公差をあまくすると、プランジャの先
端部の振れが大きくなって試験点に当りにくいという不
都合がある。

この点、現状では、かなり厳しい公差をつけてはいる
が、プランジャの先端部の振れが問題となっており、コ
ストが高い割には性能が出ないという問題がある。

レセプタクルは絶縁ボードのプローブ挿入孔へ接着剤
を使って固定される。しかし、断線等の故障が生じたと
きは、レセプタクルを絶縁ボードから抜き出さなければ
ならないが、これがかなり困難な修理作業となり、場合
によってはテストヘッド自体が使用不可能となる。

また、レセプタクルは、絶縁ボードのプローブ挿入孔へ
接着剤を使いながら１本づつ手作業にて組み込むため、
その作業性がよくないという問題がある。

絶縁ボードにレセプタクルを装着した後にレセプタク
ルの後端部へのリード線の接続部分に絶縁チューブを被
着しているが、これは１本づつ行わなければならずかな
りの工数を要し、特にレセプタクルのピッチが細かくな
ると、きわめて作業能率が悪くなるという問題がある。

本発明は上記の従来の問題点に鑑みてなされたものであ
り、コンタクトプローブを構成する各部品の寸法公差を
余り厳しくしなくともプランジャの先端部の振れを小さ
く押えることができて微細化した試験点に対応すること
ができ、また絶縁ボード（メインボード）へのレセプタ
クルの組み込み作業を改善して組立作業能率を高めるこ
とができる配線板の検査装置のテストヘッドを提供する
ことを目的とする。

また、本発明の他の目的は、コンタクトプローブの交換
やリード線の断線等の故障に対しても簡単に対応し得る
配線板の検査装置のテストヘッドを提供することを目的
とする。

さらに、本発明の他の目的は、レセプタクルとリード線
との接続部の絶縁処理作業等を改善することにより、組
立作業能率を高めることができる配線板の検査装置のテ
ストヘッドを提供することを目的とする。

［課題を解決するための手段］本発明の配線板の検査装置のテストヘッドは、上記の目
的を達成するため、配線板の試験点に対応してプローブ
挿入孔を貫通してあけたメインボードと、後端部にリー
ド線を接続し先端部にフランジを形成したレセプタクル
を有し、フランジより先端突出部を突出させてレセプタ
クルに装着したバレルを有し、先端をバレルより突出さ
せてバレル内にスプリングの付勢を伴って摺動自在に配
設したプランジャを有し、フランジがメインボードの一
側面のプローブ挿入孔の縁部に当接してレセプタクルが
プローブ挿入孔に挿入されるコンタクトプローブと、ほ
ぼフランジの高さに対応する厚みとし、フランジ収容孔
を有し、該フランジ収容孔にフランジを収容してメイン
ボードの一側面に配設されるスペーサーと、バレルのレ
セプタクルよりの先端突出部より小さい厚みとし、フラ
ンジの外径より小さい孔径のバレル収容孔を有し、該バ
レル収容孔にバレルの先端突出部を収容し、かつ、バレ
ル収容孔の縁部でフランジを係止してスペーサー上に取
外し可能に配設される第一のトップボードと、少なくと
も部分的にプランジャの先端部の外径と同程度の孔径で
バレルの先端突出部を収容可能な貫通孔を有し、該貫通
孔にバレルの先端突出部を収容するとともにフランジの
先端部を挿通して第一のトップボード上に取外し可能に
配設される第二のトップボードと、からなることを特徴
とする。

なお、スペーサーを第一のトップボードに一体に設け、
これをメインボードの一側面に取外し可能に配設しても
よく、スペーサーをメインボードに一体に設けてもよ
い。

また、他の本発明の配線板の検査装置のテストヘッド
は、メインボードの他側面に、レセプタクル収容孔を有
し、該レセプタクル収容孔にレセプタクルの後端部及び
リード線のレセプタクルへの接続端部を挿通する保護ボ
ードを配設してもよい。保護ボードはメインボードに一
体に設けるようにしてもよい。

さらに、他の本発明の配線板の検査装置のテストヘッド
は、配線板の試験点に対応してプローブ挿入孔を貫通し
てあけたメインボードと、後端部にリード線を接続し先
端部にフランジを形成したレセプタクルを有し、先端を
レセプタクルより突出させてレセプタクル内にスプリン
グの付勢を伴って摺動自在に配設したプランジャを有
し、フランジがメインボードの一側面のプローブ挿入孔
の縁部に当接してレセプタクルがプローブ挿入孔に挿入
されるコンタクトプローブと、ほぼフランジの高さに対
応する厚みとし、フランジ収容孔を有し、該フランジ収
容孔にフランジを収容してメインボードの一側面に配設
されるスペーサーと、少なくとも部分的にプランジャの
先端部の外径と同程度の孔径でフランジの外径より小さ
い孔径の貫通孔を有し、該貫通孔にプランジャの先端部
を挿通するとともに、貫通孔の縁部でフランジを係止し
てスペーサー上に取外し可能に配設されるトップボード
と、からなることを特徴とする。

