JPH0585847U - アーク蒸発装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 アーク蒸発装置に於て、アークがターゲット
から外へはずれてしまわないような構造にする。 【構成】 ターゲット（陰極）、アース（陽極）と電気
的にどことも接触しない枠を、ターゲットの外周に、タ
ーゲットとの距離を０．２〜５ｍｍにとって配置するこ
とによりアークがターゲットから外へはずれることがな
いようにしたアーク蒸発装置。

Description

【考案の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本考案は、装飾品、切削工具等に被膜を形成させる為のアークイオンプレーテ ィング装置に関するものである。 （従来の技術） アーク蒸発装置に関しては既に日本国特許公報平２−６１５４７等が知られて いる。 （考案が解決しようとする課題） しかし従来の技術では、アーク閉じ込め手段が窒化朋素や窒化チタンのような 高透磁率を有する材料で構成されるという制約がある。 （課題を解決する為の手段） 第１図に示すように２のアーク閉じ込め枠は、３の絶縁体によりアース（この 場合４の真空槽）とも、１のターゲットとも電気的に隔絶されている為、複雑に 動きまわるアーク放電がこの枠との間で起こる事は有り得ない。従つてアークス ポットがターゲットの縁まで来てもそれ以上外には行かず、ターゲットからはず れてしまう事がない。この枠の材質はテフロンや亜鉛のような耐熱性の低いもの ではアークの熱により融けてしまう為、少なくとも５００℃以上の耐熱性を有す る材料が望ましい。又ターゲット、アーク閉じ込め枠との隙間は５ｍｍより離す とターゲットの側面までアークが走り、絶縁体（第１図の１１で示される部分） 上に被膜が堆積し、絶縁不良を起こしたり、アークによって絶縁体が侵されるよ うな事がある。０．２ｍｍより小さいと、熱変形等によりターゲットとアーク閉 じ込め枠が接触する事があり、第２請求項の範囲が適当である。 （実施例） 第１図によつて説明する。アーク閉じ込め枠をステンレス（ＳＵＳ３０４）で 構成し、Ｔｉ製ターゲットを用い、ターゲットと閉じ込め枠との距離を１ｍｍと し、１０^−５Ｔｏｒｒまで排気した後窒素ガスを５００ＳＣＣＭ（スタンダード キュービックセンチ毎分）導入し、５の基板には−２００Ｖ印加し、６の電源に より２００Ａの放電電流によりＴｉを蒸発、イオン化し、５の基板上に１０分間 窒化チタンを形成した。この操作を１００回、繰り返し行つたがアークはターゲ ットの上面から外れる事はなかった。 （考案の効果） このように本考案によれば、従来技術のようなアーク閉じ込め枠を高価な高透 磁率材料にする事もなく、簡単に手にはいる安価な材料で可能となるのである。

【図面の簡単な説明】 第１図は装置の概略構成図、 １、ターゲット ２、アーク閉じ込め枠 ３、絶縁体 ４、真空槽 ５、基板 ６、アーク電源 ７、排気系 ８、ガス導入系 ９、基板電源 １０、水冷電極

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 （１）アーク蒸発機構に於て、ターゲットの外周に、電
   気的にどこにも接触しない５００℃以上の耐熱性を有す
   るアーク閉じ込め枠を配置して成るアーク蒸発装置。 （２）前記アーク閉じ込め枠とターゲットとの隙間が
   ０．２〜５ｍｍである第１請求項記載のアーク蒸発装
   置。