JPH0585077A - スクリーン刷版およびその製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 高精度のスクリーン印刷が可能なスクリーン
刷版およびその製造方法を提供する。 【構成】 メッシュ部分１２におけるメッシュ開口１４
の形状を、所望の印刷パターンに合わせる。このような
スクリーン刷版１１を得るため、フォトリソグラフィに
よりパターニングされるレジストをマスクとして電気め
っきが行なわれる。この電気めっきにより得られた金属
膜をもってスクリーン刷版１１とされる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は、スクリーン印刷に用
いられるスクリーン刷版およびその製造方法に関するも
のである。

【０００２】

【従来の技術】図８および図９には、従来のスクリーン
刷版１が示されている。スクリーン刷版１は、穿孔板ま
たは織物からなるメッシュ材２を備える。メッシュ材２
上には、所望のパターンをもって版膜３が形成される。
したがって、版膜３が形成されない領域は、メッシュ部
分４として残される。

【０００３】このようなスクリーン刷版１を用いたスク
リーン印刷は、版膜３が形成されていないメッシュ部分
４を通して被印刷物にインクまたはペーストを転移させ
ることによって行なわれる。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】従来のスクリーン刷版
１においては、メッシュ材２が形成するメッシュ開口５
とは無関係に版膜３が形成されるため、メッシュ開口５
のうち、印刷パターンすなわちメッシュ部分４の端縁部
に位置するものが、版膜３によって覆われることにより
小さくなってしまうことがある。このように、メッシュ
開口５が小さくされた場合、インクまたはペーストの転
移が十分に行なわれにくく、それゆえに、図１０に示す
ように、印刷膜６のパターンは、所望のパターン７に対
して歪みを生じることがある。そのため、高い印刷精度
を期待することができない。

【０００５】このようなスクリーン刷版１を用いたスク
リーン印刷は、たとえば、電子部品の分野において、積
層セラミックコンデンサの内部電極を形成する際に用い
られている。積層セラミックコンデンサが小型化される
に従がって、内部電極のパターンについても高い精度が
要求される。しかしながら、上述したように、従来のス
クリーン刷版１では、内部電極のパターンを高い精度を
もって得るには限界がある。

【０００６】それゆえに、この発明の目的は、高精度の
スクリーン印刷を可能とするスクリーン刷版およびその
製造方法を提供しようとすることである。

【０００７】

【課題を解決するための手段】この発明は、まず、メッ
シュ部分と版膜部分とを備える、スクリーン刷版に向け
られるものであって、上述した技術的課題を解決するた
め、当該刷版によって与えられる印刷パターンに合わせ
て前記メッシュ部分におけるメッシュ開口の形状が選ば
れたことを特徴としている。

【０００８】また、この発明では、上述したようなスク
リーン刷版を製造するための方法も提供される。この方
法は、基材を用意するステップと、前記基材上の、印刷
パターンを与えるメッシュ部分のメッシュ開口となるべ
き位置に、第１のレジストを形成するステップと、前記
基材上に、前記第１のレジストの形成領域を除いて、第
１の金属膜をめっきにより形成するステップと、前記第
１のレジストおよび前記第１の金属膜上に、印刷パター
ンの反転パターンをもって第２のレジストを形成するス
テップと、前記第１の金属膜上に、前記第２のレジスト
の形成領域を除いて、第２の金属膜をめっきにより形成
するステップと、前記第１および第２のレジストを除去
するステップと、前記基材から前記第１および第２の金
属膜を一体に剥離するステップとを備えることを特徴と
している。

【０００９】

【作用】この発明によるスクリーン刷版では、メッシュ
開口の形状が印刷パターンに合わされているので、メッ
シュ部分の端縁部に位置するメッシュ開口が版膜によっ
て覆われて小さくされてしまうことがない。

【００１０】

【発明の効果】したがって、この発明にかかるスクリー
ン刷版によれば、高精度の印刷を行なうことができる。
また、微細なパターンの印刷も行なえるようになる。

【００１１】この発明に従って、印刷パターンに合わせ
てメッシュ開口の形状が選ばれるとともに、メッシュ開
口の大きさを当該刷版によって与えられる印刷膜厚に合
わせて変えることにより、１回の印刷工程で、互いに異
なる膜厚を有する印刷膜を形成することが可能になる。