なお、この場合も、スペーサーをトップボードと一体に
設けたり、メインボードと一体に設けたりしてもよく、
さらに、メインボードの他側面に、レセプタクル収容孔
を有し、該レセプタクル収容孔にレセプタクルの後端部
及びリード線のレセプタクルへの接続端部を挿通する保
護ボードを配設してもよい。この保護ボードはメインボ
ードと一体に設けることもできる。

［実施例］以下、本発明を図面に基づき実施例をもって説明する。

第１図は本発明の実施例に係るテストヘッドの断面を示
すものである。図において、20はメインボード、３はコ
ンタクトプローブ、21はスペーサー、22は第一のトップ
ボード、23は第二のトップボードである。

メインボード20は、ガラスエポキシ板、ベーク板、アク
リル板等の絶縁板に、配線板の試験点に対応して多数の
プローブ挿入孔が貫通してあけてある。

コンタクトプローブ３は、第３図に示すように、後端部
にリード線26を接続し先端部にフランジ７を形成したレ
セプタクル８を有し、フランジ７より先端突出部９を突
出させてレセプタクル８に装着したバレル10を有し、先
端をバレル10より突出させて10内にスプリング11の付勢
を伴って摺動自在に配設したプランジャ12を有する。こ
のコンタクトプローブ３は、レセプタクル８にリード線
26を接続した状態でメインボード20のプローブ挿入孔25
のそれぞれに挿入され、フランジ７がメインボード20の
一側面20aのプローブ挿入孔25の縁部に当接される。こ
のコンタクトプローブ３のレセプタクル８の外径とメイ
ンボード20のプローブ挿入孔25の孔径との関係は、レセ
プタクル８を手指にてプローブ挿入孔へ抜き差し出来る
程度としてある。

なお、本発明で使用するコンタクトプローブ３の構造は
従来より公知のものである。

スペーサー21は、絶縁板からなり、所定の位置にコンタ
クトプローブ３のレセプタクル８の先端部に形成される
フランジ７を収容するためのフランジ収容孔28が形成さ
れ、またその厚みはほぼフランジ７の高さに対応する程
度とし、フランジ７の高さより若干薄くする。このスペ
ーサー21は、フランジ収容孔28を対応するメインボード
20のプローブ挿入孔25に合せて、メインボード20の一側
面20aに配設し、そのフランジ収容孔28内にコンタクト
プローブ３のフランジ７を収容する。

第一のトップボード22は、絶縁板からなり、所定の位置
にコンタクトプローブ３のフランジ７の外径より小さい
孔径のバレル収容孔29があけられる。第一のトップボー
ド22はまたコンタクトプローブ３のバレル10のレセプタ
クル８よりの先端突出部９より小さい厚みとしてある。
この第一のトップボード22は、バレル収容穴29をスペー
サー21のフランジ収容孔28に位置合せし、バレル収容孔
29にバレル10の先端突出部９を部分的に収容し、かつ、
バレル収容孔29の縁部でフランジ７を係止してスペーサ
ー21上にビス等を使って取外し可能に配設される。

なお、前述のスペーサー21は、それ自体独立させずにメ
インボード20の一側面20a側に一体に設けたり、あるい
は第一のトップボード22と一体に設けてもよい。第一の
トップボード22とスペーサー21とを一体とする場合も、
メインボード20に対しては取外し可能に配設する。

また、第二のトップボード23も絶縁板からなり、所定の
位置に貫通孔30が設けられる。この貫通孔30は、少なく
とも部分的にコンタクトプローブ３のプランジャ12の先
端部の外径と同程度の孔径にされ、かつ、コンタクトプ
ローブ３のバレル10の先端突出部９が収容可能にされて
いる。従って、コンタクトプローブ３のプランジャ12の
先端部は貫通孔30によってその振れが規制されることに
なる。なお、貫通孔30の下部にはテーパー部30aが形成
されプランジャ12の貫通孔30への挿入をしやすくしてい
る。この第二のトップボード23は、貫通孔30を第一のト
ップボード22のバレル収容孔29に位置合せし、貫通孔30
にプランジャ12の先端部を挿通しバレルの10の先端突出
部９を収容して、第一のトップボード22の上にビス等を
使用して取外し可能に配設される。

