JP6781379B2 - ケルビン検査用端子の位置決め機構、および、それを備えるicソケット - Google Patents
ケルビン検査用端子の位置決め機構、および、それを備えるicソケット Download PDFInfo
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Description
、押圧機構用リッド部32を備える半導体装置用ソケットに適用されているが、斯かる例
に限られることなく、例えば、クラムシェルタイプ、オープントップタイプのICソケッ
トなどの他の形式のICソケットに適用されてもよいことは勿論である。また、本発明のICソケットは、「システムレベルテスト」や「ファンクションテスト」などの各種電気特性を試験する通電試験だけなく、耐久性や信頼性を試験するバーンインテストソケットにも適用することもでき、多目的用途として使用可能である。
12 デバイス用プランジャー
14 スリーブ
16 コイルスプリング
18 基板用プランジャー
20 被検査物搭載台
20ai 孔
20d 貫通孔
32 押圧機構用リッド部
DV 半導体装置
DVa 電極部
Claims (3)
- 一対のケルビン検査用端子が収容されるプローブ収容部に対し移動可能に配され、複数個の電極部を有する被検査物を搭載する被検査物搭載台と、
前記被検査物搭載台を前記プローブ収容部に対し移動可能に案内する案内部材と、を備え、
前記被検査物搭載台は、搭載された前記被検査物の各電極部が挿入されるとともに該電極部を位置決めする複数の孔と、該孔を形成する底部に前記一対のケルビン検査用端子の接点部がそれぞれ通過する一対の貫通孔とを有し、
前記一対のケルビン検査用端子の接点部の円形の平坦な端面の一部が、それぞれ、前記被検査物搭載台に搭載された前記被検査物としての半導体装置の半球状の電極部の表面に、劣弧を形成するように当接することを特徴とするケルビン検査用端子の位置決め機構。 - 前記一対のケルビン検査用端子の接点部は、前記一対の貫通孔内で自転可能であることを特徴とする請求項1記載のケルビン検査用端子の位置決め機構。
- 請求項1記載のケルビン検査用端子の位置決め機構と、
前記位置決め機構およびプローブ収容部を備えるソケット本体と、
前記被検査物搭載台を前記プローブ収容部に対し離隔する方向に付勢する付勢部材と、
前記ソケット本体に対し着脱可能に配され、前記被検査物搭載台に搭載された被検査物を少なくとも一対のケルビン検査用端子に向けて押圧する押圧部を有する被検査物押圧機構用リッド部と、を備え、
前記被検査物押圧機構用リッド部の押圧部は、前記被検査物搭載台に搭載された被検査物を押圧するとともに、該被検査物搭載台を付勢部材の付勢力に抗して押圧することを特徴とするICソケット。
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