【００１２】また、この発明にかかるスクリーン刷版の
製造方法によれば、第１のレジストのパターンがメッシ
ュ開口を決定するので、メッシュ開口の形状や大きさ
を、第１のレジストのパターニングを変更することによ
り任意に選ぶことができる。それゆえに、メッシュ開口
の形状を印刷パターンに合わせることや、メッシュ開口
の大きさを所望の印刷膜厚に合わせて変えることが容易
である。なお、この発明にかかるスクリーン刷版の製造
方法は、上述したように、メッシュ開口の形状が印刷パ
ターンに合わされていたり、メッシュ開口の大きさが印
刷膜厚に合わされていたりしているスクリーン刷版以外
のスクリーン刷版の製造にも適用することができる。

【００１３】また、この発明にかかる製造方法によって
得られたスクリーン刷版は、全体として金属から構成さ
れるので、寸法安定性が優れ、また、長寿命を期待する
ことができる。

【００１４】

【実施例】図１および図２には、この発明の一実施例に
よるスクリーン刷版１１が示されている。スクリーン刷
版１１は、メッシュ部分１２と版膜部分１３とを備え
る。

【００１５】図３には、スクリーン刷版１１によって与
えられる印刷パターンが示されている。スクリーン刷版
１１のメッシュ部分１２に注目すると、図１によく示さ
れているように、メッシュ開口１４の形状は、図３に示
した印刷パターンに合うように選ばれている。したがっ
て、このスクリーン刷版１１によれば、メッシュ部分１
２の端縁部においてメッシュ開口１４が小さくされない
ので、メッシュ部分１２全域にわたって均一にインクま
たはペーストを転移させることができる。そのため、図
３に示すように、所望の印刷パターンに精度よく合致し
た印刷膜１５を得ることができる。この効果は、特に印
刷パターンが微細である場合に高く評価できる。

【００１６】図２に示すように、スクリーン刷版１１
は、好ましくは、第１および第２の金属膜１６および１
７を備え、メッシュ部分１２は、第１の金属膜１６によ
って与えられ、版膜部分１３は、第１および第２の金属
膜１６および１７によって与えられている。このような
スクリーン刷版１１は、たとえば、図４に示すような方
法により有利に製造されることができる。

【００１７】図４を参照して、まず、（１）に示すよう
に、たとえばステンレス綱からなる基材１８が用意され
る。この基材１８上には、第１のレジスト１９が形成さ
れる。第１のレジスト１９は、前述したメッシュ部分１
２のメッシュ開口１４となるべき位置に形成されるよう
に、たとえばフォトリソグラフィによりパターニングさ
れる。

【００１８】次に、（２）に示すように、基材１８上
に、第１のレジスト１９の形成領域を除いて、たとえば
ニッケルからなる第１の金属膜２０が電気めっきにより
形成される。

【００１９】次に、（３）に示すように、第１のレジス
ト１９および第１の金属膜２０上に、印刷パターン、す
なわち図３の印刷膜１５が与えるパターンの反転パター
ンをもって第２のレジスト２１が形成される。この第２
レジスト２１のパターニングも、フォトリソグラフィに
より行なわれる。

【００２０】次に、（４）に示すように、第１の金属膜
２０上に、第２のレジスト２０の形成領域を除いて、た
とえばニッケルからなる第２の金属膜２２が電気めっき
により形成される。

【００２１】次に、（５）に示すように、第１および第
２のレジスト１９および２１が剥離される。

【００２２】次に、（６）に示すように、基材１８から
第１および第２の金属膜２０および２２が一体に剥離さ
れる。なお、この剥離は、基材１８がステンレス綱から
構成されているので、容易に行なうことができる。この
ようにして、所望のスクリーン刷版２３が得られる。

【００２３】このようにして得られたスクリーン刷版２
３は、全体として金属から構成されているので、寸法安
定性に優れ、また、長寿命を期待することができる。

【００２４】上述したスクリーン刷版２３の製造方法に
おいて、（５）のステップと（６）のステップとの順序
を逆に実施してもよい。

【００２５】図５および図６には、この発明の他の実施
例によるスクリーン刷版３１が示されている。スクリー
ン刷版３１は、前述したスクリーン刷版１１と同様、メ
ッシュ部分３２および３３と版膜部分３４とを備える。
このスクリーン刷版３１も、図４に示した製造方法に従
って製造することができる。