なお、従来と同様にレセプタクル８の後端部に接続する
リード線26の端部に絶縁チューブを被着してもよいが、
さらに第１図に図示するように保護ボード24を設けるこ
ととしてもよい。この保護ボード24はメインボード20と
同等の絶縁板からなり、所定位置にレセプタクル収容孔
31が設けられており、メインボード20の他側面20bに配
設され、レセプタクル収容孔31の内部にレセプタクル８
の後端部及びそこに接続されるリード線26の接続端部を
収容できる程度の厚みとされる。

なおまた、保護ボード24とメインボード20とは一体のも
のとしてもよい。図示の実施例では、両者を別個のもの
としているが、これは板厚が大きくなると、孔明加工の
精度が落ちるためである。しかし、両者を一体のものと
しても製作不可能ではなく。むしろ部品点数が少なくな
ってその方が好ましい。

次に、上記実施例におけるテストヘッドの組立について
説明する。

コンタクトプローブ３のレセプタクル８の後端部にリー
ド線26を接続し、その状態で所定に孔明加工してあるメ
インボード20のプローブ挿入孔25へ挿入する。この場
合、コンタクトプローブ３のレセプタクル８と、その内
部に装着されるバレル10やプランジャ12等に組立体とは
脱着可能な構造とされているため、メインボード20への
組込に際しては、コンタクトプローブ３の全体を挿入し
てもよいし、先にレセプタクル８を挿入し、次いでレセ
プタクル８内へ組立体を装着してもよい。

なお、レセプタクル８をメインボード20のプローブ挿入
孔25へ挿入しただけでは、レセプタクル８はメインボー
ド20に何ら固定されず、手指あるいは簡単な工具で摘み
出すことができる。

コンタクトプローブ３のメインボード20への組込を終え
た後、メインボード20の一側面20aのスペーサー21上に
第一のトップボード22をビス等によって取付る。これよ
り、第一のトップボード22のバレル収容孔29の縁部でレ
セプタクル８のフランジ７が押え込まれ、コンタクトプ
ローブ３がメインボード20に固定されることになる。そ
して、第一のトップボード22上に第二のトップボード23
がビス等で取付られ、第二のトップボード23の貫通孔30
でコンタクトプローブ３のプランジャ12の振れが規制さ
れることになる。

なお、スペーサー21は予めメインボード20に配設してお
けばよく、保護ボード24を使う場合も予めメインボード
20に配設しておけばよい。

このテストヘッドにおいて、コンタクトプローブ３のス
プリング11が使用による経年変化でバネ性が劣化し全数
の交換を必要とする場合は、まず、第二のトップボード
23を第一のトップボード22上から取り外す。すると、第
一のトップボード22上にはそのバレル収容孔29からバレ
ル10の先端突出部９が部分的に突出しているので、この
先端突出部９を手掛かりにバレル10を引っ張れば、コン
タクトプローブ３の内部組立体のみを抜き出すことがで
き、レセプタクル８は第一のトップボード22で押え込ま
れてメインボード20に残っているので、そこに新しい内
部組立体を装着すればよい。

また、リード線26とレセプタクル８との間の接続部で断
線を生じたときは、第一及び第二のトップボード22,23
をメインボード20上から取外し該当するコンタクトプロ
ーブ３のみをプローブ挿入孔25から取り出し接続等の修
理を行い、しかる後に元に戻せばよい。

次に他の本発明の実施例について説明する。前述の実施
例は、いわゆる分離型構造のコンタクトプローブを使用
する場合であるが、第２図実施例は、いわゆる一体型構
造のコンタクトプローブを使用する場合のものである。
ここで使用する一体構造のコンタクトプローブ３は、第
３図の分離型構造のプローブに対して、レセプタクルが
バレルを兼ねたものとでも言うべきもので、従来より一
般に使用されているものである。従って、そのコンタク
トプローブ３′の詳しい内部構造の説明は省略するが、
一体型構造のものでは分離型構造と異なり、そのレセプ
タクル８′は交換せずにそのまま使用し内部組立体のみ
を新品と交換するということはできず、その交換につい
てはプローブ３′全体を交換することになる。第２図に
示すテストヘッドでは、プローブの構造での違いに伴っ
て、前述の実施例に比し、第一のトップボード22及び第
二のトップボード23をひとつのトップボード22′にまと
め、そこに貫通孔30′を設けた点で異なるのみで、その
他は前述の実施例における構造と同一である。

なお、図示はしないがテストヘッドのリード線26は、こ
れを集合し結束し端部にコネクタを設ける。このコネク
タはアナライザーへと接続されることになる。また、テ
ストヘッドはプリント基板の支持機構及び加圧手段を備
える検査治具に配線板と対向して装置されることにな
る。

［作用］本発明の配線板の検査装置のテストヘッドでは、コンタ
クトプローブを収容するメインボード上に設けた第二の
トップボードあるいはトップボードにあけた貫通孔の孔
径をプランジャの先端部の外径を同程度とし、この貫通
孔にプランジャの先端部を挿通してあるので、これらト
ップボードによってプランジャの先端部の振れが規制さ
れることになり、微細な試験点にも適確にプランジャを
接触させ得る。

また、コンタクトプローブのメインボードへの組込は、
コンタクトプローブの全体あるいはレセプタクル部分を
メインボードのプローブ挿入孔へ挿入する構造とし、特
にコンタクトプローブのメインボードへの固定は接着剤
を使用することなく、第一のトップボードあるいはトッ
プボードのバレル収容孔あるいは貫通孔の縁部でレセプ
タクルのフランジを係止することでなされる。

そして、第一及び第二トップボードあるいはトップボー
ドはそれぞれ所定の取付位置で取外し可能とされ、レセ
プタクルはメインボードに固着されずに抜き差し可能で
あるため、各トップボードを適宜に取外すことで、コン
タクトプローブの主要部のみあるいは全体をメインボー
ドから簡単に外すことができる。

さらに、レセプタクルへのリード線の接続端部はメイン
ボードの他側面に配設される保護ボードに明けたレセプ
タクル収容孔内に収容され、相隙間との電気絶縁が図ら
れ及び外力の不可から保護される。

［発明の効果］本発明の配線板の検査装置のテストヘッドによれば、コ
ンタクトプローブのプランジャの先端に生じる振れをコ
ンタクトプローブを構成する各機構部品の寸法公差を厳
密にすることで対応するのではなく、コンタクトプロー
ブとは別個の第二のトップボードあるいはトップボード
にあけた貫通孔との嵌め合せで振れを規制するため、コ
ンタクトプローブの部品各部の公差を厳密に管理する必
要がなく、コンタクトプローブの製造が比較的容易とな
り歩留まりが向上する。特にテストヘッドには多数のコ
ンタクトプローブが使用され、一方でトップボードは絶
縁板の所定位置に孔明加工をするという機械加工で容易
に製作できるものであるから、結局、微細な試験点に対
応する精密なテストヘッド全体を従来に比べてより安価
に製造し得る。

また、コンタクトプローブのメインボードへの固定構造
は、接着剤を使用することなく、第一のトップボードあ
るいはトップボードに設けた所定の孔の縁部にてコンタ
クトプローブの全数をまとめて係止するものであるた
め、従来の接着剤を用いてコンタクトプローブを１本づ
つメインボードに固着する構造に比較してその組立作業
能率が飛躍的に改善される。

そして、第一及び第二トップボードあるいはトップボー
ドは取外し可能に配設されるものであり、これらいずれ
かを適宜取外し、コンタクトプローブの交換・補修がで
き、これら作業の能率も大きく改善されることになる。

さらに、保護ボードを設けることで多数のレセプタクル
のリード線の接続端部を同時に電気的機械的に保護で
き、従来の如く各毎に保護チューブを被着する構造に比
し組立作業が大いに改善されるという効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の実施例に係るテストヘッドの断面図、
第２図は他の本発明の実施例に係るテストヘッドの断面
図、第３図はコンタクトプローブの断面図、第４図は従
来のテストヘッドの断面図である。３〜コンタクトプローブ７〜フランジ 8,8′〜レセプタクル９〜先端突出部 10〜バレル 11〜スプリング 12〜プランジャ 20〜メインボード 20a〜メインボードの一側面 20b〜メインボードの他側面 21〜スペーサー 22〜第一のトップボード 23〜第二のトップボード 22′〜トップボード 25〜プローブ挿入孔 26〜リード線 28〜フランジ収容孔 29〜バレル収容孔 39,30′〜貫通孔 31〜レセプタクル収容孔