【００２６】この実施例では、メッシュ部分３２におけ
るメッシュ開口３５の大きさとメッシュ部分３３におけ
るメッシュ開口３６の大きさとが互いに異なっているこ
とが特徴である。すなわち、メッシュ開口３５がメッシ
ュ開口３６より小さくされている。このように、メッシ
ュ開口３５および３６の大きさを変えることにより、こ
れらメッシュ開口３５および３６の各々を通して転移さ
れるインクまたはペーストの転移量を調整することがで
きる。

【００２７】より具体的には、図７に示すように、スク
リーン刷版３１を用いて被印刷物３７上に印刷膜３８お
よび３９が形成されたとき、それらの膜厚を、互いに異
ならせることができる。すなわち、印刷膜３８が、印刷
膜３９より薄くされることができる。このように、メッ
シュ開口３５および３６の各大きさを異ならせることに
より、１回の印刷工程で、膜厚の互いに異なる印刷膜３
８および３９を得ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の一実施例によるスクリーン刷版１１
を示す下面図である。

【図２】図１の線ＩＩ−ＩＩに沿う切断部端面図であ
る。

【図３】スクリーン刷版１１を用いて形成された印刷膜
１５を下面から透視して示す図である。

【図４】この発明の一実施例によるスクリーン刷版の製
造方法に含まれる各ステップを示す断面図である。

【図５】この発明の他の実施例によるスクリーン刷版３
１を示す下面図である。

【図６】図５の線ＶＩ−ＶＩに沿う切断部端面図であ
る。

【図７】スクリーン刷版３１によって形成された印刷膜
３８および３９を示す断面図である。

【図８】従来のスクリーン刷版１を示す下面図である。

【図９】図８の線ＩＸ−ＩＸに沿う切断部端面図であ
る。

【図１０】スクリーン刷版１によって形成された印刷膜
６を下面から透視して示す図である。

【符号の説明】

１１，２３，３１ スクリーン刷版 １２，３２，３３ メッシュ部分 １３，３４ 版膜部分 １４，３５，３６ メッシュ開口 １５，３８，３９ 印刷膜 １６，２０ 第１の金属膜 １７，２２ 第２の金属膜 １８ 基材 １９ 第１のレジスト ２１ 第２のレジスト

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 メッシュ部分と版膜部分とを備える、ス
   クリーン刷版において、 当該刷版によって与えられる印刷パターンに合わせて前
   記メッシュ部分におけるメッシュ開口の形状が選ばれた
   ことを特徴とする、スクリーン刷版。
2. 【請求項２】 前記メッシュ開口の大きさが当該刷版に
   よって与えられる印刷膜厚に合わせて変えられた、請求
   項１に記載のスクリーン刷版。
3. 【請求項３】 第１および第２の金属膜を備え、前記メ
   ッシュ部分は、前記第１の金属膜によって与えられ、前
   記版膜部分は、前記第１および第２の金属膜によって与
   えられる、請求項１または２に記載のスクリーン刷版。
4. 【請求項４】 基材を用意し、 前記基材上の、印刷パターンを与えるメッシュ部分のメ
   ッシュ開口となるべき位置に、第１のレジストを形成
   し、 前記基材上に、前記第１のレジストの形成領域を除い
   て、第１の金属膜をめっきにより形成し、 前記第１のレジストおよび前記第１の金属膜上に、印刷
   パターンの反転パターンをもって第２のレジストを形成
   し、 前記第１の金属膜上に、前記第２のレジストの形成領域
   を除いて、第２の金属膜をめっきにより形成し、 前記第１および第２のレジストを除去し、 前記基材から前記第１および第２の金属膜を一体に剥離
   する、各ステップを備える、スクリーン刷版の製造方
   法。
5. 【請求項５】 前記第１のレジストを形成するステップ
   において、前記メッシュ部分のメッシュ開口の形状は、
   印刷パターンに合わされる、請求項４に記載のスクリー
   ン刷版の製造方法。