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】配線板の試験点に対応してプローブ挿入孔
（25）を貫通してあけたメインボード（20）と、後端部
にリード線（26）を接続し先端部にフランジ（７）を形
成したレセプタクル（８）を有し、フランジ（７）より
先端突出部（９）を突出させてレセプタクル（８）に装
着したバレル（10）を有し、先端をバレル（10）より突
出させてバレル（10）内にスプリング（11）の付勢を伴
って摺動自在に配設したプランジャ（12）を有し、フラ
ンジ（７）がメインボード（20）の一側面（20a）のプ
ローブ挿入孔（25）の縁部に当接してレセプタクル
（８）がプローブ挿入孔（25）に挿入されるコンタクト
プローブ（３）と、ほぼフランジ（７）の高さに対応す
る厚みとし、フランジ収容孔（28）を有し、該フランジ
収容孔（28）にフランジ（７）を収容してメインボード
（20）の一側面（20a）に配設されるスペーサー（21）
と、バレル（10）のレセプタクル（８）よりの先端突出
部（９）より小さい厚みとし、フランジ（７）の外径よ
り小さい孔径のバレル収容孔（29）を有し、該バレル収
容孔（29）にバレル（10）の先端突出部（９）を収容
し、かつ、バレル収容孔（29）の縁部でフランジ（７）
を係止してスペーサー（21）上に取外し可能に配設され
る第一のトップボード（22）と、少なくとも部分的にプ
ランジャ（12）の先端部の外径と同程度の孔径でバレル
（10）の先端突出部（９）を収容可能な貫通孔（30）を
有し、該貫通孔（30）にバレル（10）の先端突出部
（９）を収容するとともにフランジ（７）の先端部を挿
通して第一のトップボード（22）上に取外し可能に配設
される第二のトップボード（23）と、からなることを特
徴とする配線板の検査装置のテストヘッド。
【請求項２】レセプタクル収容孔（31）を有し、該レセ
プタクル収容孔（31）にレセプタクル（８）の後端部及
びリード線（26）のレセプタクル（８）への接続端部を
挿通してメインボード（20）の他側面（20b）に配設さ
れる保護ボード（24）を備える請求項１に記載の配線板
の検査装置のテストヘッド。
【請求項３】スペーサー（21）を第一のトップボード
（22）に一体に設け、これをメインボード（20）の一側
面（20a）に取外し可能に配設した請求項１又は２のい
ずれかに記載の配線板の検査装置のテストヘッド。
【請求項４】スペーサー（21）をメインボード（20）に
一体に設けた請求項１又は２のいずれかに記載の配線板
の検査装置のテストヘッド。
【請求項５】保護ボード（24）をメインボード（20）に
一体に設けた請求項２ないし４のいずれかに記載の配線
板の検査装置のテストヘッド。
【請求項６】配線板の試験点に対応してプローブ挿入孔
（25）を貫通してあけたメインボード（20）と、後端部
にリード線（26）を接続し先端部にフランジ（７）を形
成したレセプタクル（８′）を有し、先端をレセプタク
ル（８′）より突出させてレセプタクル（８′）内にス
プリング（11）の付勢を伴って摺動自在に配設したプラ
ンジャ（12）を有し、フランジ（７）がメインボード
（20）の一側面（20a）のプローブ挿入孔（25）の縁部
に当接してレセプタクル（８′）がプローブ挿入孔（2
5）に挿入されるコンタクトプローブ（３）と、ほぼフ
ランジ（７）の高さに対応する厚みとし、フランジ収容
孔（28）を有し、該フランジ収容孔（28）にフランジ
（７）を収容してメインボード（20）の一側面（20a）
に配設されるスペーサー（21）と、少なくとも部分的に
プランジャ（12）の先端部の外径と同程度の孔径でフラ
ンジ（７）の外径より小さい孔径の貫通孔（30′）を有
し、該貫通孔（30′）にプランジャ（12）の先端部を挿
通するとともに、貫通孔（30′）の縁部でフランジ
（７）を係止してスペーサー（21）上に取外し可能に配
設されるトップボード（22′）と、からなることを特徴
とする配線板の検査装置のテストヘッド。
【請求項７】レセプタクル収容孔（31）を有し、該レセ
プタクル収容孔（31）にレセプタクル（８′）の後端部
及びリード線（26）のレセプタクル（８′）への接続端
部を挿通してメインボード（20）の他側面（20b）に配
設される保護ボード（24）を備える請求項６に記載の配
線板の検査装置のテストヘッド。
【請求項８】スペーサー（21）をトップボード（22′）
と一体に設けた請求項６又は７のいずれかに記載の配線
板の検査装置のテストヘッド。
【請求項９】スペーサー（21）をメインボード（20）と
一体に設けた請求項６又は７のいずれかに記載の配線板
の検査装置のテストヘッド。
【請求項１０】保護ボード（24）をメインボード（20）
に一体に設けた請求項７ないし９のいずれかに記載の配
線板の検査装置のテストヘッド。